專利名稱：提高探針卡上探針壽命的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體測(cè)試中探針卡 的裝置。
背景技術(shù)：
目前，隨著先進(jìn)的集成電路(IC)設(shè)計(jì)方法和高密度生產(chǎn)技術(shù)的使用，集成電路設(shè) 計(jì)從晶體管的集成發(fā)展到邏輯門(mén)的集成，現(xiàn)在又發(fā)展到IP的集成，半導(dǎo)體廠商能夠把不同 的數(shù)字和模擬電路集成在極小芯片上，即系統(tǒng)級(jí)芯片SoC(SyStem on Chip)設(shè)計(jì)技術(shù)。SoC 可以有效地降低電子/信息系統(tǒng)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)成本，縮短開(kāi)發(fā)周期，提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，是未 來(lái)工業(yè)界將采用的最主要的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)方式。SoC是在一個(gè)芯片上由于廣泛使用預(yù)定制模塊 IP (Intellectual Property)而得以快速開(kāi)發(fā)的集成電路。其包含了設(shè)計(jì)和測(cè)試等更多技 術(shù)的一項(xiàng)新的設(shè)計(jì)技術(shù)。系統(tǒng)芯片盡管具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)和制造能力，可是IC廠商在對(duì)這些多元器件進(jìn)行 快速而又低成本地批量生產(chǎn)時(shí)，面對(duì)空前的挑戰(zhàn)當(dāng)把若干功能單元結(jié)合在一個(gè)單獨(dú)器件上 時(shí)，今天的SoC器件為減少批量生產(chǎn)時(shí)間和測(cè)試成本，向傳統(tǒng)的測(cè)試方法發(fā)起挑戰(zhàn)結(jié)果是， 廠商們將更廣泛地研究新方法，這些新方法通過(guò)在設(shè)計(jì)和測(cè)試之間的有效平衡，提供了一 個(gè)更有效地從事SoC設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和測(cè)試的方案，并能夠同時(shí)做到減少其生產(chǎn)時(shí)間和測(cè)試費(fèi) 用。隨著SOC芯片集成度的日益提高，芯片的功耗日益增大，IOOmA以上的芯片日趨 增多。在現(xiàn)有芯片的晶圓級(jí)測(cè)試過(guò)程中，因?yàn)檫@種較大的電流的存在，而導(dǎo)致了某些特殊情 況下探針卡的探針容易燒壞。導(dǎo)致探針卡的使用壽命減少，在發(fā)生故障時(shí)往往需要停止測(cè) 試，對(duì)探針卡進(jìn)行維修，甚至需要重新制作探針卡，無(wú)法保證測(cè)試的順利進(jìn)行，這樣會(huì)浪費(fèi) 大量的測(cè)試時(shí)間，增加測(cè)試成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發(fā)生故障的時(shí)候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測(cè)試的順利進(jìn)行。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包 括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N ；每根探針通過(guò)各自連接的繼電 器1、繼電器2……繼電器N連接到測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端；測(cè)試時(shí)，同一時(shí)間只有一個(gè)繼電 器閉合，其對(duì)應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開(kāi)，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一 根探針和繼電器，控制器測(cè)試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開(kāi)關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常 時(shí)，控制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開(kāi)，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針 開(kāi)始工作。本實(shí)用新型的有益效果在于其可以在原有探針發(fā)生故障的時(shí)候啟用備用探針，保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少探針卡的維修和重新制作，保 證測(cè)試的順利進(jìn)行。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的裝置的示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發(fā)生故障的時(shí)候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測(cè)試的順利進(jìn)行。實(shí)用新型所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，可以包括探針卡8上的多根探 針，分別為探針1、探針2……探針N;每根探針通過(guò)各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電 器N連接到測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端5，如器件電源DPS;測(cè)試時(shí)，同一時(shí)間只有一個(gè)繼電器閉 合，其對(duì)應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開(kāi)，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探 針和繼電器，用于測(cè)試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開(kāi)關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常時(shí)，控 制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開(kāi)，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針開(kāi)始 工作。所述測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端為器件電源。所述的控制器可以是處理器等能夠進(jìn)行測(cè)試和控制的裝置。例如，如圖1所示的本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，是對(duì)被測(cè)芯片6上的電源7進(jìn)行 測(cè)試，對(duì)測(cè)試過(guò)程中比較容易燒壞的探針在探針卡8進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)，制作2根探針探針1和 探針2，該2根探針各通過(guò)繼電器1(圖中PC0N1)和繼電器2(圖中PC0N2)連接到測(cè)試儀的 信號(hào)產(chǎn)生端5。在本實(shí)施例中，信號(hào)產(chǎn)生端可以是器件電源DSP。在正式測(cè)試時(shí)，閉合繼電器1，斷開(kāi)繼電器2，僅僅讓探針1在工作，探針2作為備用。當(dāng)探針1被燒，特性變差時(shí)，控制器通過(guò)測(cè)試程序控制，讓繼電器1斷開(kāi)，繼電器2 閉合，從而探針2繼續(xù)完成后面的測(cè)試。本實(shí)用新型并不限于上文討論的實(shí)施方式。以上對(duì)具體實(shí)施方式
的描述旨在于為 了描述和說(shuō)明本實(shí)用新型涉及的技術(shù)方案?；诒緦?shí)用新型啟示的顯而易見(jiàn)的變換或替代 也應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。以上的具體實(shí)施方式
用來(lái)揭示本實(shí)用新型的最 佳實(shí)施方法，以使得本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠應(yīng)用本實(shí)用新型的多種實(shí)施方式以及多種 替代方式來(lái)達(dá)到本實(shí)用新型的目的。
權(quán)利要求一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過(guò)各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端；測(cè)試時(shí)，同一時(shí)間只有一個(gè)繼電器閉合，其對(duì)應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開(kāi)，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測(cè)試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開(kāi)關(guān)。
2.如權(quán)利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述探針數(shù)量為 兩根；每根探針通過(guò)各自連接的繼電器1、繼電器2連接到測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端，測(cè)試時(shí)，繼 電器1閉合，其對(duì)應(yīng)的探針1工作；另繼電器2斷開(kāi)，其對(duì)應(yīng)的探針2不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測(cè)試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開(kāi)關(guān)。
3.如權(quán)利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述測(cè)試儀的信 號(hào)產(chǎn)生端為器件電源。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過(guò)各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測(cè)試儀的信號(hào)產(chǎn)生端；測(cè)試時(shí)，同一時(shí)間只有一個(gè)繼電器閉合，其對(duì)應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開(kāi)，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測(cè)試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開(kāi)關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常時(shí)，控制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開(kāi)，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針開(kāi)始工作。本實(shí)用新型可以在原有探針發(fā)生故障的時(shí)候啟用備用探針，保證測(cè)試的順利進(jìn)行。
文檔編號(hào)G01R1/067GK201666899SQ20092007463
公開(kāi)日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月22日
發(fā)明者?？Ｖ? 辛吉升 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司