專利名稱：一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法
一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于激光領(lǐng)域，尤其涉及一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法。
技術(shù)背景
現(xiàn)有技術(shù)中，在激光功率或激光能量測試時會存在如下幾個問題(1)激光功率 計測試量程不夠；( 激光功率計在測試大功率連續(xù)出光和激光能量計在測試大單點激光 能量時，測試探頭常常損壞，同時儀器維修成本很高；(3)被測激光常常偏離測試探頭中心 位置，導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例的目的在于提供一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法，旨 在解決現(xiàn)有技術(shù)中測試量程不夠、維修成本高以及測試結(jié)果不準(zhǔn)確的問題。
本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，一種分光裝置，包括可調(diào)支架，活動設(shè)置于所述可 調(diào)支架上的鏡框，與所述鏡框的邊呈45度角斜向設(shè)置于所述鏡框內(nèi)的鏡片固定架，設(shè)置于 所述鏡片固定架內(nèi)的分光鏡片，設(shè)置于所述鏡框的兩個相對應(yīng)側(cè)面上的入光口和出光口， 設(shè)置于所述鏡框的另一側(cè)面上的吸收頭以及可拆卸的十字叉；入射光經(jīng)所述入光口入射后 被所述分光鏡片分成兩路，一路經(jīng)所述出光口輸出，另一路被所述吸收頭吸收；所述可拆卸 的十字叉位于所述入光口或所述出光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)出光口輸出的出射光 與所述入射光中心同軸。
進(jìn)一步地，所述吸收頭包括設(shè)置于所述鏡框的另一側(cè)面上的散熱器以及與所述 散熱器相配合的水冷環(huán)。
本發(fā)明實施例的目的還在于提供一種激光檢測裝置，所述激光檢測裝置包括上述 分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的功率計，通過所述功率計對激光功率進(jìn)行檢 測。
本發(fā)明實施例的目的還在于提供一種激光檢測裝置，所述激光檢測裝置包括上述 分光裝置以及連接在所述分光裝置的出光口的能量計，通過所述能量計對激光能量進(jìn)行檢 測。
本發(fā)明實施例的另一目的在于提供一種采用上述分光裝置進(jìn)行激光檢測的激光 檢測方法，包括下述步驟
將十字叉置于所述入光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)所述出光口輸出的出射光 與入射光中心同軸；
將十字叉置于所述出光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)所述出光口輸出的出射光 與入射光中心同軸；
通過連接在所述出光口的功率計測量激光功率或通過連接在所述出光口的能量 計測量激光能量。
進(jìn)一步地，經(jīng)所述出光口輸出的出射光與所述入射光平行。
進(jìn)一步地，被所述吸收頭吸收的光與經(jīng)所述出光口輸出的出射光成90度。
進(jìn)一步地，所述激光功率檢測方法還包括下述步驟將吸收頭進(jìn)行冷卻。
進(jìn)一步地，通過自然冷卻或水冷的方式對所述吸收頭進(jìn)行冷卻。
進(jìn)一步地，所述激光檢測方法還包括下述步驟采用多次測量取平均的方式獲得 所述激光功率或激光能量。
本發(fā)明實施例提供的分光裝置將可拆卸的十字叉置于入光口或出光口，通過反復(fù) 多次調(diào)節(jié)可調(diào)支架使經(jīng)出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；再結(jié)合功率計對激光功率 進(jìn)行檢測或者結(jié)合能量計對激光能量進(jìn)行檢測，擴(kuò)大了測試量程；降低了探頭損壞頻率，節(jié) 約了維修成本；提高了測試精度。


圖1是本發(fā)明實施例提供的分光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明實施例提供的入射光經(jīng)分光鏡片的光路圖3是本發(fā)明實施例提供的激光功率檢測方法的實現(xiàn)流程圖4是本發(fā)明實施例提供的十字叉的位置示意圖。
具體實施方式
為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
本發(fā)明實施例提供的分光裝置將可拆卸的十字叉置于入光口或出光口，通過調(diào)節(jié) 可調(diào)支架使經(jīng)出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；再結(jié)合功率計對激光功率進(jìn)行檢測 或結(jié)合能量計對激光能量進(jìn)行檢測，擴(kuò)大了測試量程；降低了探頭損壞頻率，節(jié)約了維修成 本；提高了測試精度。
圖1示出了本發(fā)明實施例提供的分光裝置的結(jié)構(gòu)，為了便于說明，僅示出了與本 發(fā)明實施例相關(guān)的部分，詳述如下。
分光裝置包括可調(diào)支架1，活動設(shè)置于可調(diào)支架1上的鏡框2，與鏡框2的邊呈 45度角斜向設(shè)置于鏡框2內(nèi)的鏡片固定架3，設(shè)置于鏡片固定架3內(nèi)的分光鏡片4，設(shè)置于 鏡框2的兩個相對應(yīng)側(cè)面上的入光口 5和出光口 6，設(shè)置于鏡框2的另一側(cè)面上的吸收頭7 以及可拆卸的十字叉8 ；入射光經(jīng)入光口 5入射后被分光鏡片4分成兩路，一路經(jīng)出光口 6 輸出，另一路被吸收頭7吸收；可拆卸的十字叉8位于入光口 5或出光口 6，通過調(diào)節(jié)可調(diào) 支架1使經(jīng)出光口 6輸出的出射光與入射光中心同軸。
作為本發(fā)明的一個實施例，入光口 5上設(shè)置有圓環(huán)狀凸臺9，用于區(qū)別入光口 5和 出光口 6。
在本發(fā)明實施例中，吸收頭7包括設(shè)置于鏡框2的另一側(cè)面上的散熱器71以及 與散熱器71相配合的水冷環(huán)72。
在本發(fā)明實施例中，入射光Wl經(jīng)分光鏡片4的光路如圖2所示，入射光Wl與分光 鏡片4之間的角度b為45度，入射光Wl經(jīng)入光口入射后被分光鏡片4分成兩路，一路W2 經(jīng)出光口輸出，另一路W3被吸收頭7吸收。其中，被吸收頭吸收的光W3與經(jīng)出光口輸出的出射光W2之間的角度a為90度。
作為本發(fā)明的一個實施例，經(jīng)出光口輸出的出射光W2與入射光Wl平行，且出射光 W2相對于入射光Wl偏移一定距離d。
在本發(fā)明實施例中，激光檢測裝置包括分光裝置以及連接在分光裝置的出光口的 功率計，通過功率計對激光功率進(jìn)行檢測。將上述功率計換成能量計可以對激光能量進(jìn)行 檢測。
在本發(fā)明實施例中，可以根據(jù)所測功率或者能量大小，選擇合適的分光鏡片，以測 試800瓦功率、功率計量為200瓦為例，可選透光20% (到功率計)，反射80%的分光鏡片 (到吸收頭，被吸收掉)；這樣功率計的量程可擴(kuò)大到約為1000瓦。
圖3示出了本發(fā)明實施例提供的激光功率檢測方法的實現(xiàn)流程，為了便于說明， 僅示出了與本發(fā)明實施例相關(guān)的部分，詳述如下。
在步驟Sll中，將十字叉8置于入光口 5，通過調(diào)節(jié)可調(diào)支架1使經(jīng)出光口 6輸出 的出射光與入射光中心同軸；
具體地，在入光口 5處放上十字叉，小能量單點出光，在出光口 6觀察相紙上十字 叉在光斑上的位置，通過調(diào)節(jié)可調(diào)支架1的R軸、Z軸以及X軸，使相紙上觀測到的十字叉 在光斑中心位置。
在步驟S12中，將十字叉8置于出光口 6，通過調(diào)節(jié)可調(diào)支架1使經(jīng)出光口 6輸出 的出射光與入射光中心同軸；
具體地，將十字叉改放在出光口 6，對可調(diào)支架1的R軸、Z軸和X軸作相應(yīng)調(diào)節(jié)， 使相紙上觀測到的十字叉在光斑中心位置。其中，通過調(diào)節(jié)R軸可以調(diào)節(jié)分光裝置中心軸 與入射光的角度，調(diào)到兩者平行為好；通過調(diào)節(jié)Z軸可以調(diào)節(jié)分光裝置的高度，使其中心點 與激光光斑中心同高度；通過調(diào)節(jié)X軸可以調(diào)節(jié)分光裝置左右位置。
作為本發(fā)明的一個實施例，通過將十字叉多次放在入光口 5或出光口 6，反復(fù)調(diào)節(jié) 多次，即可同時滿足相紙上十字叉在光斑中心，即分光裝置出射光與入射光的中心同軸。如 果入射光有準(zhǔn)直紅光時，以紅光在十字中心位置也可以。
在步驟S13中，通過連接在出光口 6的功率計測量激光功率或通過連接在出光口 6的能量計測量激光能量；
在步驟S14中，在測試大功率或者長時間測試時，為了防止?fàn)C傷，并減少反射光對 測試結(jié)果影響；需要將吸收頭進(jìn)行冷卻；其中，可以通過自然冷卻或水冷的方式對吸收頭 進(jìn)行冷卻。
在步驟S15中，重復(fù)上述步驟，采用多次測量取平均的方式獲得激光功率或激光能量°
在本發(fā)明實施例中，十字叉8由兩個對稱的并圍成圓弧狀的叉體組成。在出光口 6觀察到的相紙上的十字叉在光斑上的位置示意圖如圖4所示。
21表示“正?！保?2表示“偏左”，23表示“偏右”，24表示“偏上”，25表示“偏下”， 調(diào)節(jié)可調(diào)支架1使經(jīng)出光口 6輸出的出射光與入射光中心同軸，即在出光口 6觀察到的相 紙上的十字叉在光斑上的位置為21所示。
本發(fā)明實施例提供的分光裝置將可拆卸的十字叉8置于入光口 5或出光口 6，通過 反復(fù)多次調(diào)節(jié)可調(diào)支架1使經(jīng)出光口 6輸出的出射光與入射光中心同軸；再結(jié)合功率計對激光功率進(jìn)行檢測或者結(jié)合能量計對激光能量進(jìn)行檢測，擴(kuò)大了測試量程；降低了探頭損 壞頻率，節(jié)約了維修成本；提高了測試精度。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種分光裝置，其特征在于，包括可調(diào)支架，活動設(shè)置于所述可調(diào)支架上的鏡框，與所述鏡框的邊呈45度角斜向設(shè)置于 所述鏡框內(nèi)的鏡片固定架，設(shè)置于所述鏡片固定架內(nèi)的分光鏡片，設(shè)置于所述鏡框的兩個 相對應(yīng)側(cè)面上的入光口和出光口，設(shè)置于所述鏡框的另一側(cè)面上的吸收頭以及可拆卸的十 字叉；入射光經(jīng)所述入光口入射后被所述分光鏡片分成兩路，一路經(jīng)所述出光口輸出，另一 路被所述吸收頭吸收；所述可拆卸的十字叉位于所述入光口或所述出光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)出光 口輸出的出射光與所述入射光中心同軸。
2.如權(quán)利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述吸收頭包括設(shè)置于所述鏡框的另 一側(cè)面上的散熱器以及與所述散熱器相配合的水冷環(huán)。
3.一種激光檢測裝置，其特征在于，所述激光檢測裝置包括權(quán)利要求1所述的分光裝 置以及連接在所述分光裝置的出光口的功率計，通過所述功率計對激光功率進(jìn)行檢測。
4.一種激光檢測裝置，其特征在于，所述激光檢測裝置包括權(quán)利要求1所述的分光裝 置以及連接在所述分光裝置的出光口的能量計，通過所述能量計對激光能量進(jìn)行檢測。
5.一種采用權(quán)利要求1所述的分光裝置進(jìn)行激光檢測的激光檢測方法，其特征在于， 包括下述步驟將十字叉置于所述入光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)所述出光口輸出的出射光與入 射光中心同軸；將十字叉置于所述出光口，通過調(diào)節(jié)所述可調(diào)支架使經(jīng)所述出光口輸出的出射光與入 射光中心同軸；通過連接在所述出光口的功率計測量激光功率或通過連接在所述出光口的能量計測量激光能量。
6.如權(quán)利要求5所述的激光檢測方法，其特征在于，經(jīng)所述出光口輸出的出射光與所 述入射光平行。
7.如權(quán)利要求5所述的激光檢測方法，其特征在于，被所述吸收頭吸收的光與經(jīng)所述 出光口輸出的出射光成90度。
8.如權(quán)利要求5所述的激光檢測方法，其特征在于，所述激光功率檢測方法還包括下 述步驟將吸收頭進(jìn)行冷卻。
9.如權(quán)利要求8所述的激光檢測方法，其特征在于，通過自然冷卻或水冷的方式對所 述吸收頭進(jìn)行冷卻。
10.如權(quán)利要求5所述的激光檢測方法，其特征在于，所述激光檢測方法還包括下述步驟采用多次測量取平均的方式獲得所述激光功率或激光能量。
全文摘要
本發(fā)明適用于激光領(lǐng)域，提供了一種分光裝置、激光檢測裝置及激光檢測方法，分光裝置包括可調(diào)支架，活動設(shè)置于可調(diào)支架上的鏡框，與鏡框的邊呈45度角斜向設(shè)置于所述鏡框內(nèi)的鏡片固定架，設(shè)置于鏡片固定架內(nèi)的分光鏡片，設(shè)置于鏡框的兩個相對應(yīng)側(cè)面上的入光口和出光口，設(shè)置于鏡框的另一側(cè)面上的吸收頭以及可拆卸的十字叉。本發(fā)明提供的分光裝置將可拆卸的十字叉置于入光口或出光口，通過反復(fù)多次調(diào)節(jié)可調(diào)支架使經(jīng)出光口輸出的出射光與入射光中心同軸；再結(jié)合功率計對激光功率進(jìn)行檢測或者結(jié)合能量計對激光能量進(jìn)行檢測，擴(kuò)大了測試量程；降低了探頭損壞頻率，節(jié)約了維修成本；提高了測試精度。
文檔編號G01J1/00GK102033320SQ20091019061
公開日2011年4月27日 申請日期2009年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月25日
發(fā)明者劉飛, 高云峰, 高海軍 申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司