專利名稱：光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于應(yīng)用光譜技術(shù)、光譜分析、檢測(cè)與計(jì)量等技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種
光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀。
背景技術(shù)：
激光誘導(dǎo)擊穿光譜(Xaser-induced Breakdown Spectroscopy, 1JBS)技術(shù)是將一束高能量的脈沖激光聚焦到某一待分析物質(zhì)的表面產(chǎn)生高溫等離子體，被激光剝離出來(lái)的少量物質(zhì)在高溫等離子體中被原子化和離子化，并發(fā)出原子或者離子的特征光譜輻射。通過(guò)分析光譜強(qiáng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品中元素濃度(或者含量)的分析。該技術(shù)具有無(wú)需復(fù)雜的樣品前處理過(guò)程、可以實(shí)現(xiàn)快速、工業(yè)在線和遠(yuǎn)距離分析等特點(diǎn)。然而單脈沖的LIBS技術(shù)的分析靈敏度不高，因而制約了其在痕量元素快速分析領(lǐng)域中的應(yīng)用。目前國(guó)際上發(fā)展出了雙脈沖LIBS技術(shù)，其分析靈敏度能比單脈沖LIBS技術(shù)高出l-2個(gè)數(shù)量級(jí)。雙脈沖LIBS需
要兩臺(tái)脈沖激光器，缺點(diǎn)一是其系統(tǒng)復(fù)雜、成本高，缺點(diǎn)二是光脈沖的脈沖寬度無(wú)法隨意調(diào)節(jié)，波長(zhǎng)也受到限制，因而無(wú)法從本質(zhì)上對(duì)這些物理參數(shù)進(jìn)行最佳化。 在很多場(chǎng)合，需要對(duì)樣品中的痕量元素進(jìn)行含量分析可以是有害雜質(zhì)的分析(比如各種工農(nóng)業(yè)產(chǎn)品中的有害重金屬元素)，也可以是關(guān)鍵的功能性的成分或者物質(zhì)的分析(比如特殊合金中功能性的微量元素)?，F(xiàn)有的光譜分析方法要么需要復(fù)雜的樣品前處理過(guò)程，費(fèi)時(shí)而無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速檢測(cè)(如原子吸收光譜、電感耦合等離子體 一一 原子發(fā)生光譜、電感耦合等離子體 一一 質(zhì)譜分析技術(shù))；要么雖然能夠?qū)崿F(xiàn)快速分析，但靈敏度不高(如x-射線熒光、單脈沖LIBS技術(shù)等)。本實(shí)用新型的目的是要解決已有的LIBS技術(shù)(包括單脈沖LIBS和雙脈沖LIBS技術(shù))分析靈敏度不高的技術(shù)難題，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各種樣品中痕量元素的快速分析。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了克服以上現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種大幅度提高光譜分析靈敏度的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀。 本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)本光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于包括脈沖激光器、聚焦透鏡、移動(dòng)平臺(tái)、放電電極、光二極管、脈沖延時(shí)控制器、高壓脈沖電源、光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)、單色儀或者光譜儀、光電轉(zhuǎn)換元件、數(shù)據(jù)采集單元和電子計(jì)算機(jī)； 所述移動(dòng)平臺(tái)放置有樣品，脈沖激光器產(chǎn)生的激光通過(guò)聚焦透鏡聚焦在樣品上，放電電極連接高壓脈沖電源，高壓脈沖電源連接脈沖延時(shí)控制器，光二極管同時(shí)連接數(shù)據(jù)采集單元和脈沖延時(shí)控制器； 光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀或者光譜儀的入射狹縫處，單色儀或者光譜儀通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件與數(shù)據(jù)采集單元連接，數(shù)據(jù)采集單元連接電子計(jì)算機(jī)，電子計(jì)算機(jī)連接單色儀或者光譜儀。[0008] 所述脈沖激光器為電光調(diào)Q Nd:YAG激光器，脈沖重復(fù)率l-10Hz，單脈沖能量30-100mJ ;所述聚焦透鏡為普通K9玻璃透鏡，焦距10-15厘米。 所述移動(dòng)平臺(tái)為可以作x-y兩個(gè)方向平移的移動(dòng)平臺(tái)，樣品為固體、液體或者氣體。 所述放電電極為鴇針；高壓脈沖電源的電壓為1000-5000V，脈沖電流為l-50A ;脈
沖延時(shí)控制器由外觸發(fā)控制，產(chǎn)生延時(shí)和脈寬均可調(diào)的TTL脈沖信號(hào)。 所述光二極管為硅基PIN二極管。 所述光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)為一組透鏡或者帶有透鏡的光纖。[0013] 所述單色儀或者光譜儀的焦距為30厘米或者50厘米；光電轉(zhuǎn)換元件為光電倍增管或者線陣的CCD ;數(shù)據(jù)采集單元為數(shù)字存儲(chǔ)示波器、高速A/D轉(zhuǎn)換設(shè)備或者CCD的數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備，數(shù)據(jù)采集單元的采樣頻率在200MHz以上。 上述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀的光譜分析方法，包括以下步驟 第一步脈沖激光器發(fā)出高功率短脈沖激光并經(jīng)過(guò)聚焦透鏡聚焦在樣品上產(chǎn)生出
等離子體火花，樣品不停地移動(dòng)保證短脈沖激光不會(huì)重復(fù)打在樣品某一固定位置上；[0016] 第二步光二極管接收到短脈沖激光后產(chǎn)生一個(gè)脈沖信號(hào)去同時(shí)觸發(fā)脈沖延時(shí)控
制器和數(shù)據(jù)采集單元； 第三步脈沖延時(shí)控制器被觸發(fā)后輸出一個(gè)延時(shí)和脈寬均可調(diào)的TTL脈沖信號(hào)，控制高壓脈沖電源，使高壓脈沖電源輸出一個(gè)延時(shí)和脈寬均可控的高壓脈沖，并通過(guò)放電電極加在等離子體火花上、下方，產(chǎn)生弧光放電； 第四步光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀或者光譜儀的入射狹縫處； 第五步光電轉(zhuǎn)換元件將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)； 第六步數(shù)據(jù)采集單元把光電轉(zhuǎn)換元件的電信號(hào)采集后傳送給電子計(jì)算機(jī)作數(shù)據(jù)分析，電子計(jì)算機(jī)同時(shí)控制單色儀或者光譜儀的輸出波長(zhǎng)或者波長(zhǎng)范圍；[0021] 第七步電子計(jì)算機(jī)選取合適的時(shí)間范圍(采樣門)內(nèi)的積分信號(hào)作為信號(hào)強(qiáng)度，該信號(hào)強(qiáng)度與樣品中的元素濃度相對(duì)應(yīng)； 第八步把樣品的信號(hào)強(qiáng)度和元素濃度已知的已知樣品的信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比，分析得出樣品中的元素濃度。 所述第二步的脈沖延時(shí)控制器包括相互連接的外觸發(fā)啟動(dòng)單元、可調(diào)延時(shí)單元、脈寬調(diào)節(jié)單元。 本實(shí)用新型的工作原理為 如圖4所示，激光脈沖首先在待分析樣品上產(chǎn)生激光等離子體，激光等離子體中發(fā)出短壽命的韌致電子輻射和壽命相對(duì)較長(zhǎng)的原子輻射。等韌致電子輻射完全消失以后，將一個(gè)高壓脈沖通過(guò)一對(duì)金屬放電電極對(duì)激光等離子體進(jìn)行放電，這時(shí)，等離子體中的原子被再度激發(fā)，并發(fā)射出增強(qiáng)的原子輻射，并且其弛豫時(shí)間與電高壓脈沖的脈寬有關(guān)，通過(guò)增寬高壓脈沖的脈寬，原子輻射的發(fā)射時(shí)間可以延長(zhǎng)至60-100微秒的水平，而此時(shí)韌致電子輻射早已完全消失，其背景貢獻(xiàn)為零。通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)采集的采樣門的位置，就可以得到很高的信號(hào)與背景之比，從而大幅增強(qiáng)LIBS技術(shù)的光譜檢測(cè)靈敏度。本實(shí)用新型既保留了 LIBS技術(shù)快速分析的優(yōu)點(diǎn)(因?yàn)樗鼰o(wú)需樣品前處理過(guò)程)，又在單脈沖LIBS技術(shù)的基礎(chǔ)上，將其靈敏度提高了至少2個(gè)數(shù)量級(jí)以上，因而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各種樣品的高靈敏快速檢測(cè)和分析。 由于原子輻射的增強(qiáng)和弛豫時(shí)間的延長(zhǎng)是通過(guò)電子碰撞來(lái)實(shí)現(xiàn)的，因此它對(duì)等離子體中的不同原子都有類似效應(yīng)，這就意味著該原子輻射增強(qiáng)技術(shù)對(duì)所有原子都有效。這是與LIF(激光誘導(dǎo)熒光)技術(shù)中激光對(duì)某一原子選擇性激發(fā)來(lái)增強(qiáng)其輻射強(qiáng)度的機(jī)理在本質(zhì)上的不同之處。 脈沖激光器發(fā)出高功率短脈沖激光，經(jīng)聚焦透鏡聚焦在待測(cè)樣品上并產(chǎn)生等離子體火花。放電電極垂直放在等離子體火花的上下方。待測(cè)樣品是固定在一個(gè)在x、y兩個(gè)方向上均可以平移的移動(dòng)平臺(tái)上，測(cè)量過(guò)程中，移動(dòng)平臺(tái)不停地移動(dòng)使激光每次都打在樣品不同的位置。 光二極管接收到短脈沖激光后產(chǎn)生一個(gè)脈沖信號(hào)去同時(shí)觸發(fā)脈沖延時(shí)控制器和數(shù)據(jù)采集單元；脈沖延時(shí)控制器輸出TTL脈沖信號(hào)控制高壓脈沖電源，使高壓脈沖電源輸出一個(gè)延時(shí)和脈寬均可控的高壓脈沖，并通過(guò)放電電極加在等離子體火花上下方，產(chǎn)生弧光放電；光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀或者光譜儀的入射狹縫處；光電轉(zhuǎn)換元件將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；數(shù)據(jù)采集單元把光電轉(zhuǎn)換元件的電信號(hào)采集后傳送給電子計(jì)算機(jī)作數(shù)據(jù)分析，電子計(jì)算機(jī)同時(shí)控制單色儀或者光譜儀的輸出波長(zhǎng)或者波長(zhǎng)范圍。 最后電子計(jì)算機(jī)選取合適的時(shí)間范圍(采樣門)內(nèi)的積分信號(hào)作為信號(hào)強(qiáng)度，該信號(hào)強(qiáng)度與樣品(被測(cè)樣品)中的元素濃度(被測(cè)的某一元素的濃度)具有對(duì)應(yīng)性。把樣品的信號(hào)強(qiáng)度和元素濃度已知的已知樣品的信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比，分析得出樣品中的元素濃度。 本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有如下的優(yōu)點(diǎn) —、本光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀及光譜分析方法，是在單脈沖LIBS的基礎(chǔ)上，加入第二個(gè)高壓電脈沖來(lái)增強(qiáng)激光等離子體中的原子輻射的強(qiáng)度，并延長(zhǎng)原子輻射的弛豫時(shí)間以提高原子輻射與韌致電子輻射形成的背景之比，(韌致電子輻射為壽命短、波長(zhǎng)連續(xù)的白光，無(wú)法利用單色儀分光對(duì)其進(jìn)行濾除)，從而本實(shí)用新型大幅提高光譜檢測(cè)靈敏度，比單脈沖LIBS技術(shù)的靈敏度提高2個(gè)數(shù)量及以上，比雙脈沖LIBS技術(shù)的靈敏度還要高出l個(gè)數(shù)量級(jí)以上。因而本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各種樣品中痕量元素的快速的定性和定量分析和檢測(cè)。 二、本實(shí)用新型分析靈敏度的提高是針對(duì)所有能夠分析的元素，不只是局限在單
一元素上面。這就意味著可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多元素同時(shí)的、高靈敏的和快速的分析檢測(cè)。這一點(diǎn)
與LIBS與激光誘導(dǎo)熒光(LIF， laser-inducedfluorescence)技術(shù)結(jié)合實(shí)現(xiàn)單元素高靈敏
檢測(cè)的技術(shù)有本質(zhì)上的進(jìn)步。 三、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)、成本低。

圖1是本實(shí)用新型的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀的結(jié)構(gòu)示意圖。[0035] 圖2是圖1的光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0036] 圖3是圖1的光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)的另一結(jié)構(gòu)示意圖。[0037] 圖4是本實(shí)用新型的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)的原理示意圖。[0038] 圖5是利用圖1的光電雙脈沖激光兩導(dǎo)擊穿光譜儀得到的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。 如圖1所示的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，包括脈沖激光器1、聚焦透鏡2、移動(dòng)平臺(tái)3、放電電極4、光二極管5、脈沖延時(shí)控制器6、高壓脈沖電源7、光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)8、單色儀9(單色儀也可用光譜儀代替)、光電轉(zhuǎn)換元件10、數(shù)據(jù)采集單元11和電子計(jì)算機(jī)12 ; 所述移動(dòng)平臺(tái)3放置有樣品，脈沖激光器1產(chǎn)生的激光通過(guò)聚焦透鏡2聚焦在樣品上，放電電極4連接高壓脈沖電源7，高壓脈沖電源7連接脈沖延時(shí)控制器6，光二極管5同時(shí)連接數(shù)據(jù)采集單元11和脈沖延時(shí)控制器6 ; 光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)8將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀9的入射狹縫處，單色儀9通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件10與數(shù)據(jù)采集單元11連接，數(shù)據(jù)采集單元11連接電子計(jì)算機(jī)12，電子計(jì)算機(jī)12連接單色儀9。 所述脈沖激光器為電光調(diào)Q Nd:YAG激光器，脈沖重復(fù)率l-10Hz，單脈沖能量30-100mJ ;所述聚焦透鏡為普通K9玻璃透鏡，焦距10-15厘米。 所述移動(dòng)平臺(tái)為可以作x-y兩個(gè)方向平移的移動(dòng)平臺(tái)，樣品為固體、液體或者氣體。 所述放電電極為鎢針；高壓脈沖電源的電壓為1000-5000V，脈沖電流為1-50A ;脈
沖延時(shí)控制器由外觸發(fā)控制，產(chǎn)生延時(shí)和脈寬均可調(diào)的TTL脈沖信號(hào)。 所述光二極管為硅基PIN二極管。 如圖2所示，所述光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)為兩個(gè)透鏡a和b (也可以采用帶有透鏡c的光纖d來(lái)代替，如圖3所示)。 所述單色儀的焦距為30厘米或者50厘米；光電轉(zhuǎn)換元件為光電倍增管(如果是
光譜儀，則光電轉(zhuǎn)換元件采用線陣的CCD);數(shù)據(jù)采集單元為數(shù)字存儲(chǔ)示波器、高速A/D轉(zhuǎn)換
設(shè)備或者CCD的數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備，數(shù)據(jù)采集單元的采樣頻率在200MHz以上。 上述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀的光譜分析方法，包括以下步驟 第一步脈沖激光器發(fā)出高功率短脈沖激光并經(jīng)過(guò)聚焦透鏡聚焦在樣品上產(chǎn)生出
等離子體火花，樣品不停地移動(dòng)保證短脈沖激光不會(huì)重復(fù)打在樣品某一固定位置上；[0051] 第二步光二極管接收到短脈沖激光后產(chǎn)生一個(gè)脈沖信號(hào)去同時(shí)觸發(fā)脈沖延時(shí)控制器和數(shù)據(jù)采集單元； 第三步脈沖延時(shí)控制器被觸發(fā)后輸出一個(gè)延時(shí)和脈寬均可調(diào)的TTL脈沖信號(hào)，控制高壓脈沖電源，使高壓脈沖電源輸出一個(gè)延時(shí)和脈寬均可控的高壓脈沖，并通過(guò)放電電極加在等離子體火花上、下方，產(chǎn)生弧光放電； 第四步光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀或者光譜儀的入射狹縫處； 第五步光電轉(zhuǎn)換元件將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)； 第六步數(shù)據(jù)采集單元把光電轉(zhuǎn)換元件的電信號(hào)采集后傳送給電子計(jì)算機(jī)作數(shù)據(jù)分析，電子計(jì)算機(jī)同時(shí)控制單色儀或者光譜儀的輸出波長(zhǎng)或者波長(zhǎng)范圍； 第七步電子計(jì)算機(jī)選取合適的時(shí)間范圍(采樣門)內(nèi)的積分信號(hào)作為信號(hào)強(qiáng)度，
該信號(hào)強(qiáng)度與樣品中的元素濃度相對(duì)應(yīng)； 第八步把樣品的信號(hào)強(qiáng)度和元素濃度已知的已知樣品的信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比，分析得出樣品中的元素濃度。 所述第二步的脈沖延時(shí)控制器包括相互連接的外觸發(fā)啟動(dòng)單元、可調(diào)延時(shí)單元、脈寬調(diào)節(jié)單元。 圖5是利用本實(shí)用新型的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀得到的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖在光電雙脈沖激發(fā)模式下的某油漆樣品中汞原子發(fā)射的時(shí)域圖。 放電電極的放電電壓4500V，放電電流3A。其中圖中的曲線信號(hào)1為檢測(cè)波長(zhǎng)為253. 65納米(汞原子的分析線波長(zhǎng))時(shí)的結(jié)果；2為檢測(cè)波長(zhǎng)為252. 5納米的背景波長(zhǎng)(在此沒(méi)有觀測(cè)到其它原子的輻射)。0-7微秒范圍的信號(hào)(或背景)是激光脈沖形成的，7-10微秒的(背景)小峰是弧光放電產(chǎn)生的韌致電子輻射；10-55微秒范圍內(nèi)的信號(hào)(背景)是電脈沖激發(fā)所形成的。對(duì)比10-50微秒范圍內(nèi)的信號(hào)與背景之比、0-7微秒范圍內(nèi)的信號(hào)與背景之比，可以看出前者明顯大于后者。進(jìn)一步提高放電電流可以進(jìn)一步提高該比例。 上述具體實(shí)施方式
為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并不能對(duì)本實(shí)用新型的權(quán)利要求進(jìn)行限定，其他的任何未背離本實(shí)用新型的技術(shù)方案而所做的改變或其它等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于包括脈沖激光器、聚焦透鏡、移動(dòng)平臺(tái)、放電電極、光二極管、脈沖延時(shí)控制器、高壓脈沖電源、光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)、單色儀或者光譜儀、光電轉(zhuǎn)換元件、數(shù)據(jù)采集單元和電子計(jì)算機(jī)；所述移動(dòng)平臺(tái)放置有樣品，脈沖激光器產(chǎn)生的激光通過(guò)聚焦透鏡聚焦在樣品上，放電電極連接高壓脈沖電源，高壓脈沖電源連接脈沖延時(shí)控制器，光二極管同時(shí)連接數(shù)據(jù)采集單元和脈沖延時(shí)控制器；光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)將弧光放電產(chǎn)生的電火花的發(fā)光收集到單色儀或者光譜儀的入射狹縫處，單色儀或者光譜儀通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件與數(shù)據(jù)采集單元連接，數(shù)據(jù)采集單元連接電子計(jì)算機(jī)，電子計(jì)算機(jī)連接單色儀或者光譜儀。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述脈沖激 光器為電光調(diào)Q Nd:YAG激光器，脈沖重復(fù)率l-10Hz，單脈沖能量30-100mJ ;所述聚焦透鏡 為普通K9玻璃透鏡，焦距10-15厘米。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述移動(dòng)平 臺(tái)為可以作x-y兩個(gè)方向平移的移動(dòng)平臺(tái)，樣品為固體、液體或者氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述放電電 極為鎢針；高壓脈沖電源的電壓為1000-5000V，脈沖電流為l-50A ;脈沖延時(shí)控制器由外觸 發(fā)控制，產(chǎn)生延時(shí)和脈寬均可調(diào)的TTL脈沖信號(hào)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述光二極 管為硅基PIN二極管。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述光輻射 的光學(xué)收集系統(tǒng)為一組透鏡或者帶有透鏡的光纖。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，其特征在于所述單色儀 或者光譜儀的焦距為30厘米或者50厘米；光電轉(zhuǎn)換元件為光電倍增管或者線陣的CCD ;數(shù) 據(jù)采集單元為數(shù)字存儲(chǔ)示波器、高速A/D轉(zhuǎn)換設(shè)備或者CCD的數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備，數(shù)據(jù)采集單元 的采樣頻率在200MHz以上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀，包括脈沖激光器、聚焦透鏡、移動(dòng)平臺(tái)、放電電極、光二極管、脈沖延時(shí)控制器、高壓脈沖電源、光輻射的光學(xué)收集系統(tǒng)、單色儀或者光譜儀、光電轉(zhuǎn)換元件、數(shù)據(jù)采集單元和電子計(jì)算機(jī)。本光電雙脈沖激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀能夠大幅度提高光譜分析靈敏度。
文檔編號(hào)G01N21/62GK201449373SQ20092006132
公開日2010年5月5日 申請(qǐng)日期2009年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月28日
發(fā)明者張柏勝, 張謙, 李潤(rùn)華, 熊威, 趙芳, 陳鈺琦 申請(qǐng)人:華南理工大學(xué)