專利名稱：：適于光譜測定的光學特性測定裝置以及光學特性測定方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種光學特性測定裝置以及光學特性測定方法，特別是涉及一種用于高精確度地測定光譜的技術。
背景技術：
：以往，作為用于評價發(fā)光體等的技術，廣泛使用著分光測量。在使用于這種分光測量的光學特性測定裝置中，通常是使用分光器(典型的是衍射光柵)將來自測定對象的發(fā)光體等的測定光分光為多個波長成分，并由光檢測器來檢測分光而得到的各波長成分。為了盡量降低測定光以外的光的影響，這些分光器、光檢測器被收納在殼體內。然而，實際上光檢測器的檢測結果會受到在殼體內部漫反射的光、在分光器表面漫反射的光以及具有測定次數(shù)以外的次數(shù)的光等的影響。通常，這些光被稱為"雜散光"。為了抑制這種未預期的雜散光的影響，提出了各種方法。例如，在日本特開平11-30552號公報中公開了如下的雜散光校正方法將雜散光的影響正確地估算為該分光光度計的測定常數(shù)并去除其影響，其中，上述雜散光是在由具有多個受光元件的受光器來測定從分光光度計的分散光學系統(tǒng)導出的光的情況下所產生的。另外，在日本特開2002-5741號公報中公開了如下的光譜測定裝置通過檢測信號的處理來去除光譜測定裝置內部產生的雜散光、由于檢測元件的表面反射、衍射而產生的不需要的光的影響，從而能夠獲得精確度較高的光譜強度信號。然而，在日本特開平11-30552號公報中所公開的雜散光校正方法中，需要算出與構成檢測器的受光元件個數(shù)相應次數(shù)的由各受光元件測定到的受光信號強度與通過與該波長對應的受光元件所測定到的受光信號強度之間的比。為此，存在需要相對較長的時間的問題。另外，在日本特開2002-5741號公報中所記載的光譜測定裝置并未公開其校正處理的具體內容。
發(fā)明內容本發(fā)明是為了解決這種問題而作出的，其目的在于提供一種能夠在更短時間內并且高精確度地測定光譜的光學特性測定裝置以及光學特性測定方法。本發(fā)明的一個方面所涉及的光學特性測定裝置具備殼體；分光器，其配置在殼體內；遮斷部，其用于遮斷從殼體的外部向分光器入射的光；光檢測器，其配置在殼體內，用于接收由分光器分光而得到的光；以及處理部，其用于輸出光檢測器的檢測結果。光檢測器具有范圍比來自分光器的光的入射面大的檢測面。處理部在遮斷向殼體入射的光之后獲取在與來自分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的第一光譜和在與來自分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的第一信號強度，通過從第一光譜的各成分值中減去根據(jù)第一信號強度而算出的第一校正值來算出第一校正光譜，在打開遮斷部的狀態(tài)下獲取在第一檢測區(qū)域中檢測到的第二光譜和在第二檢測區(qū)域中檢測到的第二信號強度，通過從第二光譜的各成分值中減去根據(jù)第二信號強度而算出的第二校正值來算出第二校正光譜，通過從第二校正光譜的各成分值中減去第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜。優(yōu)選該光學特性測定裝置還包括截止濾光片，該截止濾光片配置在被取入到殼體內的光向分光器入射的光路上，用于遮斷波長比規(guī)定波長短的光。更優(yōu)選第二檢測區(qū)域設置在接著第一檢測區(qū)域的短波長側。優(yōu)選第二檢測區(qū)域包括多個檢測元件。第一校正值是由多個檢測元件分別檢測到的第一信號強度的平均值，第二校正值是由多個檢測元件分別檢測到的第二信號強度的平均值。優(yōu)選處理部包括用于保存第一校正光譜的存儲部。本發(fā)明的其它方面所涉及的光學特性測定裝置具備殼體；分光器，其配置在殼體內；光檢測器，其配置在殼體內，用于接收由分光器分光而得到的光；以及處理部，其用于輸出光檢測器的檢測結果。檢測器具有范圍比來自分光器的光的入射面大的檢測面。處理部獲取在與來自分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的測定光譜和在與來自分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的信號強度，通過根據(jù)信號強度對表示光檢測器的噪聲特性的預先準備的圖案進行校正來算出第一校正光譜，通過從測定光譜的各成分值中減去根據(jù)信號強度而算出的校正值來算出第二校正光譜，通過從第二校正光譜的各成分值中減去第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜。優(yōu)選處理部與在光檢測器中能夠設定的多個曝光時間分別對應地存儲多個圖案，在算出第一校正光譜時選擇與在光檢測器中設定的曝光時間對應的一個圖案。本發(fā)明的進一步其它的方面所涉及的光學特性測定方法包括準備測定裝置的步驟，該測定裝置包括配置在殼體內的分光器、用于接收由分光器分光而得到的光的光檢測器。光檢測器具有范圍比來自分光器的光的入射面大的檢測面。光學特性測定方法包括以下步驟在遮斷向殼體入射的光的狀態(tài)下獲取在與來自分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的第一光譜和在與來自分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的第一信號強度的步驟；通過從第一光譜的各成分值中減去根據(jù)第一信號強度而算出的第一校正值來算出第一校正光譜的步驟；在打開遮斷部的狀態(tài)下獲取在第一檢測區(qū)域中檢測到的第二光譜、和在第二檢測區(qū)域中檢測到的第二信號強度的步驟；通過從第二光譜的各成分值中減去根據(jù)第二信號強度而算出的第二校正值來算出第二校正光譜的步驟；以及通過從第二校正光譜的各成分值中減去第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜的步驟。本發(fā)明的進一步其它的方面所涉及的光學特性測定方法包括準備測定裝置的步驟，該測定裝置包括配置在殼體內的分光器、用于接收由分光器分光而得到的光的光檢測器。光檢測器具有范圍比來自分光器的光的入射面大的檢測面。光學特性測定方法包括以下步驟獲取在與來自分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的測定光譜和在與來自分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的信號強度的步驟；通過根據(jù)信號強度對表示光檢測器的噪聲特性的預先準備的圖案進行校正來算出第一校正光譜的步驟；通過從測定光譜的各成分值中減去根據(jù)信號強度而算出的校正值來算出第二校正光譜的步驟；以及通過從第二校正光譜的各成分值中減去第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜的步驟。通過與附圖相關聯(lián)地所理解的與本發(fā)明相關的下面的詳細說明，可明確本發(fā)明的上述以及其它目的、特征、方面以及優(yōu)點。圖1是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的外觀圖的圖。圖2是按照本發(fā)明的實施方式的測定裝置的概要功能框圖。圖3是表示按照本發(fā)明的實施方式的光檢測器的檢測面的示意圖。圖4是表示從按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的光檢測器輸出的檢測結果的一個例子的概念圖。圖5是表示按照本發(fā)明的實施方式的處理裝置的硬件結構的概要結構圖。圖6是表示本發(fā)明的相關技術所涉及的光學特性測定裝置的測定過程的流程圖。圖7是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的暗測定的處理過程的流程圖。圖8是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的常規(guī)測定的處理過程的流程圖。圖9是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的處理裝置中的控制結構的概要圖。圖10是表示關于按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置的雜散光評價結果的一個例子的圖。圖11A圖IIC示出圖IO所示的光譜的主要部分的放大圖。圖12是按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的測定器主體的概要功能框圖。圖13是表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的溫度依賴性的圖。圖14A圖14C是表示按照本發(fā)明的實施方式的暗光譜的溫度依賴性的測定結果。圖15A圖15C是表示從圖14A圖14C所示的暗光譜中得到的暗圖案的圖。圖16是表示用于表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的曝光時間依賴性的測定結果的圖。圖17A圖17C是表示用于表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的曝光時間依賴性的其它測定結果的圖。圖18是表示利用按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置進行的測定例子的圖。圖19是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置的處理裝置中的控制結構的概要圖。圖20是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置的測定過程的流程圖。圖21是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例2的光學特性測定裝置的處理裝置中的控制結構的主要部分的概要圖。具體實施例方式下面參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。此外，對于附圖中相同或者相當部分附加相同附圖標記，不重復其說明?！囱b置整體結構〉參照圖l，按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1測定各種發(fā)光體(以下也稱為"對象物")的光譜。并且，光學特性測定裝置l也可以根據(jù)該測定出的光譜來算出對象物的亮度、色調這種光學特性。此外，亮度意味著對象物的光亮度以及發(fā)光強度等，色調意味著對象物的色度坐標、主波長、剌激純度以及相關色溫度等。按照本實施方式的光學特性測定裝置1能夠應用于發(fā)光二極管(LED:LightEmittingDiode)、平板顯示器(FPD:FlatPanelDisplay)等的測定中。光學特性測定裝置1包括測定器主體2和處理裝置100。測定器主體2上通過光纖4連接有光取出部6。通過光取出部6而被取入的從對象物放射出的光(以下也稱為"測定光")通過光纖4傳導到測定器主體2。如后所述，測定器主體2對從對象物入射到測定器主體2的測定光進行分光，將與其所包含的各波長成分的強度相應的檢測結果(信號強度)輸出到處理裝置100。如后所述，測定器主體2在其內部包括對測定光進行分光的分光器和接收由分光器分光而得到的光的光檢測器。特別是，按照本實施方式的光檢測器具有范圍比來自分光器的光所入射的范圍大的檢測面。另外，處理裝置100在對光檢測器的檢測結果進行校正之后進行輸出。更具體地說，處理裝置100獨立地同時獲取在光檢測器的檢測面中的與來自分光器的光的入射面對應的檢測區(qū)域中檢測到的光譜、和在與來自分光器的光的入射面不同的檢測區(qū)域中檢測到的信號強度。然后，處理裝置100從光譜的各成分值中減去根據(jù)所獲取的信號強度而算出的校正值，由此去除雜散光引起的誤差成分以及由流經光檢測器的暗電流引起的偏移成分。通過進行這種處理，能夠在更短的時間內并且高精確度地測定來自對象物的測定光的光譜?！礈y定器主體的結構>圖2是按照本發(fā)明的實施方式的測定器主體2的概要功能框圖。參照圖2，測定器主體2包括快門21、狹縫22、截止濾光片23、分光器24以及光檢測器25。這些結構要素被收納在殼體26內。殼體26的一部分形成有光取入口20。光取入口20與光纖4連接。通過光纖4傳導的測定光入射到殼體26內，并沿著規(guī)定的光軸Ax傳輸。從光取入口20側起沿著該光軸Ax順次配置有快門21、狹縫22、截止濾光片23以及分光器24。即測定光通過狹縫22以及截止濾光片23后入射到分光器24。快門21遮斷從殼體26外部入射到殼體26內的光。即，為了獲取成為光檢測器25的檢測結果的校正基準的光譜(以下也稱為"暗光譜(DarkSpectrum)")，快門21創(chuàng)建殼體26內沒有光入射的狀態(tài)。作為一個例子，快門21構成為能夠在垂直于光軸Ax的方向上變位。由此，在快門21存在于光軸Ax上的情況下(以下也稱為"閉合位置")，向殼體26內入射的光被遮斷。此外，將在遮斷了向殼體26內入射的光的狀態(tài)下測定由光檢測器25檢測的暗光譜的操作也稱為"暗測定"。另一方面，為了與該"暗測定"區(qū)別開，將對常規(guī)對象物測定光譜的操作也稱為"常規(guī)測定"。另一方面，在快門21位于離開光軸Ax的位置的情況下(以下也稱為"打開位置")，測定光被取入到殼體26內。此外，圖2例示出將快門21設置在殼體26內的結構，但是也可以設置在殼體26的外部。另外，關于遮斷測定光的機構，也可以采用任意種類的結構。為了實現(xiàn)規(guī)定的檢測分辨率，狹縫22調整測定光的光束直徑(大小)。作為一個例子，狹縫22的各狹縫寬度被設定為0.2mm0.05mm左右。并且，通過狹縫22后的測定光向截止濾光片23入射。此外，截止濾光片23配置在與通過狹縫22后的測定光的聚焦位置大致一致的位置上。截止濾光片23被配置在取入到殼體26內的測定光向分光器24入射的光路即光軸Ax上。截止濾光片23遮斷該測定光所包含的成分中的波長比規(guī)定的遮斷波長a短的光。即，截止濾光片23僅使具有比規(guī)定的遮斷波長a長的波長的光通過。如后所述，該遮斷波長a優(yōu)選與分光器24的分光特性的下限值(波長U—致。分光器24被配置在光軸Ax上，將沿著光軸Ax上入射的測定光分離為多個波長。用分光器24產生的具有各自波長的光向光檢測器25傳導。作為一個例子，分光器24由被稱作弦耀全息(BlazedHolographic)型的凹面衍射光柵(Grating)構成。該凹面衍射光柵使入射的測定光成為規(guī)定波長間隔的衍射光并向對應的方向反射。因此，由分光器24分光而得到的光(衍射光)具有空間擴張地朝向光檢測器25放射。此外，作為分光器24，還能夠采用平板聚焦(FlatFocus)型凹面衍射光柵這種任意的衍射光柵來代替上述的炫耀全息型凹面衍射光柵。光檢測器25接收被分光器24分光的測定光(衍射光)。并且，光檢測器25檢測所接收的測定光中包含的各波長成分的強度。由該光檢測器25檢測出的強度與各波長成分相對應。因此，來自光檢測器25的檢測信號相當于測定光的光譜。光檢測器25代表的是由陣列狀地配置了發(fā)光二極管等多個檢測元件的光電二極管陣列(PDA:PhotoDiodeArray)構成?；蛘?，也可以是矩陣狀地配置了發(fā)光二極管等多個檢測元件的CCD(ChargedCopuledDevice:電荷耦合器件)。作為一個例子，光檢測器25構成為在380nm980nm范圍內能夠輸出512個(頻道)表示波長成分強度的信號。另外，光檢測器25包括用于將所檢測到的光強度信號輸出為數(shù)字信號的A/D(AnalogtoDigital:模擬-數(shù)字)變換器、外圍電路?！葱Ｕ幚淼母乓?gt;下面參照圖1、圖3以及圖4說明按照本實施方式的光學特性測定裝置1的校正處理。光檢測器25的檢測結果包含(l)測定光的要測定的光譜，(2)殼體26內部產生的雜散光引起的誤差成分，(3)流經光檢測器25的暗電流引起的偏移成分，以及(4)其它誤差成分。雜散光是對在殼體26內部漫反射的光、在分光器24表面漫反射的光以及分光器24所產生的具有測定次數(shù)以外的次數(shù)的光的統(tǒng)稱。另外，光檢測器25由CCD等半導體設備構成，當驅動這種半導體設備時流過暗電流。由于該暗電流，在光檢測器25的檢測結果中會包含偏移成分。另外，該暗電流的大小容易受到周圍溫度的影響，會因測定環(huán)境而隨時間變動。因此，在按照本實施方式的光學特性測定裝置1中，在光檢測器25的檢測面上設置來自分光器24的衍射光所入射的區(qū)域和該衍射光不入射的區(qū)域。并且，處理裝置100使用在衍射光不入射的區(qū)域中檢測出的檢測結果來校正在衍射光所入射的區(qū)域中檢測出的檢測結果。即，通過在每次執(zhí)行常規(guī)測定時進行這種校正，能夠動態(tài)地校正雜散光的影響以及暗電流引起的偏移成分。因此，即使在雜散光的影響和/或暗電流引起的偏移成分隨時間變動的情況，也能夠有效地進行校正。圖3是表示按照本發(fā)明的實施方式的光檢測器25的檢測面的示意圖。參照圖3，分光器24被光學設計成使入射的測定光中的波長fmin到波長fmax范圍的波長成分傳導到光檢測器25(圖2)。在此，截止濾光片23的遮斷波長a被設定成與波長fmin—致。在這種情況下，比波長fmin(遮斷波長a)短的波長成分不會入射到分光器24。因此，比波長fmin(遮斷波長a)短的波長成分也不會入射到光檢測器25。因此，將光檢測器25的檢測面中的與波長f^到波長f^的范圍(以下也稱為"測定波長域")對應的區(qū)域設為檢測區(qū)域25a。S卩，檢測區(qū)域25a是與來自分光器24的光的入射面對應的區(qū)域。另外，將接著檢測區(qū)域25a的短波長側的規(guī)定范圍(以下也稱為"校正波長域")設為校正區(qū)域25b。此外，也可以將比波長fmin短的短波長側的整個范圍作為校正區(qū)域25b來處理，但是為了避免測定光的影響，優(yōu)選使檢測區(qū)域25a和校正區(qū)域25b之間隔開規(guī)定的波長寬度。再次參照圖2，在殼體26內部產生的雜散光能夠被視作同樣地進行擴散。因此，入射到光檢測器25的檢測面的雜散光能夠被視作大致均勻。即，入射到構成檢測區(qū)域25a以及校正區(qū)域25b的多個檢測元件的各檢測元件的雜散光強度大致互相相同。另外，檢測區(qū)域25a以及校正區(qū)域25b設置在共用的光檢測器25上。因此，檢測區(qū)域25a以及校正區(qū)域25b的檢測結果中所包含的暗電流引起的偏移成分也能夠被視作大致相同。根據(jù)以上的考察，從光檢測器25輸出如圖4所示那樣的檢測結果。圖4是表示從按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1的光檢測器25輸出的檢測結果的一個例子的概念圖。參照圖4，從光檢測器25輸出的檢測結果包含雜散光引起的誤差成分40。該誤差成分40能夠被視作在能夠檢測的整個波長范圍內具有相同的信號強度。另外，檢測結果包含流過光檢測器25所包含的多個檢測元件的暗電流引起的偏移成分50。該偏移成分50依賴于周圍溫度，并且還隨時間變動。另外，在測定波長域中出現(xiàn)與測定光的光譜相應的信號強度。另一方面，在校正波長域中不出現(xiàn)與測定光相應的信號強度。因此，通過從在檢測區(qū)域25a(圖3)中檢測到的測定光譜singal的各成分值中減去根據(jù)在校正區(qū)域25b(圖3)中檢測到的信號強度而算出的校正值，能夠去除雜散光引起的誤差成分以及暗電流引起的偏移成分。其結果，能夠獲取測定光原本的光譜。此外，優(yōu)選設定校正區(qū)域25b使其包括多個檢測元件，在這種情況下，能夠檢測多個信號強度。因此，作為校正值，優(yōu)選使用由校正區(qū)域25b所包含的多個檢測元件分別檢測出的信號強度的代表值(典型的是平均值或者中間值)。另外，在按照本實施方式的光學特性測定裝置中，對在殼體26內沒有光入射的狀態(tài)下由光檢測器25檢測的暗光譜dark，也如上所述地，在進行去除雜散光引起的誤差成分以及暗電流引起的偏移的校正之后保存為基準值。該保存為基準值的校正后的暗光譜不包含(l)測定光的測定值，(2)在殼體26內部產生的雜散光引起的誤差成分，以及(3)流經光檢測器25的暗電流引起的偏移成分。即，該校正后的暗光譜反映出檢測元件的偏差等各裝置固有的誤差因素。因而，在各測定中，通過從由光檢測器25檢測出的測定光譜中分別減去在校正區(qū)域25b(圖3)中檢測到的信號強度以及校正后的暗光譜，能夠高精確度地對測定光的光譜進行測定。另外，在每次的常規(guī)測定中，不需要只是為了測定雜散光引起的誤差成分和/或暗電流引起的偏移成分而開閉快門21(圖2)，因此能夠縮短測定所需的時間?！刺幚硌b置的結構〉再次參照圖1，處理裝置100代表性地由計算機構成。更具體地說，處理裝置100包括計算機主體101、監(jiān)視器102、鍵盤103以及鼠標104，其中，上述計算機主體101搭載有FD(FlexibleDisk:軟盤)驅動裝置111以及CD-ROM(CompactDisk-ReadOnlyMemory:光盤只讀存儲器)驅動裝置113。并且，通過計算機主體101執(zhí)行預先保存的程序來提供上述的校正處理。圖5是表示按照本發(fā)明的實施方式的處理裝置100的硬件結構的概要結構圖。參照圖5，計算機主體101除了包括圖1所示的FD驅動裝置111以及CD-ROM驅動裝置113之外，還包括通過總線相互連接的CPU(CentralProcessingUnit:中央處理單元)105、存儲器106、固定磁盤107以及通信接口(I/F)部109。FD驅動裝置111中能夠安裝FD112，CD-ROM驅動裝置113中能夠安裝CD-ROM114。按照本實施方式的處理裝置IOO是通過CPU105使用存儲器106等計算機硬件執(zhí)行程序來實現(xiàn)的。通常，這種程序保存在FD112、CD-R0M114等記錄介質中，或者通過網絡等流通。并且，這種程序通過FD驅動裝置111、CD-R0M驅動裝置113等被從記錄介質中讀取，并臨時保存在作為存儲裝置的固定磁盤107中。并且，程序從固定磁盤107被讀出到存儲器106中，并被CPU105所執(zhí)行。CPU105是通過依次執(zhí)行被編程的命令來實施各種運算的運算處理部。存儲器106根據(jù)CPU105中的程序執(zhí)行而臨時存儲各種信息。通信接口部109是用于對計算機主體101與測定器主體2(圖1)之間的數(shù)據(jù)通信進行中介的裝置，接收從測定器主體2發(fā)送的表示測定數(shù)據(jù)的電信號并變換為CPU105能夠處理的數(shù)據(jù)形式，并且將CPU105輸出的指令等變換為電信號并向測定器主體2發(fā)送。連接到計算機主體101上的監(jiān)視器102是用于顯示由CPU105算出的對象物的亮度、色調等算出結果的顯示裝置，作為一個例子，是LCD(LiquidCrystalDisplay:液晶顯示器)或者CRT(CathodeRayTube:陰極射線管)。鍵盤103接受與被輸入的按鍵相應的來自用戶的指令。鼠標104接受與點擊、滑動等動作相應的來自用戶的指令。另外，根據(jù)需要，也可以在計算機主體101上連接打印機等其它輸出裝置?！礈y定過程>為了更容易地理解按照本實施方式的光學特性測定裝置1的校正處理，首先說明本發(fā)明的相關技術所涉及的測定過程。(1.相關技術所涉及的處理過程)10圖6是表示本發(fā)明的相關技術所涉及的光學特性測定裝置的測定過程的流程圖。此外，在圖6中示出每次常規(guī)測定時執(zhí)行暗測定的情況下的處理過程。參照圖6，處理裝置判斷是否收到了測定開始指令(步驟S300)。在未收到測定開始指令的情況(在步驟S300中為"否"的情況)下，處理裝置等待到收到測定開始指令為止。此外，在收到測定開始指令之前進行對象物和/或光取出部的定位使得從對象物放射的光被取入到光取出部。另一方面，在收到了測定開始指令的情況(在步驟S300中為"是"的情況)下，首先執(zhí)行步驟S302以及步驟S304所示的暗測定。具體地說，處理裝置將快門驅動到閉合位置(步驟S302)。即形成向殼體內的光入射被遮斷的狀態(tài)。接著，處理裝置獲取由光檢測器檢測到的光譜作為暗光譜(步驟S304)。接著，執(zhí)行步驟S306S310所示的常規(guī)測定。具體地說，處理裝置將快門驅動到打開位置(步驟S306)。即，測定光被取入到殼體內。接著，處理裝置獲取由光檢測器檢測到的光譜作為測定光譜(步驟S308)。并且，處理裝置從在步驟S308中獲取的測定光譜的各成分值中減去在步驟S304中獲取的暗光譜的對應的成分值來算出輸出光譜(步驟S310)。將該輸出光譜作為檢測結果輸出。之后，判斷是否收到了測定中止指令(步驟S312)。在未收到測定中止指令的情況(在步驟S312中為"否"的情況)下，處理返回到步驟S300。另一方面，在收到了測定中止指令的情況(在步驟S312中為"是"的情況)下，結束處理。(2.按照本實施方式的處理過程)在按照本實施方式的光學特性測定裝置1中，在一系列常規(guī)測定之前執(zhí)行暗測定。在執(zhí)行該暗測定后執(zhí)行關于對象物的常規(guī)測定。下面參照圖7以及圖8來說明其處理過程。圖7是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1的暗測定處理過程的流程圖。圖8是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1的常規(guī)測定處理過程的流程圖。參照圖7，處理裝置100判斷是否收到了暗測定開始指令(步驟SIOO)。在未收到暗測定開始指令的情況(在步驟S100中為"否"的情況)下，處理裝置100等待到收到暗測定開始指令為止。另一方面，在收到了暗測定開始指令的情況(在步驟S100中為"是"的情況)下，處理裝置100將快門21驅動到閉合位置(步驟S102)。S卩，形成向殼體26內的光入射被遮斷的狀態(tài)。接著，處理裝置100獲取在光檢測器25的檢測區(qū)域25a中檢測到的光譜(暗光譜)、和在光檢測器25的校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度(步驟S104)。接著，處理裝置100根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度來算出校正值(步驟S106)。更具體地說，處理裝置100算出在校正區(qū)域25b中檢測到的多個信號強度的平均值作為校正值。并且，處理裝置100從在步驟S104中獲取的在檢測區(qū)域25a中檢測到的暗光譜所包含的各成分值(信號強度)中(一律)減去在步驟S106中算出的校正值，由此算出校正暗光譜(步驟S108)。S卩，處理裝置100用根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度而算出的校正值來對暗光譜進行校正，從而算出校正暗光譜。并且，處理裝置100保存在步驟S108中算出的校正暗光譜(步驟S110)。之后，處理裝置100將快門21驅動到打開位置(步驟S112)。由此，光學特性測定裝置l處于測定狀態(tài)。然后，結束暗測定。接著，參照圖8，處理裝置100判斷是否收到了測定開始指令(步驟S200)。在未收到測定開始指令的情況(在步驟S200中為"否"的情況)下，處理裝置100等待到收到測定開始指令為止。此外，在收到測定開始指令之前進行對象物和/或光取出部6的定位使得從對象物放射的光被取入到光取出部6。另一方面，在收到了測定開始指令的情況(在步驟S200中為"是"的情況)下，處理裝置100獲取在光檢測器25的檢測區(qū)域25a中檢測到的測定光譜、和在光檢測器25的校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度(步驟S202)。此外，在先前執(zhí)行的暗測定執(zhí)行后快門21被驅動到打開位置，因此光學特性測定裝置1處于打開了相當于遮斷部的快門21的測定狀態(tài)。接著，處理裝置100根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度來算出校正值(步驟S204)。更具體地說，算出在校正區(qū)域25b中檢測到的多個信號強度的平均值作為校正值。并且，處理裝置100從在步驟S202中獲取的在檢測區(qū)域25a中檢測到的測定光譜所包含的各成分值(信號強度)中(一律)減去在步驟S204中算出的校正值，由此算出校正測定光譜(步驟S206)。S卩，處理裝置100用根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度而算出的校正值來對測定光譜進行校正，由此算出校正測定光譜。并且，處理裝置100從在步驟S206中算出的校正測定光譜的各成分值中減去在先前執(zhí)行的暗測定(步驟S108)中算出的校正暗光譜的對應的成分值，由此算出輸出光譜(步驟S208)。將該輸出光譜作為檢測結果輸出。之后，判斷是否收到了測定中止指令(步驟S210)。在未收到測定中止指令的情況(在步驟S210中為"否"的情況)下，處理返回到步驟S200。另一方面，在收到了測定中止指令的情況(在步驟S210中為"是"的情況)下，結束處理。如以上所述，在按照本實施方式的光學特性測定裝置1中，在各常規(guī)測定中無需進行暗測定。為此，能夠縮短常規(guī)測定所需的時間。〈控制結構〉圖9是表示按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1的處理裝置100的控制結構的概要圖。參照圖9，按照本實施方式的處理裝置100包括緩沖器202、212、220、240、校正值算出部204、選擇器214、218、222、226、232、減法運算部216、224以及存儲器230。此外，圖9中作為一個例子示出與如下情況對應的控制結構與測定波長域對應的檢測區(qū)域25a(圖3)具有N個檢測元件，與校正波長域對應的校正區(qū)域25b具有4個檢測元件。在光檢測器25的檢測區(qū)域25a中檢測到的值(各波長的信號強度)臨時保存在緩沖器212中。另外，在光檢測器25的校正區(qū)域25b中檢測到的值(信號強度)臨時保存在緩沖器202中。緩沖器212與檢測區(qū)域25a所包含的檢測元件的數(shù)量對應地至少具有被劃分的N個區(qū)域(lch，2ch，...，Nch)。另外，緩沖器202與校正區(qū)域25b所包含的檢測元件的數(shù)量對應地至少具有被劃分的4個區(qū)域(Ach，Bch，Cch，Dch)。此外，保存在緩沖器202以及212中的數(shù)據(jù)以光檢測器25的檢測周期(例如數(shù)毫秒數(shù)十毫秒)依次被更新。另外，頻道(ch)與被光檢測器25檢測的波長相對應。校正值算出部204根據(jù)保存在緩沖器202中的在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度來算出校正值AM。具體地說，校正值算出部204算出保存在緩沖器202中的4個信號強度的平均值(或者中間值)作為校正值AM。選擇器214以及減法運算部216從在檢測區(qū)域25a中檢測到的暗光譜或者測定光譜的各成分值中減去校正值AM。更具體地說，選擇器214按照時鐘信號CLOCK依次讀出保存在緩沖器212中的各波長(頻道)的信號強度，并向減法運算部216輸出。減法運算部216從由選擇器214輸入的信號強度中減去校正值AM，并將其結果向選擇器218輸出。因而，從減法運算部216輸出對保存在緩沖器212中的各波長的信號強度減去校正值AM而得到的結果。選擇器218根據(jù)光學特性測定裝置1的狀態(tài)(暗測定或者常規(guī)測定)以及快門21的開閉狀態(tài)等來判斷所獲取的光譜是暗光譜還是測定光譜。并且，選擇器218按照與選擇器214共用的時鐘信號CLOCK，將從減法運算部216輸出的結果值依次保存到緩沖器220以及存儲器230的某一個中。緩沖器220臨時保存校正測定光譜，存儲器230非易失地保存校正暗光譜。此外，校正暗光譜在暗測定完成之后直到執(zhí)行新的暗測定的期間，在常規(guī)測定中被重復使用，因此優(yōu)選非易失地被保存。S卩，在暗測定時，在緩沖器212中保存表示暗光譜的各波長的信號強度。在這種情況下，選擇器218將通過減法運算部216—律減去校正值AM而得到的結果依次保存到存儲器230中。另一方面，在常規(guī)測定時，在緩沖器212中保存表示測定光譜的各波長的信號強度。在這種情況下，選擇器218將通過減法運算部216—律減去校正值AM而得到的結果依次保存到緩沖器220中。S卩，當將保存在緩沖器212中的光譜的各波長的信號強度設為A(i){其中，1《i《N}時，保存在緩沖器220或者存儲器230中的校正后的光譜B(i)能夠表示為如下B(i)=A(i)-AM(其中，l《i《N}。另外，選擇器214和選擇器218按照時鐘信號CLOCK而同步。因此，例如從緩沖器212的lch讀出的信號強度被保存到緩沖器220的lch或者存儲器230的lch中。選擇器222、226、232以及減法運算部224從校正測定光譜的各成分值中減去校正暗光譜的對應的成分值來算出輸出光譜。更具體地說，選擇器222按照時鐘信號CLOCK依次讀出保存在緩沖器220中的校正測定光譜的各波長(頻道)的信號強度，并向減法運算部224輸出。同樣地，選擇器232按照與選擇器222共用的時鐘信號CLOCK依次讀出保存在存儲器230中的校正暗光譜的各波長(頻道)的信號強度，并向減法運算部224輸出。減法運算部224從由選擇器222輸入的信號強度中減去由選擇器232輸入的信號強度，并將其結果向選擇器226輸出。另外，選擇器222和選擇器232按照時鐘信號CLOCK而同步地動作。選擇器226按照與選擇器222以及232共用的時鐘信號CLOCK,將從減法運算部224輸出的結果值依次保存到緩沖器240中。因而，在緩沖器240中保存從校正測定光譜的各成分值中減去校正暗光譜的對應的成分值而得到的結果。即，當將保存在緩沖器220中的校正測定光譜的各波長的信號強度設為S(i){其中，1《i《N}、將保存在存儲器230中的校正暗光譜的各波長的信號強度設為D(i){其中，1《i《N}時，保存在緩沖器240中的輸出光譜M(i)能夠表示為如下M(i)=S(i)-D(i){其中，1《i《N}。然后，將保存在該緩沖器240中的輸出光譜作為測定結果輸出。典型的是，圖9所示的控制結構是由CPU105(圖5)將保存在固定磁盤107(圖5)等中的程序在存儲器106(圖5)中展開并執(zhí)行來提供的。此外，也可以由硬件來提供圖9所示的控制結構的一部分或者全部。另外，圖9中例示出對每個波長的信號強度采用串行運算處理的結構，但是也可以采用對各光譜一并進行減法運算的并行運算處理。并且，如果能夠實現(xiàn)上述那樣的算術運算處理，則也可以采用任意的運算方法?！搭IU定例〉關于上述按照本實施方式的光學特性測定裝置1的對雜散光等所引起的誤差的降低效果，在下面示出進行實際測定得到的結果的一個例子。作為評價雜散光影響的方法，在日本工業(yè)標準JISZ8724:1997"顏色測定方法-光源色"中規(guī)定有分光測光器的"雜散光"的性能條件。按照該JIS標準，對按照本實施方式的校正處理所涉及的雜散光引起的誤差的排除性能進行了評價。另外，作為比較對象，還示出沒有應用按照本實施方式的校正處理的情況下的測定結果。此外，在沒有應用校正處理的情況下，也與上述圖6所示的測定過程同樣地執(zhí)行從光檢測器25的檢測值中去除暗電流所引起的偏移成分的校正處理。在上述JIS標準中規(guī)定了使用鎢絲電燈泡作為測定光光源來評價雜散光。作為其具體過程，首先獲取以從鎢絲電燈泡放射出的光為對象的情況下的來自光檢測器的輸出(基準值)。接著，在將透射界限波長分別是500士5(nm)、560士5(nm)、660士5(nm)的銳截止濾光片插入到從鎢絲電燈泡放射出的光的入射光路上的情況下，分別獲取來自光檢測器的輸出。此外，被評價的輸出分別是450(nm)、500(nm)、600(nm)的值。最終，算出各個輸出相對于基準值的比率作為對雜散光進行評價的值(雜散光率)。此外，在本測定例中，使用透射界限波長分別是495(nm)、550(nm)、665(nm)的三個銳截止濾光片進行了評價。圖10是表示關于按照本發(fā)明的實施方式的光學特性測定裝置1的雜散光評價結果的一個例子的圖。圖11A圖IIC示出圖IO所示光譜的局部放大圖。圖10示出未插入任何截止濾光片的狀態(tài)(基準)和插入各銳截止濾光片的狀態(tài)的測定例。如圖IO所示可知通過插入各銳截止濾光片，比對應的透射界限波長短的波長被遮斷。圖11A示出在插入透過界限波長為495(nm)的銳截止濾光片的情況下，有無校正處理的450(nm)附近的信號強度不同。另外，圖11B示出在插入透過界限波長為550(nm)的銳截止濾光片的情況下，有無校正處理的500(nm)附近的信號強度不同。另外，圖11C示出在插入透過界限波長為665(nm)的銳截止濾光片的情況下，有無校正處理的600(nm)附近的信號強度不同。14在任意一個所示的例子中都可知通過應用按照本實施方式的校正處理，輸出接近零值。綜合如以上結果，為如下所示的表。此外，表中的"降低率"表示應用了校正處理的情況下的雜散光率相對于未應用校正處理的情況下的雜散光率的大小比。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>如上表所示可知通過應用按照本實施方式的校正處理能夠將雜散光率降低到一半以下。〈本實施方式的作用效果>根據(jù)本發(fā)明的實施方式，在光檢測器25的檢測面上設置由分光器24分光而得到的光所入射的區(qū)域(檢測區(qū)域25a)和由分光器24分光而得到的光不入射的區(qū)域(校正區(qū)域25b)。在測定時，從檢測區(qū)域25a以及校正區(qū)域25b中同時獲取各自的光譜以及強度值。然后，根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的強度值來算出校正值。并且，從在檢測區(qū)域25a中檢測到的光譜的各成分值(各波長的信號強度)中減去所算出的該校正值，由此算出校正后的光譜。如上所述的校正值是反映了在殼體內部產生的雜散光所引起的誤差成分、和流經光檢測器25的暗電流所引起的偏移成分的值。因此，通過用這種校正值對在檢測區(qū)域25a中檢測到的光譜進行校正，能夠正確地獲取原本的測定光的光譜。另外，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，從設置在同一光檢測器25上的檢測區(qū)域25a以及校正區(qū)域25b中同時獲取各自的光譜以及強度值。因此，即使在殼體內部產生的雜散光所引起的誤差成分和/或流經光檢測器25的暗電流所引起的偏移成分隨時間變動的情況下，也能夠可靠地去除這些誤差成分。即，能夠更可靠地去除周圍溫度等環(huán)境因素所引起的干擾誤差。并且，無需為了獲取在殼體內部產生的雜散光所引起的誤差成分和/或流經光檢測器25的暗電流所引起的偏移成分而進行暗測定。因此，無需每次測定時開閉快門，因此能夠縮短測定所需的時間。另外，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，使用進行了如上所述的校正后的暗光譜(校正暗光譜)進一步進行校正。為此，作為測定結果而輸出的光譜是去除了雜散光引起的誤差成分以及暗電流引起的偏移成分以外的誤差成分的光譜。因此，能夠更高精確度地測定對象物的光譜。[變形例l]在上述實施方式中，例示出在常規(guī)測定前進行暗測定來預先獲取暗光譜以及校正暗光譜的結構。在本變形例中，例示出能夠省略該暗測定的結構?！囱b置整體結構〉圖12是按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的測定器主體2#的概要功能框圖。圖12所示的測定器主體2#相當于從圖2所示的測定器主體2中去除快門21而得到的結構。測定器主體2#的其它部位與測定器主體2相同，因此不重復詳細說明。〈暗光譜的特性〉首先，例示出對光檢測器25的暗光譜特性進行實際測定的結果。(l.溫度依賴性)圖13是表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的溫度依賴性的圖。圖13所示的測定結果示出在恒溫層內配置測定器主體、使恒溫層內的溫度發(fā)生變化的情況下得到的輸出的時間性變化。更具體地說，事先將恒溫層內的溫度初始設定為l(TC，從測定開始起經過30分鐘后，將恒溫層內的溫度變更為2(TC。另外，圖13示出暗光譜(無校正處理)以及校正暗光譜(有校正處理)兩者的測定結果。此外，將光檢測器25的曝光時間設為20秒。將暗光譜以及校正暗光譜的光譜寬度設為250750nm，將這些光譜中每隔50nm的輸出值的平均值設為測定結果。如圖13所示可知暗光譜(無校正處理)受到周圍溫度變化的影響而輸出值發(fā)生變動。與此相對，可知校正暗光譜(有校正處理)幾乎不受周圍溫度變化的影響。圖14A圖14C是表示按照本發(fā)明的實施方式的暗光譜的溫度依賴性的測定結果。圖15A圖15C是表示從圖14A圖14C所示的暗光譜中得到的暗圖案的圖。圖14A示出周圍溫度為l(TC的情況下的暗光譜，圖14B示出周圍溫度為2(TC的情況下的暗光譜，圖14C示出周圍溫度為3(TC的情況下的暗光譜。此外，設光檢測器25的曝光時間與圖13相同為20秒。當比較圖14A圖14C所示的暗光譜時，可知與同一波長對應的振幅的絕對值不同。BP，可知由于周圍溫度不同而暗光譜的特性受到影響。圖15A圖15C示出用圖14A圖14C所示的各暗光譜的各成分值(各波長的信號強度)除以對應的暗光譜中最短的波長的成分值(信號強度)而得到的結果。即圖15A圖15C示出將圖14A圖14C的暗光譜進行了標準化的波長特性(為了與表示實際振幅的暗光譜區(qū)別開，稱為"暗圖案")。當比較圖15A圖15C所示的暗圖案時，可知具有大致相同的變化特性。根據(jù)上述所示的測定結果，可以說光檢測器25所輸出的暗光譜的特性依賴于周圍溫度而變化，但是暗圖案與周圍溫度無關地表現(xiàn)出大致相同的特性。(2.曝光時間依賴性)圖16是表示用于表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的曝光時間依賴性的測定結果的圖。圖17A圖17C是表示用于表示按照本發(fā)明的實施方式的暗測定結果的曝光時間依賴性的其它測定結果的圖。圖16所示的測定結果示出在將光檢測器25的周圍溫度維持為固定的狀態(tài)下、將曝光時間分別設定為200毫秒以及2000毫秒的情況下所得到的暗光譜。如圖16所示可知曝光時間越長，入射到光檢測器25的光能量越大，因此所測定的暗光譜的振幅也越大。接著，圖17A示出光檢測器25的曝光時間為2000毫秒的情況下的暗光譜，圖17B示出光檢測器25的曝光時間為200毫秒的情況下的暗光譜，圖17C示出光檢測器25的曝光時間為20毫秒的情況下的暗光譜。此外，在任一種情況下，光檢測器25的周圍溫度都設為固定。當比較圖17A圖17C所示的暗光譜時，可知振幅的大小依賴于曝光時間而變動。此外，如圖17B以及圖17C所示，當曝光時間相對較短時，檢測到的信號強度的絕對值本身較小，因此光譜特性沒有明顯地出現(xiàn)。根據(jù)上述所示的測定結果，可以說光檢測器25輸出的暗光譜的特性依賴于曝光時間而變化。此外，暗光譜主要依賴于光檢測器25的輸出中所包含的暗電流。并且，光檢測器25的暗電流依賴于光檢測器25被激活的期間、即蓄積的電荷量。因此，原理上可以說暗光譜的振幅與光檢測器25的曝光時間的對數(shù)值成比例?！葱Ｕ幚淼母乓蛋凑毡咀冃卫墓鈱W特性測定裝置與按照上述實施方式的光學特性測定裝置1同樣地，通過從校正測定光譜的各成分值中減去校正暗光譜的對應的成分值來算出輸出光譜。圖18是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置的測定例的圖。圖18示出以最短波長為約380nm的測定光為對象的情況下的測定例。S卩，在比測定光的最短波長短的波長域中，雜散光校正后的測定結果(校正測定光譜signal')應該為零，但是實際上由于如上所述的各種原因不會變成零。因此，通過用校正暗光譜dark'來對校正測定光譜signal'進行校正，能夠得到反映更原本的測定值的結果(signal'-dark')。本變形例所示的光學特性測定裝置不進行暗測定而動態(tài)地確定如上所述的算出處理所需的校正暗光譜。由此，能夠在更短時間內開始常規(guī)測定。更具體地說，預先準備好表示光檢測器25的噪聲特性的校正暗圖案，在該校正暗圖案上乘以常規(guī)測定時測定到的振幅，從而確定(估計)校正暗光譜。這樣確定的校正暗光譜反映了常規(guī)測定時的周圍溫度。如上所述，校正暗光譜的振幅(信號強度)根據(jù)曝光時間而變動，因此在本變形例中，采用與在光檢測器25中能夠設定的多個曝光時間相對應地準備多個校正暗圖案的結構。即，在各常規(guī)測定中，選擇與在光檢測器25中設定的曝光時間對應的一個校正暗圖案，根據(jù)所選擇的該校正暗圖案來確定校正暗光譜。此外，如后所述，也可以準備共用的校正暗圖案來確定校正暗光譜使其反映常規(guī)測定時的周圍溫度以及曝光時間?！纯刂平Y構〉圖19是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置的處理裝置IOOA的控制結構的概要圖。參照圖19，按照本實施方式的處理裝置100A與圖9所示的處理裝置100相比，相當于還追加了校正暗圖案保存部260、選擇器262、268、乘法運算部264。這些部位動態(tài)地確定上述的校正暗光譜。更具體地說，校正暗圖案保存部260按照能夠在光檢測器25中設定的多個曝光時間，分別存儲多個校正暗圖案261。各校正暗圖案261由與包含在檢測區(qū)域25a中的檢測元件數(shù)量對應的由至少被劃分出的N個成分值(lch，2ch，...，Nch)來定義。選擇器262以及乘法運算部264協(xié)同動作來動態(tài)地確定校正暗光譜。更具體地說，選擇器262選擇存儲在校正暗圖案保存部260中的多個校正暗圖案261中的與在光檢測器25中設定的曝光時間對應的校正暗圖案261。選擇器262按照時鐘信號CLOCK依次讀出所選擇的校正暗圖案261的成分值(比率)，并向乘法運算部264輸出。乘法運算部264對從選擇器262輸入的成分值(比率)乘以校正值AM，從而算出校正暗光譜。即，在本變形例中，使用校正值AM作為反映周圍溫度的參數(shù)。其原因在于，校正值AM是反映了獨立于測定光的雜散光的值，當該雜散光大小幾乎固定時，校正值AM的振幅的變動因素可視為周圍溫度的影響。因而，通過對與在光檢測器25中設定的曝光時間對應的校正暗圖案261乘以校正值AM，能夠確定(估計)目標校正暗光譜。在本實施方式中，多個校正暗圖案261作為用校正值AM進行了標準化的值，預先通過實驗來獲取?？紤]到這些多個校正暗圖案261為光檢測器25所固有的值的情況也較多。因此，例如也可以通過在按照本變形例的測定器主體2#的檢查完成時等的時候實際進行測定，由此確定多個校正暗圖案261。S卩，當將保存在校正暗圖案保存部260中的校正暗圖案261的各波長的成分值設為P(i){其中，1《i《N}時，保存在存儲器230中的校正暗光譜的各波長的信號強度D(i){其中，1《i《N}能夠表示為如下D(i)=AMXP(i){其中，1《i《N}。選擇器268按照與選擇器262共用的時鐘信號CLOCK,將從乘法運算部264輸出的校正暗光譜的各成分值依次保存到存儲器230。如以上那樣，作為將校正暗光譜的各成分值保存到存儲器230之后的動作，與上述圖9所示的處理裝置100相同，因此不重復詳細說明?！礈y定過程〉如上所述，在按照本變形例的光學特性測定裝置中，使用預先準備的校正暗圖案來算出校正暗光譜，因此不需要如上所述的暗測定。下面參照圖20來說明按照本變形例的測定過程。圖20是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例1的光學特性測定裝置的測定過程的流程圖。參照圖20，處理裝置IOOA判斷是否收到了測定開始指令(步驟S400)。在未收到測定開始指令的情況(在步驟S400中為"否"的情況)下，處理裝置IOOA等待到收到測定開始指令為止。此外，在收到測定開始指令之前，執(zhí)行對象物和/或光取出部6的定位使得從對象物放射的光被取入到光取出部6。另一方面，在收到了測定開始指令的情況(在步驟S400中為"是"的情況)下，處理裝置100A獲取在光檢測器25的檢測區(qū)域25a中檢測到的測定光譜、和在光檢測器25的校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度(步驟S402)。并且，處理裝置100A根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度來算出校正值(步驟S404)。更具體地說，算出在校正區(qū)域25b中檢測到的多個信號強度的平均值作為校正值。接著，處理裝置100A從在步驟S402中獲取的在檢測區(qū)域25a中檢測到的測定光譜所包含的各成分值(信號強度)中(一律)減去在步驟S404中算出的校正值，由此算出校正測定光譜(步驟S406)。S卩，處理裝置100A通過用根據(jù)在校正區(qū)域25b中檢測到的信號強度而算出的校正值對測定光譜進行校正來算出校正測定光譜。并行地，處理裝置IOOA讀出預先準備的多個校正暗圖案中與所設定的曝光時間對應的校正暗圖案(步驟S408)。接著，處理裝置100A通過對所讀出的校正暗圖案的各成分值乘以校正值AM來確定校正暗光譜(步驟S410)。接著，處理裝置100A從在步驟S406中算出的校正測定光譜的各成分值中減去在步驟S410中算出的校正暗光譜的對應的成分值，由此算出輸出光譜(步驟S412)。將該輸出光譜作為檢測結果輸出。之后，處理裝置100A判斷是否收到了測定中止指令(步驟S414)。在未收到測定中止指令的情況(在步驟S414中為"否"的情況)下，處理返回到步驟S400。另一方面，在收到了測定中止指令的情況(在步驟S414中為是的情況)下，結束處理。如以上那樣，在按照本變形例的光學特性測定裝置中無需預先進行暗測定。因此，能夠進一步縮短常規(guī)測定所需的時間?！幢緦嵤┓绞降淖饔眯Ч?gt;根據(jù)按照本變形例的光學特性測定裝置，根據(jù)預先準備的校正暗圖案來動態(tài)地確定能夠通過暗測定得到的校正暗光譜。因此，無需在常規(guī)測定之前進行暗測定。其結果，也可以不設置用于遮斷侵入到測定器主體內部的外界干擾光的快門。因而，能夠進一步簡化測定器主體的結構，并且還能夠降低制造成本。[變形例2]在上述的本發(fā)明的實施方式的變形例1中，例示出與能夠在光檢測器25中設定的多個曝光時間相對應地準備多個校正暗圖案的結構，但是也可以準備共用的校正暗圖案，確定校正暗光譜使其反映周圍溫度以及曝光時間。下面例示出用于根據(jù)這種共用的校正暗圖案來確定校正暗光譜的結構。按照本變形例的測定器主體的結構與圖12所示的按照變形例1的測定器主體相同，因此不重復詳細說明。按照本變形例的處理裝置中的控制結構與圖19所示的按照變形例1的處理裝置中的控制結構相比，僅用于確定校正暗光譜的結構不同，因此下面說明該不同的結構。圖21是表示按照本發(fā)明的實施方式的變形例2的光學特性測定裝置的處理裝置中的控制結構的主要部分的概要圖。參照圖21，按照本變形例的處理裝置包括共用校正暗圖案保存部270、選擇器272、對數(shù)運算部274、乘法運算部276、選擇器268以及存儲器230。共用校正暗圖案保存部270存儲共用的校正暗圖案。該共用的校正暗圖案由與包含在檢測區(qū)域25a中的檢測元件數(shù)量對應的至少被劃分出的N個成分值(lch，2ch，...，Nch)來定義。選擇器272、對數(shù)運算部274以及乘法運算部276協(xié)同動作來動態(tài)地確定校正暗光譜。校正暗光譜的振幅與光檢測器25的曝光時間的對數(shù)值成比例，因此對數(shù)運算部274以及乘法運算部276利用曝光時間的對數(shù)值來對共用校正暗圖案進行校正。同時，乘法運算部276用校正值AM來對共用校正暗圖案進行校正。由此，能夠根據(jù)共用校正暗圖案來確定反映了曝光時間以及測定時刻的周圍溫度的校正暗光譜。更具體地說，選擇器272依次讀出保存在共用校正暗圖案保存部270中的共用校正暗圖案的各成分值，并向乘法運算部276輸出。對數(shù)運算部274接收光檢測器25的曝光時間，輸出其對數(shù)值。乘法運算部276對從選擇器272輸入的成分值(比率)乘以作為校正值的曝光時間的對數(shù)值以及校正值AM，從而算出校正暗光譜。該校正暗光譜通過選擇器268保存到存儲器230。作為將校正暗光譜的各成分值存儲到存儲器230之后的動作，與上述圖9所示的處理裝置100相同，因此不重復詳細說明。如以上那樣，在按照本變形例的光學特性測定裝置中，只要預先準備共用的校正暗圖案即可，因此與準備多個校正暗圖案的情況相比，能夠進一步簡化結構。[變形例3]在上述本發(fā)明的實施方式的變形例1以及變形例2中，例示出預先獲取將校正暗光譜進行了標準化的校正暗圖案的結構，但是也可以預先獲取將暗光譜進行了標準化的暗圖案。即，作為表示光檢測器25的噪聲特性的圖案，也可以采用校正暗圖案以及暗圖案中的任意一個。在這種情況下，例如在按照上述變形例1的處理裝置100A中的控制結構(圖19)中，代替校正暗圖案保存部260而設置存儲按多個曝光時間分別獲取的多個暗圖案的暗圖案保存部。并且，通過選擇器262以及乘法運算部264來動態(tài)地確定暗光譜。此時，確定暗光譜而不是校正暗光譜，因此要進一步執(zhí)行用于將暗光譜校正為校正暗光譜的處理。典型的是，在圖19所示的乘法運算部264的后級設置與減法運算部216相同的減法運算部，該減法運算部從由乘法運算部264輸出的暗光譜的各成分值中減去校正值AM。由此，得到校正暗光譜。之后的處理與上述變形例l相同，因此不重復詳細說明。同樣地，在按照上述變形例2的處理裝置中的控制結構(圖21)中，代替共用校正暗圖案保存部270而設置存儲共用的暗圖案的共用暗圖案保存部。并且，通過選擇器272、對數(shù)運算部274以及乘法運算部276來動態(tài)地確定暗光譜。并且，還執(zhí)行用于將所確定的暗光譜校正為校正暗光譜的處理。典型的是，在圖21所示的乘法運算部276的后級設置與減法運算部216(圖19)相同的減法運算部，該減法運算部從由乘法運算部276輸出的暗光譜的各成分值中減去校正值AM。由此，得到校正暗光譜。之后的處理與上述變形例2相同，因此不重復詳細說明。[變形例4]在上述實施方式中，例示出將測定器主體2以及處理裝置IOO構成為各自獨立的裝置的情況，但是也可以構成為兩個裝置一體化。[變形例5]本發(fā)明所涉及的程序也可以是被提供為計算機操作系統(tǒng)(OS)的一部分的程序模塊中的、以規(guī)定排列、規(guī)定時刻調用所需模塊來執(zhí)行處理的程序。在這種情況下，程序本身不包含上述模塊，而是與OS協(xié)同動作來執(zhí)行處理。在本發(fā)明所涉及的程序中能夠包括這種不包含模塊的程序。并且，本發(fā)明所涉及的程序也可以是被提供為編入到其它程序的一部分中的程序。在這種情況下，程序本身也不包含上述其它程序中所包含的模塊，而是與其它程序協(xié)同動作來執(zhí)行處理。在本發(fā)明所涉及的程序中也能夠包括這種編入到其它程序中的程序。并且，也可以由專用硬件來構成由本發(fā)明所涉及的程序來實現(xiàn)的功能的一部分或者全部。詳細地說明而示出了本發(fā)明，但是這些僅是例示，并非是對發(fā)明的限定，應當清楚地理解本發(fā)明的精神和范圍僅由所附權利要求的范圍來限定。權利要求一種光學特性測定裝置，具備殼體；分光器，其配置在上述殼體內；遮斷部，其用于遮斷從上述殼體的外部向上述分光器入射的光；光檢測器，其配置在上述殼體內，用于接收由上述分光器分光而得到的光；以及處理部，其用于輸出上述光檢測器的檢測結果，其中，上述光檢測器具有范圍比來自上述分光器的光的入射面大的檢測面，上述處理部進行以下處理在遮斷向上述殼體入射的光之后，獲取在與來自上述分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的第一光譜和在與來自上述分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的第一信號強度；通過從上述第一光譜的各成分值中減去根據(jù)上述第一信號強度而算出的第一校正值來算出第一校正光譜；在打開上述遮斷部的狀態(tài)下獲取在上述第一檢測區(qū)域中檢測到的第二光譜和在上述第二檢測區(qū)域中檢測到的第二信號強度；通過從上述第二光譜的各成分值中減去根據(jù)上述第二信號強度而算出的第二校正值來算出第二校正光譜；以及通過從上述第二校正光譜的各成分值中減去上述第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜。2.根據(jù)權利要求1所述的光學特性測定裝置，其特征在于，上述光學特性測定裝置還具備截止濾光片，該截止濾光片配置在被取入到上述殼體內的光向上述分光器入射的光路上，用于遮斷波長比規(guī)定波長短的光。3.根據(jù)權利要求2所述的光學特性測定裝置，其特征在于，上述第二檢測區(qū)域設置在接著上述第一檢測區(qū)域的短波長側。4.根據(jù)權利要求13中的任一項所述的光學特性測定裝置，其特征在于，上述第二檢測區(qū)域包括多個檢測元件，上述第一校正值是由上述多個檢測元件分別檢測到的上述第一信號強度的平均值，上述第二校正值是由上述多個檢測元件分別檢測到的上述第二信號強度的平均值。5.根據(jù)權利要求13中的任一項所述的光學特性測定裝置，其特征在于，上述處理部包括用于保存上述第一校正光譜的存儲部。6.—種光學特性測定裝置，具備殼體；分光器，其配置在上述殼體內；光檢測器，其配置在上述殼體內，用于接收由上述分光器分光而得到的光；以及處理部，其用于輸出上述光檢測器的檢測結果，其中，上述光檢測器具有范圍比來自上述分光器的光的入射面大的檢測面，上述處理部進行以下處理獲取在與來自上述分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的測定光譜和在與來自上述分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的信號強度；通過根據(jù)上述信號強度對表示上述光檢測器的噪聲特性的預先準備的圖案進行校正來算出第一校正光譜；通過從上述測定光譜的各成分值中減去根據(jù)上述信號強度而算出的校正值來算出第二校正光譜；以及通過從上述第二校正光譜的各成分值中減去上述第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜。7.根據(jù)權利要求6所述的光學特性測定裝置，其特征在于，上述處理部與能夠在上述光檢測器中設定的多個曝光時間分別對應地存儲多個圖案，在算出上述第一校正光譜時，選擇與在上述光檢測器中設定的曝光時間對應的一個圖案。8.—種光學特性測定方法，具備以下步驟準備測定裝置的步驟，該測定裝置包括配置在殼體內的分光器、用于接收由上述分光器分光而得到的光的光檢測器，其中，上述光檢測器具有范圍比來自上述分光器的光的入射面大的檢測面；在遮斷向上述殼體入射的光的狀態(tài)下獲取在與來自上述分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的第一光譜和在與來自上述分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的第一信號強度的步驟；通過從上述第一光譜的各成分值中減去根據(jù)上述第一信號強度而算出的第一校正值來算出第一校正光譜的步驟；在打開遮斷部的狀態(tài)下獲取在上述第一檢測區(qū)域中檢測到的第二光譜和在上述第二檢測區(qū)域中檢測到的第二信號強度的步驟；通過從上述第二光譜的各成分值中減去根據(jù)上述第二信號強度而算出的第二校正值來算出第二校正光譜的步驟；以及通過從上述第二校正光譜的各成分值中減去上述第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜的步驟。9.一種光學特性測定方法，具備以下步驟準備測定裝置的步驟，該測定裝置包括配置在殼體內的分光器、用于接收由上述分光器分光而得到的光的光檢測器，其中，上述光檢測器具有范圍比來自上述分光器的光的入射面大的檢測面；獲取在與來自上述分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域中檢測到的測定光譜和在與來自上述分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域中檢測到的信號強度的步驟；通過根據(jù)上述信號強度對表示上述光檢測器的噪聲特性的預先準備的圖案進行校正來算出第一校正光譜的步驟；通過從上述測定光譜的各成分值中減去根據(jù)上述信號強度而算出的校正值來算出第二校正光譜的步驟；以及通過從上述第二校正光譜的各成分值中減去上述第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜的步驟。全文摘要提供一種適于光譜測定的光學特性測定裝置以及光學特性測定方法。處理部在遮斷向殼體入射的光后獲取在與來自分光器的光的入射面對應的第一檢測區(qū)域檢測到的第一光譜和在與來自分光器的光的入射面不同的第二檢測區(qū)域檢測到的第一信號強度，接著，從第一光譜的各成分值中減去根據(jù)第一信號強度算出的第一校正值來算出第一校正光譜。處理部在打開遮斷部的狀態(tài)下獲取在第一檢測區(qū)域檢測到的第二光譜和在第二檢測區(qū)域檢測到的第二信號強度，接著，從第二光譜的各成分值中減去根據(jù)第二信號強度算出的第二校正值來算出第二校正光譜。最終，處理部從第二校正光譜的各成分值中減去第一校正光譜的對應的成分值來算出作為測定結果的輸出光譜。文檔編號G01J1/42GK101726361SQ20091017817公開日2010年6月9日申請日期2009年10月15日優(yōu)先權日2008年10月15日發(fā)明者佐野弘幸,大久保和明,大島浩正,大川內真,志摩史郎,水口勉申請人:大電子株式會社