專利名稱：用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢測(cè)諸如原片玻璃板的透明平板的局部缺陷的裝置和方法。
技術(shù)背景
在諸如原片玻璃板的透明平板的制造過(guò)程中可能產(chǎn)生各種缺陷。常見(jiàn)缺陷包括 諸如氣泡、石頭或節(jié)瘤等的夾雜物，以及諸如錫滴、粘錫、滴落物、臟物、劃痕、碎片 或灰塵等的表面缺陷。浮法玻璃生產(chǎn)線上的在線檢測(cè)系統(tǒng)僅對(duì)于玻璃板中具有強(qiáng)畸變的 局部缺陷(諸如氣泡、石頭或節(jié)瘤)靈敏，但不能檢測(cè)具有弱畸變或沒(méi)有畸變的局部缺 陷，尤其不能檢測(cè)玻璃板上的表面缺陷(諸如錫滴、輥痕等)。實(shí)際上，由表面缺陷導(dǎo)致 的壞品率也是非常高的。人工離線抽樣檢測(cè)常常用于檢測(cè)不能由在線檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)的缺 陷。但是，人工檢測(cè)的效率比較低，不能滿足對(duì)生產(chǎn)線的實(shí)時(shí)質(zhì)量控制。
已經(jīng)開(kāi)發(fā)了許多檢測(cè)裝置和方法用于檢測(cè)原片玻璃板的局部缺陷。這些裝置大 多數(shù)是建立在具有不同照明模塊的線掃描相機(jī)的基礎(chǔ)之上的。這些裝置中沒(méi)有一個(gè)能夠 識(shí)別各種局部缺陷，尤其是具有弱畸變或沒(méi)有畸變的局部缺陷。而且，這些裝置大多數(shù) 只能確定缺陷的二維位置，難于確定缺陷在玻璃板橫斷面上的垂直位置。
US5790247A提出了一種用于識(shí)別表面缺陷和夾雜物的方法。該方法涉及兩種照 明模塊，即，內(nèi)側(cè)照明和外前側(cè)照明。在內(nèi)側(cè)照明中，具有布置成線光源的光纖抵靠在 玻璃板的邊緣。在外側(cè)照明中，光源是成銳角射向玻璃板表面的光。這兩種光源以不同 方式照亮缺陷，以使檢測(cè)裝置能夠識(shí)別缺陷類型以及缺陷位置。該方法只能識(shí)別灰塵和 夾雜物，不能確定缺陷的詳細(xì)類型。
FR2846096A1描述了基于面陣相機(jī)以及準(zhǔn)直光的裝置和方法。該裝置包括用于 向玻璃板表面發(fā)射平行光束的準(zhǔn)直光源、用于在屏幕上顯示玻璃表面圖像的光學(xué)系統(tǒng)、 以及用于分析顯示在屏幕上的圖像并且識(shí)別玻璃表面上的缺陷和確定缺陷位置的兩個(gè)面 陣相機(jī)。玻璃板被光束以在10-70度范圍內(nèi)的角度照亮，從而允許兩個(gè)相機(jī)同時(shí)分析 可能導(dǎo)致光束衍射以及散射或反射的缺陷。該裝置和方法只能識(shí)別具有畸變的缺陷。 FR2846096A1沒(méi)有清楚描述用于確定缺陷位置的方法。
因此，需要開(kāi)發(fā)一種用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置和方法，該裝置和方 法可以克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺點(diǎn)。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置和方法，該裝置 和方法不僅能夠識(shí)別透明平板的各種局部缺陷，而且能夠確定局部缺陷的三維位置。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，包括
用于記錄所述將被檢測(cè)的透明平板的圖像的面陣相機(jī)，所述面陣相機(jī)位于所述 將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)；
位于所述面陣相機(jī)與所述將被檢測(cè)的透明平板之間的鏡頭；
位于所述將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)并且發(fā)射平行光的準(zhǔn)直光源，所述平行光能 夠從所述準(zhǔn)直光源直接投射到所述將被檢測(cè)的透明平板上、并且被所述將被檢測(cè)的透明 平板反射到所述鏡頭，以形成明場(chǎng)反射；
位于所述將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)的低角度環(huán)形光源，來(lái)自所述低角度環(huán)形光 源的光能夠與所述將被檢測(cè)的透明平板的表面成銳角地投射到所述將被檢測(cè)的透明平板 上、并且與所述將被檢測(cè)的透明平板的表面成銳角地從所述將被檢測(cè)的透明平板的表面 反射，以形成暗場(chǎng)反射；以及
位于所述將被檢測(cè)的透明平板另一側(cè)的背光散射光源，來(lái)自背光散射光源的散 射背光能夠透過(guò)所述將被檢測(cè)的透明平板，使得大部分散射背光通過(guò)所述鏡頭被所述面 陣相機(jī)收集以形成明場(chǎng)透射。
優(yōu)選地，所述低角度環(huán)形光源設(shè)置成與所述準(zhǔn)直光源和所述鏡頭同軸。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括至少一個(gè)測(cè)量傳感 器，用于測(cè)量所述將被檢測(cè)的透明平板的厚度和平整度變化。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括至少一個(gè)空氣噴嘴， 用于產(chǎn)生氣流，以便將灰塵從所述將被檢測(cè)的透明平板的表面吹掉，從而減少假缺陷的量。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括第一控制模塊，所述 第一控制模塊用于自動(dòng)控制各個(gè)光源的開(kāi)/關(guān)和強(qiáng)度、并且用于控制所述面陣相機(jī)以捕 獲所述將被檢測(cè)的透明平板的圖像。
優(yōu)選地，所述鏡頭是定焦鏡頭。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括電動(dòng)馬達(dá)，所述電動(dòng) 馬達(dá)通過(guò)連接器與所述鏡頭連接，以便沿著豎直方向移動(dòng)所述鏡頭。
優(yōu)選地，所述面陣相機(jī)、所述鏡頭、所述電動(dòng)馬達(dá)、所述準(zhǔn)直光源和所述低角 度環(huán)形光源被封裝成視覺(jué)傳感器。
優(yōu)選地，所述視覺(jué)傳感器不僅能夠沿著水平面移動(dòng)，而且能夠沿著與所述水平 面垂直的豎直方向移動(dòng)，以調(diào)整所述視覺(jué)傳感器的三維位置。
優(yōu)選地，背光散射光源能夠沿著水平面移動(dòng)。
優(yōu)選地，背光散射光源的水平移動(dòng)與所述視覺(jué)傳感器的水平移動(dòng)同步進(jìn)行。
優(yōu)選地，所述視覺(jué)傳感器和所述背光散射光源由電動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地移動(dòng)。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括用于自動(dòng)地控制電動(dòng) 馬達(dá)運(yùn)行的第二控制模塊。
優(yōu)選地，所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括用于指揮所述用于檢 測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置、并且顯示被捕獲的圖像的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
優(yōu)選地，所述面陣相機(jī)是高分辨率的CCD、CMOS或其它面陣相機(jī)。
優(yōu)選地，所述鏡頭是變焦鏡頭。
根據(jù)本發(fā)明另一方面，還提供一種使用所述裝置來(lái)檢測(cè)透明平板的局部缺陷的 方法，所述方法包括如下步驟
在所述將被檢測(cè)的透明平板的表面上設(shè)置至少一個(gè)標(biāo)記；
對(duì)于將由所述面陣相機(jī)捕獲的所述透明平板的圖像，預(yù)定至少一個(gè)低分辨率和至少一個(gè)高分辨率；
分別在預(yù)定低分辨率和預(yù)定高分辨率下使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦；
在預(yù)定低分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行掃描檢測(cè)，以確定所有潛在 局部缺陷的水平位置；以及
在預(yù)定高分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)，以便識(shí)別在預(yù) 定低分辨率下通過(guò)掃描檢測(cè)已經(jīng)檢測(cè)到的缺陷的詳細(xì)類型并且計(jì)算其詳細(xì)信息。
優(yōu)選地，所述鏡頭是定焦鏡頭，使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦包括分別確定在所述預(yù)定 低分辨率和預(yù)定高分辨率下從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的像距、和從所述面陣相機(jī)到所 述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距。
優(yōu)選地，從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的像距分別直接基于所述預(yù)定分辨率被確 定；以及
在所述預(yù)定分辨率下從所述面陣相機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距 分別基于所設(shè)置的標(biāo)記和已確定像距被確定。
優(yōu)選地，從所述面陣相機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距分別直接基 于所述預(yù)定分辨率被確定；以及
在所述預(yù)定分辨率下從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的像距分別基于所設(shè)置的標(biāo)記 和已確定物距被確定。
優(yōu)選地，確定從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的像距包括相對(duì)于所述面陣相機(jī)調(diào)整 所述鏡頭的豎直位置，使得從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的距離等于在相應(yīng)分辨率下的像距值。
優(yōu)選地，確定從所述面陣相機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距包括在 保持從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的距離等于已確定像距時(shí)豎直移動(dòng)所述面陣相機(jī)、并且 獲得所述標(biāo)記的圖像的最佳銳度。
優(yōu)選地，確定從所述面陣相機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距包括相 對(duì)于所述將被檢測(cè)的透明平板的表面調(diào)整所述面陣相機(jī)的豎直位置，使得從所述面陣相 機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的距離等于在相應(yīng)分辨率下的物距值。
優(yōu)選地，確定從所述面陣相機(jī)到所述鏡頭的像距包括在保持從所述面陣相機(jī)到 所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的距離等于已確定物距時(shí)豎直移動(dòng)所述鏡頭、并且獲得 所述標(biāo)記的圖像的最佳銳度。
優(yōu)選地，所述鏡頭是變焦鏡頭，使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦包括調(diào)節(jié)所述變焦鏡頭的 環(huán)調(diào)節(jié)器，以分別獲得所述預(yù)定低分辨率和預(yù)定高分辨率。
優(yōu)選地，在預(yù)定低分辨率下的掃描檢測(cè)以及在預(yù)定高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)過(guò) 程中，所述面陣相機(jī)相對(duì)于所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的豎直位置被進(jìn)一步調(diào)整， 使得從所述面陣相機(jī)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的距離分別等于在所述預(yù)定低分 辨率和預(yù)定高分辨率下的物距值。
優(yōu)選地，在預(yù)定低分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行掃描檢測(cè)包括控 制所述裝置沿著X方向線性地連續(xù)移動(dòng)，接著，在沿著所述X方向的移動(dòng)完成之后控制 所述裝置沿著與X方向垂直的Y方向移動(dòng)一個(gè)距離，其中，當(dāng)所述裝置正沿著X方向線 性地連續(xù)移動(dòng)時(shí)，基于每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間的間隔觸發(fā)光源閃光、并且同步觸發(fā)所述面陣相機(jī)以上述間隔捕獲所述透明平板的圖像。
優(yōu)選地，所有潛在局部缺陷的水平位置通過(guò)分析在低分辨率下的掃描檢測(cè)過(guò)程 中獲得的圖像來(lái)確定。
優(yōu)選地，在同一行的每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間沿著X方向具有重疊區(qū)M、并且在兩 個(gè)相鄰行的圖像之間沿著Y方向具有重疊區(qū)N。
優(yōu)選地，所述背光散射光源或所述準(zhǔn)直光源被用于在掃描檢測(cè)過(guò)程中照亮所述 透明平板。
優(yōu)選地，在預(yù)定高分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)包括
將所述面陣相機(jī)、所述鏡頭、所述準(zhǔn)直光源、所述低角度環(huán)形光源和所述背光 散射光源水平地移向由所述掃描檢測(cè)確定的缺陷的水平位置；
在與所述透明平板厚度相等的距離上豎直向下移動(dòng)所述面陣相機(jī)、所述鏡頭、 所述準(zhǔn)直光源和所述低角度環(huán)形光源；以及
在所述面陣相機(jī)、所述鏡頭、所述準(zhǔn)直光源和所述低角度環(huán)形光源的向下移動(dòng) 過(guò)程中交替地觸發(fā)三個(gè)光源閃光、并且同步捕獲從所述透明平板的上表面到下表面的多 個(gè)層面的圖像，使得對(duì)于每個(gè)層面獲得在三種照明模式下的三幅圖像。
優(yōu)選地，所述缺陷的豎直位置通過(guò)分析在三種照明模式下這些被捕獲圖像的銳 度來(lái)確定。
優(yōu)選地，所述缺陷的詳細(xì)類型和尺寸通過(guò)分析在三種照明模式下的缺陷特征來(lái)確定。
優(yōu)選地，所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法還包括在點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)過(guò)程中基 于所述透明平板的厚度或平整度的測(cè)量變化自動(dòng)并且精確地重新調(diào)整物距。
優(yōu)選地，所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法還包括在點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)過(guò)程中基 于所述透明平板的厚度或平整度的測(cè)量變化自動(dòng)并且精確地重新調(diào)整像距。
優(yōu)選地，所述將被檢測(cè)的透明平板是玻璃板。


圖1是一個(gè)示意主視圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置；
圖2是一個(gè)示意側(cè)視圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置；
圖3示意地顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置的移動(dòng)；
圖4a示意地顯示了低分辨率下的掃描檢測(cè)模式；
圖4b示意地顯示了每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間的重疊；以及
圖5a和5b示意地顯示了高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)模式。
具體實(shí)施方式
以下將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置和 方法。只有根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置的主要組成部件被顯示在 附圖中，而為了清楚和簡(jiǎn)潔起見(jiàn)，一些公知的組成部件諸如用于支承主要組成部件的機(jī)架沒(méi)有被顯示。根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)置和方法將示例性地被描述成用于檢測(cè)玻璃板的局部缺 陷。但是應(yīng)理解的是，根據(jù)本發(fā)明的裝置和方法可以檢測(cè)任何透明平板(諸如用于光伏 玻璃、電鉻顯示器基板，OLED，LED, FPD (LCD&PDP),以及用于薄膜沉積的基板等) 的局部缺陷，以滿足無(wú)缺陷、高水平和高質(zhì)量的要求。
參照?qǐng)D1和2，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置大體包括用于 支承玻璃板1的支架(未示出)。用于記錄玻璃板1的圖像的面陣相機(jī)3位于用于支承 玻璃板1的支架上方。優(yōu)選地，面陣相機(jī)3是高分辨率面陣CCD、CMOS或任何其它面 陣相機(jī)。定焦鏡頭5設(shè)置在面陣相機(jī)3下方。電動(dòng)馬達(dá)7通過(guò)連接器9與定焦鏡頭5連 接，以便沿著豎直方向移動(dòng)定焦鏡頭5，使得定焦鏡頭5相對(duì)于面陣相機(jī)3的豎直位置， 即，定焦鏡頭5與面陣相機(jī)3之間的距離可被調(diào)整以改變面陣相機(jī)3的視場(chǎng)(FOV)。
根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還包括三個(gè)照明模塊，艮口， 準(zhǔn)直光源11、低角度環(huán)形光源13和背光散射光源15。準(zhǔn)直光源11也位于用于支承玻璃 板1的支架上方。來(lái)自準(zhǔn)直光源11的平行光沿著準(zhǔn)直軸直接投射到玻璃板1上。從玻 璃板1向著定焦鏡頭5反射的光形成明場(chǎng)反射(BFR)。如果存在具有畸變的缺陷，諸如 在玻璃板1中的石頭、節(jié)瘤、或氣泡，異常的灰度分布出現(xiàn)在玻璃板1在平行光明場(chǎng)反射 下的圖像中。
低角度環(huán)形光源13也位于用于支承玻璃板1的支架上方、并且設(shè)置成與準(zhǔn)直光 源11和定焦鏡頭5同軸。來(lái)自低角度環(huán)形光源13的光與玻璃板1的表面成銳角地投射 到玻璃板1的表面上、并且與玻璃板1的表面成銳角地從玻璃板1的表面反射。所述銳 角優(yōu)選地小于45°。在低角度環(huán)形光下，如果玻璃板1中不存在缺陷，幾乎沒(méi)有光從玻 璃板1反射到定焦鏡頭5，玻璃板1的圖像是清晰的并且是黑色的。只有那些具有不規(guī)則 表面的缺陷諸如錫滴、碎片或灰塵等可將低角度環(huán)形光反射到定焦鏡頭5以形成暗場(chǎng)反 射(DFR)。
背光散射光源15位于用于支承玻璃板1的支架下方。來(lái)自背光散射光源15的 散射背光透過(guò)玻璃板1，使得大部分散射背光可通過(guò)定焦鏡頭5由面陣相機(jī)3收集，以形 成明場(chǎng)透射(BFT)。在明場(chǎng)透射下可獲得具有大對(duì)比度的清晰照片。具有規(guī)則形狀的缺 陷諸如氣泡可被識(shí)別。
優(yōu)選地，面陣相機(jī)3、定焦鏡頭5、電動(dòng)馬達(dá)7、準(zhǔn)直光源11和低角度環(huán)形光源 13可以被封裝成一個(gè)視覺(jué)傳感器17并且位于用于支承玻璃板1的支架上方。
根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置還可以包括至少一個(gè)測(cè)量傳 感器19和至少一個(gè)空氣噴嘴21。在圖1和2中，顯示了兩個(gè)測(cè)量傳感器19和兩個(gè)空氣 噴嘴21位于用于支承玻璃板1的支架上方。測(cè)量傳感器19用于測(cè)量玻璃板1的厚度和 平整度的變化?？諝鈬娮?1用于產(chǎn)生氣流，以便將灰塵從玻璃板1的上表面吹掉，從而 減少假缺陷的量。
應(yīng)理解的是，面陣相機(jī)3、定焦鏡頭5、電動(dòng)馬達(dá)7、準(zhǔn)直光源11、低角度環(huán)形 光源13、測(cè)量傳感器19和空氣噴嘴21可以位于用于支承玻璃板1的支架下方。在這種 情況下，背光散射光源15可以位于用于支承玻璃板1的支架上方。
根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置可以包括第一控制模塊(未 示出)，以自動(dòng)控制各個(gè)光源的開(kāi)/關(guān)和強(qiáng)度。
根據(jù)本發(fā)明，包括面陣相機(jī)3、定焦鏡頭5、電動(dòng)馬達(dá)7、準(zhǔn)直光源11和低角度 環(huán)形光源13的視覺(jué)傳感器17不僅可以沿著水平面移動(dòng)，而且還可以沿著與水平面垂直的 豎直方向移動(dòng)，以調(diào)整視覺(jué)傳感器17的三維位置。背光散射光源15可以僅沿著水平面 移動(dòng)。優(yōu)選地，背光散射光源15的水平移動(dòng)與視覺(jué)傳感器17的水平移動(dòng)同步進(jìn)行。優(yōu) 選地，視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15由相應(yīng)的電動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地移動(dòng)。
圖3示意地顯示了視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15的移動(dòng)。顯示了五個(gè)軸XI、 YU ζ、X2和Y2，以限定視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15的移動(dòng)方向，其中，Z軸與 軸XI、YU X2和Y2垂直。視覺(jué)傳感器17可以沿著由軸Xl和Yl限定的水平面移動(dòng) 以調(diào)整其水平位置。背光散射光源15可以沿著由軸X2和Y2限定的水平面與視覺(jué)傳感 器17 —起移動(dòng)以調(diào)整其水平位置。視覺(jué)傳感器17還可以沿著Z軸移動(dòng)以調(diào)整其豎直位 置。與由電動(dòng)馬達(dá)7進(jìn)行的調(diào)整結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)面陣相機(jī)3的自動(dòng)對(duì)焦，以便在不同視場(chǎng)和 分辨率下觀察玻璃板的圖像。測(cè)量傳感器19和空氣噴嘴21與視覺(jué)傳感器17是分開(kāi)的、 并且在視覺(jué)傳感器17的移動(dòng)過(guò)程中位于到玻璃板1的下表面固定距離處。根據(jù)本發(fā)明的 用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置可以包括第二控制模塊(未示出)，以自動(dòng)控制所有 電動(dòng)馬達(dá)的運(yùn)行。
優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置可以包括與第一控 制模塊、第二控制模塊、面陣相機(jī)3和測(cè)量傳感器19連接的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可 以基于用戶的輸入信息和來(lái)自測(cè)量傳感器的信息指揮第一控制模塊和第二控制模塊、并 且顯示玻璃板的圖像。
根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置可以兩種檢測(cè)模式操作低 分辨率下的掃描檢測(cè)和高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)。低分辨率下的掃描檢測(cè)用于檢測(cè)玻璃 板中所有潛在缺陷。高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)用于識(shí)別已經(jīng)檢測(cè)到的缺陷的詳細(xì)類型、 并且計(jì)算已經(jīng)檢測(cè)到的缺陷的詳細(xì)信息，諸如三維位置、尺寸等。
以下將參照?qǐng)D4和5解釋根據(jù)本發(fā)明的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置的操 作。
1、在不同分辨率下的自動(dòng)對(duì)焦
在進(jìn)行任何檢測(cè)之前，兩個(gè)標(biāo)記23 (圖中僅顯示了一個(gè)標(biāo)記)分別設(shè)置在玻璃板 1的上表面和下表面上，這兩個(gè)標(biāo)記23用于校準(zhǔn)在不同分辨率下從面陣相機(jī)3到玻璃板1 的上表面和下表面的物距。應(yīng)理解的是，可以在玻璃板1的表面上僅設(shè)置一個(gè)標(biāo)記。對(duì) 于預(yù)定分辨率，具有從面陣相機(jī)3到定焦鏡頭5的確定像距值。通過(guò)電動(dòng)馬達(dá)7調(diào)整定 焦鏡頭5相對(duì)于面陣相機(jī)3的豎直位置使得從面陣相機(jī)3到定焦鏡頭5的距離與相應(yīng)分辨 率的確定像距值對(duì)應(yīng)，可以獲得不同視場(chǎng)和分辨率。對(duì)于該預(yù)定分辨率，通過(guò)在保持從 面陣相機(jī)3到定焦鏡頭5的距離等于確定像距值時(shí)沿著Z軸豎直移動(dòng)面陣相機(jī)3 (即，視 覺(jué)傳感器17)、并且獲得標(biāo)記的圖像的最佳銳度，兩個(gè)標(biāo)記在面陣相機(jī)3中被成像，從而 自動(dòng)地確定在該預(yù)定分辨率下從面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)到玻璃板1的上表面或下 表面的物距。
在自動(dòng)對(duì)焦過(guò)程中，也可以在調(diào)整像距之前調(diào)整物距。對(duì)于預(yù)定分辨率，具有 從面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)到玻璃板1的表面的確定物距值。在這種情況下，通 過(guò)相對(duì)于玻璃板1的表面調(diào)整面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)的豎直位置使得從面陣相機(jī)3(或視覺(jué)傳感器17)到玻璃板1的表面的距離與相應(yīng)分辨率的確定物距值對(duì)應(yīng)，可以獲得 不同視場(chǎng)和分辨率。對(duì)于該預(yù)定分辨率，通過(guò)在保持從面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)到 玻璃板1的表面的距離等于確定物距值時(shí)沿著Z軸豎直移動(dòng)定焦鏡頭5、并且獲得標(biāo)記的 圖像的最佳銳度，兩個(gè)標(biāo)記在面陣相機(jī)3中被成像，從而自動(dòng)地確定在該預(yù)定分辨率下 從面陣相機(jī)3到定焦鏡頭5的像距。
2、低分辨率下的掃描檢測(cè)
低分辨率下的掃描檢測(cè)的主要目的是通過(guò)在低分辨率下高速地掃描玻璃板1的 整個(gè)區(qū)域以檢測(cè)所有潛在缺陷。為此，僅僅一個(gè)光源(諸如背光散射光源15或準(zhǔn)直光源 11)用于照亮玻璃板1。在預(yù)定低分辨率下，當(dāng)定焦鏡頭5處于確定像距處、并且視覺(jué)傳 感器17處于確定物距處時(shí)，沿著大體上類似于“Z”的路徑進(jìn)行掃描檢測(cè)，即，首先， 控制視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15沿著X方向線性地連續(xù)移動(dòng)，接著，在沿著X方 向的移動(dòng)完成之后控制視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15沿著與X方向垂直的Y方向移 動(dòng)一個(gè)距離。該過(guò)程重復(fù)進(jìn)行直到視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15以這種方式通過(guò)玻 璃板1的整個(gè)區(qū)域，如圖4a所示。當(dāng)視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15正沿著X方向 線形地連續(xù)移動(dòng)時(shí)，第一控制模塊基于每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間的間隔發(fā)出脈沖以觸發(fā)選定 光源閃光、并且同步控制面陣相機(jī)3以上述間隔捕獲玻璃板1的圖像。為了確保玻璃板 1的所有區(qū)域被成像以便被檢測(cè)，在同一行的每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間沿著X方向具有重疊區(qū) M、并且在兩個(gè)相鄰行的圖像之間沿著Y方向具有重疊區(qū)N，如圖4b所示。
在低分辨率下的掃描檢測(cè)過(guò)程中，如果背光散射光源15被用于照亮玻璃板1， 除節(jié)瘤之外的所有局部缺陷可以通過(guò)閥值分割被檢測(cè)到。如果準(zhǔn)直光源11被用于照亮玻 璃板1，通過(guò)將玻璃板具有缺陷的圖像與玻璃板沒(méi)有缺陷的清晰圖像進(jìn)行對(duì)比，可以檢測(cè) 所有潛在局部缺陷。所有潛在局部缺陷的水平位置可以通過(guò)分析在低分辨率下的掃描檢 測(cè)過(guò)程中獲得的圖像被確定。
3、高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)
高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)的目的是為了識(shí)別由低分辨率下的掃描檢測(cè)已經(jīng)檢測(cè) 到的缺陷的詳細(xì)類型、并且計(jì)算其詳細(xì)信息，諸如缺陷的豎直位置和尺寸等。在高分辨 率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)的過(guò)程中，三個(gè)光源將被交替地使用。
在進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)之前，根據(jù)自動(dòng)對(duì)焦的校準(zhǔn)結(jié)果，定焦鏡頭5被電動(dòng)馬達(dá)7移 動(dòng)到固定豎直位置以獲得更小視場(chǎng)和更高分辨率。在該固定豎直位置，從面陣相機(jī)3到 定焦鏡頭5的距離等于與預(yù)定高分辨率對(duì)應(yīng)的確定像距值。接著，面陣相機(jī)3被沿著Z 軸豎直地移動(dòng)，使得從面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)到玻璃板1的上表面的物距等于與 該預(yù)定高分辨率對(duì)應(yīng)的確定物距值以便在玻璃板1的上表面聚焦。
為了識(shí)別由掃描檢測(cè)已經(jīng)檢測(cè)到的處于確定水平位置的一個(gè)缺陷的詳細(xì)類型并 且計(jì)算其信息，視覺(jué)傳感器17和背光散射光源15被水平移動(dòng)以便分別處于已經(jīng)檢測(cè)到的 該缺陷的確定水平位置的上方和下方。接著，視覺(jué)傳感器17被控制成在與玻璃板1的厚 度相等的距離上沿著Z軸(豎直方向)向下移動(dòng)，如圖5b所示。在視覺(jué)傳感器17的移 動(dòng)過(guò)程中，第一控制模塊每隔一定間隔發(fā)出脈沖以交替地觸發(fā)三個(gè)光源11、13和15閃 光。同時(shí)，面陣相機(jī)3捕獲從玻璃板1的上表面到下表面的多個(gè)層面的圖像。對(duì)于每個(gè) 層面，可以獲得在三種不同照明模式下的三幅圖像。通過(guò)分析這些圖像的銳度，可以確12定缺陷的豎直位置(上表面、內(nèi)部或下表面)。通過(guò)分析在三種照明模式下缺陷的特征， 可以確定缺陷的詳細(xì)類型(例如錫滴、粘錫、氣泡、石頭、碎片、滴落物或劃痕等)以及 尺寸。上述步驟被重復(fù)以識(shí)別其它缺陷的詳細(xì)類型并且計(jì)算其詳細(xì)信息，如圖5a所示。 圖5a和恥中所示黑點(diǎn)表示潛在缺陷。
在點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)過(guò)程中，玻璃板1的厚度或平整度可能由于諸如玻璃板彎曲變形 等原因發(fā)生變化。測(cè)量傳感器19可以測(cè)量玻璃板1的厚度和平整度的變化。當(dāng)測(cè)量傳 感器19測(cè)到這種變化時(shí)，面陣相機(jī)3 (或視覺(jué)傳感器17)的豎直位置可自動(dòng)并且精確地以 上述方式被重新調(diào)整以適應(yīng)這種變化，從而提高圖像質(zhì)量。
在本發(fā)明的上述實(shí)施例中，使用的是定焦鏡頭。應(yīng)理解的是，可以使用變焦鏡 頭來(lái)代替定焦鏡頭。當(dāng)使用變焦鏡頭時(shí)，可以更簡(jiǎn)單方式實(shí)現(xiàn)不同分辨率。具體地，在 不同分辨率下的自動(dòng)對(duì)焦過(guò)程中，通過(guò)調(diào)節(jié)變焦鏡頭的環(huán)調(diào)節(jié)器，可以獲得不同視場(chǎng)。 為了獲得高質(zhì)量的圖像，在預(yù)定低分辨率下的掃描檢測(cè)以及在預(yù)定高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn) 檢測(cè)過(guò)程中，面陣相機(jī)相對(duì)于玻璃板的表面的豎直位置被細(xì)微地調(diào)整，使得從面陣相機(jī) 到玻璃板的表面的距離分別等于在相應(yīng)分辨率下的物距值。其它操作步驟大體上與上述 實(shí)施例中的步驟相同。
當(dāng)使用定焦鏡頭時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)更好的光學(xué)性能、并且獲得成本低廉的裝置和方 法。
盡管參照附圖以非限定性方式詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)理解的是， 在不脫離本發(fā)明權(quán)利要求限定的范圍的情況下可以做出各種改變和修改。例如，面陣相 機(jī)、定焦鏡頭、電動(dòng)馬達(dá)、準(zhǔn)直光源和低角度環(huán)形光源可以不被封裝。此外，用于支承 玻璃板的支架可以是與根據(jù)本發(fā)明的裝置分開(kāi)的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的裝置可以手動(dòng)地而 不是自動(dòng)地被調(diào)整或移動(dòng)。而且，根據(jù)本發(fā)明的裝置可以不移動(dòng)，而是玻璃板三維地移 動(dòng)。所有這些改變和修改都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，包括用于記錄所述將被檢測(cè)的透明平板的圖像的面陣相機(jī)(3)，所述面陣相機(jī)(3)位于所 述將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)；位于所述面陣相機(jī)(3)與所述將被檢測(cè)的透明平板之間的鏡頭(5)；位于所述將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)并且發(fā)射平行光的準(zhǔn)直光源(11)，所述平行光能 夠從所述準(zhǔn)直光源(11)直接投射到所述將被檢測(cè)的透明平板上、并且被所述將被檢測(cè)的 透明平板反射到所述鏡頭(5)，以形成明場(chǎng)反射；位于所述將被檢測(cè)的透明平板一側(cè)的低角度環(huán)形光源(13)，來(lái)自所述低角度環(huán)形光 源(13)的光能夠與所述將被檢測(cè)的透明平板的表面成銳角地投射到所述將被檢測(cè)的透明 平板上、并且與所述將被檢測(cè)的透明平板的表面成銳角地從所述將被檢測(cè)的透明平板的 表面反射，以形成暗場(chǎng)反射；以及位于所述將被檢測(cè)的透明平板另一側(cè)的背光散射光源(15)，來(lái)自背光散射光源(15) 的散射背光能夠透過(guò)所述將被檢測(cè)的透明平板，使得大部分散射背光通過(guò)所述鏡頭(5) 被所述面陣相機(jī)(3)收集以形成明場(chǎng)透射。
2.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述低角 度環(huán)形光源(13)設(shè)置成與所述準(zhǔn)直光源(11)和所述鏡頭(5)同軸。
3.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括至 少一個(gè)測(cè)量傳感器(19)，用于測(cè)量所述將被檢測(cè)的透明平板的厚度和平整度變化。
4.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括至 少一個(gè)空氣噴嘴(21)，用于產(chǎn)生氣流，以便將灰塵從所述將被檢測(cè)的透明平板的表面吹 掉，從而減少假缺陷的量。
5.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括第 一控制模塊，所述第一控制模塊用于自動(dòng)控制各個(gè)光源的開(kāi)/關(guān)和強(qiáng)度、并且用于控制 所述面陣相機(jī)(3)以捕獲所述將被檢測(cè)的透明平板的圖像。
6.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述鏡頭 (5)是定焦鏡頭。
7.如權(quán)利要求6所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括電 動(dòng)馬達(dá)(7)，所述電動(dòng)馬達(dá)(7)通過(guò)連接器(9)與所述鏡頭(5)連接，以便沿著豎直方向 移動(dòng)所述鏡頭(5)。
8.如權(quán)利要求7所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述面陣 相機(jī)(3)、所述鏡頭(5)、所述電動(dòng)馬達(dá)(7)、所述準(zhǔn)直光源(11)和所述低角度環(huán)形光源 (13)被封裝成視覺(jué)傳感器(17)。
9.如權(quán)利要求8所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述視 覺(jué)傳感器(17)不僅能夠沿著水平面移動(dòng)，而且能夠沿著與所述水平面垂直的豎直方向移 動(dòng)，以調(diào)整所述視覺(jué)傳感器(17)的三維位置。
10.如權(quán)利要求9所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，背光散 射光源(15)能夠沿著水平面移動(dòng)。
11.如權(quán)利要求10所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，背光散 射光源(15)的水平移動(dòng)與所述視覺(jué)傳感器(17)的水平移動(dòng)同步進(jìn)行。
12.如權(quán)利要求11所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述視 覺(jué)傳感器(17)和所述背光散射光源(15)由電動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地移動(dòng)。
13.如權(quán)利要求12所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括 用于自動(dòng)地控制電動(dòng)馬達(dá)運(yùn)行的第二控制模塊。
14.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，還包括 用于指揮所述用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置、并且顯示被捕獲的圖像的計(jì)算機(jī)系 統(tǒng)。
15.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述鏡 頭(5)是變焦鏡頭。
16.如權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，其特征在于，所述將 被檢測(cè)的透明平板是玻璃板。
17.一種使用如權(quán)利要求1所述的裝置來(lái)檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，所述方法 包括如下步驟在所述將被檢測(cè)的透明平板的表面上設(shè)置至少一個(gè)標(biāo)記；對(duì)于將由所述面陣相機(jī)(3)捕獲的所述透明平板的圖像，預(yù)定至少一個(gè)低分辨率和 至少一個(gè)高分辨率；分別在預(yù)定低分辨率和預(yù)定高分辨率下使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦；在預(yù)定低分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行掃描檢測(cè)，以確定所有潛在局部 缺陷的水平位置；以及在預(yù)定高分辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)，以便識(shí)別在預(yù)定低 分辨率下通過(guò)掃描檢測(cè)已經(jīng)檢測(cè)到的缺陷的詳細(xì)類型并且計(jì)算其詳細(xì)信息。
18.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述鏡頭 (5)是定焦鏡頭，使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦包括分別確定在所述預(yù)定低分辨率和預(yù)定高分辨率 下從所述面陣相機(jī)⑶到所述鏡頭(5)的像距、和從所述面陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè)的 透明平板的表面的物距。
19.如權(quán)利要求18所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，從所述面陣 相機(jī)⑶到所述鏡頭(5)的像距分別直接基于所述預(yù)定分辨率被確定；以及在所述預(yù)定分辨率下從所述面陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距 分別基于所設(shè)置的標(biāo)記和已確定像距被確定。
20.如權(quán)利要求18所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，從所述面 陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距分別直接基于所述預(yù)定分辨率被確 定；以及在所述預(yù)定分辨率下從所述面陣相機(jī)⑶到所述鏡頭(5)的像距分別基于所設(shè)置的標(biāo) 記和已確定物距被確定。
21.如權(quán)利要求19所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，確定從所述 面陣相機(jī)(3)到所述鏡頭(5)的像距包括相對(duì)于所述面陣相機(jī)(3)調(diào)整所述鏡頭(5)的豎 直位置，使得從所述面陣相機(jī)⑶到所述鏡頭(5)的距離等于在相應(yīng)分辨率下的像距值。
22.如權(quán)利要求21所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，確定從所述 面陣相機(jī)⑶到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距包括在保持從所述面陣相機(jī)⑶到所述鏡頭(5)的距離等于已確定像距時(shí)豎直移動(dòng)所述面陣相機(jī)(3)、并且獲得所述標(biāo)記的 圖像的最佳銳度。
23.如權(quán)利要求20所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，確定從所述 面陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè)的透明平板的表面的物距包括相對(duì)于所述將被檢測(cè)的透明 平板的表面調(diào)整所述面陣相機(jī)(3)的豎直位置，使得從所述面陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè) 的透明平板的表面的距離等于在相應(yīng)分辨率下的物距值。
24.如權(quán)利要求23所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，確定從所述 面陣相機(jī)(3)到所述鏡頭(5)的像距包括在保持從所述面陣相機(jī)(3)到所述將被檢測(cè)的透 明平板的表面的距離等于已確定物距時(shí)豎直移動(dòng)所述鏡頭(5)、并且獲得所述標(biāo)記的圖像 的最佳銳度。
25.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述鏡頭是 變焦鏡頭，使所述鏡頭自動(dòng)對(duì)焦包括調(diào)節(jié)所述變焦鏡頭的環(huán)調(diào)節(jié)器，以分別獲得所述預(yù) 定低分辨率和預(yù)定高分辨率。
26.如權(quán)利要求25所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，在預(yù)定低分 辨率下的掃描檢測(cè)以及在預(yù)定高分辨率下的點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)過(guò)程中，所述面陣相機(jī)相對(duì)于所 述將被檢測(cè)的透明平板的表面的豎直位置被進(jìn)一步調(diào)整，使得從所述面陣相機(jī)到所述將 被檢測(cè)的透明平板的表面的距離分別等于在所述預(yù)定低分辨率和預(yù)定高分辨率下的物距 值。
27.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，在預(yù)定低分 辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行掃描檢測(cè)包括控制所述裝置沿著X方向線性地 連續(xù)移動(dòng)，接著，在沿著所述X方向的移動(dòng)完成之后控制所述裝置沿著與X方向垂直的 Y方向移動(dòng)一個(gè)距離，其中，當(dāng)所述裝置正沿著X方向線性地連續(xù)移動(dòng)時(shí)，基于每?jī)蓚€(gè) 相鄰圖像之間的間隔觸發(fā)光源閃光、并且所述面陣相機(jī)(3)同時(shí)以上述間隔捕獲所述透 明平板的圖像。
28.如權(quán)利要求27所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所有潛在局 部缺陷的水平位置通過(guò)分析在低分辨率下的掃描檢測(cè)過(guò)程中獲得的圖像來(lái)確定。
29.如權(quán)利要求27所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，在同一行的 每?jī)蓚€(gè)相鄰圖像之間沿著X方向具有重疊區(qū)M、并且在兩個(gè)相鄰行的圖像之間沿著Y方 向具有重疊區(qū)N。
30.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述背光散 射光源(15)或所述準(zhǔn)直光源(11)被用于在掃描檢測(cè)過(guò)程中照亮所述透明平板。
31.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，在預(yù)定高分 辨率下對(duì)所述將被檢測(cè)的透明平板進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)檢測(cè)包括將所述面陣相機(jī)(3)、所述鏡頭(5)、所述準(zhǔn)直光源(11)、所述低角度環(huán)形光源(13) 和所述背光散射光源(15)水平地移向由所述掃描檢測(cè)已經(jīng)確定的缺陷的水平位置；在與所述透明平板厚度相等的距離上豎直向下移動(dòng)所述面陣相機(jī)(3)、所述鏡頭 (5)、所述準(zhǔn)直光源(11)和所述低角度環(huán)形光源(13)；以及在所述面陣相機(jī)(3)、所述鏡頭(5)、所述準(zhǔn)直光源(11)和所述低角度環(huán)形光源(13) 的向下移動(dòng)過(guò)程中交替地觸發(fā)三個(gè)光源(11、13、15)閃光、并且捕獲從所述透明平板的上表面到下表面的多個(gè)層面的圖像，使得對(duì)于每個(gè)層面獲得在三種照明模式下的三幅圖像。
32.如權(quán)利要求31所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述缺陷的 豎直位置通過(guò)分析在三種照明模式下這些被捕獲圖像的銳度來(lái)確定。
33.如權(quán)利要求31所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述缺陷的 詳細(xì)類型和尺寸通過(guò)分析在三種照明模式下的缺陷特征來(lái)確定。
34.如權(quán)利要求31所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，還包括在點(diǎn) 到點(diǎn)檢測(cè)過(guò)程中基于所述透明平板的厚度或平整度的測(cè)量變化自動(dòng)并且精確地重新調(diào)整 物距。
35.如權(quán)利要求17所述的檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法，其特征在于，所述將被檢 測(cè)的透明平板是玻璃板。
全文摘要
本發(fā)明提供用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的裝置，包括面陣相機(jī)(3)；鏡頭(5)，鏡頭可沿著豎直方向移動(dòng)以調(diào)整從鏡頭到面陣相機(jī)的像距；可形成明場(chǎng)反射的準(zhǔn)直光源(11)；可形成暗場(chǎng)反射的低角度環(huán)形光源(13)；以及可形成明場(chǎng)透射的背光散射光源(15)。本發(fā)明還提供用于檢測(cè)透明平板的局部缺陷的方法。根據(jù)本發(fā)明的裝置和方法不僅能夠識(shí)別透明平板的各種局部缺陷，而且能夠確定局部缺陷的三維位置。
文檔編號(hào)G01B11/06GK102023164SQ20091017587
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2009年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月23日
發(fā)明者史偉杰, 鄭媛, 郭峰, 郭曉鋒, 陳大志 申請(qǐng)人:法國(guó)圣-戈班玻璃公司