專利名稱：真空開關(guān)真空度校驗儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空度校驗裝置，尤其涉及的是一種真空開關(guān)真空度 校驗儀。
技術(shù)背景真空開關(guān)是在低壓及中壓領(lǐng)域極有前途的電力開斷器件，它是 以真空為絕緣和熄弧介質(zhì)的開關(guān)電器。真空中氣體分子極為稀少，電 子與分子相碰撞的機會極少，故真空開關(guān)的絕緣強度很高。真空開關(guān) 與其它類型斷路器相比，具有安全可靠、壽命長、維修工作量小、環(huán) 境不受污染等優(yōu)點。為了實現(xiàn)電流的分斷和滅弧，真空開關(guān)的真空滅弧室內(nèi)的壓強一般不高于10 —2 Pa 。因此，真空度是決定真空開關(guān) 的開斷性能的主要因素之一，真空度的降低將直接影響真空開關(guān)的 開斷能力，嚴重時將導致其開斷完全失效。實際應用中，真空滅弧室 真空度的測試方法主要有工頻耐壓法、磁控放電法、高頻電流開斷 放電法、高頻預擊穿電流法、耦合電容法、電光變換法等。以上所述 的方法都是利用電氣的原理來測定真空開關(guān)的真空度，根據(jù)這些原理 制成的儀器在測量真空度時必定存在一定的誤差，所以需要從物理方 法上進行校驗，判定這些測量儀器測量所得的真空度是否控制在誤差 允許的范圍之內(nèi)。經(jīng)對現(xiàn)有技術(shù)的進一步檢索，發(fā)現(xiàn)專利號為96219300.3，名稱 為精密壓力真空校驗儀。該專利的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，操作 方便，檢測誤差小，又同時檢測壓力表、真空表的精密壓力真空校驗 儀。又發(fā)現(xiàn)申請?zhí)枮?1220227.0，名稱為便攜式多功能壓力表真空 表校驗器。該專利以精密壓力表、精密真空表為校驗器來檢定工作壓 力表、壓力真空度及真空表用的校驗器，它既可以用液體作為工作介 質(zhì)，又可以用空氣作為工作介質(zhì)，使校驗器核定范圍可達-0. 1 60MPa， 符合JJ052-87國家計量檢定規(guī)程要求。上述現(xiàn)有技術(shù)均是對真空表 進行校驗，均未涉及對真空開關(guān)真空度測量儀器的校驗。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題旨在提供一種專門針對測量真空開 關(guān)真空度的儀器進行校驗的裝置，該裝置能夠定量的判定測量儀器的 誤差，精度高，結(jié)構(gòu)緊湊，操作過程簡單，應用范圍廣泛。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種真空幵關(guān)真空度校驗儀，其特征在于包括真空開關(guān)、離子規(guī)管、真空標定池、分子泵、機械 泵、離子泵和氮氣氣瓶，真空開關(guān)通過三通接口分別連接離子規(guī)管和 真空標定池，真空標定池通過管道和抽氣閥連接分子泵，分子泵連接 機械泵，真空標定池又通過管道和另一抽氣閥連接離子泵，真空標定 池還通過管道和進氣閥連接氮氣氣瓶。本發(fā)明應用范圍廣，結(jié)構(gòu)緊湊，操作過程簡單，適用于校驗各種 對真空開關(guān)進行真空度測量的儀器，利用該裝置能夠標定的最高真空度為10—7Pa，精度高。


附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖。
具體實施方式
參照附圖，本發(fā)明包括真空開關(guān)5、離子規(guī)管7、真空標定池8、 分子泵11、機械泵12、離子泵14和氮氣氣瓶16，真空開關(guān)5通過 三通接口 6分別連接離子規(guī)管7和真空標定池8，真空標定池8通過 管道9和抽氣閥10連接分子泵11，分子泵11連接機械泵12，真空 標定池8又通過管道9和另一抽氣閥13連接離子泵14，真空標定池 8還通過管道9和進氣閥15連接氮氣氣瓶16。使用時，將待校驗的真空開關(guān)真空度測試儀1通過高壓輸出線2 和測量線4連接至真空開關(guān)5上，待校驗的真空開關(guān)真空度測試儀的 磁場線圈3加在真空開關(guān)5的周圍。打開抽氣閥IO，開啟分子泵ll 和機械泵12對真空標定池8進行連續(xù)抽真空，當離子規(guī)管7顯示的 真空度變化較小時，關(guān)閉抽氣閥IO，打開抽氣閥13，開啟離子泵14 對真空標定池8進行連續(xù)抽真空，當離子規(guī)管7顯示的真空度達到要 求的真空度附近時，打開進氣閥15，將氮氣氣瓶16中的氮氣通入真 空標定池8中，調(diào)節(jié)進氣闊15，使進氣量與抽氣量相平衡，真空標 定池8內(nèi)的真空度穩(wěn)定在要求的真空度下。離子規(guī)管7顯示的真空度 即為此時的真空度。打開待標定的真空度開關(guān)真空度測試儀，讀取測 得的真空度。通過比較真空度即可校驗待測真空度測試儀的誤差。本發(fā)明可以對各種測量真空開關(guān)真空度的儀器進行校驗，判定儀 器的測量誤差?？梢詮V泛應用于真空開關(guān)真空度測量儀生產(chǎn)廠家進行校驗，也可廣泛應用于高校實驗室和研究院所，對真空開關(guān)的電氣特 性與真空度的關(guān)系進行相關(guān)研究。
權(quán)利要求
1. 一種真空開關(guān)真空度校驗儀，其特征在于包括真空開關(guān)、離子規(guī)管、真空標定池、分子泵、機械泵、離子泵和氮氣氣瓶，真空開關(guān)通過三通接口分別連接離子規(guī)管和真空標定池，真空標定池通過管道和抽氣閥連接分子泵，分子泵連接機械泵，真空標定池又通過管道和另一抽氣閥連接離子泵，真空標定池還通過管道和進氣閥連接氮氣氣瓶。
全文摘要
一種真空開關(guān)真空度校驗儀，包括真空開關(guān)、離子規(guī)管、真空標定池、分子泵、機械泵、離子泵和氮氣氣瓶，真空開關(guān)通過三通接口分別連接離子規(guī)管和真空標定池，真空標定池通過管道和抽氣閥連接分子泵，分子泵連接機械泵，真空標定池又通過管道和另一抽氣閥連接離子泵，真空標定池還通過管道和進氣閥連接氮氣氣瓶。本發(fā)明應用范圍廣，結(jié)構(gòu)緊湊，操作過程簡單，適用于校驗各種對真空開關(guān)進行真空度測量的儀器，利用該裝置能夠標定的最高真空度為10^-7Pa，精度高。
文檔編號G01L27/00GK101271031SQ200810050708
公開日2008年9月24日 申請日期2008年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月14日
發(fā)明者萍 嚴, 孫桂新, 梁義明, 一 石, 濤 邵, 郎培英 申請人:吉林省電力有限公司電力科學研究院;中國科學院電工研究所