專(zhuān)利名稱(chēng)：光學(xué)裝置和檢查模件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)裝置和包含這種裝置的檢查模件。本發(fā)明尤其涉及光學(xué)裝置和能通過(guò)拍攝裝置同時(shí)地拍攝物體的下側(cè)或上側(cè)的圖像及同一物體的至少一個(gè)橫側(cè)的圖像的檢查模件。
這種模件例如被用于檢查電子部件，例如無(wú)導(dǎo)線部件(QFN，MLP，...)，晶片或帶有制成的導(dǎo)線的部件。它們通常包含有觀察系統(tǒng)，要被檢查的部件的下或上側(cè)圖像和至少一個(gè)其橫側(cè)圖像被引向所述觀察系統(tǒng)。例如為了在屏幕上一起顯示它們(圖像)和/或?yàn)榱藢?duì)它們進(jìn)行數(shù)字化處理以便檢查部件可能的異常，所述觀察系統(tǒng)同時(shí)地拍攝這些圖像。
某些檢查模件特別地允許同時(shí)拍攝

圖1簡(jiǎn)略地圖釋的同一部件1的下(或上)側(cè)10的圖像和4個(gè)橫側(cè)11、12、13、14的圖像，如所謂的5s(5側(cè))檢查。圖2圖釋通過(guò)5s檢查裝置的觀察系統(tǒng)顯示電子部件的例子。部件的下側(cè)10的圖像可看見(jiàn)處于顯示圖像的中心，同時(shí)可看見(jiàn)其4個(gè)橫側(cè)11、12、13、14的圖像在各側(cè)面。
圖3簡(jiǎn)略地圖釋先有技術(shù)檢查模件的光學(xué)裝置。部件1的橫側(cè)12、14的圖像通過(guò)位于要被檢測(cè)的部件1側(cè)面的鏡子2被引向觀察系統(tǒng)7，例如照相機(jī)的物鏡。為了更清晰，在圖3中僅顯示了兩個(gè)鏡子2。然而，在能做5s檢查的光學(xué)裝置的情況下，它包含4個(gè)鏡子，每個(gè)鏡子被布置成與部件1的4個(gè)橫側(cè)中的一個(gè)相對(duì)。
從圖3清楚地顯露出中央圖像10的光程A的長(zhǎng)度不等于橫側(cè)圖像12、14的光程c的長(zhǎng)度。這兩個(gè)光程之間的長(zhǎng)度差ΔI0是I0=b+u2+n2.]]>事實(shí)上，這個(gè)值常顯示為幾毫米，它通常大于觀察系統(tǒng)7使用的物鏡的焦距深度，特別是在檢查非常小的部件1的情況下，它需要高倍放大的物鏡。同時(shí)具有正確聚焦的中央圖像10和正確聚焦的橫側(cè)圖像11、12、13、14，則是困難的，或甚至在某些情況下是不可能的。當(dāng)這些圖像中的至少一個(gè)是輕微模糊的時(shí)，這導(dǎo)致部件1表面的檢查方面的測(cè)量誤差或精度不足。
因此，本發(fā)明的目的是推薦一種光學(xué)裝置，它能夠避免先有技術(shù)的光學(xué)裝置的不便。
本發(fā)明的目的尤其在于推薦一種光學(xué)裝置，它能夠正確聚焦和同時(shí)顯示物體的中央圖像和同一物體的至少一個(gè)橫側(cè)圖像，即使是小的物體。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是推薦一種檢查模件，它能在優(yōu)化條件下完成小尺寸部件的下和/或上側(cè)和至少一個(gè)其橫側(cè)的同時(shí)目視檢查。
這些目的通過(guò)光學(xué)裝置和通過(guò)具有相應(yīng)獨(dú)立的各權(quán)項(xiàng)的特點(diǎn)的檢查裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)，有益的實(shí)施例還通過(guò)附屬的各權(quán)項(xiàng)來(lái)指明。
這些目的尤其通過(guò)顯示物體的中央圖像和同一物體的至少一個(gè)橫側(cè)圖像的光學(xué)裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)，所述光學(xué)裝置具有的中央圖像實(shí)際光程的長(zhǎng)度不同于橫側(cè)圖像實(shí)際光程的長(zhǎng)度，而具有的中央圖像的視在光程的長(zhǎng)度等于橫側(cè)圖像的視在光程的長(zhǎng)度；這些目的還通過(guò)物體的光學(xué)檢查模件和光學(xué)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，該物體的光學(xué)檢查模件包含這種光學(xué)裝置，該光學(xué)系統(tǒng)允許同時(shí)地拍攝物體的中央圖像和該同一物體的至少一個(gè)橫側(cè)圖像。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)橹醒雸D像的視在光程與橫側(cè)圖像的視在光程是相等的，這兩個(gè)圖像可由單個(gè)觀察系統(tǒng)同時(shí)地拍攝和正確地聚焦。
通過(guò)由附圖1-8圖釋的優(yōu)先實(shí)施例的描述，本發(fā)明將被更好地理解，其中圖1預(yù)先地討論、簡(jiǎn)略地圖釋5s檢查的原理；圖2預(yù)先地討論、圖釋由5s檢查裝置的觀察系統(tǒng)顯示的電子部件；圖3預(yù)先地討論、簡(jiǎn)略地圖釋先有技術(shù)的光學(xué)裝置的工作原理；圖4簡(jiǎn)略地圖釋根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例的光學(xué)裝置的工作原理；圖5圖釋在射入它的光線上具有與空氣不同折射系數(shù)的材料的效應(yīng)；圖6顯示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例的檢查模件；和圖7顯示根據(jù)本發(fā)明的檢查模件集成于部件加工線上的全套檢查系統(tǒng)的例子。
圖4簡(jiǎn)略地圖釋根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例的光學(xué)裝置。它最好包含棱鏡3，棱鏡3布置成在棱鏡之間留有用于插入物體的足夠空間，所述物體例如是要被檢查的電子部件1。為便于觀察，只有兩個(gè)棱鏡3被顯示在圖4中彼此相對(duì)。然而棱鏡3的數(shù)目根據(jù)需要來(lái)決定，例如根據(jù)要被同時(shí)檢查的物體橫側(cè)的數(shù)目來(lái)決定。特別是在5s檢查的情況下，根據(jù)圖4中圖釋的原理，本發(fā)明的光學(xué)裝置最好包含4個(gè)棱鏡，4個(gè)棱鏡交叉地圍繞要被檢查的部件。然而也可能在本發(fā)明的框架范圍內(nèi)設(shè)想光學(xué)裝置具有3個(gè)棱鏡，3個(gè)棱鏡布置在用來(lái)檢查具有3個(gè)橫側(cè)的物體的三角形中，等等。
本發(fā)明的光學(xué)裝置最好連接于圖4中部分地和簡(jiǎn)略地顯示的觀察系統(tǒng)7，觀察系統(tǒng)7允許被光學(xué)裝置折返的圖像被拍攝和進(jìn)行可能的處理和/或被顯示。為此目的，觀察系統(tǒng)7最好包含拍攝裝置，例如是照相機(jī)，它的物鏡以這種方式布置它能拍攝被光學(xué)裝置折返的圖像。這也是可能的，特別是出于空間要求的理由，把拍攝裝置的物鏡定位在另一方向，例如垂直于光學(xué)裝置的圖像輸出方向，并把后者引向拍攝裝置，例如借助于圖4中沒(méi)有顯示的折返裝置和例如包括棱鏡或鏡子。因此折返裝置的應(yīng)用，允許在相對(duì)于光學(xué)裝置布置拍攝裝置方面有更大的自由，這常常是希望的，或甚至是需要的，特別是例如在光學(xué)裝置中當(dāng)可利用空間有限的時(shí)候是如此。
要被檢查的部件1暫時(shí)被置于各棱鏡3之間，對(duì)著觀察系統(tǒng)7。最好通過(guò)其對(duì)著觀察系統(tǒng)7的側(cè)邊使它保持在這個(gè)位置，例如通過(guò)它的上側(cè)借助于部件保持件(未圖示)，所述保持件例如是電子部件輸送器的吸嘴。
部件1的中央圖像10，例如是其下側(cè)的圖像，由此被觀察系統(tǒng)7直接地拍攝，同時(shí)其橫側(cè)圖像12、14被反射并通過(guò)棱鏡3被再引向觀察系統(tǒng)7。因此本發(fā)明的光學(xué)裝置對(duì)于要檢查的每個(gè)橫側(cè)最好含有一個(gè)棱鏡3。在能進(jìn)行5s檢查的光學(xué)裝置的情況下，例如所述光學(xué)裝置含有交叉圍繞部件布置的4個(gè)棱鏡3，每個(gè)棱鏡3對(duì)著其一個(gè)橫側(cè)。
在圖4以例子圖釋的優(yōu)先實(shí)施例中，部件1的中央圖像10是由位于光學(xué)裝置下方的觀察系統(tǒng)7直接拍攝的部件1下側(cè)的圖像。因此棱鏡3被布置成便于使其橫側(cè)12、14的圖像也被引向下朝向觀察系統(tǒng)7。然而技術(shù)人員會(huì)理解這完全可能在本發(fā)明的框架范圍內(nèi)來(lái)支承部件的下側(cè)并把觀察系統(tǒng)布置成對(duì)著部件的上側(cè)。然后各棱鏡最好定位成使橫側(cè)圖像也被引向上，使得光學(xué)裝置能允許同時(shí)檢查部件的上側(cè)--它是中央圖像--和檢查至少其一個(gè)橫側(cè)。
棱鏡3由具有與空氣不同的折射系數(shù)的透明材料構(gòu)成。因此穿過(guò)這些棱鏡3的各橫側(cè)圖像的視在光程的長(zhǎng)度不同于這些圖像的實(shí)際光程的長(zhǎng)度。根據(jù)本發(fā)明，如同下面還將解釋的，棱鏡3的尺寸I、d和/或它們的折射系數(shù)被選擇成橫側(cè)12、14的視在光程的長(zhǎng)度等于中央圖像10的視在光程的長(zhǎng)度，盡管它們的實(shí)際光程的長(zhǎng)度不同。因?yàn)楸挥^察系統(tǒng)7拍攝的中央圖像10及橫側(cè)圖像12、14都越過(guò)相同長(zhǎng)度的視在光程，它們顯得被正確聚焦成觀察系統(tǒng)7的相同焦距。因此它們可由觀察系統(tǒng)正確聚焦地、同時(shí)地顯示，由此例如能最佳地目視檢查部件的表面。
借助于下文給出的理論提示和圖5的圖釋?zhuān)瑢?huì)更好地理解本發(fā)明的原理，圖5是通過(guò)光學(xué)片30觀察到的物體，光學(xué)片30具有折射系數(shù)n和寬度d，所觀察到的物體顯得接近于其真實(shí)的物體。其圖像的視在光程32因此相對(duì)于實(shí)際光程31被減小了。圖5中的實(shí)線代表實(shí)際光程31，而虛線代表視在光程32。物體的實(shí)際距離與視在距離之間的差值Δd計(jì)算如下Δd＝d·(n-1)/n。
根據(jù)圖4中以例子圖釋的本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例，在先有技術(shù)的光學(xué)裝置中觀測(cè)到的光程的長(zhǎng)度差由此應(yīng)用棱鏡3來(lái)補(bǔ)償，棱鏡3用于把各橫側(cè)圖像再引向和發(fā)送給觀察系統(tǒng)7。棱鏡3的尺寸d、I以及所使用材料的折射系數(shù)n選擇成橫側(cè)圖像12、14的視在光程的長(zhǎng)度等于中央圖像10的視在光程的長(zhǎng)度。
在圖4的例子中，沒(méi)有光學(xué)元件被布置在部件1下側(cè)與觀察系統(tǒng)7之間。因此中央圖像由后者直接拍攝，除了空氣，沒(méi)有任何其它中間元件，空氣的折射系數(shù)通常接近1。因此中央圖像10的視在光程的長(zhǎng)度等于其實(shí)際光程A的長(zhǎng)度。
在棱鏡3的作用下，橫側(cè)圖像12、14的實(shí)際光程c的長(zhǎng)度與它們的視在光程的長(zhǎng)度之間差值等于ΔIp＝(1+d)·(n-1)/n。
橫側(cè)圖像12、14的實(shí)際光程c的長(zhǎng)度與中央圖像10的實(shí)際光程A的長(zhǎng)度之間的差值本身是ΔI0＝b+d/2+h/2，
其中h是部件1的高度。
為了用各橫側(cè)圖像的實(shí)際光程c與它們的視在光程之間的差值去補(bǔ)償實(shí)際光程c及A的這個(gè)長(zhǎng)度差值，棱鏡3的尺寸必須滿足方程ΔI0＝ΔIp，這等于b+d/2+h/2＝(I+d)·(n-1)/n。
當(dāng)這個(gè)方程被滿足時(shí)，橫側(cè)圖像12、14的視在光程的長(zhǎng)度等于中央圖像10的視在光程的長(zhǎng)度。因此觀察系統(tǒng)7的焦距可調(diào)節(jié)成使橫側(cè)圖像12、14和中央圖像10同時(shí)被正確地聚焦。
實(shí)際上，部件1的高度，部件1與棱鏡3之間的距離b和棱鏡3的寬度d都由機(jī)械的和成像的條件決定。因此棱鏡的長(zhǎng)度I被調(diào)節(jié)，以獲得上面指出的等同值。
這些尺寸例如是b＝1mmd＝3.2mmh＝1mmn＝1.52(BK7)在此情況下，棱鏡的長(zhǎng)度必須是I＝5.9mm。
在此處上面用例子描述的本發(fā)明優(yōu)先實(shí)施例的裝置中，各棱鏡3都是相同的并布置成對(duì)于每個(gè)棱鏡3，它們之間的距離和相應(yīng)的要被檢查的部件1的橫側(cè)都是相同的。然而技術(shù)人員會(huì)理解在本發(fā)明的框架內(nèi)把每個(gè)棱鏡布置成距橫側(cè)不同距離，這是可能的，所述橫側(cè)的圖像必須被再引導(dǎo)。然而裝置的每個(gè)棱鏡的尺寸I、d和/或折射系數(shù)n可能不同，以便補(bǔ)償每個(gè)圖像的各實(shí)際光程之間的長(zhǎng)度差值。
根據(jù)需要，棱鏡3也可被更換或伴隨有其它形式的光學(xué)元件(未圖示)，所述光學(xué)元件允許圖像的光程的視在長(zhǎng)度被修正。例如這是可能的在本發(fā)明的框架范圍內(nèi)，利用一個(gè)或幾個(gè)光導(dǎo)體去補(bǔ)償不同圖像10、11、12、13、14的各實(shí)際光程的長(zhǎng)度差值，每個(gè)光導(dǎo)體例如具有不同尺寸和/或折射系數(shù)，所述光導(dǎo)體布置在橫側(cè)圖像的光程中和/或在中央圖像的光程中。
根據(jù)優(yōu)先實(shí)施例，本發(fā)明的光學(xué)裝置被集成于光學(xué)檢查模件中，所述光學(xué)檢查模件例如能檢查具有2-12mm側(cè)邊的電子部件。然而技術(shù)人員將會(huì)理解在本發(fā)明的框架范圍內(nèi)，當(dāng)檢查具有其它尺寸的部件時(shí)，特別是當(dāng)檢查較小的部件時(shí)，它可適應(yīng)光學(xué)裝置的各尺寸。
根據(jù)圖6中剖視釋的本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施例，光學(xué)檢查模件包括1.根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)裝置，它包含例如4個(gè)棱鏡3，僅是其中的兩個(gè)顯示于圖6中，被交叉布置以允許進(jìn)行部件的5s檢查；2.最好用軟件構(gòu)建的3個(gè)照明燈同軸的照明燈50，第一環(huán)形照明燈51和第二環(huán)形照明燈52；3.含有高分辨率數(shù)碼相機(jī)70的觀察系統(tǒng)，例如至少是1400×1050像素的，裝設(shè)能使觀察系統(tǒng)的視野適應(yīng)部件的尺寸的變焦鏡頭71。
在其優(yōu)先實(shí)施例中，光學(xué)模件適合應(yīng)用于電子部件加工線上，所述電子部件加工線連接于環(huán)形輸送器9(部分地顯示)的周?chē)?。這樣一種加工線通常包含各加工站程序，例如試驗(yàn)、檢查和/或精整站，它們布置在中央環(huán)形輸送器9的周?chē)?，中央環(huán)形輸送器9利用部件保持器把部件1從一個(gè)加工站帶至下一個(gè)加工站，所述部件保持器例如是布置在其圓周的吸嘴90。環(huán)形輸送器9的運(yùn)動(dòng)是分度的，以便在每個(gè)工步中使一個(gè)新的電子部件出現(xiàn)在每個(gè)加工站。
加工線最好由控制系統(tǒng)(未圖示)指揮和控制，所述控制系統(tǒng)特別地使所有線上的元件定位。
因此含有本發(fā)明的光學(xué)裝置的光學(xué)模件被布置在加工線的輸送器9的周?chē)?。它最好被固定在含有固定元?未圖示)的支承板6上，所述固定元件能使它被固定在輸送器9下面的靜止板900上。靜止板900在為加工站提供的每個(gè)位置處最好具有相同的固定元件(未圖示)。因此光學(xué)模件能以完全的標(biāo)準(zhǔn)組件方式被集成于加工線中。
當(dāng)光學(xué)模件被布置在輸送器9下面時(shí)，含有棱鏡3的光學(xué)裝置以這樣一種方式布置在輸送器9的每個(gè)工步中，電子部件1精確地存在于其中心的上方，最好位于距每個(gè)棱鏡3等距離處。在輸送器的停轉(zhuǎn)時(shí)間期間，利用其上表面保持部件1(位置)的吸嘴90被降低，使得部件1存在于光學(xué)裝置的內(nèi)部，位于圖6圖釋的位置中，并因此可由觀察系統(tǒng)7檢查。
由于空間要求的原因，照相機(jī)70被水平地布置。因此其拍攝軸線是水平的。因此從本發(fā)明的光學(xué)裝置出來(lái)的中央及橫側(cè)圖像被引入觀察系統(tǒng)拍攝軸線的軸線中，例如借助于附加的棱鏡72，棱鏡72最好是唯一的。
通過(guò)參考圖7，本發(fā)明的光學(xué)模件61例如被集成于部件加工線中，所述部件加工線被連接于輸送器9的周?chē)⒂煽梢暱刂葡到y(tǒng)8指揮，例如至少部分地在個(gè)人計(jì)算機(jī)或任何其它數(shù)字計(jì)算機(jī)上完成?？梢暱刂葡到y(tǒng)8最好含有輸入/輸出板80，板80能夠例如與輸送器9的控制系統(tǒng)99通信并由此保證這些元件的最佳定位。
最好是可視控制系統(tǒng)8還指揮光學(xué)模件61的所有部件，特別是照明燈50、51、52和拍攝裝置70。本發(fā)明的光學(xué)模件的照明燈50、51、52例如是借助于燈光控制模件85構(gòu)造和指揮的并在個(gè)人計(jì)算機(jī)上完成，燈光控制模件85是可視控制系統(tǒng)8的一部分，而拍攝裝置70是由圖像拍攝模件87操縱的，圖像拍攝模件87例如能夠啟動(dòng)拍攝和加工所拍攝的圖像。
由本發(fā)明的光學(xué)模件61操縱的例如5s檢查可在部件加工線上完成，例如利用兩個(gè)附加的光學(xué)檢查模件，一個(gè)能控制部件的上表面狀態(tài)的板上檢查模件62，和一個(gè)例如在齒槽帶中的帶上檢查模件63，模件63能在各模件的精整之前或之中執(zhí)行各部件的最后可視控制。最好是這些檢查模件中的每一個(gè)也由可視控制系統(tǒng)8操縱，而它們的照明例如也是由燈光控制模件85控制。最好是每個(gè)檢查模件62及63也含有拍攝裝置，所述拍攝裝置的圖像例如分別由觀察控制系統(tǒng)8的圖像拍攝模件88、89進(jìn)行加工。
根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施例，本發(fā)明的光學(xué)檢查模件61包含其自己的獨(dú)立控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)通過(guò)合適的輸入/輸出接口與加工線的可視控制系統(tǒng)8相互作用。
根據(jù)其優(yōu)先實(shí)施例，本發(fā)明的光學(xué)裝置被用于同時(shí)檢查電子部件的下或上側(cè)和至少一個(gè)橫側(cè)。大多數(shù)電子部件的尺寸和檢查它們的裝置的尺寸特別好地適于通過(guò)棱鏡3的長(zhǎng)度來(lái)糾正光程，棱鏡3的所需長(zhǎng)度保持在合理的尺寸范圍內(nèi)。然而技術(shù)人員將會(huì)理解本發(fā)明的原理可應(yīng)用于其的領(lǐng)域，例如要求通過(guò)大尺寸物體的幾個(gè)側(cè)邊的同一觀察系統(tǒng)去糾正聚焦和同時(shí)顯示。然而某些應(yīng)用好像要求使用不實(shí)用的或甚至是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的尺寸的棱鏡。
以上在電子部件的檢查的框架范圍內(nèi)描述了本發(fā)明的裝置。然而技術(shù)人員將會(huì)理解本發(fā)明的光學(xué)裝置可完全地被應(yīng)用于同時(shí)顯示任何其它形式物體的中央圖像和至少一個(gè)橫側(cè)圖像。
權(quán)利要求
1.用于顯示物體(1)的中央圖像(10)和所述物體(1)的至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的光學(xué)裝置，所述中央圖像(10)的真實(shí)光程的長(zhǎng)度不同于所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的真實(shí)光程的長(zhǎng)度，而所述中央圖像(10)的視在光程的長(zhǎng)度等于所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的視在光程的長(zhǎng)度。
2.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光學(xué)裝置，所述中央圖像(10)的光程和所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的光程的至少一部分具有不同的折射系數(shù)(n)。
3.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光學(xué)裝置，包含用于再引導(dǎo)所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的至少一個(gè)棱鏡(3)。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光學(xué)裝置，所述棱鏡(3)的折射系數(shù)(n)大于空氣的折射系數(shù)。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光學(xué)裝置，所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的真實(shí)光程的長(zhǎng)度與所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的視在光程的長(zhǎng)度之間的差值是由所述至少一個(gè)棱鏡(3)的光學(xué)性質(zhì)造成的。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光學(xué)裝置，所述物體是電子部件(1)。
7.物體的光學(xué)檢查模件，它包括根據(jù)前述各權(quán)項(xiàng)中的一項(xiàng)的光學(xué)裝置和光學(xué)系統(tǒng)(7)，光學(xué)系統(tǒng)(7)能同時(shí)拍攝物體(1)的中央圖像(10)和所述物體(1)的至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的模件，所述光學(xué)系統(tǒng)(7)包含拍攝裝置(70)。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的模件，所述光學(xué)系統(tǒng)(7)包含棱鏡(72)或在所述拍攝裝置(70)的方向上再引導(dǎo)所述中央圖像(10)和所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的鏡子。
10.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的模件，它包含能使它集成到加工線中的支承(6)。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的模件，所述物體是電子部件(8)。
全文摘要
用于顯示物體(1)的中央圖像(10)和同一物體(1)的至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的光學(xué)裝置，所述中央圖像(10)的真實(shí)光程的長(zhǎng)度不同于所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的真實(shí)光程的長(zhǎng)度，而所述中央圖像(10)的視在光程的長(zhǎng)度等于所述至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的視在光程的長(zhǎng)度；而物體的光學(xué)檢查模件包含這樣一種光學(xué)裝置和光學(xué)系統(tǒng)(7)，光學(xué)系統(tǒng)(7)能同時(shí)拍攝物體(1)的中央圖像(10)和同一物體(1)的至少一個(gè)橫側(cè)圖像(11，12，13，14)。中央圖像(10)的視在光程和橫側(cè)圖像(11，12，13，14)的視在光程是相等的，這兩個(gè)圖像可由同一光學(xué)系統(tǒng)(7)同時(shí)拍攝及糾正聚焦。
文檔編號(hào)G01N21/88GK1723407SQ200480001783
公開(kāi)日2006年1月18日 申請(qǐng)日期2004年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月7日
發(fā)明者A·薩爾維 申請(qǐng)人:伊斯梅卡半導(dǎo)體控股公司