專利名稱：接觸探針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及與液晶面板和集成電路等電子產(chǎn)品的電極或端子部連接 并在該電子產(chǎn)品的導通狀態(tài)檢查和動作試驗中使用的接觸探針。
背景技術(shù)：
以往，在對LCD面板等作為電子產(chǎn)品的檢查對象物進行檢查時，經(jīng) 接觸探針與LCD面板的連接端子電接觸，進而，經(jīng)與接觸探針的另一端 電連接的接觸塊與扁平電纜等連接，從與該扁平電纜連接的檢査裝置施加 各種測試信號，來進行LCD面板的檢查。該接觸探針利用半導體制造方法的光刻技術(shù)，在基板表面上一并形成 與多個檢查用電極對應(yīng)的多個梁形狀的探針而構(gòu)成(參照專利文獻1 4)。 進而，存在根據(jù)光刻法將可撓性基板等的導電箔，圖案蝕刻為超窄間距， 并在該圖案上形成凸起作為探針頭的結(jié)構(gòu)(參照專利文獻5)。這些接觸探 針利用光刻技術(shù)，因此可對應(yīng)近年的電極窄間距化。專利文獻1:特開平8-50146號公報專利文獻2:特許第3123483號公報專利文獻3:特開2003-215161號公報專利文獻4:特表2004-503785號公報專利文獻5:特開2003-98189號公報但是，在上述現(xiàn)有的接觸探針中，若在維持40iam左右的超窄間距的 同時施加較大重量時，則探針或探針頭容易損壞，壽命短，并且，當存在 覆蓋檢查對象的電極的氧化覆膜或臟物時，存在無法進行高精度檢查的問 題。此外，懸臂型接觸探針一般無法增大施加給探針頭的重量，因此，進 行上述檢查時，當存在覆蓋檢查對象的電極的氧化覆膜或臟物的情況下， 無法撞破這些氧化覆膜或臟物，最終會對探針頭施加過大重量而導致其受 損，存在縮短接觸探針的壽命的趨勢。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述情況而實現(xiàn)，目的在于提供一種在維持超窄間距的同 時，壽命長、精度高的接觸探針。為了解決上述課題實現(xiàn)目的，技術(shù)方案1的接觸探針具有在對檢査對 象物進行電氣檢查時與該檢查對象物直接連接的探針，該接觸探針還包括 使所述探針微小振動的振動單元。另外，技術(shù)方案2的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振動 單元是設(shè)置在所述探針上的壓電元件，通過驅(qū)動該壓電元件使所述探針微 小振動。另外，技術(shù)方案3的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振動 單元是設(shè)置在所述探針上的線圈，通過在形成磁場的區(qū)域改變向該線圈施 加的電流，從而使所述探針微小振動。另外，技術(shù)方案4的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振動 單元是在多個梁狀的探針之間還設(shè)置多個固定探針而形成的梳齒電極，通 過改變施加到各探針與各固定探針之間的電壓，從而使所述探針微小振 動。另外，技術(shù)方案5的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述探針 是梁狀的探針。另外，技術(shù)方案6的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述探針 是如下所述的探針在相對于接觸面大致垂直地形成的保持器內(nèi)封入導電 性針狀部件和導電性彈簧部件且二者相連接，并且導電性針狀部件的前端 從所述保持器的開口部可伸縮地突出。另外，技術(shù)方案7的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振動 單元設(shè)置在形成所述保持器的開口部的支撐部件上。另外，技術(shù)方案8的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述探針 是針狀探針。另外，技術(shù)方案9的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述探針
是在支撐部件上形成的凸起。另外，技術(shù)方案10的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述探針是薄板狀部件，板面方向為按壓方向，所述板狀部件由Ni形成，寬度 與厚度之比在5以上。另外，技術(shù)方案11的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振 動單元使探針前端在相對于接觸面大致垂直的方向上振動。另外，技術(shù)方案12的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，所述振 動單元使探針前端相對于接觸面大致平行地振動。另外，技術(shù)方案13的接觸探針基于上述發(fā)明，其特征在于，具有多 個探針，該多個探針被保持各探針的間距的保持部件覆蓋。 (發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明的接觸探針，振動單元使多個探針微小振動，通過該微小 振動來去除檢査對象電極上的臟物，撞破氧化覆膜等，由此，使接觸表面 露出，能以低接觸加重確來保所希望的接觸電阻，因此，可減輕施加到接 觸探針的負荷，實現(xiàn)維持了超窄間距的小型化，并且，可實現(xiàn)壽命長、精 度高的接觸探針。


圖1是表示本發(fā)明實施方式1的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖； 圖2是表示懸臂的前端部分的立體圖；圖3是表示添加了可撓性線纜后的接觸探針的構(gòu)成的立體圖； 圖4是表示連接在接觸探針上的狀態(tài)的圖； 圖5是表示探針頭的變形例的圖；圖6A是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，在形成探針頭的 面進行開口，通過各向異性蝕刻來形成截面為三角狀的孔的狀態(tài)的圖；圖6B是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，形成了電沉積 (electro forming)用的晶種(seed)層、和與懸臂的板厚相當?shù)目刮g層的 狀態(tài)的圖；圖6C是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，去除了與懸臂對 應(yīng)區(qū)域的抗蝕層后的狀態(tài)的圖6D是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，形成了懸臂后的 狀態(tài)的圖；圖6E是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，形成了保持膜以 及支撐部件后的狀態(tài)的圖；圖6F是表示在圖1所示的接觸探針的制造工序中，在支撐部件上形 成了壓電元件后的狀態(tài)的圖；圖7是表示本發(fā)明實施方式1的變形例的圖；圖8是表示本發(fā)明實施方式1的變形例的圖；圖9是表示本發(fā)明實施方式1的變形例的圖；圖IO是表示本發(fā)明實施方式1的變形例的圖；圖11是表示本發(fā)明實施方式2的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖；圖12是表示本發(fā)明實施方式3的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖；圖13是表示本發(fā)明實施方式4的接觸探針的概要構(gòu)成的剖視圖；圖14是表示圖13所示的接觸探針的背面的圖；圖15是表示本發(fā)明實施方式5的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖；圖16是表示本發(fā)明實施方式6的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖；圖17是圖16所示的接觸探針的俯視圖。圖中1、 31—探針頭；2—懸臂；3 —保持膜；3a—BCB薄片；4、 51、 52、 53、 85、 85a 85d、 93、 104_壓電元件；4a、 92、 101—支撐部件； 5 —各向異性導電膜；10、 30、 60、 70、 80、 90、 100—接觸探針；ll一可動部；12—固定部；13—FPC; 14 —接觸塊；20 —測量裝置；21—測量部； 22 —振蕩部；23 —控制部；41一晶片基板；43 —晶種層；55 —檢査電極端 子部；61 —薄膜線圈；72—對置梳齒電極；81、 82—針狀部件；83 —彈簧 部件；84 —保持器；86 —引線；91一針狀部件；102 —布線圖案；103 —凸起；105 —間隙。
具體實施方式
下面，對用于實施本發(fā)明的最佳方式的接觸探針進行說明。此外，這里，對在LCD面板的檢査中使用的接觸探針進行說明。(實施方式l
圖1是表示本發(fā)明實施方式1的接觸探針的構(gòu)成的立體圖。在圖1中，接觸探針10使探針頭1下降到液晶面板等電子產(chǎn)品的電極上，通過使電 極與探針頭接觸來進行電檢查。該接觸探針10通過并排配置具有懸臂梁 構(gòu)造的多個懸臂而構(gòu)成，在懸臂2的前端部，垂直設(shè)置有三角板狀且前端 尖的探針頭1。接觸探針10大致可分為由探針頭1側(cè)的可動部11和基部 側(cè)的固定部12構(gòu)成?？蓜硬縧l以及固定部12的長度分別為2mm左右。 懸臂2由Ni形成，表面以Au-Co合金施加了 lnm的鍍層。該懸臂2 并排配置400根，如圖2所示，按40pm間距排列。懸臂2形成為板狀， 厚度為20nm、寬度為10(Him、探針頭的高度為10(Him，相鄰的懸臂2的 間隙為20(im。在懸臂2的可動部11側(cè)的上面，按照覆蓋各懸臂2的方式設(shè)置保持膜 3，該保持膜3連接并保持各懸臂2。保持膜3其厚度為5 10pm，與懸 臂2相比由低彈性體形成。例如，由BCB (《> 、/廿 < 夕口于 >)樹脂形成。在固定部12的探針頭1頂U，以與保持膜3同樣的材質(zhì)設(shè)置覆蓋并連 接各懸臂2的支撐部件4a，在其上面設(shè)置壓電元件4。該壓電元件4在懸 臂2的長度方向上極化而伸縮。因此，若壓電元件4因壓電效應(yīng)而伸縮， 則各懸臂2的上面?zhèn)壬炜s，各懸臂2的前端側(cè)上下振動。壓電元件4由PZT 形成，厚度為10iim，電極由Pt圖案化而形成，該電極的厚度為0.5pm。在固定部12的基部側(cè)，各向異性導電膜5形成在懸臂2的上面，使 各懸臂2電連接。gP，各向異性導電膜5在懸臂2與各向異性導電膜5相 接的面垂直的方向上具有導電性，作為對上面的取出電極而發(fā)揮功能。壓電元件4的電極以及各向異性導電膜的取出端與測量裝置20側(cè)電 連接，壓電元件4的電極與振蕩部22連接，各向異性導電膜的取出端與 測量部21連接?？刂撇?3對測量部21以及振蕩部22進行控制。尤其是， 在探針1與檢査對象的電極接觸時，控制部23從振蕩部22輸出規(guī)定頻率 的信號，來驅(qū)動壓電元件4，從而可靠地去除探針1與檢査對象的電極之 間的氧化覆膜或臟物，進行可靠的接觸。如圖3所示，該接觸探針10與測量裝置20的電連接可利用可撓性線 纜(FPC) 13。如圖4所示，該FPC13還用于向探針塊14進行安裝。此
外，接觸探針10相對于探針塊14的水平面向下方傾斜配置。因此，如圖 5所示，探針頭1的形狀也可以如探針頭31那樣，不是三角板狀，而是矩 形板狀。只要在下部方向具有尖狀部分即可。在此，參照圖6A 圖6F，對接觸探針10的制造方法進行說明。首先， 利用抗蝕層，將Si晶片基板41上形成的Si02在形成探針頭1的面進行開 口，通過各向異性蝕刻來形成截面為三角狀的孔(圖6A)。然后，形成電 沉積用的晶種層43、和與懸臂2的板厚即100pm相當?shù)目刮g層(圖6B)。 接著，通過活性離子腐蝕(reactive ion etching),去除與懸臂2對應(yīng)區(qū)域 的抗蝕層(圖6C)。進而，在該進行了去除后的區(qū)域上電沉積線狀的Ni， 形成懸臂2 (圖6D)。接著，按照覆蓋該懸臂的上面的方式層疊BCB，形 成保持膜3以及支撐部件4a (圖6E)。進而，在支撐部件4a上形成壓電 元件4。即，由Pt形成PZT和作為對其施加電壓的電極的圖案(圖6F)。 然后，去除Si晶片基板41，連接各向異性導電膜，從而形成接觸探針I(yè)O。圖1所示的接觸探針10的壓電元件4是沿懸臂2的長度方向伸縮驅(qū) 動的元件，但也可如圖7所示的壓電元件51那樣，沿與懸臂2的長度方 向垂直的方向伸縮驅(qū)動。在圖1中，通過懸臂2沿長度方向伸縮驅(qū)動，從 而探針頭l上下微小地振動，如上所述能容易地撞破氧化覆膜等，而在圖 7中，通過沿與懸臂2的長度方向垂直的方向伸縮驅(qū)動，從而能可變地設(shè) 定懸臂2的間距。由于懸臂2的間距因溫度等環(huán)境條件而變化，因此通過 沿該垂直的方向伸縮驅(qū)動，可調(diào)整間距。此外，可使懸臂2沿長度方向伸縮，并使探針頭1沿著相對于接觸面 大致垂直的方向振動，也可使探針頭1沿著相對于接觸面大致水平的方向 例如沿左右前后振動。進而，還可適當組合這些振動方向。另外，如圖8所示，也可按每個懸臂2設(shè)置沿懸臂2的長度方向伸縮 驅(qū)動的壓電元件52。由此，能僅對所希望的懸臂2發(fā)生微小振動，從而可 靠地進行電接觸。即，使得通過各懸臂2的微小振動來去除檢查對象電極 上的臟物，撞破氧化覆膜等，由此，使接觸表面露出，能以低接觸加重來 確保所希望的接觸電阻，因此，可減輕施加到接觸探針的負荷，實現(xiàn)維持 了超窄間距的小型化，并且，可實現(xiàn)壽命長、精度高的接觸探針。進而，如圖9所示，也可在相鄰的懸臂2之間分別設(shè)置沿與懸臂2的長度方向垂直的方向伸縮驅(qū)動的壓電元件53。由此，能進一步精細且靈活 地調(diào)整間距。另外，上述的接觸探針10為懸臂梁構(gòu)造，但并不限定于此，也可以 是從兩端支撐的構(gòu)造。進而，如圖10所示，還可采用使兩個接觸探針10對置，并對各懸臂 2的前端進行鋸齒配置的構(gòu)成。此時，各探針頭的間距與一個探針頭時相 比減半，能進一步對應(yīng)窄間距的電極檢查。另外，上述的保持膜3形成在懸臂2的上面，但并不限定于此，也可 形成為覆蓋懸臂2的下面，還可形成為嵌入到懸臂2之間。進而，上述壓電元件的構(gòu)成等可任意組合。此外，懸臂2的母材由Ni形成，但并不限定于此，還可以是Fe系合 金、Ni系合金、Cu系合金、鋁、鎢、硅、碳等的金屬、聚酰亞胺等的樹 脂、氧化鋁(A1203)和二氧化硅(Si02)等的陶瓷。另外，懸臂2的鍍層 優(yōu)選Au、 Rd、 Pt等高導電性金屬。進而，保持膜3和支撐部件4a并不限 定于BCB，也可由聚酰亞胺等實現(xiàn)。另外，壓電元件4也可由其他壓電材 料形成，例如可由LiNb03實現(xiàn)。 (實施方式2)接著，對本發(fā)明的實施方式2進行說明。在上述的實施方式l中，利 用壓電元件4使懸臂2的前端微小振動，但在該實施方式2中，設(shè)置薄膜 線圈61，通過在磁場內(nèi)進行通電，從而使懸臂2的前端微小振動。圖11是表示本發(fā)明實施方式2的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖。如圖 11所示，該接觸探針60在保持膜3上取代壓電元件4而設(shè)置了薄膜線圈 61。其他構(gòu)成與實施方式l相同。該薄膜線圈61由Cu或Ni等導電性材料實現(xiàn)，在圖11中，通過將厚 2pm、寬20pm的Cu巻繞30圈來實現(xiàn)。薄膜線圈61形成在BCB薄片3a 上，該BCB薄片3a形成在保持膜3上，薄膜線圈61的中央部與該BCB 薄片3a的背面連接，并與保持膜3上的焊盤電連接。薄膜線圈61在磁場內(nèi)若被通電，則根據(jù)其通電量而變位，通過施加 交流信號，懸臂2的前端部分會微小振動。 (實施方式3)
接著，對本發(fā)明的實施方式3進行說明。在上述實施方式l中，利用 壓電元件4使懸臂2的前端部分微小振動，但在該實施方式3中，使懸臂 2作為梳齒電極的一方，從而使其微小振動。圖12是表示本發(fā)明實施方式3的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖。如 圖12所示，該接觸探針70不設(shè)置壓電元件2或薄膜線圈61，而在各懸臂 2之間形成對置梳齒電極72，由該對置梳齒電極72和懸臂2形成梳齒電 極。若向?qū)χ檬猃X電極72施加電壓，則通過對置梳齒電極72與懸臂2之 間的靜電力而懸臂2上下變化。因此，通過對施加到對置梳齒電極72的 電壓采用交流信號，從而使懸臂2的前端部分微小振動。 (實施方式4)下面，對本發(fā)明實施方式4進行說明。在上述的實施方式1 3中， 均為懸臂構(gòu)造，但在該實施方式4中，在利用了針狀部件和彈簧部件的接 觸探針上設(shè)置振動單元。圖13是表示本發(fā)明實施方式4的接觸探針的概要構(gòu)成的剖視圖。另 外，圖14是表示圖13所示的接觸探針的背面的圖。在圖13以及圖14中， 該接觸探針80按規(guī)定間距配置多個保持器84，所述保持器84沿相對于接 觸面垂直的方向延伸。在各保持器84內(nèi)以電性固定的狀態(tài)分別封入了與 引線86側(cè)接觸的針狀部件81、彈簧部件83、與檢査對象電極接觸的針狀 部件82，針狀部件82的前端部分從保持器84的檢查對象電極側(cè)的開口部 分伸縮自如地突出，按照對檢查對象電極施加接觸加重的方式與其接觸。在具有使針狀部件82前端部分突出的開口部的支撐部件的面上，配 置壓電元件85。向該壓電元件85施加電壓，使其微小振動，從而可使針 狀部件82相對于支撐部件的面沿水平方向微小振動，由此，能可靠且以 低接觸加重來實現(xiàn)針狀部件82的前端部分與檢查對象電極之間的接觸。 另外，能使針狀部件82之間的間距可變。此時，如圖14所示，通過在多個區(qū)域配置壓電元件85a 85d，從而 不存在停止狀態(tài)下的針狀部件82，能使所有針狀部件82沿水平方向微小 振動。進而，也可使壓電元件85的振動方向為相對檢查對象電極垂直的方
向，并使針狀部件82上下振動，從而可靠且以低接觸加重來實現(xiàn)針狀部 件82的前端部分與檢查對象電極之間的接觸。 (實施方式5)接著，對本發(fā)明實施方式5進行說明。在該實施方式5中，在具有剛 性高的多個針狀部件的接觸探針上設(shè)置振動單元。圖15是表示本發(fā)明實施方式5的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖。如 圖15所示，該接觸探針90具有多個針狀探針91，所述針狀探針91并排 配置前端部分為錐狀的圓柱部件，該前端部分彎曲為約90度并朝向檢查 對象電極方向。多個針狀探針91在基部側(cè)由支撐部件92保持各針狀探針 91之間的間距，在該支撐部件92的上面設(shè)置有壓電元件93。通過壓電元件93的微小振動而針狀探針91的前端部分微小振動，由 此，可靠且以低接觸加重地進行針狀探針91的前端與檢查對象電極之間 的接觸。此外，與上述實施方式1 4同樣，壓電元件93的微小振動方向 相對于檢査對象電極的面可以是平行的方向，也可以是垂直的方向。另外， 通過向壓電元件93施加電壓，針狀探針91的前端沿平行的方向擴展，還 能可變地設(shè)定間距。 (實施方式6)接著，對該發(fā)明的實施方式6進行說明。在該實施方式5中，在支撐 部件的面上形成了多個凸起的接觸探針上設(shè)置振動單元。圖16是表示本發(fā)明實施方式6的接觸探針的概要構(gòu)成的立體圖。另 外，圖17是圖16所示的接觸探針的俯視圖。在圖16和圖17中，該接觸 探針100具有由聚酰亞胺等實現(xiàn)的平板上的支撐部件101，在該支撐部件 101的一個面的邊緣附近，以直線狀配置由Ni形成的多個凸起103。該凸 起103與檢查對象電極接觸。各凸起103之間配置規(guī)定間距，分別通過由 Ni實現(xiàn)的布線圖案102來形成引線。在支撐部件101的另一面的基部側(cè)設(shè)置壓電元件104。此外，凸起103 及其附近的布線圖案所對應(yīng)的支撐部件101的部分，通過切割鋸而形成間 隙105，使各凸起103部分的振動變得容易。在該實施方式6中，與上述實施方式1 5同樣，通過壓電元件104 微小振動而凸起103微小振動，由此，可靠且以低接觸加重地進行凸起103
與檢查對象電極之間的接觸。此外，與上述實施方式1 5同樣，壓電元 件104的微小振動方向相對于檢查對象電極的面可以是平行的方向，也可 以是垂直的方向。另夕卜，通過向壓電元件104施加電壓，凸起103沿平行 的方向擴展，還能可變地設(shè)定間距。另外，在上述實施方式1 6中，對具有多個探針的接觸探針進行了 說明，但并不限定于此，也可以是由一個探針構(gòu)成的接觸探針。另外，在 上述實施方式1 6中，壓電元件等振動單元設(shè)置在探針的基部側(cè)，但并 不限定于此，也可配置在探針的前端側(cè)。只要探針的前端部分振動即可。此外，上述實施方式1 6所示的構(gòu)成要素可適當組合。 (工業(yè)上的可利用性)如上所述，本發(fā)明的接觸探針適合與液晶面板和集成電路等電子產(chǎn)品 的電極或端子部連接來進行該電子產(chǎn)品的導通狀態(tài)檢査和動作試驗。
權(quán)利要求
1.一種接觸探針，其具有在對檢查對象物進行電氣檢查時與該檢查對象物直接連接的探針，該接觸探針還包括使所述探針微小振動的振動單元。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸探針，其特征在于，所述振動單元是設(shè)置在所述探針上的壓電元件，通過驅(qū)動該壓電元件 使所述探針微小振動。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸探針，其特征在于， 所述振動單元是設(shè)置在所述探針上的線圈，通過在形成磁場的區(qū)域改變向該線圈施加的電流，從而使所述探針微小振動。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸探針，其特征在于， 所述振動單元是在多個梁狀的探針之間還設(shè)置多個固定探針而形成的梳齒電極，通過改變施加到各探針與各固定探針之間的電壓，從而使所 述探針微小振動。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述探針是梁狀的探針。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述探針是如下所述的探針在相對于接觸面大致垂直地形成的保持器內(nèi)封入導電性針狀部件和導電性彈簧部件且二者相連接，并且導電性針 狀部件的前端從所述保持器的開口部可伸縮地突出。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的接觸探針，其特征在于，所述振動單元設(shè)置在形成所述保持器的開口部的支撐部件上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于，所述探針是針狀探針。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述探針是在支撐部件上形成的凸起。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述探針是薄板狀部件，板面方向為按壓方向，所述板狀部件由Ni形成，寬度與厚度之比在5以上。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述振動單元使探針前端在相對于接觸面大致垂直的方向上振動。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1 4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 所述振動單元使探針前端相對于接觸面大致平行地振動。
13. 根據(jù)權(quán)利要求
4的任一項所述的接觸探針，其特征在于， 具有多個探針，該多個探針被保持各探針的間距的保持部件覆蓋。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在維持超窄間距的同時壽命長且精度高的接觸探針。接觸探針(10)具有在對檢查對象物進行電氣檢查時與該對象物直接連接的多個梁狀的懸臂(2)，還包括使懸臂(2)微小振動的壓電元件(4)，通過對該壓電元件(4)進行驅(qū)動，懸臂(2)的前端上下移動，容易撞破檢查對象物的電極上的氧化覆膜等，能可靠地進行與電極的接觸。
文檔編號G01R1/073GK101151541SQ200680010370
公開日2008年3月26日 申請日期2006年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
發(fā)明者富永潤, 石川浩嗣 申請人:日本發(fā)條株式會社