專利名稱：用于確定用于檢測(cè)芯片上的故障的相關(guān)值以及確定芯片上的位置的故障概率的方法和裝置的制作方法
用于確定用于檢測(cè)芯片上的故障的相關(guān)值以及確定芯片上 的位置的故障概率的方法和裝置
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及例如在模擬或無線射頻(RF)電路中對(duì)芯片或其它器件的測(cè)試以及對(duì)那些芯片或器件上的故障的診斷。在已知的方法中，電路行為針對(duì)在每種處理參數(shù)的相關(guān)組合下的每種可能的故 障被仿真，并被存儲(chǔ)在故障字典中。對(duì)被診斷電路或被測(cè)試器件(DUT)的測(cè)量結(jié)果被與 故障字典中的所有條目進(jìn)行比較，其中故障字典中最相似的條目標(biāo)識(shí)被診斷出的故障。 這種方法很直接，但是需要大量的長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的仿真。此外，它需要對(duì)測(cè)試條件的建模。 F. Liu、S. 0. Ozev 描述了一個(gè)不例,Efficient Simulation of Parametric Faults for Multi-StageAnalog Circuits (對(duì)多級(jí)模擬電路的參數(shù)故障的高效仿真)，ITC 2007”。診斷故障的能力對(duì)于良率學(xué)習(xí)(yield learning)是非常關(guān)鍵的，例如提高生產(chǎn)期 間的良率，但是糾正措施只有在故障的物理本質(zhì)已知時(shí)才是可能的。與用于數(shù)字系統(tǒng)的故 障診斷相比，對(duì)于在模擬或射頻(RF)電路中的例如表現(xiàn)為參數(shù)變化的故障而言還沒有已 知的實(shí)用方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例的目的在于實(shí)現(xiàn)在大量制造期間對(duì)參數(shù)故障的實(shí)用故障診斷。本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種用于確定相關(guān)值(relevance value) R(i，m)的方法， 每個(gè)相關(guān)值表示用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i與第二數(shù) 目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合(i，m)的相關(guān)性，所述方法包括在第一數(shù)目I個(gè)輸 入節(jié)點(diǎn)處應(yīng)用第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試，其中第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試k為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn) i定義一測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)；針對(duì)所述第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試k測(cè)量在第二數(shù) 目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的信號(hào)，以針對(duì)第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量 節(jié)點(diǎn)m獲得第三數(shù)目K個(gè)測(cè)量值，其中每個(gè)測(cè)量值Y(k，m)與測(cè)量所針對(duì)的測(cè)試k和被測(cè)量 的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)；確定相關(guān)值R(i，m)，其中每個(gè)相關(guān)值是基于針對(duì)相應(yīng)組合中的輸入 節(jié)點(diǎn)i所定義的第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)U(k，i)和與所述相應(yīng)組合(i，m)中的測(cè)量節(jié) 點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目K個(gè)測(cè)量值Y(k，m)之間的互相關(guān)性(correlation)來計(jì)算的。本發(fā)明的其它實(shí)施例提供了一種用于確定芯片上的位置(X，y，ζ)的故障概率 F(x, y, ζ)的方法，包括以下步驟確定相關(guān)值(R(i，m))，每個(gè)相關(guān)值表示用于檢測(cè)芯片上 的故障的第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i與第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m 的組合(i，m)的相關(guān)性；針對(duì)芯片的第四數(shù)目P個(gè)信號(hào)路徑中的每個(gè)信號(hào)路徑ρ確定從位 置(X，y，Z)到所述芯片上的第四數(shù)目？個(gè)信號(hào)路徑中的每個(gè)路徑的距離!^^^^)，。!!!， P)，其中每個(gè)信號(hào)路徑P從所述第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i延伸到所述第二數(shù) 目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m ；以及基于將距離L((x，y，ζ)，i，m, ρ)與用相應(yīng)路徑ρ延 伸開始的輸入節(jié)點(diǎn)i與所述相應(yīng)路徑P所延伸至的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合的相關(guān)值R(i，m)加 權(quán)的所述第四數(shù)目P個(gè)路徑中的每個(gè)路徑相加，來確定故障概率F (X，y，ζ)。
本發(fā)明基于如下發(fā)現(xiàn)當(dāng)在測(cè)試組中測(cè)量m的偏差與輸入i互相關(guān)時(shí)，被診斷出的故障位置在輸入i被應(yīng)用到的位置A(i)與測(cè)量m被執(zhí)行的位置B (m)之間。這假定輸入i 感知到了故障。當(dāng)輸入i只影響故障檢測(cè)能力并且信號(hào)圖已知時(shí)，被診斷到的故障位置在從A(i) 至IjB(m)的信號(hào)路徑上。測(cè)量m與用測(cè)量m的總體偏差加權(quán)的輸入i的所有互相關(guān)C(i，m)的疊加降低了 位置模糊性。本發(fā)明的實(shí)施例不需要故障模型，不需要對(duì)器件的詳細(xì)認(rèn)知、不需要對(duì)測(cè)試建模 并且也完全不需要仿真。對(duì)于特定實(shí)施例，只有輸入i被應(yīng)用的輸入節(jié)點(diǎn)的位置以及測(cè)量m被執(zhí)行的測(cè)量 節(jié)點(diǎn)m的位置需要是已知的。此外，對(duì)于另外一些實(shí)施例，將特定輸入節(jié)點(diǎn)i與特定測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相連接的信號(hào)路 徑P的位置也是已知的。這些實(shí)施例能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)芯片的故障電路元件的精確自動(dòng)定位。


下文中參考附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行描述圖1示出了射頻收發(fā)器的電路圖。圖2示出了根據(jù)第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC-I和第一低通濾波器LP-TI的輸入選項(xiàng)在第 一混合器Mx-TI處的測(cè)量值的示例性表格。圖3示出了在封裝設(shè)計(jì)上的系統(tǒng)中的根據(jù)圖1的電路的透視圖。圖4示出了本發(fā)明的實(shí)施例所生成的示例性輸入選項(xiàng)U(k，i)和相應(yīng)的測(cè)量值 Yd(k, m) O圖5示出了包括輸入選項(xiàng)U(k，i)的所有可能組合的示例性輸入表格以及包括本 發(fā)明的實(shí)施例所生成的隨機(jī)輸入選項(xiàng)U(k，i)的第二輸入表格。圖6示出了圖4的輸入選項(xiàng)表格的枚舉式版本的圖4的示例性輸入表格以及本發(fā) 明實(shí)施例所生成的針對(duì)D個(gè)器件的如圖4中所示的相應(yīng)測(cè)量的偏差(deviation) μ Y(k，m)。圖7示出了還包括針對(duì)故障器件的示例性測(cè)量值的圖2的表格。圖8示出了本發(fā)明的實(shí)施例所生成的圖4的示例性輸入選項(xiàng)U(k，i)和故障器件 的測(cè)量值Y(k，m)。圖9示出了從圖8的輸入選項(xiàng)U (k，i)得到的標(biāo)準(zhǔn)化的輸入選項(xiàng)V (k，i)以及從圖 8的測(cè)量值Y(k，m)得到的標(biāo)準(zhǔn)化的偏差值Z(k，m)。圖10示出了本發(fā)明實(shí)施例所生成的示例性相關(guān)矩陣R(i，m)。圖11示出了圖3的透視圖以及位置(450，500，0)與從第一激勵(lì)節(jié)點(diǎn)DAC-I到第 三測(cè)量節(jié)點(diǎn)PA的信號(hào)路徑的距離L。圖12示出了在對(duì)信號(hào)路徑有所認(rèn)知的情況下本發(fā)明的實(shí)施例所生成的示例性故 障位置概率的表示。圖13示出了用于找到信號(hào)圖中的路徑的實(shí)施例的算法的偽碼。圖14示出了位置χ及其到信號(hào)路徑的線段的距離d。圖15示出了用于計(jì)算從位置到多邊形的最近距離以及計(jì)算從位置到線段的距離的本發(fā)明實(shí)施例的算法的偽碼。圖16示出了在對(duì)信號(hào)路徑的位置沒有認(rèn)知的情況下本發(fā)明的實(shí)施例所生成的示 例性故障位置概率。圖17示出了用于確定用于檢測(cè)芯片上的故障的相關(guān)值R(i，m)的方法的實(shí)施例的 流程圖。圖18示出了用于確定芯片上的位置的故障概率的方法的實(shí)施例的流 程圖。
具體實(shí)施例方式在下文中，相同的標(biāo)號(hào)將被用在不同的附圖中，用于指代相同的特征或者具有類 似功能的特征。在本申請(qǐng)的上下文中，兩種類型的輸入或測(cè)試輸入被區(qū)分為“激勵(lì)(stimuli)” 和“條件(condition)”。激勵(lì)通?！凹ぐl(fā)”或生成信號(hào)以感知可能的故障。例如，激勵(lì)可以是_電壓源，例如Vdd-外部波形發(fā)生器-內(nèi)部數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)。激勵(lì)被從內(nèi)部或外部提供的位置被稱為激勵(lì)節(jié)點(diǎn)。第二種類型的輸入(條件)通過影響從激勵(lì)節(jié)點(diǎn)到測(cè)量節(jié)點(diǎn)的信號(hào)路徑上的信號(hào) 來影響故障可檢測(cè)性。例如，條件可以是-增益或?yàn)V波器設(shè)置-數(shù)字調(diào)諧字-旁路模式_信號(hào)路徑選擇、切換-校正DAC，例如偏移校正-溫度這些條件輸入被應(yīng)用的位置被稱作條件節(jié)點(diǎn)或者統(tǒng)稱為輸入節(jié)點(diǎn)。激勵(lì)節(jié)點(diǎn)和條 件節(jié)點(diǎn)兩者也都被稱為輸入節(jié)點(diǎn)。此外，激勵(lì)也被稱為激勵(lì)輸入、激勵(lì)輸入選項(xiàng)或信號(hào)，并 且條件被稱為條件輸入、輸入選項(xiàng)或參數(shù)，其中激勵(lì)和條件也都被總地稱為輸入、測(cè)試輸入 或測(cè)試輸入選項(xiàng)。術(shù)語(yǔ)“選項(xiàng)”只表示通常這些輸入是從多個(gè)可能的輸入中被選擇的。例如，激勵(lì)和條件可以被建模為以下模型中的一個(gè)-浮點(diǎn)數(shù)，例如供電電壓，-整數(shù)，例如DAC碼字，-布爾邏輯，-枚舉類型，例如激勵(lì)是快正弦、慢正弦或斜波函數(shù)，其中所枚舉的類型被建模為 在同一位置處的多個(gè)布爾輸入。應(yīng)當(dāng)注意，波形通常被建模為從可用波形中選擇出的波形，例如上述被枚舉的類 型，而不被建模為陣列。測(cè)量被執(zhí)行或者換言之信號(hào)的值被測(cè)量的位置被稱為測(cè)量節(jié)點(diǎn)。
每個(gè)測(cè)量被建模為標(biāo)量浮點(diǎn)數(shù)。如針對(duì)被枚舉的輸入類型所描述的從一個(gè)被捕 獲波形中提取的多個(gè)特征，例如THD和SINAD，作為在同一位置處(相應(yīng)地在同一測(cè)量節(jié)點(diǎn) 處)的多個(gè)測(cè)量。例如-外部供電電流測(cè)量，例如Iddq-內(nèi)建電流或功率或速度傳感器-來自被捕獲波形的THD值-被檢測(cè)到的超范圍(over-range)“是”=+1或“否” =-1。圖1示出了具有4個(gè)輸入或輸入節(jié)點(diǎn)以及8個(gè)測(cè)量或測(cè)量節(jié)點(diǎn)的射頻(RF)收發(fā) 器的示例性示圖。收發(fā)器100的發(fā)送器或發(fā)送器部件110包括用于將數(shù)字ι-信號(hào)轉(zhuǎn)變成 模擬I-信號(hào)的第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_I 112、用于將數(shù)字Q-信號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬Q-信號(hào)的第二 數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_Q 114、鎖相環(huán)PLL 116、用于對(duì)模擬I-信號(hào)進(jìn)行低通濾波的第一低通濾波 器LP_TI 118、用于對(duì)模擬Q-信號(hào)進(jìn)行低通濾波的第二低通濾波器LP_TQ 120、移相器122、 第一混合器Mx-TI 124、第二混合器Mx-TQ 126、求和器S 128和功率放大器PA 130。接收器或接收器部件140包括低噪聲放大器LNA 142、第二鎖相環(huán)144、第二移 相器146、第三混合器Mx-RI 148、第四混合器Mx-RQ 150、用于將模擬I-信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字 I-信號(hào)的第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_I 152以及用于將模擬Q-信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字Q-信號(hào)的第二模 數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_Q 154。此外，收發(fā)器電路100包括衰減器元件Att 160。圖1中的箭頭示出了起始于收發(fā)器電路100的不同電路元件的信號(hào)路徑和相應(yīng)信 號(hào)流的方向。如圖1中所示，第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_I 112的輸出端口被連接到第一低通濾波 器LP_TI 118的輸入端口，第二數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_Q 114的輸出端口被連接到第二低通濾波 器LP_TQ 120的輸入端口，鎖相環(huán)116的輸出端口被連接到移相器122的輸入端口，并且 第一低通濾波器LP_TI 118的輸出端口和移相器122的0°輸出端口被連接到第一混合 器Mx-TI 124的輸入端口，第二低通濾波器LP_TQ 120的輸出端口和移相器122的90°輸 出端口被連接到第二混合器Mx-TQ 126，第一混合器Mx-TI 124的輸出端口和第二混合器 Mx-TQ 126的輸出端口被連接到求和器S 128，求和器128的輸出端口被連接到功率放大 器130的輸入端口，并且提供發(fā)送信號(hào)TX的功率放大器130的輸出端口被連接到衰減元件 160。又如圖1中所示，提供接收信號(hào)RX的衰減器元件160被連接到低噪聲放大器142 的輸入端口，低噪聲放大器142的輸出端口被連接到第三混合器Mx-RI 148的輸入端口以 及第四混合器Mx-RQ 150的輸入端口，第二鎖相環(huán)PLL 144的輸出端口被連接到第二移相 器146的輸入端口，第二移相器146的相位的0°輸出端口被連接到第三混合器148的另一 輸入端口，第二移相器146的90°輸出端口被連接到第四混合器150的另一輸入端口，第三 混合器148的輸出端口被連接到第三低通濾波器152的輸入端口，第四混合器150的輸出 端口被連接到第四低通濾波器LP_RQ 154的輸入端口，第三低通濾波器152的輸出端口被 連接到第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_I156，并且第四低通濾波器LP_RQ 154的輸出端口被連接到第 二模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_Q 158的輸入端口。
另外，在圖1中，四個(gè)示例性輸入節(jié)點(diǎn)被顯示，參見圖1中的點(diǎn)線圓圈中的數(shù)字1 到4，這些輸入節(jié)點(diǎn)在說明書中也被稱作第一到第四輸入節(jié)點(diǎn)或1”到4”。圖1中所示的8 個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)在下面的說明書中也將被稱為第一到第八測(cè)量節(jié)點(diǎn)或1’到8’，參見虛線方框 中的數(shù)字1到8。輸入節(jié)點(diǎn)1”和2”是激勵(lì)節(jié)點(diǎn)，其中輸入節(jié)點(diǎn)1”的位置對(duì)應(yīng)于第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器 DAC_I 112的輸出端口的位置，或者可以更籠統(tǒng)地對(duì)應(yīng)于第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_I 112自身 的位置，并且第二輸入節(jié)點(diǎn)2”的位置對(duì)應(yīng)于第二數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_Q 114的輸出端口的位 置，或者可以更籠統(tǒng)地對(duì)應(yīng)于第二數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC_Q 114自身的位置。輸入節(jié)點(diǎn)3”和4” 是條件節(jié)點(diǎn)，其中輸入節(jié)點(diǎn)3”的位置對(duì)應(yīng)于第一低通濾波器118的位置，并且其中輸入節(jié) 點(diǎn)4”的位置對(duì)應(yīng)于第二低通濾波器120的位置。測(cè)量節(jié)點(diǎn)1’的位置對(duì)應(yīng)于第一混合器124的輸出端口的位置或者第一混合器124 自身的位置，第二測(cè)量節(jié)點(diǎn)2’的位置對(duì)應(yīng)于第二混合器126的輸出端口的位置或者混合器 126自身的位置，第三測(cè)量節(jié)點(diǎn)的位置對(duì)應(yīng)于功率放大器130的輸出端口的位置或者功率 放大器130自身的位置。第四測(cè)量節(jié)點(diǎn)4’的位置對(duì)應(yīng)于低噪聲放大器142的輸出節(jié)點(diǎn)的 位置或者對(duì)應(yīng)于低噪聲放大器142自身的位置，第五測(cè)量節(jié)點(diǎn)5’的位置對(duì)應(yīng)于第三混合器 148的輸出端口的位置或者第三混合器148自身的位置，第六測(cè)量節(jié)點(diǎn)6’的位置對(duì)應(yīng)于第 四混合器150的輸出端口的位置或者第四混合器150自身的位置，第七測(cè)量節(jié)點(diǎn)7’的位置 對(duì)應(yīng)于第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_I 156的輸入節(jié)點(diǎn)的位置或者對(duì)應(yīng)于第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器156自身 的位置，并且第八測(cè)量節(jié)點(diǎn)8’的位置對(duì)應(yīng)于第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC_Q 158的輸入端口的位置 或者對(duì)應(yīng)于第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器158自身的位置。換言之，輸入節(jié)點(diǎn)和測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每一個(gè)都與收發(fā)器電路的特定電路元件相關(guān) 聯(lián)，例如，第一輸入節(jié)點(diǎn)與第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器112相關(guān)聯(lián)。因此，便于實(shí)現(xiàn)對(duì)故障電路元件的 定位，如下面將要描述的。下面，將基于如圖1中所示的收發(fā)器電路更詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施例，并且進(jìn) 一步簡(jiǎn)化假設(shè)條件，即數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC) 112,114產(chǎn)生幅值為“1”的IMHz或IOMHz的音 調(diào)，低通濾波器(LP)總是使IMHz的音調(diào)通過并且只有在20MHz模式下才使IOMHz的音調(diào)通 過，第一混合器Mx-I 124和第二混合器Mx-TQ 126將通過音調(diào)的幅度相加。換言之，在第 一和第二混合器124和126處，幅度值為0或1的通過音調(diào)的和被測(cè)量，如圖2所示。在功 率放大器PA 130處，由第一和第二混合器124、126輸出的音調(diào)幅度和的一半被測(cè)量。為了 簡(jiǎn)單起見，在所有其它測(cè)量節(jié)點(diǎn)處，與在功率放大器130處測(cè)量的相同的被測(cè)量值被返回。圖2示出了取決于在作為激勵(lì)節(jié)點(diǎn)的第一輸入節(jié)點(diǎn)1”處所應(yīng)用的測(cè)試輸入、根據(jù) 前述簡(jiǎn)化設(shè)備功能在第一混合器Mx-TI 124的輸出端口處測(cè)量到的信號(hào)值的表格，第一數(shù) 模轉(zhuǎn)換器112所生成的IMHz或IOMHz音調(diào)通過該激勵(lì)節(jié)點(diǎn)被應(yīng)用，并且針對(duì)第一低通濾波 器LP-TI 118的兩個(gè)節(jié)點(diǎn)，應(yīng)用2MHz或20MHz模式。從圖2中可以看出，從第一數(shù)模轉(zhuǎn)換 器112在第一輸入節(jié)點(diǎn)1”處所應(yīng)用的IMHz的音調(diào)無衰減地通過，而IOMHz的音調(diào)則在第 一低通濾波器LP-TI 118具有20MHz的音調(diào)時(shí)無衰減通過，見在第一混合器Mx-TI 124處 所測(cè)量到的值“1”，并且在第一低通濾波器LP-TI 18在2MHz模式下時(shí)被完全阻斷，見在第 一混合器MX-TI124處所測(cè)量到的值“0”。圖3示出了作為“封裝系統(tǒng)”(SIP)實(shí)現(xiàn)方式的根據(jù)圖1的收發(fā)器電路的實(shí)現(xiàn)，該電路包括厚度為50 μ m的第一或低層芯片或裸片和被裝在第一芯片或相應(yīng)的裸片上部的 第二芯片或裸片。從圖3中可以看出，除功率放大器130、低噪聲放大器142和衰減器元件 160以外的所有電路元件都被布置在第一或低層裸片內(nèi)，而前述元件被布置第二或上層芯 片內(nèi)。就圖3而言，29個(gè)節(jié)點(diǎn)η = 1. . . 29已被定義以描述電路元件和連接電路元件的 信號(hào)路徑的位置。因此，例如，每個(gè)信號(hào)路徑可以被描述為一個(gè)或多個(gè)被連接的直線信號(hào)路 徑段，每個(gè)路徑段用兩個(gè)節(jié)點(diǎn)η = 1. . . 29來定義。換言之，信號(hào)路徑段302可以用節(jié)點(diǎn)16 和17描述，并且信號(hào)路徑段304用節(jié)點(diǎn)17和18來描述。因而，該電路的圖可以用其信號(hào) 路徑段或節(jié)點(diǎn)連接來描述，例如{...，(16，17)(17，18)...}。
從圖3中還可以看出，第一輸入節(jié)點(diǎn)1’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)1，第二輸入節(jié)點(diǎn)2’對(duì)應(yīng)于節(jié) 點(diǎn)2，第三輸入節(jié)點(diǎn)3”對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)3，第四輸入節(jié)點(diǎn)4”對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)4，第一測(cè)量節(jié)點(diǎn)1’對(duì)應(yīng) 于節(jié)點(diǎn)5，第二測(cè)量節(jié)點(diǎn)2’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)6，第一鎖相環(huán)對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)7，第一移相器122對(duì)應(yīng) 于節(jié)點(diǎn)8，第三測(cè)量節(jié)點(diǎn)3’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)13，第四測(cè)量節(jié)點(diǎn)4’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)17，第五測(cè)量節(jié)點(diǎn) 5’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)22，第六測(cè)量節(jié)點(diǎn)6’對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)23，第七測(cè)量節(jié)點(diǎn)V對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)26，并且 第八測(cè)量節(jié)點(diǎn)8，對(duì)應(yīng)于節(jié)點(diǎn)27。在上層裸片上實(shí)現(xiàn)的收發(fā)器電路100的電路部分通過由 節(jié)點(diǎn)11和12定義的上行鏈路和由節(jié)點(diǎn)18和19定義的下行鏈路被連接到在下層裸片上實(shí) 現(xiàn)的收發(fā)器的電路部分。本發(fā)明的特定實(shí)施例包括提供以下信息來執(zhí)行診斷或診斷算法a)關(guān)于節(jié)點(diǎn)的信息，如節(jié)點(diǎn)的名稱和位置，例如對(duì)于節(jié)點(diǎn)η = 9 名稱=DAC-Iji 置(600，400，0)；b)關(guān)于輸入(i = 1. . . 4)的信息，如節(jié)點(diǎn)編號(hào)和激勵(lì)或條件選項(xiàng)，例如對(duì)于輸入i =3 節(jié)點(diǎn):n = 3，選項(xiàng){2MHz, 20MHz}；c)關(guān)于測(cè)量(m = 1. . . 8)的信息，如測(cè)量索引和節(jié)點(diǎn)編號(hào)或節(jié)點(diǎn)索引，例如對(duì)于m =8 節(jié)點(diǎn)27 ；d)關(guān)于圖和節(jié)點(diǎn)連接的信息，例如{. . .，(16，17)，(17，18)，. . . }。就本發(fā)明的實(shí)施例而言，兩個(gè)階段，即“器件特征化”和“診斷”被區(qū)分開。下面， 將描述“器件特征化”階段。在器件特征化期間，合格器件或者換言之沒有或可忽略故障的器件用K個(gè)測(cè)試來 評(píng)估，每個(gè)測(cè)試在已知的I個(gè)輸入選項(xiàng)u(k，i)的組合下返回m個(gè)測(cè)量值Y(k，m)，其中k = 1 …K, m = 1 …M, i = 1…I ο下面，將顯示和描述矩陣形式的各種表格，例如用于測(cè)試輸入選項(xiàng)、測(cè)量值、測(cè)量 偏差、互相關(guān)值或相關(guān)值。在該上下文中，像U(k，i)的術(shù)語(yǔ)將被用于指代矩陣或表格中的 單個(gè)元素，單個(gè)元素和相應(yīng)的該元素的位置將用其行索引k和其列索引i來定義，并且U或 將被用于Ukx1將被用于指代表格或矩陣自身，K表示行或排編號(hào)，而I表示矩陣的列編號(hào)。圖4在左手側(cè)示出了用于根據(jù)圖1的收發(fā)器電路和基于圖1和圖2所描述的更 簡(jiǎn)化假設(shè)的示例性測(cè)試輸入矩陣U。該測(cè)試輸入矩陣U或Ukx1是KX I矩陣，其中K為測(cè)試 編號(hào)，I為不同輸入節(jié)點(diǎn)的編號(hào)。測(cè)試輸入矩陣U 410 (也可以被稱為測(cè)試輸入場(chǎng)景或策略 410)為四個(gè)(I = 4)輸入節(jié)點(diǎn)中的每一個(gè)和16個(gè)(K = 16)測(cè)試中的每一個(gè)定義可能的選 項(xiàng)中的一個(gè)選項(xiàng)，如基于圖2所描述的。測(cè)試輸入矩陣U 410的每一列i指定在K= 16個(gè)測(cè)試期間被應(yīng)用于特定輸入節(jié)點(diǎn)的輸入選項(xiàng)。測(cè)試輸入矩陣U 410的每一行或排k指定對(duì) 于各個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試被應(yīng)用于I = 4個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)的輸入選項(xiàng)。在圖4的右手側(cè)，測(cè)量矩陣Yd 460被示出，該矩陣包含針對(duì)K = 16個(gè)測(cè)試中的每 個(gè)測(cè)試在M = 8個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處所測(cè)得的信號(hào)值。測(cè)量矩陣Yd 460的每 一列m包含針對(duì)K= 16個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試在相應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m處所測(cè)得的信號(hào)值。測(cè) 量矩陣460的每一行k包含針對(duì)K = 16個(gè)測(cè)試中的特定測(cè)試k在M = 8個(gè)不同的測(cè)量節(jié) 點(diǎn)處所測(cè)得的信號(hào)值。換言之，測(cè)試輸入場(chǎng)景或短期輸入場(chǎng)景Ukx1 410包括K個(gè)測(cè)試，參見矩陣的各個(gè) 行，其中K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試k為I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)i指定J個(gè)可能的輸 入選項(xiàng)中的輸入選項(xiàng)j，其中輸入選項(xiàng)j是由測(cè)試索引和輸入索引i所指定的矩陣元素中所 包含的內(nèi)容。返回到圖4的右手側(cè)，測(cè)量或測(cè)量值Yd(k，m)也可以用測(cè)量表或矩陣YKxM(即相應(yīng) 的Yd) 460的形式來表示，該矩陣460包括針對(duì)K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試k (參見矩陣的行)在 M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)m處測(cè)得的信號(hào)值(參見矩陣的列)。換言之，測(cè)量矩陣Yd 包含針對(duì)用測(cè)試索引k(矩陣的行)表示的每個(gè)測(cè)試和針對(duì)用測(cè)量索引m(參見矩陣的列) 所表示的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)在測(cè)試k期間在相應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m處所測(cè)得的相應(yīng)的信號(hào)值。為了更容易理解，在圖4中，測(cè)試索引k從1到16被示出，代替輸入索引i和測(cè)量 索引m，根據(jù)圖1的各個(gè)電路元件被示出。例如，對(duì)于測(cè)試k = 1，兩個(gè)數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC-I和DAC-Q應(yīng)用IMHz的音調(diào)作為輸 入選項(xiàng)，并且兩個(gè)低通濾波器LP-TI和LP-TQ工作在或應(yīng)用2MHz模式作為輸入選項(xiàng)，使得 IMHz的信號(hào)無衰減地通過兩個(gè)低通濾波器。當(dāng)被測(cè)試器件是無故障的“合格器件”時(shí)，在測(cè) 量節(jié)點(diǎn)1’(對(duì)應(yīng)Mx-TI)和測(cè)量節(jié)點(diǎn)2’(對(duì)應(yīng)Μχ-TQ)，信號(hào)值“1”被測(cè)得。功率放大器PA 測(cè)量?jī)蓚€(gè)混合器Mx-TI和Mx-TQ所提供的值的總和的一半，使得在測(cè)量節(jié)點(diǎn)3’處同樣是值 “1”被測(cè)得。如前所述，為了簡(jiǎn)單起見，所有其它測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的所有其它測(cè)量返回與功率放 大器PA相同的值，如測(cè)量矩陣460中最上面一行中針對(duì)測(cè)試k = 1的測(cè)得值。對(duì)于測(cè)試k = 2，第一數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC-I應(yīng)用IOMHz的音調(diào)，第二數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC-Q 應(yīng)用IMHz的音調(diào)，并且就測(cè)試k = 1而言，低通濾波器LP-TI和LP-TQ應(yīng)用2MHz模式作為 輸入選項(xiàng)。如基于圖2所描述的，第一混合器Mx-TI過濾IOMHz的信號(hào)，并且只有第二混合 器Mx-TQ使信號(hào)值為“1”的信號(hào)通過到達(dá)求和器S 128和功率放大器PA 130。功率放大器 PA測(cè)得被過濾信號(hào)的和的一半，使得在第三測(cè)量節(jié)點(diǎn)PA處，被測(cè)得的值只有0. 5。后面的 測(cè)量節(jié)點(diǎn)都返回相同的值(即0. 5)作為功率放大器PA。對(duì)于測(cè)試k = 16，數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC-I和DAC-Q應(yīng)用IOMHz的音調(diào)作為輸入選項(xiàng)，并且低通濾波器LP-TI和LP-TQ應(yīng)用20MHz模式作為輸入選項(xiàng)，使得IOMHz的信號(hào)都能被傳 送到兩個(gè)混合器Mx-TI和Mx-TQ，其中在每個(gè)混合器處，信號(hào)值“ 1 ”被測(cè)得，并且相應(yīng)地在功 率放大器PA處被測(cè)得(參見圖4 20MHz LP濾波器使IOMHz的音調(diào)通過)。測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)或輸入場(chǎng)景U可以由測(cè)試工程師基于例如經(jīng)驗(yàn)、關(guān)于典型關(guān) 鍵路徑或電路元件的知識(shí)來定義，或者可以采用自動(dòng)測(cè)試程序生成(ATPG)的概念被自動(dòng) 生成。這些被自動(dòng)生成或選擇的輸入選項(xiàng)可以基于隨機(jī)選項(xiàng)，例如參見圖5的右手側(cè)的測(cè) 試輸入選項(xiàng)U(k，i)，或者可以包括測(cè)試輸入選項(xiàng)的所有可能的組合，參見圖5的左手側(cè)的u(k，i)的例子。在測(cè)試輸入選項(xiàng)的自動(dòng)生成中，不合法、無意義或者重復(fù)的組合可以被去 除。在其它實(shí)施例中，第一組測(cè)試可以由測(cè)試工程師生成，然后通過第二組自動(dòng)生成 的輸入選項(xiàng)來改進(jìn)，從而以高效的方式生成整個(gè)測(cè)試場(chǎng)景。在特征化期間的下一步驟中，平均值yY(k，m)和標(biāo)準(zhǔn)偏差0Y(k，m)針對(duì)來自統(tǒng) 計(jì)意義上足夠多的器件D的所有KXM個(gè)測(cè)量被收集或確定，其中用于該特征化的每個(gè)器件 用d = 1.. .D來索引。圖6在右手側(cè)示出了可以用平均測(cè)量矩陣μγ,ΚχΜ的形式表示的示例性平均測(cè)量 yY(k, m)，如基于圖4描述的各個(gè)測(cè)量矩陣YKxM。為了在特征化期間進(jìn)行統(tǒng)計(jì)評(píng)估，器件d 的這些個(gè)體測(cè)量矩陣將被稱為Yd (k，m)。換言之，平均測(cè)量矩陣包括針對(duì)K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試、通過將相同的輸入場(chǎng)景 U(k, i)應(yīng)用到D個(gè)合格器件上所得到的針對(duì)M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的平均信 號(hào)值，參見矩陣中的行。為了簡(jiǎn)單起見，所有KXM個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差被設(shè)定為0Y(k，m) =0.1。在圖6的左手側(cè)，對(duì)圖4的測(cè)試輸入場(chǎng)景U 410的替代表示被示出，其中代替對(duì)不 同輸入選項(xiàng)的文本或數(shù)字表示，使用了索引或枚舉類型的表示。對(duì)于兩個(gè)激勵(lì)節(jié)點(diǎn)DAC-I 和DAC-Q，索引j = 1表示IMHz的音調(diào)，索引j = 2表示IOMHz的音調(diào)。對(duì)于條件節(jié)點(diǎn)LP-TI 和LP-TQ，索引j = 1表示2MHz模式，索引j = 2表示20MHz模式。對(duì)輸入場(chǎng)景的枚舉或索引表示的優(yōu)點(diǎn)不僅在于個(gè)體信號(hào)值可以被使用，而且例如 快正弦、慢正弦或斜坡函數(shù)之類的波形也可以被使用。下一步，解釋對(duì)可能有故障的器件的“診斷”或測(cè)試，所述可能有故障的器件也被 稱為待測(cè)試器件(DUT)。下面，為了示例性目的，假設(shè)待測(cè)試器件(DUT)是有故障的，因?yàn)榈谝坏屯V波器 LP-TI在20MHz模式下只能使IOMHz音調(diào)的幅度的一半通過。所有其它測(cè)量相當(dāng)于被特征 化的平均，或者換言之，等于在特征化期間所得到的平均值，并且在該示例中假設(shè)沒有隨機(jī)偏差。在圖7中，針對(duì)“無故障”的器件在第一測(cè)量節(jié)點(diǎn)Mx-TI處的測(cè)得值被顯示在逗號(hào) 的左側(cè)，而針對(duì)前述具有前述“故障”的有缺陷器件的測(cè)得值被顯示在逗號(hào)的右側(cè)。針對(duì) “無故障”的測(cè)得值與圖2中所示的值相對(duì)應(yīng)。從圖7中可以看出，故障只在第一激勵(lì)節(jié)點(diǎn) DAC-I應(yīng)用IOMHz的音調(diào)并且第一條件節(jié)點(diǎn)LP-TI應(yīng)用20MHz的音調(diào)的情況下出現(xiàn)。換言 之，故障被應(yīng)用第二輸入選項(xiàng)的第一輸入節(jié)點(diǎn)DAC-I感知，并且只在第一條件節(jié)點(diǎn)LP-TI應(yīng) 用第二輸入選項(xiàng)的情況下是可檢測(cè)的。在IOMHz處的該-6dB的故障也被顯示在圖1中(參 見圖1中的星形參考標(biāo)記710)。對(duì)于故障器件的診斷測(cè)試，從被診斷故障的電路或待測(cè)試器件采取相同的KXM 個(gè)測(cè)量Y(k，m)。在圖8的左手側(cè)，已被用于特征化的輸入場(chǎng)景U被示出。在圖8的右手側(cè)，故障器 件測(cè)量的測(cè)量Y(k，m)被示出。從測(cè)量矩陣可以看出，對(duì)于測(cè)試k = 6，8，14和16，出現(xiàn)了故 障，例如在測(cè)試k = 16中，第一激勵(lì)節(jié)點(diǎn)DAC-I應(yīng)用IOMHz的音調(diào)，并且第一條件節(jié)點(diǎn)LP-TI 應(yīng)用20MHz模式，其中IOMHz的音調(diào)應(yīng)當(dāng)無衰減地正常通過。然而，有故障的20MHz LP濾 波器LP-TI只使IOMHz音調(diào)的一半通過，從針對(duì)第16個(gè)測(cè)試在第一測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的測(cè)量值可以看出，即Y(16，l) =0.5。在第二測(cè)量節(jié)點(diǎn)Mx-TQ處的測(cè)量沒有受到故障的影響，因?yàn)橐?直到該測(cè)量節(jié)點(diǎn)，第一激勵(lì)節(jié)點(diǎn)和第二激勵(lì)節(jié)點(diǎn)的信號(hào)都在不同的獨(dú)立信號(hào)路徑上。然而， 從第三測(cè)量節(jié)點(diǎn)開始，功率放大器ΡΑ、經(jīng)調(diào)制的I信號(hào)和Q信號(hào)被求和，因此，有故障的第 一低通濾波器LP-TI導(dǎo)致被測(cè)量信號(hào)值的偏差，然而，該測(cè)量值Υ(16，3) = 0. 75與正確值 “1”的偏差變小了。在特定實(shí)施例中，通過標(biāo)準(zhǔn)化與標(biāo)準(zhǔn)偏差的偏差，使得測(cè)量和輸入在互相關(guān)之前 是可比的。輸入場(chǎng)景的輸入u(k，i)被針對(duì)與它們?cè)谒袦y(cè)試k(l... K)上的標(biāo)準(zhǔn)偏差的偏 差進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。該標(biāo)準(zhǔn)化的輸入場(chǎng)景Vkx1可以作為特征化的一部分被提前計(jì)算。V(k，i)是 被標(biāo)準(zhǔn)化的輸入選項(xiàng)。<formula>formula see original document page 14</formula>被診斷器件的Ykxm的測(cè)量Y(k，m)被針對(duì)與它們?cè)诒挥糜谔卣骰乃衅骷 = 1...D上的標(biāo)準(zhǔn)偏差的偏差進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。針對(duì)在對(duì)所有D個(gè)器件的每個(gè)測(cè)試k中的每個(gè)測(cè) 量節(jié)點(diǎn)m的期望或平均測(cè)量值yY(k，m)和相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差oY(k，m)也可以作為特征化的 一部分被提前計(jì)算，如Pu、ou(i)和V(k，i)。
<formula>formula see original document page 14</formula>換言之，具有其標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量值Z (k，i)的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量值矩陣Zkxl包含針對(duì)被診斷 器件的其測(cè)量值與在特征化期間所得到的相應(yīng)平均值或期望值的偏差，其中偏差另外用在 特征化期間所得到的標(biāo)準(zhǔn)偏差被標(biāo)準(zhǔn)化。圖9示出了在左手側(cè)的具有標(biāo)準(zhǔn)化的輸入選項(xiàng)V(k，i)的標(biāo)準(zhǔn)化輸入場(chǎng)景V，以及 在右手側(cè)的根據(jù)前述等式和假設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量Z(k，m)。從標(biāo)準(zhǔn)化的偏差矩陣Z可以清楚 地看出，矩陣Z只包括針對(duì)四個(gè)測(cè)試k = 6、8、13和16的不等于0的偏差值。根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)化的輸入V(k，i)與測(cè)量偏差Z(k，m)具有很強(qiáng)的互相關(guān)時(shí)和 測(cè)量偏差Z (k，m)很大時(shí)，輸入i對(duì)于在測(cè)量m處的故障檢測(cè)是相關(guān)的。為了確定如圖10中所示的相關(guān)測(cè)量或相關(guān)值R(i，m)，本發(fā)明的特定實(shí)施例被適 配為首先根據(jù)如下等式計(jì)算對(duì)于診斷測(cè)試k=l... K，輸入i和測(cè)量m之間的互相關(guān)值C(i， m)
<formula>formula see original document page 14</formula>
輸入i與測(cè)量m的故障相關(guān)R(i，m)與互相關(guān)C(i，m)成比例，C的各個(gè)列的和被 標(biāo)準(zhǔn)化為測(cè)量偏差m的絕對(duì)值和。特定實(shí)施例按照如下方式計(jì)算相應(yīng)的相關(guān)矩陣<formula>formula see original document page 15</formula>在圖10中，針對(duì)測(cè)量矩陣Y的相關(guān)矩陣R被示出，即對(duì)應(yīng)于圖9的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量偏 差矩陣ζ。相關(guān)矩陣被基于前述用于計(jì)算定義輸入i與測(cè)量m的故障相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)化互相 關(guān)的兩個(gè)等式進(jìn)行計(jì)算。從圖10可以看出，R(l，l)和R(3，l)是最大相關(guān)值。因此，兩對(duì) (DAC-I,Mx-TI)和(LP-TI，Mx-TI)是最相關(guān)的。在功率放大器PA和后面的節(jié)點(diǎn)處，該效應(yīng) 僅是兩個(gè)前述輸入和測(cè)量組合的效應(yīng)的50%。高故障相關(guān)R(i，m)表示有很大的可能性故障接近于從輸入i到測(cè)量m或者通過 輸入i到測(cè)量m的信號(hào)路徑。在裸片位置(X，y，ζ)處的被診斷的故障概率F(x，y，ζ)，也被稱為故障位置概率 F(x，y，z)，該故障概率與到從輸入i到測(cè)量m的信號(hào)路徑的加權(quán)距離L的總和成比例，每個(gè) 距離用相關(guān)R(i，m)加權(quán)并除以路徑P(i，m)的數(shù)目。<formula>formula see original document page 15</formula>L((x, y, ζ), i, m, ρ)是從位置(x，y，ζ)到自輸入i到測(cè)量m的第ρ條路徑的距 離。半衰減長(zhǎng)度Ltl是所希望的位置分辨率。在圖11中，路徑ρ和點(diǎn)與該路徑的距離的示例被示出。該信號(hào)路徑從輸入節(jié)點(diǎn)i =1開始一直到測(cè)量節(jié)點(diǎn)m = 3，并且用路徑索引ρ = 1描述。路徑ρ = 1經(jīng)過節(jié)點(diǎn){1，3，5， 9，11，12，13}，與位置(x，y，z) = (450,500,0)的距離 L 是 L((x，y，ζ)，i，m，ρ) = L((450, 500,0),1,3,1) = 100，如圖 11 中所示。故障概率F(x，y，ζ)被針對(duì)所有或者至少所有相關(guān)位置(x，y，ζ)進(jìn)行計(jì)算，并且 例如可以用顏色編碼的故障位置概率分布來表示，其中不同的顏色被分配給不同的故障位
置概率。在圖12中，在右手側(cè)，代替顏色編碼的概率表示，四個(gè)不同的故障位置概率范圍 用四個(gè)不同類型的斜線條來表示。從圖12可以看出，對(duì)于沿著有故障的第三輸入節(jié)點(diǎn) LP-TI和第一測(cè)量節(jié)點(diǎn)Mx-TI之間的信號(hào)路徑的區(qū)域，故障位置概率是最高的，并且一直到 第三測(cè)量節(jié)點(diǎn)PA都非常高。實(shí)施例輔助實(shí)現(xiàn)對(duì)可疑設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的診斷。本發(fā)明的特定實(shí)施例不僅允許對(duì)已知設(shè) 計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)試，并且允許對(duì)例如容易失敗的第三方設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的測(cè)試，例如知識(shí)產(chǎn)權(quán)(IP)區(qū) 塊、放大器設(shè)計(jì)等。此外，如圖12中所示，基于布線圖的焊接設(shè)計(jì)視圖結(jié)合故障概率視圖可以支持人 “相關(guān)”以更快速或容易地定位故障?；蛘?，可疑設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的定位可以通過對(duì)特定設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的位置(X，y，ζ)與故障位置 概率(X，1, ζ)進(jìn)行互相關(guān)來用算法實(shí)現(xiàn)，所述特定設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)例如圖1的收發(fā)器電路的電路 元件。沒有設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的區(qū)域包括值“0”并且具有設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的位置與值“1”相關(guān)聯(lián)。因此，如圖12中所示的故障位置概率分布集中在實(shí)際電路元件和最終的信號(hào)路徑的位置上。最 高的互相關(guān)指示最可疑的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的實(shí)施例支持對(duì)不可見缺陷的診斷，并且不需要物理故障分析。圖13示出了通過針對(duì)從節(jié)點(diǎn)nl到n2的所有路徑的指導(dǎo)圖來找到圖中的路徑的 回歸搜索算法的實(shí)施例?；旧希摶貧w搜索算法具有以下結(jié)構(gòu)1.從 n = nl 開始。2.得到所有被連接到η的節(jié)點(diǎn)。3.當(dāng)沒有節(jié)點(diǎn)被連接到η時(shí)停止。4.當(dāng)只有一個(gè)節(jié)點(diǎn)被連接時(shí)，利用該被連接的節(jié)點(diǎn)繼續(xù)步驟2。5.當(dāng)多個(gè)節(jié)點(diǎn)被連接時(shí)，回歸式地(recursively)收集所有被連接的子路徑。到路徑的距離等于到在從路徑開始節(jié)點(diǎn)到路徑結(jié)束節(jié)點(diǎn)的后續(xù)節(jié)點(diǎn)之間的線段 中的任一線段的最近距離d。圖14示出了由節(jié)點(diǎn)Xl和x2到一線段點(diǎn)的距離d。圖15示出了用于確定從點(diǎn)χ和η維空間到多邊形或多邊形的線段的最近距離的 搜索算法。本發(fā)明的特定實(shí)施例被實(shí)現(xiàn)以在信號(hào)路徑未知時(shí)使用從輸入i到測(cè)量m的直線信 號(hào)路徑。對(duì)從輸入i到測(cè)量m的直線信號(hào)路徑的假定對(duì)于很多射頻電路而言都是合理的。圖16示出了用于在信號(hào)路徑未知并且不能被用于確定到信號(hào)路徑的距離時(shí)診斷 根據(jù)圖1和圖3的故障射頻收發(fā)器的故障位置概率分布F(x，y，z)。如前所述，在這種情況 下，在輸入i和測(cè)量m之間可以假定是直線信號(hào)路徑。距離L((x，y，z)，i，m，p)及其故障 位置概率F(x，y，ζ)被基于這些直線信號(hào)路徑來進(jìn)行計(jì)算。從圖16中可以看出，故障第三 輸入節(jié)點(diǎn)LP-TI的故障位置概率F(x，y，z)是最高的。這證明了在不知道信號(hào)圖的情況下， 本發(fā)明的實(shí)施例可以獲得對(duì)故障位置的有用的指示。圖17示出了用于確定相關(guān)值R(i，m)的方法的實(shí)施例的流程圖，每個(gè)相關(guān)值表示 用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i與第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn) 中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合(i，m)的相關(guān)性。在第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)處應(yīng)用(1710)第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試，其中第三數(shù)目K個(gè)測(cè) 試中的每個(gè)測(cè)試k為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)i定義測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)。針對(duì)第三數(shù)目K個(gè)測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試k測(cè)量(1720)在第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中 的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的信號(hào)以獲得針對(duì)第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的第三數(shù) 目K個(gè)測(cè)量值，其中KXM個(gè)測(cè)量值中的每個(gè)測(cè)量值Y(k，m)與測(cè)量所針對(duì)的測(cè)試k和測(cè)量 被執(zhí)行的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)。確定(1730)相關(guān)值R(i，m)，其中基于為相應(yīng)組合中的輸入節(jié)點(diǎn)i定義的第三數(shù) 目K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)和與相應(yīng)組合(i，m)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目K個(gè) 測(cè)量值Y(k，m)之間的互相關(guān)計(jì)算每個(gè)相關(guān)值。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得為了計(jì)算互相關(guān)，每 個(gè)測(cè)量值Y(k，m)被針對(duì)與測(cè)量值Y(k，m)相對(duì)應(yīng)的同一測(cè)試k和同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的 平均值yY(k，m)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。
本方法的實(shí)施例可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得為了計(jì)算互相 關(guān)，每個(gè)測(cè)量值Y(k，m)被針對(duì)與測(cè)量值Y(k，m)相對(duì)應(yīng)的同一測(cè)試k和同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相 關(guān)聯(lián)的標(biāo)準(zhǔn)偏差oY(k，m)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得被標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量值 Z(k，i)按照如下方式被計(jì)算
<formula>formula see original document page 17</formula>其中Y(k，m)是與測(cè)試k和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的測(cè)量值，yY(k，m)是在特征化期間 得到的針對(duì)所有D個(gè)器件的測(cè)試k和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的期望或平均測(cè)量值，其中oY(k，m)是在 特征化期間得到的針對(duì)所有D個(gè)器件的測(cè)試k和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m所得到的測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。作為對(duì)上述示例的替代，實(shí)施例可以被實(shí)現(xiàn)為用其它方式執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)化Z(k，m)，例 如，對(duì)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)化可以包括計(jì)算測(cè)量值Y(k，m)與他們相應(yīng)的平均值yY(k，m)之間的 差值，并且/或者將測(cè)量值或者上述差值除以相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差oY(k，m)以改善互相關(guān)結(jié) 果，或者可以使用其它算法來計(jì)算平均值或者標(biāo)準(zhǔn)偏差的等價(jià)值來得到類似的結(jié)果。本方法的實(shí)施例還可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得為了計(jì)算互相關(guān)， 每個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)被針對(duì)與測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)相對(duì)應(yīng)的同一輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián) 的平均值μυ(υ進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化，其中平均值PuG)是與輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目κ個(gè)測(cè) 試輸入選項(xiàng)的平均值。本方法的實(shí)施例還可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得為了計(jì)算互相關(guān)， 每個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)被針對(duì)與測(cè)試輸入選項(xiàng)U (k，i)相對(duì)應(yīng)的同一輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián) 的標(biāo)準(zhǔn)偏差O (i)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化，其中標(biāo)準(zhǔn)偏差συ( )是與輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目K 個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試輸入選項(xiàng) V(k, i)被按照以下方式進(jìn)行計(jì)算
<formula>formula see original document page 17</formula>
其中U(k，i)是與輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的測(cè)試輸入選項(xiàng)，μυ(υ是針對(duì)被計(jì)算的輸 入節(jié)點(diǎn)I的所有K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)的平均值，并且其中是針對(duì)輸入節(jié)點(diǎn)i的所有K個(gè)輸入 選項(xiàng)的針對(duì)輸入節(jié)點(diǎn)i的標(biāo)準(zhǔn)偏差。在替代實(shí)施例中，測(cè)試輸入選項(xiàng)的標(biāo)準(zhǔn)化V(k，i)可以包括計(jì)算各個(gè)輸入選項(xiàng) u(k，i)與針對(duì)測(cè)試輸入矩陣U的相應(yīng)列i所計(jì)算的相應(yīng)平均值μ u(i)之間的差值，以及/或者將測(cè)試輸入選項(xiàng)u(k，i)或前述差值除以針對(duì)測(cè)試輸入矩陣U的相應(yīng)列i計(jì)算出的相 應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差以改善互相關(guān)結(jié)果，或者可以使用其他算法計(jì)算平均值或標(biāo)準(zhǔn)偏差的等價(jià)量 來得到類似的結(jié)果。如前所述，平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差可以在特征化階段中被提前確定或提前計(jì)算出，從 而對(duì)于后面的診斷，這些提前計(jì)算出的值可以被提供以降低診斷的處理功率需求。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得通過互相關(guān)所得到的 互相關(guān)值C(i，m)已經(jīng)是被用于進(jìn)一步診斷的相關(guān)值R(i，m)，而不需要進(jìn)一步的計(jì)算。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得互相關(guān)值C(i，m)被 按照如下等式進(jìn)行計(jì)算C(i,m)= Yv{k,i)-Z{k,m\, i = 1· · · I，m = I. · · M k=\I其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = 1. . . I，m是測(cè)量節(jié)點(diǎn)的索引且m = 1. . . M，k是測(cè) 試的索引且k = 1. . . K，其中V(k，i)是被標(biāo)準(zhǔn)化為對(duì)針對(duì)相應(yīng)的輸入節(jié)點(diǎn)i的所有K個(gè)輸 入選項(xiàng)所計(jì)算出的與同一輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的平均值PuG)和/或標(biāo)準(zhǔn)偏差oYU(i)的測(cè) 試輸入選項(xiàng)u(k，i)，并且Z(k，m)是被標(biāo)準(zhǔn)化為針對(duì)特征化期間的D個(gè)測(cè)試所得到的與同 一測(cè)試k和同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的平均值yY(k，m)和/或標(biāo)準(zhǔn)偏差oY(k，m)的測(cè)量值 Y(k，m)。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1730，用于確定相關(guān)值以使得故障相關(guān)值R(i，m) 被按照如下等式確定
κR(Um)=C(Um),^-，i = 1. . . I,m = I. . .M
Y\c{k,m\
i=\其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = 1. . . I，m是測(cè)量節(jié)點(diǎn)的索引且m = 1. . . M，k是測(cè) 試的索引且k= 1...K，其中Z(k，m)是相對(duì)于與其針對(duì)所有K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差 的偏差被標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量值Y(k，m)，并且其中C(i，m)是待測(cè)試器件的輸入節(jié)點(diǎn)i和測(cè)量節(jié) 點(diǎn)m之間的互相關(guān)值。換言之，這些實(shí)施例可以被適配為利用被相對(duì)于測(cè)量偏差m的絕對(duì)值和進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn) 化的互相關(guān)矩陣C的列求和來計(jì)算與互相關(guān)值C(i，m)成比例的每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)i與每個(gè)測(cè) 量m的故障相關(guān)性R(i，m)。替代實(shí)施例可以被適配為一般而言基于互相關(guān)值C(i，m)和加權(quán)因子計(jì)算相關(guān) 值，其中加權(quán)因子被計(jì)算以使得其依賴于與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的K個(gè)測(cè)量偏差Z (k，m) 的總和并且/或者與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的測(cè)量偏差Z (k，m)越高則加權(quán)因子越高，并且 /或者其中加權(quán)因子取決于與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的互相關(guān)值C(i，m)的總和并且/或 者與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的互相關(guān)值C (i，m)越高則加權(quán)因子越低。從圖10中可以看出，相關(guān)矩陣R或者個(gè)體相關(guān)值R(i，m)可能已經(jīng)提供了足夠的 信息，以至少縮小對(duì)故障的定位。圖18示出了用于為芯片上的位置確定故障概率的方法的實(shí)施例的流程圖。該方 法包括以下步驟。
根據(jù)權(quán)利要求1到11中的一個(gè)權(quán)利要求確定(1810)相關(guān)值R(i，m)，每個(gè)相關(guān)值 表示用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i與第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量 節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合(i，m)的相關(guān)性。針對(duì)芯片上的第四數(shù)目P個(gè)信號(hào)路徑中的每個(gè)信號(hào)路徑ρ確定(1820)從位置(X， 1，ζ)到芯片上的第四數(shù)目P個(gè)信號(hào)路徑中的每個(gè)信號(hào)路徑的距離L((X，y，ζ)，i，m，ρ)，其 中每個(gè)信號(hào)路徑(P)從第一數(shù)目I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)i延伸到第二數(shù)目M個(gè)測(cè)量節(jié) 點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)m?；趯⒕嚯xL((X，y, z), i, m, ρ)與用輸入節(jié)點(diǎn)i和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合的相關(guān)值 R(i，m)加權(quán)的第四數(shù)目P個(gè)路徑中的每個(gè)路徑相加來確定(1830)故障概率F(x，y，ζ)，相 應(yīng)的路徑P起始于輸入節(jié)點(diǎn)i并且延伸至測(cè)量節(jié)點(diǎn)m。本方法的實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)步驟1830，用于基于如下算法確定故障概率F(x，y，ζ)<formula>formula see original document page 19</formula>其中(x，y，z)是位置，其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = l...I，m是用于測(cè)量節(jié)點(diǎn) 的索引且m = 1. . . M，其中P(i，m)是從輸入節(jié)點(diǎn)i到測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的路徑的編號(hào)，其中R(i， m)是輸入節(jié)點(diǎn)i與測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合(i，m)的相關(guān)值，其中L((x，y，ζ)，i，m，ρ)是從位置 (χ, y，ζ)到從輸入節(jié)點(diǎn)i到測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的第ρ個(gè)路徑的距離，并且其中Ltl是定義位置分辨 率的半衰減長(zhǎng)度。本發(fā)明的替代實(shí)施例可以被實(shí)現(xiàn)以使用除上述算法以外的不同算法或經(jīng)修改的 算法，例如沒有半衰減長(zhǎng)度Ltl且/或沒有輸入節(jié)點(diǎn)和測(cè)量節(jié)點(diǎn)的相同組合之間的編號(hào)路徑 P(i，m)的上述算法。在信號(hào)路徑的位置已知的情況下，本發(fā)明的實(shí)施例可以被適配為使用該信息來計(jì) 算為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)i提供位置信息的距離L。信號(hào)路徑的位置例如可以通過為第四數(shù)目的 路徑中的每個(gè)路徑P提供更多個(gè)節(jié)點(diǎn)來定義路徑P或者該路徑在輸入節(jié)點(diǎn)i的位置與測(cè)量 節(jié)點(diǎn)m的位置之間的路徑段的位置而被定義(參見圖3和11)。在電路元件之間的所有或一些信號(hào)路徑的位置未知的情況下，這些路徑ρ可以被 假設(shè)為定義該信號(hào)路徑的在輸入節(jié)點(diǎn)i的位置和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的位置之間的直線。本發(fā)明的實(shí)施例可以被實(shí)現(xiàn)來為芯片上的所有或者至少所有相關(guān)位置計(jì)算故障 位置概率，以得到如圖12和16所示的故障位置分布。這種顏色編碼的表示例如與對(duì)電路 元件的位置的呈現(xiàn)一起提供了有用的方法，用于定位芯片設(shè)計(jì)中的故障或者至少易出錯(cuò)區(qū) 域。本發(fā)明的實(shí)施例還可以被實(shí)現(xiàn)為另外將每個(gè)位置(X，y，ζ)的故障概率F(x，y，ζ) 與位置指示符相關(guān)，所述位置指示符具有用于芯片的位置(x，y，z)的不同值從而將故障定 位聚焦到輸入節(jié)點(diǎn)、測(cè)量節(jié)點(diǎn)或信號(hào)路徑所處的位置，例如“0”用于沒有電路元件的位置， “1”用于有電路元件的位置。用于確定描述用于故障檢測(cè)的I個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)與芯片的M個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)的相關(guān)性的相 關(guān)值的裝置的實(shí)施例包括至少一個(gè)輸入端口，用于接收測(cè)量值Y(k，m)，用于接收期望或平 均值yY(k，m)、標(biāo)準(zhǔn)偏差。Y(k，m)和相應(yīng)的輸入選項(xiàng)U(k，i)或被標(biāo)準(zhǔn)化的輸入選項(xiàng)V(k， i)，以及輸出端口，用于至少提供相關(guān)C(i，m)或相關(guān)值R(i，m)。其他實(shí)施例可以包括至少一個(gè)附加輸入端口，用于將測(cè)試選項(xiàng)u(k，i)應(yīng)用于待測(cè)試器件或者換言之將所述裝置與待測(cè)試器件連接起來以進(jìn)行特征化和/或診斷。所述裝置的其他實(shí)施例還被實(shí)現(xiàn)為基于已 知的輸入節(jié)點(diǎn)和測(cè)量節(jié)點(diǎn)的位置確定位置的故障概率。本發(fā)明的另外一些實(shí)施例被實(shí)現(xiàn)為 基于關(guān)于連接輸入節(jié)點(diǎn)與測(cè)量節(jié)點(diǎn)的信號(hào)圖的位置的額外認(rèn)識(shí)確定芯片上的位置的故障 概率。該被適配為確定故障概率的裝置的實(shí)施例還可以包括用于提供針對(duì)一些或所有 二維位置(X，y)或三維位置(X，y，ζ)的故障概率的輸出端口，例如如圖12或16中所示。該裝置的其他實(shí)施例也可以被實(shí)現(xiàn)為通過執(zhí)行對(duì)D個(gè)合格或基本合格的器件的 測(cè)試來執(zhí)行特征化以計(jì)算期望值yY(k，m)和標(biāo)準(zhǔn)偏差oY(k，m)并輸出針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)化的輸入 選項(xiàng)V(k，i)的輸入選項(xiàng)U (k，i)。該被適配為執(zhí)行特征化的裝置的實(shí)施例可以包括用戶接口，用于定義輸入節(jié)點(diǎn)、 測(cè)量節(jié)點(diǎn)和/或輸入選項(xiàng)，或者從可用的輸入節(jié)點(diǎn)、測(cè)量節(jié)點(diǎn)和/或輸入選項(xiàng)組中選擇特定 的輸入節(jié)點(diǎn)、測(cè)量節(jié)點(diǎn)和/或輸入選項(xiàng)。本發(fā)明的其他實(shí)施例可以被適配為自動(dòng)從給定的 節(jié)點(diǎn)或區(qū)域組或輸入選項(xiàng)組中選擇輸入節(jié)點(diǎn)、測(cè)量節(jié)點(diǎn)和/或輸入選項(xiàng)?！疤卣骰崩缈梢杂裳邪l(fā)或測(cè)試工程師基于對(duì)真實(shí)器件的測(cè)試(無仿真)例如在 前期生產(chǎn)中設(shè)計(jì)產(chǎn)品時(shí)一次性地執(zhí)行。對(duì)器件的“診斷”可以在批量生產(chǎn)站中被執(zhí)行以控 制批量生產(chǎn)的質(zhì)量和收益，相應(yīng)地通過測(cè)試多個(gè)故障器件控制批量生產(chǎn)中的偏差或異?；?者檢測(cè)設(shè)計(jì)弱點(diǎn)。本發(fā)明的實(shí)施例可以被適配為例如將針對(duì)多個(gè)故障器件的每個(gè)位置的故障概率 F(x, y，ζ)相加，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片或其電路元件的設(shè)計(jì)弱點(diǎn)的檢測(cè)。此外，易出錯(cuò)的庫(kù)元件 因而可以被檢測(cè)。如果例如故障位置概率不僅對(duì)于特定的低通濾波器LP-TI較高，而且對(duì) 于由同一庫(kù)元件定義的所有其他低通濾波器LP-TQ、LP-RI和LP-RQ都較高，則測(cè)試工程師 可以得出結(jié)論，即該元件或模塊一般容易出錯(cuò)。本發(fā)明實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)在于其簡(jiǎn)單性，例如不需要仿真，不需要用到芯片仿真模型， 不需要對(duì)測(cè)試交互進(jìn)行建模，并且不需要長(zhǎng)時(shí)間(故障)仿真。此外，不需要設(shè)定故障模型，不需要知道關(guān)于待測(cè)試器件和關(guān)于測(cè)試的細(xì)節(jié)。而 且，測(cè)試組合可以被自動(dòng)生成。本發(fā)明的方法是通用的，因?yàn)榇郎y(cè)試器件被建模為具有一組輸入選項(xiàng)U(k，i)和 一組輸出測(cè)量Y(k，i)的黑盒子。本發(fā)明的實(shí)施例通過實(shí)現(xiàn)在非射頻設(shè)備上的大量多點(diǎn)晶圓測(cè)試以及/或者通過 允許將射頻測(cè)試的性能測(cè)試推遲為最終測(cè)試而提供了一種用于在用于PGD流的晶圓測(cè)試 中提高射頻覆蓋的方法。此外，本發(fā)明的實(shí)施例能夠在高容積制造期間診斷射頻電路中的設(shè)計(jì)弱點(diǎn)，并且/ 或者能夠診斷不可見的缺陷或弱點(diǎn)。雖然已經(jīng)描述了其中I個(gè)輸入(即相應(yīng)的輸入節(jié)點(diǎn))與M個(gè)測(cè)量(即相應(yīng)的測(cè)量 節(jié)點(diǎn))的相關(guān)性被確定的本發(fā)明的實(shí)施例，但是替代實(shí)施例可以被實(shí)現(xiàn)為確定單個(gè)輸入與 單個(gè)測(cè)量的相關(guān)性、I個(gè)輸入與單個(gè)測(cè)量的相關(guān)性或者單個(gè)輸入與M個(gè)測(cè)量的相關(guān)性。取決于本發(fā)明方法的實(shí)現(xiàn)要求，本發(fā)明方法可以用硬件或軟件來實(shí)現(xiàn)?？梢允褂?與可編程計(jì)算機(jī)系統(tǒng)合作的數(shù)字存儲(chǔ)介質(zhì)完成所述實(shí)現(xiàn)，以執(zhí)行本發(fā)明方法的實(shí)施例，所述數(shù)字存儲(chǔ)介質(zhì)具體可以是其上存儲(chǔ)有電可讀控制信號(hào)的磁盤、CD或DVD。因而一般而言，本發(fā)明的實(shí)施例是具有被存儲(chǔ)在機(jī)器可讀載體上的程序代碼的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述程序 代碼可操作用于在計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品在計(jì)算機(jī)上運(yùn)行時(shí)執(zhí)行本發(fā)明方法。因而換言之，本發(fā) 明方法的實(shí)施例是具有用于在計(jì)算機(jī)程序在計(jì)算機(jī)上運(yùn)行時(shí)執(zhí)行本發(fā)明方法中的至少一 種方法的程序代碼的計(jì)算機(jī)程序。
權(quán)利要求
一種用于確定相關(guān)值(R(i，m))的方法，每個(gè)相關(guān)值表示用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)(i)與第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的組合((i，m))的相關(guān)性，所述方法包括在所述第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)處應(yīng)用(1710)第三數(shù)目(K)的測(cè)試，其中所述第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)(i)定義測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))；針對(duì)所述第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)測(cè)量(1720)在所述第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的信號(hào)，以針對(duì)所述第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)獲得第三數(shù)目(K)的測(cè)量值，其中每個(gè)測(cè)量值(Y(k，m))與測(cè)量所針對(duì)的測(cè)試(k)和被測(cè)量的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)；確定(1730)所述相關(guān)值(R(i，m))，其中每個(gè)相關(guān)值是基于針對(duì)相應(yīng)組合的輸入節(jié)點(diǎn)(i)所定義的第三數(shù)目(K)的測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))和與所述相應(yīng)組合(i，m)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目(K)的測(cè)量值(Y(k，m))之間的互相關(guān)來計(jì)算的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中為了計(jì)算所述互相關(guān)，每個(gè)測(cè)量值(Y(k，m))針對(duì) 與所述測(cè)量值(Y(k，m))相同測(cè)試(k)和相同測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)所關(guān)聯(lián)的平均值(Mk，m))被 標(biāo)準(zhǔn)化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中為了計(jì)算所述互相關(guān)，每個(gè)測(cè)量值(Y(k，m)) 針對(duì)與所述測(cè)量值(Y(k，m))相同測(cè)試(k)和相同測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)所關(guān)聯(lián)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(oY(k， m))被標(biāo)準(zhǔn)化。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中的一個(gè)所述的方法，其中為了計(jì)算所述互相關(guān)，每個(gè)測(cè)試輸 入選項(xiàng)(U(k，i))針對(duì)與所述測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))相同輸入節(jié)點(diǎn)(i)所關(guān)聯(lián)的平均值 (Uu(i))被標(biāo)準(zhǔn)化，其中所述平均值(Pu (i))是與輸入節(jié)點(diǎn)⑴相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目⑷的 測(cè)試輸入選項(xiàng)的平均值。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中的一個(gè)所述的方法，其中為了計(jì)算所述互相關(guān)，每個(gè)測(cè)試輸 入選項(xiàng)(U(k，i))針對(duì)與所述測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))相同輸入節(jié)點(diǎn)(i)所關(guān)聯(lián)的標(biāo)準(zhǔn)偏差 (Ou(I))被標(biāo)準(zhǔn)化，其中所述標(biāo)準(zhǔn)偏差(0u(i))是與所述輸入節(jié)點(diǎn)(i)相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目 (K)的測(cè)試輸入選項(xiàng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中的一個(gè)所述的方法，其中所述相關(guān)值(R(i，m))是互相關(guān)值 (C(i, m))。
7.根據(jù)權(quán)利要求1到6中的一個(gè)所述的方法，其中所述互相關(guān)(C(i，m))按照如下等 式被計(jì)算<formula>formula see original document page 2</formula>其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = 1. . . I，m是測(cè)量節(jié)點(diǎn)的索引且m = 1. . . M，k是測(cè)試的 索引且k= 1...K，其中V(k，i)是被針對(duì)與同一輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的平均值(μυ(υ)和/ 或標(biāo)準(zhǔn)偏差(0YU(i))標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k,i))，并且Z(k,m)是被針對(duì)與同一測(cè)試 k和同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的平均值(Mk，m))和/或標(biāo)準(zhǔn)偏差(oY(k, m))標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè) 量值(Y(k，m))。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試輸入選項(xiàng)V(k，i)被計(jì)算如下<formula>formula see original document page 3</formula>其中u(k，i)是與輸入節(jié)點(diǎn)i相關(guān)聯(lián)的測(cè)試輸入選項(xiàng)，μυ(υ是針對(duì)輸入節(jié)點(diǎn)i的所 有K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)的平均值，并且其中0u(i)是針對(duì)輸入節(jié)點(diǎn)I的所有K個(gè)輸入選項(xiàng)的 輸入節(jié)點(diǎn)i (輸入選項(xiàng))的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其中所述標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量值Z(k，i)被計(jì)算如下 1 D<formula>formula see original document page 3</formula>其中Y(k, m)是與測(cè)試k和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m相關(guān)聯(lián)的測(cè)量值，μ Y(k，m)是針對(duì)測(cè)試k和測(cè) 量節(jié)點(diǎn)m的平均測(cè)量值，其中oY(k，m)是針對(duì)測(cè)試k和測(cè)量節(jié)點(diǎn)m所獲得的測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
10.根據(jù)權(quán)利要求1到9中的一個(gè)所述的方法，其中所述相關(guān)值是基于互相關(guān)值(C(i， m))和加權(quán)因子來計(jì)算的，其中所述加權(quán)因子被計(jì)算為使得針對(duì)與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)的所有(K)測(cè)量的測(cè) 量偏差(Z(k，m))越高則該加權(quán)因子越高，其中測(cè)量偏差是與測(cè)試(k)和測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān) 聯(lián)的測(cè)量值(Y(k，m))相對(duì)與所述測(cè)量值(Y(k，m))相同測(cè)試(k)和相同測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)所關(guān) 聯(lián)的平均值(yY(k，m))的偏差，并且/或者其中針對(duì)與同一測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)的所有(I)測(cè)量的互相關(guān)值(C(i，m))越高則所 述加權(quán)因子越低。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述故障相關(guān)值(R(i，m))被確定如下<formula>formula see original document page 3</formula>其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = 1. . . I，m是測(cè)量節(jié)點(diǎn)的索引且m = 1. . . M，k是測(cè)試的 索引且k= 1...K，其中Z(k，m)是針對(duì)與其相對(duì)所有K個(gè)測(cè)試輸入選項(xiàng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差的偏差 被標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量值(Y(k，m))，并且其中C(i，m)是輸入節(jié)點(diǎn)i與測(cè)量節(jié)點(diǎn)m之間的互相關(guān)值。
12.一種用于確定芯片上的位置((x，y，z))的故障概率(F(x，y，z))的方法，包括以下 步驟根據(jù)權(quán)利要求1到11中的一個(gè)確定(1810)相關(guān)值(R(i，m))，每個(gè)相關(guān)值表示用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)(i)與第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn) 中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的組合((i，m))的相關(guān)性；針對(duì)所述芯片的第四數(shù)目(P)的信號(hào)路徑中的每個(gè)信號(hào)路徑(P)確定(1820)從所述 位置(U，1，ζ))到所述芯片上的第四數(shù)目(P)的信號(hào)路徑中的每個(gè)路徑的距離(L((x，y， z)，i，m，p))，其中每個(gè)信號(hào)路徑(ρ)從所述第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)(i)延 伸到所述第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)；以及基于將所述距離(L((x，y, ζ), i，m, ρ))與用相應(yīng)路徑(ρ)延伸開始的所述輸入節(jié)點(diǎn) (i)與所述相應(yīng)路徑(P)所延伸到的所述測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的組合的相關(guān)值(R(i，m))加權(quán)的 所述第四數(shù)目(P)的路徑中的每個(gè)路徑相加，來確定(1830)所述故障概率(F(x，y，z))。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述故障概率F(X，y, ζ)被確定如下l^t^i U l + L{{x,y,z),i,m,p)/LQ其中(x，y，z)是所述位置，其中i是輸入節(jié)點(diǎn)的索引且i = l...I，m是測(cè)量節(jié)點(diǎn)的索 引且m= 1...M，其中P(i，m)是從輸入節(jié)點(diǎn)i到測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的路徑的數(shù)目，其中R(i，m)是 輸入節(jié)點(diǎn)i與測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的組合(i，m)的相關(guān)值，其中L((x，y，ζ)，i，m, ρ)是從位置(χ， y，ζ)到從輸入節(jié)點(diǎn)i到測(cè)量節(jié)點(diǎn)m的第ρ條路徑的距離，并且其中Ltl是定義位置分辨率的 半衰減長(zhǎng)度。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，還包括提供針對(duì)每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)⑴和每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的位置信息，并且將所述第四數(shù)目的 路徑中的路徑(P)定義為所述輸入節(jié)點(diǎn)(i)的位置和所述測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的位置之間的直線。
15.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，還包括提供針對(duì)每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)(i)和每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的位置信息，并且為所述第四數(shù)目的 路徑中的路徑(P)提供多個(gè)下一步節(jié)點(diǎn)，以定義所述輸入節(jié)點(diǎn)(i)的位置和所述測(cè)量節(jié)點(diǎn) (m)的位置之間的路徑(ρ)的位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求12到15中的一個(gè)所述的方法，還包括以下步驟將所述故障概率(F(x，y, ζ))與一位置指示符進(jìn)行互相關(guān)，所述位置指示符針對(duì)所述 芯片的位置((X，1，ζ))具有不同值，其中輸入節(jié)點(diǎn)、測(cè)量節(jié)點(diǎn)或信號(hào)路徑是與位置((X，y， ζ))相比對(duì)著被放置的，其中這些節(jié)點(diǎn)或路徑都未被定位。
17.根據(jù)權(quán)利要求12到16中的一個(gè)所述的方法，還包括以下步驟確定芯片上的多個(gè)位置((x，y，z))的故障概率(F(x，y，z))以獲得關(guān)于所述多個(gè)故障 概率的故障概率分布。
18.根據(jù)權(quán)利要求1到17中的一個(gè)所述的方法，還包括以下步驟在所述第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)處對(duì)第五數(shù)目(D)的芯片中的每個(gè)芯片(d)應(yīng)用所述 第三數(shù)目(K)的測(cè)試，其中所述第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)(i) 定義一測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))；針對(duì)所述第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)，測(cè)量在所述第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn) 中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的信號(hào)，以針對(duì)所述第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m) 獲得第三數(shù)目(K)的測(cè)量值，其中所述第三數(shù)目(K)的測(cè)量值中的每個(gè)測(cè)量值(Y(k，m))與測(cè)量所針對(duì)的測(cè)試(k)和被測(cè)量的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)；以及確定所述第五數(shù)目(D)的測(cè)量值中與每個(gè)測(cè)試(k)和測(cè)試輸入選項(xiàng)(i)相關(guān)聯(lián)的平均 值(μ Y (k，m))和標(biāo)準(zhǔn)偏差(σ Y (k，m))。
19.一種用于執(zhí)行所述權(quán)利要求1到18中的一個(gè)的方法的裝置。
20.一種用于在計(jì)算機(jī)上運(yùn)行時(shí)執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1到18中的一個(gè)的方法的計(jì)算機(jī)程序。
全文摘要
本發(fā)明描述了一種用于確定相關(guān)值(R(i，m))的方法，每個(gè)相關(guān)值表示用于檢測(cè)芯片上的故障的第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)中的輸入節(jié)點(diǎn)(i)與第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)的組合((i，m))的相關(guān)性，所述方法包括在第一數(shù)目(I)的輸入節(jié)點(diǎn)處應(yīng)用第三數(shù)目(K)的測(cè)試，其中第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)為每個(gè)輸入節(jié)點(diǎn)(i)定義一測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))；針對(duì)第三數(shù)目(K)的測(cè)試中的每個(gè)測(cè)試(k)測(cè)量在第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)處的信號(hào)，以針對(duì)第二數(shù)目(M)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)獲得第三數(shù)目(K)的測(cè)量值，其中每個(gè)測(cè)量值(Y(k，m))與測(cè)量所針對(duì)的測(cè)試(k)和被測(cè)量的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)；以及確定相關(guān)值(R(i，m))，其中每個(gè)相關(guān)值是基于針對(duì)相應(yīng)組合的輸入節(jié)點(diǎn)(i)所定義的第三數(shù)目(K)的測(cè)試輸入選項(xiàng)(U(k，i))和與相應(yīng)組合(i，m)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)(m)相關(guān)聯(lián)的第三數(shù)目(K)的測(cè)量值(Y(k，m))之間的互相關(guān)性來計(jì)算的。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101821640SQ200880101430
公開日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者約亨·里瓦爾 申請(qǐng)人:惠瑞捷(新加坡)私人有限公司