專利名稱：光學(xué)薄膜的檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包含液晶薄膜的光學(xué)薄膜的檢查方法。
技術(shù)背景在液晶顯示器中，從容易制造以及大面積化的觀點(diǎn)出發(fā)，廣泛使 用包含液晶薄膜的光學(xué)薄膜。包含這種液晶薄膜的光學(xué)薄膜如果在液 晶薄膜中存在缺陷，則對(duì)液晶顯示器的顯示有不良影響。因此，對(duì)包 含液晶薄膜的光學(xué)薄膜進(jìn)行缺陷檢查，對(duì)缺陷多的光學(xué)薄膜事前排除 是重要的。以上所述的愔況例如在TFT (薄膜晶體管)液晶顯示器中，對(duì)于 為了改善其顯示特性所使用的NH薄膜，即進(jìn)行了液晶的向列混合定 向的液晶薄膜也一樣。作為包含上述那樣的NH薄膜的光學(xué)薄胰的檢查方法，以往例如 已知有在特開2006-003174號(hào)公報(bào)中記栽的方法。在特開2006-003174 號(hào)公報(bào)中提出的檢查方法是，從光源通過(guò)偏振板向NH薄膜照射光， 在和光源的相反的一側(cè)上，通過(guò)使用粘合了具有和成為檢查對(duì)象的 NH薄膜的定向軸正交的定向軸的NH薄膜和偏振板的缺陷檢查板來(lái) 對(duì)檢查對(duì)象薄膜進(jìn)行檢查，檢查因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷?？墒牵贜H薄膜等的液晶薄膜中，有時(shí)液晶薄膜的表面附近會(huì) 產(chǎn)生液晶分子的傾斜角不均勾的情況，而上述特開2006-003174號(hào)公 報(bào)中提出的缺陷檢查方法雖然能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的 辨認(rèn)性，卻很難辨認(rèn)因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷。本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種不僅能 夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性、而且能夠提高因傾斜角 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性的光學(xué)薄膜的檢查方法。本發(fā)明人等為了實(shí)現(xiàn)上迷目的經(jīng)過(guò)反復(fù)銳意研究的結(jié)果，考慮成 為檢查對(duì)象的光學(xué)薄膜的液晶薄膜中的液晶分子的定向，以及對(duì)于觀 察部位的觀察方向等，發(fā)現(xiàn)在傾斜的方向上觀察光學(xué)薄艉的觀察部位 就能夠解決上述問(wèn)題，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明是一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì)液 晶分子進(jìn)行了向列混合定向或均勻傾斜定向的第l液晶薄膜，其特征在于，具有光照射工序，從光源通過(guò)笫1偏振板對(duì)上述光學(xué)薄膜照射光；檢 查板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上迷光源相反的一側(cè)，把疊 層了與上述第1液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄膜或相位差薄 膜、和第2偏振板而形成的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差 薄膜向著上述光學(xué)薄膜一側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢查板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述第l液晶薄膜中的上述液晶分子的長(zhǎng)軸 方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式，觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位，在光學(xué)薄膜的第l液晶薄膜中有厚度不均勻的情況下，如果從光 源發(fā)出的光透過(guò)第l偏振板以及光學(xué)薄膜，則可以對(duì)無(wú)缺陷部分和與 無(wú)缺陷部分厚度不同的缺陷部分在相位差上附加差異。此時(shí)，如果通 過(guò)缺陷檢查板從正面觀察光學(xué)薄膜的觀察部位，就可以使無(wú)缺陷部分 和缺陷部分之間產(chǎn)生反差，能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷部分 的辨認(rèn)性，可是因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性卻不足。對(duì)此， 如果采用本發(fā)明的檢查方法，則如上所述，在傾斜的方向上、具體說(shuō) 是以使第1液晶薄膜中的液晶分子的長(zhǎng)軸方向與觀察方向不一致的方 式，在傾斜的方向上觀察光學(xué)薄膜的觀察部位，不僅能夠提高因厚度 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性、而且能夠提高園傾斜角不均勻而產(chǎn)生 的缺陷的辨認(rèn)性。此外，本發(fā)明是一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所迷光學(xué)薄膜包含對(duì)液晶分子進(jìn)行了向列混合定向或均勻傾斜定向的笫1液晶薄膜，其特征在于，具有光照射工序，從光源通過(guò)第1偏振板對(duì)上述先學(xué)薄蛾照射光；檢查板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一 側(cè)，把依次疊層了與上述笫1液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄 膜或相位差薄膜、能夠降低光透過(guò)上迷第l液晶薄膜和上述液晶薄膜 或相位差薄膜時(shí)得到的相位差的相位差降低元件、和第2偏振板而形 成的的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄 膜一側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢查板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部 位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述笫l液晶薄膜中的上述液晶分子的 長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式，觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位，在上述檢查板配置工序中，以在平行配置上述光學(xué)薄膜和上述缺 陷檢查板的情況下使上述液晶薄膜或相位差薄膜的定向軸和上述第1 液晶薄膜的定向軸平行或者反平行的方式相對(duì)上述光學(xué)薄膜配置上述 缺陷檢查板。當(dāng)在第l液晶薄膜中有厚度不均勻的情況下，如果從光源發(fā)出的 光透過(guò)第l偏振板以及光學(xué)薄膜，則可以對(duì)無(wú)缺陷部分和與無(wú)缺陷部 分厚度不同的缺陷部分在相位差上附加差異。此外由于在缺陷檢查板 中包含相位差降低元件，因而可以降低光透過(guò)第l液晶薄膜和液晶薄 膜或相位差薄膜時(shí)得到的相位差。因此，如果通過(guò)該缺陷檢奎板從正 面觀察光學(xué)薄膜的觀察部位，就可以使無(wú)缺陷部分和缺陷部分之間產(chǎn) 生反差，能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷部分的辨認(rèn)性。此外， 因?yàn)榈?液晶薄膜的定向軸和液晶薄膜或相位差薄膜的定向軸的對(duì)稱 性提高，所以與在第1液晶薄膜以及液晶薄膜或相位差薄膜之間定向 軸是非對(duì)稱的情況相比，能夠進(jìn)一步提高顯示特性。但是，因傾斜角 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辦認(rèn)性卻不足。對(duì)此，如果采用本發(fā)明的檢查方法，則如上所述，在傾斜的方向上、具體說(shuō)是以使第1液晶薄膜中 的液晶分子的長(zhǎng)軸方向與觀察方向不一致的方式，在傾斜的方向上觀 察光學(xué)薄膜的觀察部位，因此不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺 陷的辨認(rèn)性、而且能夠提高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。 此外，采用本發(fā)明的檢查方法，還可以提高顯示特性。此外，本發(fā)明是一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì) 液晶分子進(jìn)行了向列混合定向或均勻傾斜定向的第1液晶薄膜，其特征在于，具有光照射工序，從光源通過(guò)第l偏振板以及第l相位差降低元件對(duì) 上述光學(xué)薄膜照射光；檢查板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一 側(cè)，把依次疊層了與上述第l液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄 膜或相位差薄膜、上迷第l相位差降低元件、能夠和上述第l相位差 降低元件一同降低光透過(guò)上述第1液晶薄膜以及上述液晶薄膜或相位 差薄膜時(shí)得到的相位差的笫2相位差降^(氐元件、和第2偏振板而形成 的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄膜一 側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢查板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部 位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述笫1液晶薄膜中的上述液晶分子的 長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式，觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位，在上述檢查板配置工序中，以在平行配置上述光學(xué)薄膜和上述缺陷檢查板的情況下使上述液晶薄膜或相位差薄膜的定向軸和上述笫1液晶薄膜的定向軸平行或者反平行的方式相對(duì)光學(xué)薄膜配置上述缺陷檢查板。當(dāng)在第l液晶薄腹中有厚度不均勾的情況下，如果從光源發(fā)出的 光透過(guò)第l偏振板、第1相位差降低元件以及光學(xué)薄膜，則可以對(duì)無(wú) 缺降部分和與無(wú)缺陷部分厚度不同的缺陷部分在相位差上附加差異。此外用包含在缺陷檢查板中的笫2相位差降低元件和第1相位差降低 元件，能夠降低光透過(guò)笫1液晶薄膜以及液晶薄膜或相位差薄膜時(shí)得 到的相位差。因此，如果通過(guò)該缺陷檢查板從正面觀察光學(xué)薄膜的觀 察部位，就可以使無(wú)缺陷部分和缺陷部分之間產(chǎn)生反差，能夠提高因 厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷部分的辨認(rèn)性。此外，因?yàn)榈趌液晶薄膜的 定向軸和液晶薄膜或相位差薄膜的定向軸的對(duì)稱性提高，所以與在第 1液晶薄膜以及液晶薄膜或相位差薄膜之間定向軸是非對(duì)稱的情況相 比，能夠進(jìn)一步提高顯示特性。但是，因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷 的辨認(rèn)性卻不足。對(duì)此，如果采用本發(fā)明的檢查方法，則如上所述， 在傾斜的方向上、具體說(shuō)是以使笫1液晶薄膜中的液晶分子的長(zhǎng)軸方 向與觀察方向不一致的方式，在傾斜的方向上觀察光學(xué)薄膜的觀察部位，因此不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性、而且能 夠提高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。此外，采用本發(fā)明的 檢查方法，還可以提高顯示特性。在上述光學(xué)薄膜的檢查方法中理想的是，當(dāng)把光學(xué)薄膜在一定方 向上傳送的情況下，在和對(duì)于光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向的向量 中的平行于上述光學(xué)薄膜的延伸方向的方向的向量分量相反的方向上 傳送該光學(xué)薄膜。這種情況下，與在和對(duì)于光學(xué)薄膜的現(xiàn)察部位的觀察方向的向量 中的平行于上述光學(xué)薄膜的延伸方向的方向的向量分量相同的方向上 傳送光學(xué)薄膜的情況相比，在光學(xué)薄膜的因不均勻而產(chǎn)生的缺陷部分 的辨認(rèn)性進(jìn)一步提高。此外，最好是在上述檢查板配置工序中，以使光學(xué)薄膜的表面的 法線方向與上述缺陷檢查板的法線方向不一致的方式傾斜地配置缺陷 檢查板。在這種情況下，可以與觀察方向垂直地配置缺陷檢查板，從 而可以在更大的范圍內(nèi)觀察缺陷。而且，如上述所述，在本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法中，在傾斜 的方向上、具體說(shuō)是以使第1液晶薄膜中的液晶分子的長(zhǎng)軸方向與觀 察方向不一致的方式，在傾斜的方向上觀察光學(xué)薄膜的觀察部位，就能提高國(guó)傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。該理由尚未明確，但本發(fā)明者們認(rèn)為原因如下對(duì)于因延遲而產(chǎn)生的不均勻中的不是由于實(shí)際的厚度不均勻而 是由于傾斜角的偏移而產(chǎn)生的不均勻來(lái)說(shuō)，傾斜地觀察光學(xué)薄膜中的 觀察部位時(shí)比從正面觀察時(shí)的液晶薄膜或相位差薄膜的表觀延遲的差 異更大，不均勻的部分與正常部分的反差更強(qiáng)。此外，本發(fā)明中所說(shuō)的"液晶薄膜或相位差薄膜的延遲與第1液 晶薄膜的延遲大致相同"是指液晶薄膜或相位差薄膜的延遲與第1液 晶薄膜的延遲之差在正負(fù)40nm以內(nèi)。如果采用本發(fā)明，則能夠提供不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生 的缺陷的辨認(rèn)性、而且能夠提高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn) 性的光學(xué)薄膜的檢查方法。附困說(shuō)明圖l是表示在本發(fā)明的光學(xué)薄嫉的檢查方法中使用的光學(xué)薄膜的 構(gòu)成一例的圖。圖2是表示在本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢奎方法的笫l種實(shí)施方式中 的光學(xué)薄膜的檢查光學(xué)系統(tǒng)一例的側(cè)面困。困3是表示

圖1的光學(xué)薄膜和在第1種實(shí)施方式中使用的缺陷檢 查板的位置關(guān)系的困。圖4是表示本發(fā)明的第2種實(shí)施方式的第1偏振板的透過(guò)軸、包 含在光學(xué)薄膜中的笫1液晶薄膜的定向軸、液晶薄膜的定向軸以及笫 2偏振板的透過(guò)軸的關(guān)系一例的困，(a)表示第l偏振板的透過(guò)軸， (b)表示第l液晶薄膜的定向軸，(c)表示液晶薄膜的定向軸，(d) 表示第2偏振板的透過(guò)軸。圖5是表示在第1液晶薄膜中有厚度不均勻的光學(xué)薄膜的剖面圖。圖6是表示在第1液晶薄膜中有傾斜角不均勻的光學(xué)薄膜的剖面圖。圖7是本發(fā)明光學(xué)薄膜的檢查方法的第2種實(shí)施方式的光學(xué)薄膜 的檢查光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)例子的側(cè)面圖。圖8是表示本發(fā)明的第2種實(shí)施方式的第l偏振板的透過(guò)軸、包 含在光學(xué)薄膜中的第l液晶薄膜的定向軸、液晶薄膜的定向軸、相位 差降低元件的光學(xué)軸、第2偏振板的透過(guò)軸的關(guān)系一例的圖，(a)表 示笫l偏振板的透過(guò)軸，(b)表示第l液晶薄膜的定向軸，(c)表 示液晶薄膜的定向軸，(d) (e)表示相位差降低元件的定向軸，(f) 表示第2偏振板的透過(guò)軸。圖9是概念性地表示第1液晶薄膜的定向軸和液晶薄膜的定向軸 反平行時(shí)的第1液晶薄膜以及液晶薄膜的內(nèi)部構(gòu)造的圖。圖10是概念性地表示第1液晶薄膜的定向軸和液晶薄膜的定向 軸平行時(shí)的笫1液晶薄膜以及液晶薄膜的內(nèi)部構(gòu)造的圖。圖11是表示本發(fā)明的第3種實(shí)施方式的NH薄膜的定向軸、偏 振板的透過(guò)軸、相位差降低元件的定向軸之間的缺陷檢查時(shí)的配置關(guān) 系的圖。圖12是表示本發(fā)明的笫4種實(shí)施方式的NH薄膜的定向軸、偏 振板的透過(guò)軸、相位差降低元件的定向軸之間的缺陷檢奎時(shí)的配置關(guān) 系的圖。困13是表示本發(fā)明的笫S種實(shí)施方式的NH薄膜的定向軸、偏 振板的透過(guò)軸、相位差降低元件的定向軸之間的缺陷檢查時(shí)的配置關(guān) 系的圖。圖14是表示本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第6種實(shí)施方式中 的光學(xué)薄膜的一例的側(cè)視困。圖15是表示圖14的光學(xué)薄膜和在笫6種實(shí)施方式中使用的缺陷 檢查板的位置關(guān)系的圖。圖16是表示在本發(fā)明的光學(xué)薄胰檢查方法的第7種實(shí)施方式中 的光學(xué)薄膜的檢奎光學(xué)系統(tǒng)一例的側(cè)視圖。圖17是表示圖1的光學(xué)薄膜和在第7種實(shí)施方式中使用的缺陷 檢查板的位置關(guān)系的圖。
具體實(shí)施方式
以下，和附圖一同詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的實(shí)施方式。(第l種實(shí)施方式) 首先說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第l種實(shí)施方式。 最先，參照?qǐng)Dl說(shuō)明在本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法中成為檢查對(duì)象的光學(xué)薄膜。圖l是表示在本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法中使用的光學(xué)薄膜一例的圖。如困1所示，光學(xué)薄膜l包含作為第l液晶薄膜的、使液晶的傾斜在膜厚度方向(箭頭A方向)上變化地進(jìn)行了液晶向列混合定 向的液晶薄膜(以下稱為"NH，，薄膜)2。在此，所謂向列混合定向是 指向列液晶的水平定向和傾斜定向復(fù)合的定向，例如是指向列液晶的 定向在NH薄膜2的一面40a —側(cè)大致為水平定向，在和這一面40a 相反的面40b —側(cè)為相對(duì)于面40b傾斜的定向，在其間為沿著從面40a 向著面40b的方向從水平定向逐漸向傾斜定向變化的定向。在本實(shí)施 方式中，液晶分子5在NH薄膜2中的缺陷檢查板29 —側(cè)的表面40b 附近是傾斜定向，在支撐基板3—側(cè)的表面40a附近是水平定向。存 在于其間的液晶分子5，從NH薄膜2的缺陷檢查板29的表面40b — 側(cè)向基板3—側(cè)，從傾斜定向逐漸變?yōu)樗蕉ㄏ颉Ｔ诖?，進(jìn)一步詳細(xì) 說(shuō)明液晶分子5的定向。即，當(dāng)沿圖3的箭頭B方向運(yùn)送光學(xué)薄膜1 時(shí)，在NH薄膜2中的包含箭頭B方向的面內(nèi)，液晶分子5的定向從 NH薄膜2中的缺陷檢查板29—側(cè)的表面40b向支撐基板3—側(cè)，以 沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)的方式變化。光學(xué)薄膜1只要包含NH薄膜2即可，因而，除了 NH薄膜2外， 也可以包含其他的薄膜。在其他的薄膜中， 一般如圖l所示，有支撐 NH薄膜2的支撐基板3等。這種支撐基板3只要是能夠支撐NH薄 膜2的支撐M，并且在和厚度方向正交的面內(nèi)顯示各向同性即可， 則沒(méi)有特別限定，但作為這種支撐基板3 —般使用TAC(乙酰纖維素)薄膜。這種光學(xué)薄膜1的缺陷使用缺陷檢查板29如以下那樣檢查。而 且，所謂光學(xué)薄膜1的缺陷具體地說(shuō)表示包舍在光學(xué)薄膜1中的NH 薄膜2上的液晶的缺陷。圖2表示本實(shí)施方式中的光學(xué)薄膜的檢查光學(xué)系統(tǒng)一例的側(cè)視 圖。圖3是表示光學(xué)薄膜1和缺陷檢查板29的位置關(guān)系的困，困4 是表示假設(shè)為平行配置光學(xué)薄膜1和缺陷檢查板29時(shí)的包舍在光學(xué)薄 膜l中的NH薄膜2的定向軸、以后說(shuō)明的偏振板18a的透過(guò)軸、NH 薄膜31的定向軸以及偏振板18b的透過(guò)軸的配置關(guān)系一例的圖，(a) 表示偏振板18a的透過(guò)軸，(b)表示NH薄膜2的定向軸，(c)NH 薄膜31的定向軸，(d)表示偏振板18b的透過(guò)軸。如困2所示，在檢查光學(xué)薄膜l的缺陷時(shí)，首先把背光燈20與 光學(xué)薄膜1相對(duì)配置，在背光燈20和光學(xué)薄膜1之間配置偏振板(第 l偏振板)18a。此時(shí)，相互平行地配置偏振板18a和光學(xué)薄膜l。如 圖4(a)、 (b)所示，在本實(shí)施方式中，調(diào)整偏振板18a的透過(guò)軸 41，使其相對(duì)包含在光學(xué)薄膜l中的NH薄膜2的定向軸42變成45。 的角度。在此，所謂NH薄膜2的定向軸42是指在NH薄膜2的表面 附近水平定向的液晶分子的定向向量向著偏癡fel 18a的表面的投影分 量。而后，如圖2所示，點(diǎn)亮背光燈20，從背光燈20通過(guò)偏振板18a 對(duì)光學(xué)薄膜1照射光(光照射工序)。另一方面，在相對(duì)光學(xué)薄腹1 和背光燈20相反的一側(cè)上配置缺陷檢查板29 (檢查板配置工序)。 而后，通過(guò)缺陷檢查板29寇視光學(xué)薄膜1，觀察包含在光學(xué)薄膜l中 的NH薄膜2上的缺陷(觀察工序)。此時(shí)，在相對(duì)于光學(xué)薄膜l的 觀察部位6的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位6。在此，使NH薄 膜2的液晶分子5的長(zhǎng)軸方向5a與對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的觀 察方向7不一致。在此，詳細(xì)說(shuō)明缺陷檢查板29。如圖2所示，缺陷檢查板29是疊層了偏4N118b和NH薄膜(液晶薄膜)31而形成的板。NH薄膜31是使液晶分子的傾斜在膜厚度方 向(圖1的箭頭A方向)上變化，對(duì)液晶分子進(jìn)行了向列混合定向或 均勻傾斜定向的液晶薄膜。在本實(shí)施方式的缺陷檢查板29中，作為NH薄膜31，使用材料 與厚度和NH薄膜2相同的薄膜，如圖4 (c) 、 (d)所示，當(dāng)假設(shè) 平行配置了缺陷檢查板29和光學(xué)薄膜1的情況下，把NH薄膜31的 定向軸43以相對(duì)偏振板18b的透過(guò)軸44變成45。的方式疊層在偏振 板18b上。在缺陷檢查時(shí)，首先把上述那樣構(gòu)成的缺陷檢查板29與光學(xué)薄 膜l相對(duì)地配置。此時(shí)，在使NH薄膜31向著光學(xué)薄膜1一側(cè)，使偏 振板18b向著和光學(xué)薄膜1相反的一側(cè)的同時(shí)，使得偏振板18b和偏 振板18a變成交叉偏振配置，由此，可以使NH薄膜31的定向軸43 如圖4 (b) 、 (c)所示那樣，和包含在光學(xué)薄膜1中的NH薄膜2 的定向軸42正交。此外，此時(shí)，把缺陷檢查板29也相對(duì)光學(xué)薄膜1 的觀察部位6的表面傾斜地配置。具體地說(shuō)，如圖3所示，以使缺陷 檢查板29的表面的法線方向29a與NH薄膜2中的每一個(gè)液晶分子5 的長(zhǎng)軸方向5a不一致的方式，使缺陷檢查板29相對(duì)光學(xué)薄膜1的觀 察部位6的表面傾斜地配置，而且，如果把缺陷檢查板29相對(duì)光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表 面平行配置，則偏振板18a的透過(guò)軸41和NH薄膜2的定向軸42變 成非平行。因此，當(dāng)在NH薄膜2上有厚度不均勻的情況下，即如困 5所示，有厚度d2的無(wú)缺陷部分2a和厚度ld的缺陷部分2b的情況 下，如果從背光燈20發(fā)出的光透過(guò)偏振板18a以及光學(xué)薄膜l，則在 無(wú)缺陷部分2a和缺陷部分2b各自中，可以在偏振板18a的透過(guò)軸41 的方向和與之正交的方向之間產(chǎn)生的相位差上附加差異。而且，在圍5中，埋入到缺陷部分2b中用符號(hào)45表示的部分是制造在NH薄膜2 時(shí)混入的灰塵等。如果更詳細(xì)地說(shuō)，則是在無(wú)缺陷部分2a中，相位差82為 82=And2，而在缺陷部分2b中，相位差81變成81-An'dl,在此，因1為dl>d2,所以82<化圖6是表示在NH薄膜2中有傾斜角不均勻的光學(xué)薄膜的困。 棒狀液晶分子的長(zhǎng)軸方向的折射率為ne、短軸方向的折射率為no時(shí)，從正面觀察從平面傾斜角度0的液晶分子時(shí)，表觀折射率An為，厶n- 。 g—。cos2"/ie sin20液晶分子為棒狀時(shí)，no<ne,因此當(dāng)e變小時(shí)，表觀的雙折射率 變大，傾斜角小的部分的相位差81大于通常部分的相位差S2。如上所述，無(wú)論在哪一種的情況下，在無(wú)缺陷部分2a和缺陷部 分2b之間可以產(chǎn)生反差。在此，NH薄膜2的定向軸42和NH薄膜 31的定向軸43如上所示相互正交。因此，當(dāng)NH薄膜2和NH薄膜 31的厚度相等的情況下，因?yàn)镹H薄膜2的雙折射和NH薄膜31的 雙折射相互抵消，所以相位差抵消，即變成零。而后，偏振板18a和 偏振板18b變成檢查偏光鏡配置。因而，無(wú)缺陷部分2a變成純黑，缺 陷部分2b作為亮點(diǎn)顯現(xiàn)?？墒谴藭r(shí)雖然能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生 的缺陷部分的辨認(rèn)性，而因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性卻不 足。對(duì)此，在本實(shí)施方式中，如上所迷，把缺陷檢查板29配置成不 與光學(xué)薄膜l平行而是傾斜，相對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面 傾斜地進(jìn)行觀察。由此，不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的 辨認(rèn)性、而且能夠提髙因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。如果像上述那樣觀察后發(fā)現(xiàn)了缺陷，則使用標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)識(shí)，并使 標(biāo)識(shí)墨水干燥，缺陷的檢查結(jié)束。而且，在上述光學(xué)薄膜l的檢查方法中，當(dāng)在一定方向上傳送光 學(xué)薄膜1的情況下，理想的是在和對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的觀 察方向7的向量中的與光學(xué)薄膜1的延長(zhǎng)方向平行的方向的向量分量 相反的方向，即圖3的箭頭B方向上傳送該光學(xué)薄膜。這種情況下，與在和對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的觀察方向7 的向量中的與光學(xué)薄膜1的延長(zhǎng)方向平行的方向的向量分量相同的方向(即，和困3的箭頭B方向相反的方向)上傳送光學(xué)薄膜的情況相 比，在光學(xué)薄膜l中的缺陷部分的部辨認(rèn)性進(jìn)一步提高。 (第2種實(shí)施方式)以下，用困7 圖IO說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第2種 實(shí)施方式。而且，在圖7~圖10中，對(duì)于和第l種實(shí)施方式相同或者 相等的構(gòu)成要素標(biāo)注相同符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。圖7是表示本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第2種實(shí)施方式中的 光學(xué)薄膜的檢查光學(xué)系統(tǒng)一例的側(cè)視圖。圖8是表示在本實(shí)施方式中 使用的假設(shè)為平行地配置缺陷檢查板33和光學(xué)薄膜1時(shí)的包含在光學(xué) 薄膜l中的NH薄膜2的定向軸、偏振板18a的透過(guò)軸、NH薄膜31 的定向軸、單軸薄膜34、 35的定向軸以及振光板18b的透過(guò)軸的配置 關(guān)系的圖，(a)表示偏振板18a的透過(guò)軸，(b)表示NH薄膜2的 定向軸，(c)表示NH薄膜31的定向軸，(d) (e)表示單軸薄膜 的定向軸，(f)偏振板18b的透過(guò)軸。本實(shí)施方式的檢查方法在如以下那樣構(gòu)成缺陷檢查板33這一點(diǎn) 上和笫l種實(shí)施方式不同。即如圖7所示，本實(shí)施方式的缺陷檢查板33在NH薄膜31和偏 振板18b之間，在具有2張單軸薄膜34、 35這一點(diǎn)上和第1種實(shí)施方 式的缺陷檢查板29不同。單軸薄膜34、 35具有作為能夠降低在光透能。單軸薄膜34、 35在和厚度方向正交的面內(nèi)具有雙折射。作為這種 單軸薄膜34、 35，例如使用PC薄膜、TAC薄膜、啊頓(JSR公司生 產(chǎn))、最恩(日本最恩公司制造)等。單軸薄膜通過(guò)把上述薄膜在與 厚度方向正交的面內(nèi)的一個(gè)方向上延伸得到。在此，2張單軸薄膜34、 35從提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的 辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，理想的是可以使在光透過(guò)NH薄膜2以及NH薄 膜31時(shí)得到的相位差為零。為了使相位差為零，如困8(e)、 (f) 所示，單軸薄膜35的定向軸35a相對(duì)偏振板18b的透過(guò)軸44配置成 卯度的角度，如圖8 (d) 、 (f)所示，單軸薄膜34的定向軸34a相對(duì)偏振板18b的透過(guò)軸44配置成45度的角度。此外，本實(shí)施方式的缺陷檢查板33，在把缺陷檢查板33和光學(xué) 薄膜1平行地相對(duì)配置、并使偏4^fel 18b和偏振板18a變成交叉偏振 配置的情況下，如圖8 (b) 、 (c)所示，NH薄膜31的定向軸43 在和NH薄膜2的定向軸42成為反平行，這一點(diǎn)上和第1種實(shí)施方式 的缺陷檢查板29不同。因此，例如如圖8(c)、 (f)所示，在缺陷 檢查板33中，把NH薄膜31的定向軸43配置成相對(duì)偏振板18b的透 過(guò)軸44成45度。在此，NH薄膜的定向軸的方向根據(jù)在以液晶分子的水平定向狀 態(tài)作為基準(zhǔn)看厚度方向的液晶分子群時(shí)，在液晶分子的兩端的任意一 側(cè)上液晶分子是否立起來(lái)進(jìn)行判斷。因而，例如如圖9所示，因?yàn)樵?NH薄膜31中液晶分子5的下側(cè)端部立起，所以NH薄膜31的定向 軸43變成朝下，在NH薄膜2中，因?yàn)橐壕Х肿?的上側(cè)端部立起， 所以變成朝上。而后，當(dāng)定向軸的方向相互相反的情況下，是指NH 薄膜31的定向軸43和NH薄膜2的定向軸42反平行。此外，如圖 IO所示，在NH薄膜31中，因?yàn)橐壕Х肿?的上側(cè)端部立起，所以 NH薄膜31的定向軸43變成朝上，在NH薄膜2中，因?yàn)橐壕Х肿?的上側(cè)端部立起，所以NH薄膜2的定向軸42變成朝上。而后，這樣， 當(dāng)定向軸的方向相互是相同方向的情況下，是指NH薄膜31的定向軸 43和NH薄膜2的定向軸42平行。當(dāng)檢查在這樣的光學(xué)薄膜l中的缺陷的情況下，首先把缺陷檢查 板33相對(duì)光學(xué)薄膜1配置，通過(guò)缺陷檢查板33觀察光學(xué)薄膜1的觀 察部位6。此時(shí)，在使NH薄膜31向著光學(xué)薄膜1 一側(cè)，使偏振板18b 向著和光學(xué)薄膜1相反的一側(cè)的同時(shí)，把偏振板18b和偏振板18a設(shè) 置成交叉偏振配置。由此，可以使NH薄膜31的定向軸43和包含在 光學(xué)薄膜l中的NH薄膜2的定向軸42反平行。此外，在本實(shí)施方式 中，在相對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面傾斜的方向上觀察該觀 察部位6，和在第l種實(shí)施方式中使用的缺陷檢查板29—樣，把缺陷 檢查板33相對(duì)光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面傾斜配置。在此，當(dāng)把缺陷檢查板33相對(duì)光學(xué)薄膜1平行配置的情況下， NH薄膜2的定向軸42和NH薄膜31的定向軸43變成反平行。因此， 即使NH薄膜2和NH薄膜31的厚度相等，相位差也不能抵消，即不 能變成零。但是，用單軸薄膜34、 35能夠抵消只用NH薄膜2和NH 薄膜31不能抵消的相位差。而后，偏振板18a和偏振板18b變成交叉 偏振配置。因而，無(wú)缺陷部分變成純黑，缺陷部分作為亮點(diǎn)顯現(xiàn)，可 以使無(wú)缺陷部分與缺陷部分之間產(chǎn)生反差。進(jìn)而，在本實(shí)施方式中， 也和笫1種實(shí)施方式一樣，在相對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面 傾斜的方向上觀察該觀察部位6，缺陷檢查板33相對(duì)光學(xué)薄膜1的觀 察部位6的表面傾斜配置。由此，不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生 的缺陷的辨認(rèn)性、而且能夠提高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn) 性。此外，在本實(shí)施方式的檢查方法中，當(dāng)假設(shè)成把缺陷檢查板33 相對(duì)光學(xué)薄膜1平行配置的情況下，NH薄膜2的定向軸42和NH薄 膜31的定向軸43反平行，NH薄膜2的定向軸42和NH薄膜31的 定向軸的對(duì)稱性提高，如果采用本實(shí)施方式的檢查方法，則即使通過(guò) 缺陷檢查板33相對(duì)于觀察光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面傾斜地觀察 該觀察部位時(shí)，也能夠提高顯示特性。 (笫3種實(shí)施方式)以下，用圖ll說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第3種實(shí)施 方式。而且，在困11中，對(duì)于和第1以及第2種實(shí)施方式相同或者同 等的構(gòu)成要素附加相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明.圖11是表示在假設(shè)成平行配置在本實(shí)施方式中使用的缺陷檢查 板60和光學(xué)薄膜1時(shí)的NH薄膜的定向軸、偏振板的透過(guò)軸、單軸薄 膜以及雙軸薄膜的定向軸之間的、進(jìn)行缺陷檢查時(shí)的配置關(guān)系的圖， 而且，在圖11中，偏振板或者薄膜隨著從左側(cè)(偏振板18a —側(cè))朝 著右側(cè)(偏振板18b—側(cè))順序配置在遠(yuǎn)離光源的位置。本實(shí)施方式的檢查方法在如以下那樣構(gòu)成缺陷檢查板60這一點(diǎn) 上和第l種實(shí)施方式不同。即如圖11所示，本實(shí)施方式的缺陷檢查板60，在NH薄膜31和偏振板18b之間具有1張雙軸薄膜56以及單軸薄膜35這一點(diǎn)上和 第l種實(shí)施方式的缺陷檢查板29不同。單軸薄膜35以及雙軸薄膜 56具有能夠和單軸薄膜52以及雙軸薄膜53 —同降低光透過(guò)NH薄膜 2以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差的相位差降低元件的功能。單軸薄 膜35、雙軸薄膜56在與厚度方向正交的面內(nèi)具有雙折射。此外，本實(shí)施方式的缺陷檢查板60，當(dāng)把缺陷檢查板60與光學(xué) 薄膜1平行地相對(duì)配置，偏振板18a和偏振板18b變成交叉偏振配置 的情況下，如圖11所示，在NH薄膜2的定向軸和NH薄膜31的定 向軸變成反平行，這一點(diǎn)和笫l種實(shí)施方式的缺陷檢查板29不同。在使用上述缺陷檢查板60進(jìn)行光學(xué)薄膜1的檢查時(shí)，在偏振板 18a和NH薄膜2之間，從偏振板18a —側(cè)開始順序配置單軸薄膜52 以及雙軸薄膜53。在此，單軸薄膜52以及雙軸薄膜53在與厚度方向 正交的面內(nèi)具有雙折射，而且，通過(guò)上述缺陷檢查板60和第2種實(shí)施 方式一樣地進(jìn)行光學(xué)薄膜1的觀察部位6的檢查。具體是，在相對(duì)于 光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位6。由 此，不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性、而且能夠提 高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。在此，2張單軸薄膜52、 35以及2張雙軸薄膜53、 56從提高因 厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，理想的是把在光透過(guò) NH薄膜2以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差變?yōu)榱恪榱耸瓜辔徊顬?零，如圖11所示，單軸薄膜52的定向軸相對(duì)偏振板18a的透過(guò)軸配 置為成20度的角度，單軸薄膜35的定向軸相對(duì)偏振板18b的透過(guò)軸 配置為成70度的角度。雙軸薄膜53的定向軸相對(duì)偏振板18a的透過(guò) 軸配置為成20度的角度，雙軸薄膜56的定向軸相對(duì)偏振板18b的透 過(guò)軸配置為成70度的角度。而且，在本說(shuō)明書中，所謂雙軸薄膜的定 向軸是指在與厚度方向正交的面內(nèi)相互正交的二個(gè)方向上，沿著折射 率更大的方向的軸。作為上述那樣的單軸薄膜、雙軸薄膜等的相位差降低元件，例如 可以使用PC薄膜、TAC薄膜、啊頓(JSR公司生產(chǎn))、最恩(日本最恩公司制造)等。單軸薄膜通過(guò)把上述薄膜在和厚度方向正交的面 內(nèi)的一方向上延伸得到，雙軸薄膜通過(guò)把上迷薄膜在和厚度方向正交的面內(nèi)在正交的2個(gè)方向上延伸得到。 (第4種實(shí)施方式)以下，用圖12說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的第4種實(shí)施 方式。而且，在圖12中，對(duì)于和第1以及第2種實(shí)施方式相同或者同 等的構(gòu)成要素附加相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。圖12是表示在假設(shè)成平行配置在本實(shí)施方式中使用的缺陷檢查 板61和光學(xué)薄膜1時(shí)的NH薄膜的定向軸、偏振板的透過(guò)軸、單軸薄 膜以及雙軸薄膜的定向軸之間的、進(jìn)行缺陷檢查時(shí)的配置關(guān)系的圍。 而且，在圖12中，偏振板隨著從左側(cè)朝著右側(cè)順序配置在遠(yuǎn)離光源的 位置。本實(shí)施方式的檢查方法在如以下那樣構(gòu)成缺陷檢查板61這一點(diǎn) 上和笫l種實(shí)施方式不同。即如圖12所示，本實(shí)施方式的缺陷檢查板61，在NH薄膜31 和偏振板18b之間具有1張雙軸薄膜56這一點(diǎn)上和第1種實(shí)施方式的 缺陷檢查板29不同。雙軸薄膜56具有能夠和單軸薄膜52、雙軸薄膜 53 —同降低光透過(guò)NH薄膜2以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差的相 位差降低元件的功能，雙軸薄膜56在與厚度方向正交的面內(nèi)具有雙折 射。此外，本實(shí)施方式的缺陷檢查板61當(dāng)把缺陷檢奎板61與光學(xué)薄 膜1平行地相對(duì)配置，配置成偏振板18a和偏振板18b形成100度的 角度的情況下，如圖12所示，在NH薄膜2的定向軸和NH薄膜31 的定向軸變成反平行，這一點(diǎn)和第1種實(shí)施方式的缺陷檢查板29不同。在使用了上述缺陷檢查板61進(jìn)行光學(xué)薄膜1的檢查時(shí)，在偏振 板18a和NH薄膜2之間，從偏振板18a —側(cè)開始順序配置單軸薄膜 52以及雙軸薄膜53。在此，單軸薄膜52、雙軸薄膜53在與厚度方向 正交的面內(nèi)具有雙折射。而且，通過(guò)上述缺陷檢查板61,和第2種實(shí) 施方式一樣地進(jìn)行光學(xué)薄膜l的觀察部位6的檢查。具體是，在相對(duì)于光學(xué)薄膜1的觀察部位6的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位6。 由此，不僅能夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辦認(rèn)性、而且能夠 提高因傾斜角不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。在此，2張單軸薄膜52以及2張雙軸薄膜53、 56從提高因厚度 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，理想的是把在光透過(guò)NH 薄膜2以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差變?yōu)榱?。為了把相位差變?yōu)榱悖?如困12所示，把單軸薄膜52的定向軸相對(duì)偏振板18a的透過(guò)軸配置 成101度的角度，把雙軸薄膜53的定向軸配置成相對(duì)偏振板18a的透 過(guò)軸成110度的角度，把雙軸薄膜56的定向軸相配置成相對(duì)偏振板 18b的透過(guò)軸成IO度的角度。作為上述那樣的單軸薄膜、雙軸薄膜等的相位差降低元件，例如 可以使用和在上述第3種實(shí)施方式中一樣的元件。 (第5種實(shí)施方式)以下，用圖13說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法的笫5種實(shí)施 方式。而且，在困13中，對(duì)于和笫1以及第2種實(shí)施方式相同或者同 等的構(gòu)成要素附加相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。圖13是表示在假設(shè)成平行配置在本實(shí)施方式中使用的缺陷檢查 板69和光學(xué)薄膜1時(shí)的NH薄膜的定向軸、偏振板的透過(guò)軸、單軸薄 膜以及雙軸薄膜的定向軸之間的進(jìn)行缺陷檢查時(shí)的配置關(guān)系的圖。而且，在圖13中，偏振板或者薄膜隨著從左側(cè)朝著右側(cè)順序配置在遠(yuǎn)離 光源的位置。本實(shí)施方式的檢查方法在如以下那樣構(gòu)成缺陷檢查板69這一點(diǎn) 上和第l種實(shí)施方式不同，即如圖13所示，本實(shí)施方式的缺陷檢奎板69在NH薄膜2和偏 振板18b之間具有1張單軸薄膜34以及2張雙軸薄膜55、 56這一點(diǎn) 上和笫l種實(shí)施方式的缺陷檢查板29不同。單軸薄膜34、雙軸薄膜 55、 56具有作能夠降低光透過(guò)NH薄膜2以及NH薄膜31時(shí)得到的 相位差的相位差降低元件的功能.單軸薄膜34、雙軸薄膜55、 56在 與厚度方向正交的面內(nèi)具有雙折射。此外，本實(shí)施方式的缺陷檢查板69，當(dāng)把缺陷檢查板69與光學(xué) 薄膜1平行地相對(duì)配置、使偏振板18a和偏振板18b變成交叉偏振配 置的情況下，如圖13所示，在NH薄膜2的定向軸和NH薄膜31的 定向軸變成反平行，這一點(diǎn)和笫l種實(shí)施方式的缺陷檢查板29不同。在利用上述缺陷檢查板69檢查光學(xué)薄膜1時(shí)，通過(guò)上述缺陷檢 查板69檢查光學(xué)薄膜1的觀察部位。具體是，在相對(duì)于光學(xué)薄膜1 的觀察部位6的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位6。由此，不僅能 夠提高因厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辦認(rèn)性、而且能夠提高因傾斜角 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。在此，1張單軸薄膜34以及2張雙軸薄膜SS、 56從提髙因厚度 不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，理想的是把在光透過(guò)NH 薄膜2以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差變?yōu)榱?。為了把相位差變?yōu)榱悖?如圖19所示，把單軸薄膜34的定向軸配置成相對(duì)偏振板18b的透過(guò) 軸成40度的角度，把雙軸薄膜55的定向軸配置成相對(duì)偏振板18b的 透過(guò)軸成40度的角度，把雙軸薄膜56的定向軸配置成相對(duì)偏振板18b 的透過(guò)軸成IO度的角度。作為上迷那樣的單軸薄膜、雙軸薄膜等的相位差降低元件，使用 和上述實(shí)施方式3中的元件同樣的元件。 (第6種實(shí)施方式)以下，用圖14以及困15說(shuō)明本發(fā)明的光學(xué)薄腹的檢查方法的第 6種實(shí)施方式。而且，在圖14中，對(duì)于和第1以及第2種實(shí)施方式相 同或者同等的構(gòu)成要素附加相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。圖14是表示在本發(fā)明的光學(xué)薄膜的檢查方法中使用的光學(xué)薄膜 的另一例子的圖。圖15是表示圖14的光學(xué)薄膜和在本實(shí)施方式中使 用的缺陷檢查板的位置關(guān)系的圖。如圖14以及圖15所示，本實(shí)施方 式的光學(xué)薄膜的檢查方法主要是在代替光學(xué)薄膜1使用光學(xué)薄膜101 這一點(diǎn)上與第l種實(shí)施方式的光學(xué)薄膜的檢查方法不同。因而，以下 詳細(xì)說(shuō)明光學(xué)薄膜101。光學(xué)薄膜101與笫1種實(shí)施方式的中的光學(xué)薄膜1的不同之處在于，作為第1液晶膜，檢查液晶分子5的長(zhǎng)軸方向5a與光學(xué)薄膜101 的表面140b形成一定的角度e的液晶薄膜102。在此，角度0根據(jù)作 為檢查對(duì)象的光學(xué)薄膜而不同，但通常為10 80°。而且，在本實(shí)施方式中，通過(guò)上述缺陷檢查板29檢查光學(xué)薄膜 101的觀察部位。具體是，在相對(duì)于光學(xué)薄膜101的觀察部位的表面 傾斜的方向上觀察該觀察部位。而且，把缺陷檢查板29相對(duì)光學(xué)薄膜 101配置如下。即，如圖15所示，缺陷檢查板29以該缺陷檢查板29 的表面的法線方向29a相對(duì)光學(xué)薄膜101的表面的法線方向101a成角 度a的方式相對(duì)光學(xué)薄膜101傾斜配置。在此，使角度a成為缺陷檢 查板29的表面的法線方向29a與液晶薄膜102中的液晶分子5的定向 向量103不一致的角度。具體地說(shuō)，只要是0 60。即可，在上述范圍 中，理想的是使角度e成為0 45°。此外，對(duì)于光學(xué)薄膜101的觀察 部位的觀察方向與缺陷檢查板29的表面的法線方向29a —致。如上所示，如果通過(guò)缺陷檢查板29相對(duì)于光學(xué)薄膜101的觀察 部位的表面傾斜地觀察該觀察部位，則不僅能夠提高因光學(xué)薄膜101 的觀察部位的厚度不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性，還能夠提高因傾斜 角的不均勻而產(chǎn)生的缺陷的辨認(rèn)性。而且，在上述光學(xué)薄膜101的檢查方法中理想的是，當(dāng)在一定方 向上傳送光學(xué)薄膜101的情況下，在和與缺陷檢查板29的表面的法線 方向29a平行且從缺陷檢查板29朝著光學(xué)薄膜101的方向(即對(duì)于光 學(xué)薄膜101的觀察部位的觀察方向)的向量中的、平行于光學(xué)薄膜101 的延長(zhǎng)方向方向的向量分量相反的方向，即在圖17的箭頭B方向上 傳送該光學(xué)薄膜101。這種情況下，與和與缺陷檢奎板29的表面的法線方向29a平行 且從缺陷檢查板29朝著光學(xué)薄膜101的方向的向量中的、平行于光學(xué) 薄膜101的延長(zhǎng)方向方向的向責(zé)分量相同的方向(即，和困17的箭頭 B方向相反方向)上傳送該光學(xué)薄膜101相比，在光學(xué)薄膜101中的 缺陷部分的辨認(rèn)性進(jìn)一步提高。本發(fā)明并不限于上述的實(shí)施方式.例如，在上述笫2種實(shí)施方式中，缺陷檢查板33在NH薄膜31和偏振板l幼之間具有單軸薄膜34、 35，但如圖16所示，也可以設(shè)置成把缺陷檢查板36從缺陷檢查板33 上拆下單軸薄膜34的構(gòu)造，把拆下的單軸薄膜34配置在偏振板18a 和光學(xué)薄膜l之間。即使在這種情況下，也和笫2種實(shí)施方式一樣， 可以提高缺陷部分的辨認(rèn)性，能夠可靠地進(jìn)行因厚度不均勻而產(chǎn)生的 缺陷的檢查。此外，如果采用使用了圖16的檢查光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)薄膜 的檢查方法，則和笫2種實(shí)施方式一樣，與在NH薄膜2以及NH薄 膜31之間定向軸非對(duì)稱的情況相比，能夠進(jìn)一步提高顯示特性。而且， 在第2種實(shí)施方式中，單軸薄膜34也可以疊層在偏4M118a的光學(xué)薄 膜34—側(cè)。在此，也可以用單軸薄膜35置換疊層在偏振板18a上的 單軸薄膜34。此外，在上述第2~第5種實(shí)施方式中，為了把光透過(guò)NH薄膜2 以及NH薄膜31時(shí)得到的相位差變?yōu)榱?，把單軸薄膜或者雙軸薄膜的 定向軸相對(duì)偏癡板18b的透過(guò)軸所成的角度、單軸薄膜或者雙軸薄膜 的定向軸相對(duì)偏振板18a的透過(guò)軸所成的角度設(shè)置成在上述各實(shí)施方 式表示的值，但如果目的是為了降低相位差，則這些角度也可以相對(duì) 在上述各實(shí)施方式中表示的值在士15。的范圍內(nèi)偏離。此外，在上述第1~第5種實(shí)施方式的光學(xué)薄膜1中，液晶分子5 在缺陷檢查板29 —側(cè)的表面上傾斜定向，在支撐基板3 —側(cè)上變成水 平定向，但是也可以如困17所示，液晶分子5在NH薄膜2中的缺陷 檢查板29 —側(cè)的表面40b附近水平定向，在支撐基板3 —側(cè)的表面 40a附近傾斜定向。但是，這種情況下，存在于其間的液晶分子5如 圖17所示，在包含光學(xué)薄膜l的傳送方向A和缺陷檢查板29的表面 的法線方向29a的面內(nèi)，隨著NH薄膜2從缺陷檢查板29 —側(cè)的表面 40b朝著支撐基板3—側(cè)的表面40a,以反時(shí)針旋轉(zhuǎn)的方式改變定向。 而且，液晶分子5在圖17中，隨著NH薄膜2從缺陷檢查板29—側(cè) 的表面4脅朝著支撐基板3 —側(cè)的表面40a，如果以順時(shí)針旋轉(zhuǎn)的方 式改變定向，則缺陷檢查板29的法線29a和液晶分子5的某一長(zhǎng)軸方 向5a —致。進(jìn)而，在上述第1 第5種實(shí)施方式的光學(xué)薄膜1中，支撐基板3 相對(duì)液晶薄膜2設(shè)置在背光燈20 —側(cè)，但也可以把支撐基板3相對(duì)液 晶薄膜2設(shè)置在和背光燈20相反的一側(cè)上。而且，在上述第1 6實(shí)施方式中，將缺陷檢查板配置成與光學(xué)薄 膜非平行，但也可以配置成與光學(xué)薄膜平行。
權(quán)利要求
1. 一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì)液晶分子進(jìn)行了向列混合定向或均勻傾斜定向的第1液晶薄膜，其特征在于，具有光照射工序，從光源通過(guò)第1偏振板對(duì)上述光學(xué)薄膜照射光；檢查板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一側(cè)，把疊層了與上述第1液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄膜或相位差薄膜、和第2偏振板而形成的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄膜一側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢查板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述第1液晶薄膜中的上述液晶分子的長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式，觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位。
2. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜的檢查方法，其特征在于以 使上述第1液晶薄膜的定向軸和上述液晶薄膜或上述相位差薄膜的定 向軸正交的方式配置上述缺陷檢查板。
3. —種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì)液晶分子進(jìn) 行了向列混合定向或均勻傾斜定向的笫1液晶薄膜，其特征在于，具 有光照射工序，從光源通過(guò)第1偏振板對(duì)上述光學(xué)薄膜照射光； 檢奎板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一 側(cè)，把依次疊層了與上述笫l液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄 膜或相位差薄膜、能夠降低光透過(guò)上述第l液晶薄膜和上述液晶薄膜 或相位差薄膜時(shí)得到的相位差的相位差降低元件、和第2偏振板而形 成的的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄 膜一側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢奎板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述笫1液晶薄膜中的上述液晶分子的 長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式， 觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位，在上述檢查板配置工序中，以在平行配置上述光學(xué)薄膜和上述缺 陷檢查板的情況下使上述液晶薄膜或上述相位差薄膜的定向軸和上述 笫1液晶薄膜的定向軸平行或者反平行的方式相對(duì)上述光學(xué)薄膜配置 上述缺陷檢查板。
4. 一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì)液晶分子進(jìn) 行了向列混合定向或均勻傾斜定向的第l液晶薄膜，其特征在于，具 有光照射工序，從光源通過(guò)笫1偏振板以及第1相位差降低元件對(duì) 上述光學(xué)薄膜照射光；檢奎板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一 側(cè)，把依次疊層了與上述第l液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄 膜或相位差薄膜、第l相位差降低元件、能夠和上述第l相位差降低 元件一同降低光透過(guò)上述第1液晶薄膜以及上述液晶薄膜或相位差薄 膜時(shí)得到的相位差的第2相位差降低元件、和第2偏癡feL而形成的缺 陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄膜一側(cè)的 方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢奎板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部 位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述第l液晶薄膜中的上述液晶分子的 長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式， 觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位，在上述檢查板配置工序中，以在平行配置上述光學(xué)薄膜和上述缺 陷檢查板的情況下使上述液晶薄膜或上述相位差薄膜的定向軸和上述 第1液晶薄膜的定向軸平行或者反平行的方式相對(duì)光學(xué)薄膜配置上述 缺陷檢查板。
5.如權(quán)利要求1~4的任意一項(xiàng)所述的光學(xué)薄膜的檢查方法，其 特征在于在和對(duì)于光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向的向量中的平行 于上述光學(xué)薄膜的延伸方向的方向的向量分量相反的方向上傳送該光 學(xué)薄膜。
全文摘要
本發(fā)明是一種光學(xué)薄膜的檢查方法，所述光學(xué)薄膜包含對(duì)液晶分子進(jìn)行了向列混合定向或均勻傾斜定向的第1液晶薄膜，其特征在于，具有光照射工序，從光源通過(guò)第1偏振板對(duì)上述光學(xué)薄膜照射光；檢查板配置工序，在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜和上述光源相反的一側(cè)，把疊層了與上述第1液晶薄膜具有大致相同的延遲的液晶薄膜或相位差薄膜、和第2偏振板而形成的缺陷檢查板，以使上述液晶薄膜或相位差薄膜向著上述光學(xué)薄膜一側(cè)的方式配置；以及觀察工序，通過(guò)上述缺陷檢查板在相對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的表面傾斜的方向上觀察該觀察部位，其中在上述觀察工序中，以使上述第1液晶薄膜中的上述液晶分子的長(zhǎng)軸方向與對(duì)于上述光學(xué)薄膜的觀察部位的觀察方向不一致的方式，觀察上述光學(xué)薄膜的觀察部位。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101266343SQ20071008858
公開日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2007年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月16日
發(fā)明者松本卓也 申請(qǐng)人:新日石液晶薄膜株式會(huì)社