專利名稱：在一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的表面上控制一種液體的運動用的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及在帶有極微細(xì)的預(yù)定的表面特征的一個表面上設(shè)置的液體的運動，以及更具體地說，涉及在帶有預(yù)定的超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)特征的一個表面上控制一種液體的運動。
背景技術(shù)：
在無數(shù)的用途之中許多有利的器件或結(jié)構(gòu)至少部分地是以具有一種液體與至少一種固體表面相接觸作為特征，例如，設(shè)置在表面上或溝槽內(nèi)的液體小滴是許多顯微流體器件，生物/化學(xué)傳感器，化學(xué)反應(yīng)器，光學(xué)部件，熱散逸器件以及制圖案用途的檢驗標(biāo)記。許多這些器件和用途的特征在于，液體運動或引起運動，而這時與一個表面接觸。由于液體和表面兩者的特征確定了液體和表面之間的相互反應(yīng)，它經(jīng)常希望了解和控制這些特征，以達(dá)到控制液體與這些表面的相互反應(yīng)。當(dāng)這個用途由于懷疑含有較小數(shù)量的液體時這點就尤其重要。
圖1示出小液滴102放置在一個表面上的一個說明性的現(xiàn)有技術(shù)的實施例，其放置的方式使它形成一個液體的微距鏡101。這種微距鏡是下列同時待審的申請的主題美國專利申請系列號No.09/884,605，(申請日2001，7，19；發(fā)明名稱“可調(diào)節(jié)的液體微距鏡”)和美國專利申請系列號No.09/951,637，(申請日2001，9，13；發(fā)明名稱“具有潤滑輔助的電潤濕的可調(diào)節(jié)的微距鏡”)。此兩文件的全部內(nèi)容結(jié)合作為本申請的參考。圖1的微距鏡實施例可以有用地顯示任何液體的小滴與放置它的表面之間的相互反應(yīng)，無論小滴和表面是否是微距鏡或其它用途的一部分。在圖1中，小滴102是一種透明液體(如水)的小滴，典型地(但不是必需要)具有一個直徑為數(shù)微米至數(shù)毫米。小滴設(shè)置在一個透明的基片103上，該基片典型地是憎水性的，包括一個憎水性涂層。小滴和基片之間的接觸角θ取決于界面表面張力(也稱為界面能“γ”，通常以mN/m(毫牛頓/米)測量。這里使用的γS-V是基片103和圍繞基片的空氣，氣體和其它液體之間的界面張力，γL-V是液滴和圍繞液滴的空氣，氣體或其它液體之間的界面張力，以及γS-L是基片103和液滴之間的界面張力。接觸角θ可以由公式(1)確定公式(1)cosθ＝γS-V-γS-L/γL-V公式(1)使用于任何情況，其中液滴是設(shè)置在一個表面上，無論液滴是否用作一個微距鏡。
在圖1的微距鏡的實施例中以及在一種液體設(shè)置在一個表面上的其它的情況下，經(jīng)常希望能夠改變液滴的形狀。圖2示出一個現(xiàn)有技術(shù)的微距鏡201，與圖1的微距鏡類似，其中電浸濕現(xiàn)象使用于改變液滴的形狀，它借助可反向地改變一種導(dǎo)電的液體的液滴202和一個介電絕緣層203之間的接觸角θ，介電絕緣層203具有一個厚度“d”和一個介電常數(shù)εr。一個電極(如一金屬電極204)定位在介電層203的下面，以及借助此介電層與液滴202絕緣。液滴202可以是，例如一個水滴，以及介電絕緣層203可以是，例如聚四氟乙烯/聚對二甲苯(Teflon/Parylene)表面。
當(dāng)一個電壓差存在于液滴202和電極204之間時，液滴202保持它的形狀，取決于液滴的體積和接觸角θ，其中θ1取決于界面張力γ，如以上所述。當(dāng)一個電壓V施加至電極204時，在電極204和液滴202之間的電壓差引起液滴擴散。虛線205示出液滴202相對于電極204從它的中心位置相等地擴散跨過絕緣層203。特殊的是，當(dāng)電壓施加至電極204和液滴202之間時，接觸角θ減小由θ1至θ2。借助使用位于液滴不同部分下面的單獨的電極以及改變至這些單獨的電極的電壓，能夠達(dá)到液滴的擴散，這樣使液滴移動由中心位置至另一個希望的位置。這種運動在上述的、同時待審的美國專利申請09/884,605和09/951,637中說明。無論為了改變液滴的形狀或它的位置，達(dá)到這種擴散需要的電壓V可由數(shù)伏改變至數(shù)百伏。分散的數(shù)量，即由θ1和θ2的差別確定的，是施加電壓V的一個函數(shù)。接觸角θ2可以由公式(4)確定
公式(4)cos(V)＝cosθ(V＝0)+V2(εoεr)/(2dγL-V)式中cosθ(V＝0)是絕緣層203和液滴202之間的接觸角，這時沒有電壓施加在液滴202和電極204之間；γL-V是上面所述的液滴界面張力；εr是絕緣層203的介電常數(shù)；以及ε。是8.85×10-12F/M一個真空的介電常數(shù)。
在器件中，比如上述的液體微距鏡中，當(dāng)設(shè)置液滴的表面是憎水性的時，表面的特征是這樣的，在液滴進(jìn)入與表面接觸的區(qū)域內(nèi)，液滴顯著地變平。因此，由于在表面和液滴之間最終的大的接觸面積，一個顯著數(shù)量的流動阻力存在于表面和液滴之間。這點在上述的微距鏡中是希望的，因為如果這里有太小的流動阻力存在，液滴將自由地移動以及將變得不可能在沒有其它器件用于控制液滴的情況下保持液滴在它的希望的靜止位置或形狀。然而，在許多情況下，經(jīng)常希望減小一個表面上一種液體經(jīng)受的流動阻力。
因此，現(xiàn)在的用途是依賴于在此種表面上設(shè)置的液體，其中心的企圖是減小液體經(jīng)受的上述的流動阻力。許多器件，比如上述的那些器件能夠由這種減小的流動阻力獲益，這是因為這些器件的工作功率消耗的顯著的降低。一種這樣的用途在下列文件中說明“NanostructuredSurfaces for Dramatic Reduction of Flow Resistance inDropplet-based Microfluidics”，J.Kim and C.J.Kim，IEEEConf.MEMS，Las Vegas，NV，Jan，2002，PP.479-482。該文件整個內(nèi)容結(jié)合本申請作為參考。此文件一般地說明如何借助使用帶有預(yù)定的超微結(jié)構(gòu)特征的表面使與表面接觸的液體的流動阻力極大地減小。
Kim的參考文件教導(dǎo)，借助于液體接觸的表面的精細(xì)的圖案化以及使用液體表面張力的上述的原理，有可能極大地減少表面和液體之間的接觸面積。跟隨的是在表面上的液體的流動阻力相應(yīng)地減小。
圖3A-F示出非常不同的極精細(xì)的特征的顯微結(jié)構(gòu)和超微結(jié)構(gòu)的表面圖案導(dǎo)致的最終的表面和一種液體液滴之間不同的接觸角。圖3A和3B分別地示出一個顯微線表面和一個顯微柱表面。在圖3A中每個線301為寬度約3-5μm，以及在圖3B中每顯微柱302在它們的最寬點為直徑約3-5μm。對于設(shè)置在每個表面上一個給定尺寸的液滴對比顯微線圖案和顯微柱圖案，帶有顯微線圖案的液滴的接觸面積大于帶有顯微柱圖案的液滴的接觸面積。圖3D和3E分別地示出相對于圖3A的顯微線表面和圖3B的顯微柱表面的一個液滴的接觸角。在顯微線圖案上的液滴305的接觸角303(～145°)小于帶有顯微柱圖案的液滴306的接觸角(～160°)。如以上所述，直接地跟隨的是，被顯微線圖案施加在液滴上的流動阻力高于被顯微柱圖案施加在液滴上的流動阻力。圖3C示出一個比顯微線和顯微柱圖案還更精細(xì)的圖案。尤其是，圖3C示出一個超微柱圖案，帶有每個超微柱309具有直徑小于1μm。雖然圖3C示出的超微柱309形成為稍帶錐形，其它的形狀和尺寸也是可以達(dá)到的。事實上，已生產(chǎn)圓柱形的超微柱陣列，每個超微柱具有直徑小于10nm。特別地，圖4A-4E示出使用不同的方法生產(chǎn)的超微柱的說明性的排列，以及還示出這種不同直徑的超微柱能夠成形為不同的規(guī)律性程度。并且，這些圖顯示，有可能生產(chǎn)超微柱，具有不同的直徑和不同的間距。一種生產(chǎn)超微柱的說明性的方法可在下列專利發(fā)現(xiàn)美國專利No.6,185,961，(2001，1，13授予Tonucci等人的發(fā)明名稱為“超微柱陣列和制造方法”的美國專利)在此處列出其整個內(nèi)容供參考。超微柱已經(jīng)使用各種方法生產(chǎn)，比如使用一個模板以形成柱子，借助各種石印方法和各種浸蝕方法生產(chǎn)。
參見圖3F，設(shè)置在圖3C的超微柱表面上的一個液滴307是接近球形的，帶有在表面和液滴之間一個接觸角308等于175°和180°之間。設(shè)置在表面上的液滴307經(jīng)受接近零的流動阻力。作為一個結(jié)果，如Kim的參考文獻(xiàn)所指出，在這種表面上設(shè)置一個液滴的現(xiàn)有的企圖是有問題的，因為這種極低的流動阻力使得幾乎不可能在超微結(jié)構(gòu)的表面上保持水滴靜止不動。如圖5所示，這種低流動阻力的原因是，一種適當(dāng)?shù)囊后w的液滴501的表面張力(取決于表面結(jié)構(gòu))能使液滴501懸浮在超微柱的頂上，在液滴和底層固體表面之間沒有接觸。這樣導(dǎo)致在液滴和表面之間極低的接觸面積(即液滴僅與每個柱502的頂面接觸)以及因此低的流動阻力。
因此，如Kim的參考文獻(xiàn)的教導(dǎo)，通過使用超微結(jié)構(gòu)以減小流動阻力的現(xiàn)有企圖被限制于設(shè)置液滴在一個狹窄的溝槽、管子或其它的包皮內(nèi)，以便在一個規(guī)定的區(qū)域內(nèi)控制液滴的自由運動。

發(fā)明內(nèi)容
雖然在一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的特征圖案上有利地設(shè)置一個液滴的現(xiàn)有的企圖被局限于設(shè)置液滴在一個限定的溝槽內(nèi)，我們已實現(xiàn)應(yīng)極為有利地能夠可變地控制在一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)表面上設(shè)置的一個液滴的運動，而不需要將液滴放置在一個溝槽內(nèi)。我們還實現(xiàn)應(yīng)特別有利地控制一個液滴與一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)表面的界面的性能，這樣使施加在液體上的流動阻力的數(shù)量作為在超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)表面之間接觸面積的一個結(jié)果。此外我們還實現(xiàn)在許多用途中應(yīng)高度有利地能夠控制超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)表面內(nèi)部液滴的滲透程度。
我們已發(fā)明一種方法和裝置，在其中在一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)表面上設(shè)置的一個液滴的運動取決于此表面上的超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)特征圖案的至少一個圖案內(nèi)特征，其定義見下文，或者至少一個液滴的特征。在一個實施例中，液滴的橫向運動取決于超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)特征圖案的至少一個特征，這樣使液滴在沿特征圖案的一個希望的方向上運動。為了達(dá)到這樣的運動，例如，超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的尺寸、形狀、密度或電性能是這樣設(shè)計的，使液滴前緣的接觸角小于液滴后緣的接觸角，以達(dá)到希望的運動。
在另一個實施例中，液滴的運動取決于或者特征圖案的至少一個圖案內(nèi)特征，或者至少一個液滴的特征，這樣使在一個希望的區(qū)域液滴滲透特征圖案以及變成不動的。這個特征能夠是，例如液滴的表面張力，液滴或圖案之一的溫度，液滴和特征圖案之間的電壓差。
本發(fā)明的一個或兩個實施例在各種用途中是可使用的，比如，生物或顯微化學(xué)探測器，化學(xué)反應(yīng)器，制圖案用途，可調(diào)諧的衍射光柵，全內(nèi)反射鏡，顯微流體混合器，顯微流體泵以及熱散逸器件。


圖1示出一個現(xiàn)有技術(shù)的微距鏡器件，它說明在一個基片上設(shè)置的一種液體的相互作用；
圖2示出使用圖1的微距鏡的現(xiàn)有技術(shù)的電浸濕原理能夠使用于在一個預(yù)定的方向上移動液滴跨過一個基片；圖3A示出一個現(xiàn)有技術(shù)的顯微線表面；圖3B示出一個現(xiàn)有技術(shù)的顯微柱表面；圖3C示出一個現(xiàn)有技術(shù)的超微柱表面；圖3D示出設(shè)置在圖3A的現(xiàn)有技術(shù)的表面上的一個液滴，以及在液滴和表面之間導(dǎo)致的相應(yīng)的接觸角；圖3E示出設(shè)置在圖3B的現(xiàn)有技術(shù)的表面上的一個液滴，以及在液滴和表面之間導(dǎo)致的相應(yīng)的接觸角；圖3F示出設(shè)置在圖3C的現(xiàn)有技術(shù)的表面上的一個液滴，以及在液滴和表面之間導(dǎo)致的相應(yīng)的接觸角；圖4A，4B，4C，4D和4E示出各種現(xiàn)有技術(shù)的預(yù)定的超微結(jié)構(gòu)的超微特征圖案，它適合使用于本發(fā)明；圖5示出一個說明性的現(xiàn)有技術(shù)器件，其中一個液滴設(shè)置在一個超微結(jié)構(gòu)特征的圖案上；圖6示出圖4C的現(xiàn)有技術(shù)的超微結(jié)構(gòu)特征圖案的更詳細(xì)的圖；圖7A，7B，7C和7D示出設(shè)置在圖6的超微特征圖案上的具有不同的表面張力的不同的液體滴；圖8A示出圖7A的液滴和超微結(jié)構(gòu)特征圖案的剖面圖；圖8B示出圖7C的液滴和超微結(jié)構(gòu)特征圖案的剖面圖；圖9A和9B示出按照本發(fā)明的原理的一個器件，在其中圖2的電浸濕原理使用于引起一個液滴滲透一個超微結(jié)構(gòu)特征圖案；圖10示出圖9A和9B的超微結(jié)構(gòu)特征圖案的說明性的超微柱細(xì)節(jié)；圖11示出如何借助放置一個液滴在一個具有可變密度的超微柱的一個超微結(jié)構(gòu)特征圖案上，液滴將移動朝向超微柱的較高密度區(qū)；圖12示出如何借助放置一個液滴在帶有超微柱排列為鋸齒形圖案的一個超微結(jié)構(gòu)特征的圖案上，液滴將在相對于圖案的一個已知的方向上移動；圖13A和13B示出按照本發(fā)明的原理的一個化學(xué)或生物探測器；
圖14示出如何使圖13A和13B的探測器能夠排列為一個陣列，以便能夠探測多數(shù)的元素或化合物；圖15示出如何按照本發(fā)明的原理制造一個圖案；圖16A和16B示出按照本發(fā)明的原理的一個衍射光柵；圖17A和17B示出按照本發(fā)明的原理的一個全內(nèi)反射(TIR)鏡；圖18A，18B和18C示出按照本發(fā)明的原理的一個顯微流體混合器；以及圖19示出按照本發(fā)明的原理的一個熱散逸器件。
具體實施例方式
圖6示出一個說明性的已知的表面601，帶有設(shè)置在表面上的一個超微柱602的超微結(jié)構(gòu)特征圖案。通過這里的說明，本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，使用超微柱或超微結(jié)構(gòu)的相同的原理可以等同地使用在一個特征圖案的顯微柱或其它較大的特征。圖6的表面601和超微柱602例如是用硅制造的。圖6的超微柱602例如是直徑約350nm，高度約6μm和中心至中心的間距約4μm。對于本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，這樣的陣列可以制造為帶有規(guī)則的間距，或者代替地，帶有不規(guī)則的間距。
圖7A、7B、7C和7D示出當(dāng)設(shè)置在圖6的說明性的表面601上液體的行為如何不同，圖7A示出當(dāng)帶有表面張力(γ)為72mN/m的一個水滴701設(shè)置在表面601上時，由于以上所述的原因保持一個接近球形的形狀。圖7B、7C和7D分別地示出帶有逐漸減小的表面張力的液滴702，703和704(分別為乙二醇[γ＝47mN/m]，環(huán)戊醇[γ＝33mN/m]和辛醇[γ＝27mN/m])，液滴以逐漸增加的數(shù)量擴散越過較大的區(qū)域，并且具有最低的表面張力的液滴(液滴704)擴散至最大的程度。
如沒有其它規(guī)定，這里使用的術(shù)語“超微結(jié)構(gòu)”是一種預(yù)定的結(jié)構(gòu)，具有至少一個尺寸小于1μm，以及術(shù)語“顯微結(jié)構(gòu)”是一種預(yù)定的結(jié)構(gòu)，具有至少一個尺寸小于1mm。術(shù)語“特征圖案”或者涉及一個顯微結(jié)構(gòu)圖案，或者涉及一個超微結(jié)構(gòu)圖案。此外，術(shù)語“液體”“小滴”和“液滴”在這里可以互換地使用。這些術(shù)語中的每個涉及一種液體或液體的一部分，無論是否是液滴形的。再者，這里使用的術(shù)語“介質(zhì)”是一種氣體或液體，在其中可能存在一種生物的或化學(xué)的元素，詳見下文的討論。最后，這里使用的術(shù)語“圖案內(nèi)特征”定義為a)單獨的特征圖案元素相對于其它的元素的特征，作為與圖案內(nèi)特征相對的特征，它們是特征圖案的宏觀的特征，比如整個圖案的取向，或者b)單獨的特征圖案元素的某種特征，比如形狀、尺寸、高度和電特性。
圖8A和8B示出圖6的超微結(jié)構(gòu)表面601和不同液體的液滴之間的相互作用的剖面圖。圖8A代表例如圖7A的一個水滴701。由于水的較高的表面張力以及超微結(jié)構(gòu)的圖案內(nèi)特征，水滴701是懸浮在超微柱602的頂部上(在圖6示出其細(xì)節(jié))以及如以前所討論，具有一個與超微結(jié)構(gòu)表面601很高的接觸角。作為其結(jié)果，水滴701經(jīng)受非常低的流動阻力。圖8B代表，例如圖7C的環(huán)戊醇液滴703。與圖8A的水滴701比較，環(huán)戊醇液滴703在超微柱602的頂部上沒有擴散。代替的是，由于液體較低的表面張力，液滴703完全地滲透表面601，從而進(jìn)入與超微柱602下面的固體表面接觸。相對于圖8A的液滴701此液滴具有一個低的接觸角，以及由于完全地滲透超微結(jié)構(gòu)的表面601，它經(jīng)受較高的流動阻力。
本發(fā)明人已認(rèn)識到，希望的是能夠控制一種給定的液體滲透進(jìn)入一種給定的超微結(jié)構(gòu)或微米結(jié)構(gòu)的表面，從而控制施加在液體上的流動阻力，以及固體表面的浸濕性能。圖9A和9B示出按照本發(fā)明的原理的一個實施例，其中電浸濕與圖2的說明性顯微透鏡使用的類似，使用于控制一種液體滲透進(jìn)入一種超微結(jié)構(gòu)的表面。
參見圖9A，一種導(dǎo)電液體的液滴901設(shè)置在錐形超微柱902的超微結(jié)構(gòu)的特征圖案上，如以上所述，這樣使液滴901的表面張力導(dǎo)致液滴懸浮在超微柱902的上部分上面。在這種排列中，液滴覆蓋每個超微柱的表面的面積f1。超微柱902被一個導(dǎo)電的基片903的表面支承。液滴901通過具有電源905的導(dǎo)線904電連接至基片903。一個說明性的超微柱的細(xì)節(jié)示于圖10內(nèi)。在此圖內(nèi)，超微柱902是與液體(圖9A中的液滴901)用一種材料1001電絕緣的，比如用一種介電材料絕緣層電絕緣。超微柱進(jìn)一步用一種低表面能材料1002與液體隔離，比如用眾所周知的含氟聚合物。這種低表面能材料允許獲得在液體和超微柱的表面之間一個正確的接觸角。對于本專業(yè)技術(shù)人員明顯的是，代替使用不同材料的兩個單獨的絕緣層，可以使用具有足夠低的表面能和足夠高的絕緣性能的一個單獨的材料層。
圖9B示出借助施加一個低電壓(例如10-20V)至導(dǎo)電的液滴901，在液滴901和超微柱902之間產(chǎn)生一個電壓差。液體和超微柱的表面之間的接觸角減小，以及在足夠低的接觸角時液滴901沿著超微柱902的表面在Y-方向上移動向下，以及滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案，直到它完全地圍繞每個超微柱902，以及進(jìn)入與基片903的上表面接觸。在此種形狀中，液滴覆蓋每個超微柱的表面面積f2由于f2＞f1，在液滴901和超微柱902之間的總接觸面積是相當(dāng)高的，以及因此，液滴901經(jīng)受的流動阻力大于在圖9A的實施例中的。因此，如圖9B所示，液滴901有效地變成相對于超微結(jié)構(gòu)特征圖案是靜止的，沒有其它的力足以從特征圖案移動液滴901。
圖11示出按照本發(fā)明的原理的一個說明性的器件，在這里代替液滴在Y-方向上移動以滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案，超微結(jié)構(gòu)(在本說明性實施例中的超微柱1102)是這樣排列的，使液滴1101在X-方向1104上橫向地移動。特殊地，超微柱1102是這樣排列的，使超微柱1102的密度在X-方向1104上增加。這種增加的密度將導(dǎo)致在前邊緣1105處的接觸角相對于液滴在后邊緣1106處的接觸角較低。在邊緣1105處較低的接觸角導(dǎo)致在X-方向上施加至液滴1101的力比在邊緣1106處較高的接觸角施加的力低。因此，液滴1101將在X-方向1104上“漂移”接近超微柱1102的較高密度區(qū)，因為液滴1101企圖達(dá)到平衡。因此，借助放置超微柱的較高密度在這樣的位置，在該處希望有液體設(shè)置在表面上，一個液體滴能夠開始時設(shè)置在表面上其它的位置，以及它將自主地移動接近較高密度的那個區(qū)域。
雖然借助圖11的說明性實施例達(dá)到了移動，以允許液滴移動至最高超微結(jié)構(gòu)密度的區(qū)域內(nèi)的一個最終平衡位置，也可能希望反轉(zhuǎn)該移動離開最高密度的區(qū)域。圖12示出按照本發(fā)明的原理的一個實施例，它能夠進(jìn)行這樣的可反向的運動。特殊地，圖12示出一個液滴1201設(shè)置在具有超微結(jié)構(gòu)1202的一個表面上，排列為鋸齒形狀。在平衡狀態(tài)，液滴將保持靜止在位置B，正如圖8A例舉的那種超微柱特征圖案。然而，當(dāng)一個時間周期激勵施加至液滴1201時，它將在方向1204上漂移。這樣一個周期的激勵可以例如借助一個交變的電壓施加至特定的超微結(jié)構(gòu)1202產(chǎn)生，或者代替地，借助超聲產(chǎn)生，其幅度和頻率可以干擾液滴1201的平衡。本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，許多不同的電壓，聲波的頻率和幅度可以使用于產(chǎn)生需要的力以干擾液滴1201的平衡。此外，本專業(yè)技術(shù)人員也可以理解，這種激勵可以借助許多不同的方法產(chǎn)生。
當(dāng)干擾時，液滴1201的運動開始，液滴將周期地改變尺寸和它的接觸點，以及因此，液滴1201的邊緣1205和1206將向前和向后移動越過特征圖案內(nèi)的超微結(jié)構(gòu)1207。然而，由于超微結(jié)構(gòu)1207的不對稱的形狀，在液滴邊緣1206處的接觸角滯后相對于表面將低于邊緣1205處的接觸角滯后。換句話說，在向前和向后移動越過表面方面，對于液滴1201移動向上至(例如特征1208的)垂直表面1211比對于液滴1201移動向上至特征1208的表面1212困難得多。因此，一旦液滴在方向1204上橫跨越過一個特定的超微結(jié)構(gòu)，它將傾向不會在相對的方向上移動返回，以及將建立一個新的平衡位置，比如位置D。如果時間周期的激勵(比如超聲)繼續(xù)，液滴將繼續(xù)向前和向后移動越過表面，直到它橫跨越過在方向1204上的下一個超微結(jié)構(gòu)1213。再一次，液滴將傾向在橫跨超微結(jié)構(gòu)1213之后不會移動返回，以及將獲得在方向1204上另一個新的平衡位置。作為一個結(jié)果，借助繼續(xù)的周期的激勵，液滴將在方向1204上隨機地移動。
借助將圖12的實施例與圖11所示的超微結(jié)構(gòu)的較高的密度區(qū)域相結(jié)合，可以達(dá)到液滴1201的可反向的橫向移動。例如，再參見圖12，如果超微結(jié)構(gòu)1202的較高密度區(qū)域位于表面上的位置A，液滴1201如以上所述，傾向于移動接近位置A，而沒有任何反作用力。然而，如果圖12的說明性的鋸齒形圖案與借助超聲產(chǎn)生的干擾力相結(jié)合使用，以干擾液滴1201的平衡，傾向于移動液滴接近位置A的力(超微結(jié)構(gòu)的較高的密度)將被克服，以及液滴1201將在方向1204上移動接近表面上的位置C。如果這個力被取消(即超聲源斷開)，液滴1201將再次傾向于移動接近超微結(jié)構(gòu)的最高密度位置C處。因此，達(dá)到可反向的橫向的移動。
累積地，圖9A、9B、10、11和12示出，有可能借助本發(fā)明的原理，沿著一個表面按希望地橫向地移動一個液滴，幾乎沒有帶有流動阻力，以及也可以垂直地移動液滴，從而使液滴在一個預(yù)定的位置滲透此表面以及變成實際上不移動的。許多用途能夠發(fā)現(xiàn)適用于這種移動的可能性。例如，圖13A和13B示出一個生物或化學(xué)探測器的一個實施例，它使用本發(fā)明的原理。參見圖13A，液滴1301設(shè)置在超微結(jié)構(gòu)1302上，與圖9A所示的類似。能夠探測希望的生物或化學(xué)的化合物1303的探測器1306設(shè)置在表面1304上。液滴1301用的液體和超微結(jié)構(gòu)1302是這樣選擇的，當(dāng)希望數(shù)量的希望的化合物1303進(jìn)入液體時，液體的表面張力下降，以及如圖13B所示，液體1301滲透超微結(jié)構(gòu)圖案，以及進(jìn)入與探測器1306接觸。當(dāng)化合物1303進(jìn)入與探測器1306接觸時，這種接觸的一個指示能夠借助已知的方法產(chǎn)生。比如，通過產(chǎn)生一個電信號或探測器的顏色的改變。
對于本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，除了作為一個探測器使用之外，圖13A和13B的實施例還可以作為達(dá)到一種希望的化學(xué)反應(yīng)的一種方法。例如，再次參見圖13A，它有可能選擇一種液滴1301用的液體，使這種液體包含有一種化學(xué)化合物1303。在此實施例中的探測器1306是用一種希望的試劑化合物制成，當(dāng)它與元素或化合物1303接觸時，它將達(dá)到一種希望的反應(yīng)。這些探測器/試劑1306設(shè)置在超微結(jié)構(gòu)之間，從而使當(dāng)液滴滲透圖13B所示的超微結(jié)構(gòu)的特征圖案時，兩種化學(xué)試劑進(jìn)入相互接觸，以及希望的反應(yīng)產(chǎn)生。如以上所述(例如，有關(guān)圖9A和9B的上面的討論)，能夠通過或者借助施加電壓至液滴，或者代替地，借助某些方法以降低液滴1301的表面張力(以及因此與超微結(jié)構(gòu)的表面形成接觸角)，這樣，例如增加液滴1301的溫度，使液滴滲透特征圖案。
圖14示出圖13A和13B的說明性的實施例的一種可能的排列，無論是用作一個化學(xué)/生物探測器或者在化學(xué)反應(yīng)用途中使用。特殊地，能夠使一種液體在方向1401上流動，跨過陣列1402的表面，該陣列具有超微結(jié)構(gòu)的圖案化的預(yù)定的排列在它的表面上。每個區(qū)域1403，例如具有探測器/試劑(比如，圖13A和13B中的1306)設(shè)置在超微結(jié)構(gòu)之間，這些結(jié)構(gòu)適合，例如探測或與不同的化學(xué)/生物化合物反應(yīng)。因此，如果用作一個探測器，圖14的陣列1402能夠使用于探測多數(shù)的不同的化合物。如果用作一個化學(xué)反應(yīng)器，每個區(qū)域能夠設(shè)計為僅與某一種化合物反應(yīng)，以達(dá)到希望的反應(yīng)。
本發(fā)明的原理的其它使用說明性地示于圖15。特殊的是圖15示出借助使用本發(fā)明的原理，如何能夠達(dá)到在一個表面上選擇地制出一個希望的圖案。在圖中一個希望的圖案(在此種情況下是星形的圖案1503，1504和1505)是限定在一個基片1506上，該基片以超微結(jié)構(gòu)為特征。在此種制圖案用途中的一個希望的目的是引起液體在圖案1202-1205內(nèi)移動以及保持在這些圖案中。實現(xiàn)這個目的的一種方法是使用以上說明的已知的電壓差電浸濕，用在方向1501上流動越過基片的一個液體和在星形圖案1503和1505內(nèi)的超微結(jié)構(gòu)之間。當(dāng)液體前進(jìn)跨過表面時，液體僅滲透在這兩個星形圖案之內(nèi)的超微結(jié)構(gòu)之間，因此，變成部分不移動的。由于這種最終的不移動性，當(dāng)液體移走后，液體僅保留在星形圖案1503和1505之內(nèi)。
在制圖案用途中引起液體移動至星形圖案的一種代替的方法，是使用一個改變密度的圖案，比如圖11所示的那種，以移動液體至一個較高密度的圖案，比如星形圖案1502，以及隨后借助電浸濕保持就位。電浸濕還能使用于制圖案(以及其它的用途)以更充分地浸濕圖15的星形圖案。特殊的是，使用以上所述的改變密度的圖案以移動液滴至一個復(fù)雜的圖案(如星形圖案1502)可能是困難的，難以引起液體整體地移動至圖案的末端1507。然而，借助施加足夠的浸濕電壓，可以獲得全浸濕。
因此，有可能在一個基片上(如基片1506上)特定的和復(fù)雜的區(qū)域內(nèi)制出一種液體的圖案。借助選擇一種眾所周知的對聚合反應(yīng)敏感的液體(例如一種丙烯酸基單體的液體，包括，但不局限于由Norland，InC.制造的NA72光學(xué)粘接劑)以及施加，例如紫外線至此液體，能夠獲得一種與圖案1503和1505一致的聚合的硬化的材料。對于本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，這種聚合反應(yīng)過程能夠使用于這里的任何說明性的實施例，以便移動一種液體至一個希望的位置，以引起液體滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案，以及隨后將在聚合反應(yīng)狀態(tài)下的液滴固定在此位置。
圖16A和16B示出本發(fā)明的原理的另一個有用的用途。特殊地，在圖16A內(nèi)示出一個光學(xué)衍射光柵，其中至少在某些光線波長下是透明的一種液體的液滴1601設(shè)置在超微結(jié)構(gòu)1602上。超微結(jié)構(gòu)1602依次又設(shè)置在一個表面1603上，該表面例如是一個硅基片，如以上所述。當(dāng)光束1604投射到液滴1601上時，至少某些波長前進(jìn)通過液滴1601以及反射出表面1603，以這樣一種方式使光線沿著路徑1606前進(jìn)，通過液體滴返回。借助前進(jìn)通過液滴1601，隨后通過區(qū)域1605(具有介電常數(shù)ε1)，以及反射出下層的基片1603，光線的不同的頻率被過濾掉(由于液體和區(qū)域1605之間反射指數(shù)的差別)，僅有波長λ1出射以便在預(yù)定的方向上傳播。圖16B示出，借助引起液滴1601滲透超微結(jié)構(gòu)1602(通過使用以上所述的一種方法)，區(qū)域1605的介電常數(shù)改變至ε2，因此，改變光線前進(jìn)通過的介質(zhì)的反射指數(shù)，以及因此僅有λ2將出射以便在預(yù)定的方向上傳播。所以，本專業(yè)技術(shù)人員可以理解與當(dāng)液滴1601不能滲透進(jìn)入特征圖案的情況比較，當(dāng)液滴1601滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案時，出現(xiàn)一種可調(diào)諧的衍射光柵，允許光線的不同的波長前進(jìn)通過此光柵。
圖17A和17B示出本發(fā)明的原理的另一個說明性的光學(xué)使用，特別是作為一個全內(nèi)反射(T1R)鏡，參見圖17A，至少在光線的一種波長下是透明的一個基片1701(例如一個玻璃基片)，支承超微結(jié)構(gòu)1702的一個特征圖案。液滴1703是懸浮在超微結(jié)構(gòu)1702上，如以上所述?；?701是這樣定位，當(dāng)光束在方向1704上前進(jìn)，以一個特定的入射角(它是根據(jù)光線波長的一個已知的角度)前進(jìn)通過基片時，在光束與上表面1705和氣體1706的邊界遭遇時，光束被反射。這種反射的實現(xiàn)是因為氣體(例如空氣)具有一個介電常數(shù)ε1，它導(dǎo)致氣體的反射指數(shù)比基片1701的低。
圖17B示出，一個液滴1703已滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案1702(再次通過以上所述的方法)。超微結(jié)構(gòu)的特征圖案的滲透區(qū)域具有一個介電常數(shù)ε2，它導(dǎo)致反射指數(shù)比基片1701的高。作為其結(jié)構(gòu)，光線前進(jìn)通過液滴1703和不會反射。本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，當(dāng)與一個正確的基片材料，氣體和液滴相結(jié)合時，特定的波長的光束的特定的入射角，將會實現(xiàn)如這里所說的可調(diào)諧的反射性能，和圖17A和17B所示。
圖18A、18B和18C示出按照本發(fā)明的原理的另一實施例，其中一個超微結(jié)構(gòu)的特征圖案設(shè)置在一個溝槽的壁內(nèi)，比如一個顯微流體管1802內(nèi)。圖18A示出，如果沒有超微結(jié)構(gòu)使用于管子的內(nèi)表面，如現(xiàn)有的顯微流體管，由于內(nèi)壁和液體之間的摩擦引起的流動阻力導(dǎo)致當(dāng)液體前進(jìn)通過溝槽時接近內(nèi)壁的液體的速度降低。距溝槽內(nèi)壁不同距離處的液體的速度借助速度矢量型面1801表示。速度矢量型面1801示出，在溝槽中心的液體前進(jìn)最快(較長的速度矢量)，以及緊鄰內(nèi)壁的液體前進(jìn)最慢(較短的速度矢量)。作為在內(nèi)壁處這種流動阻力的結(jié)果，需要消耗較高功率量的較大的泵，以泵送液體通過顯微流體溝槽1802。圖18B示出借助設(shè)置一個超微結(jié)構(gòu)的特征圖案1803在一個顯微流體溝槽1802的內(nèi)壁上，施加在液體上的流動阻力如何有利地降低。這點可以用液體的速度矢量型面1804表示，它示出鄰接溝槽1802壁的液體的速度大致等于溝槽中心處液體的速度。由于使用超微結(jié)構(gòu)的特征圖案1803導(dǎo)致的流動阻力降低，泵送液體通過溝槽所需的泵是較小的和有利地要求較低的工作功率。
在顯微流體的用途中，經(jīng)常希望將流動通過兩個或多個溝槽前進(jìn)的不同的液體混合，例如它對混合DNA與在集成的顯微流體生物化學(xué)分析系統(tǒng)中使用的在單獨的溝槽中前進(jìn)的一種試劑是有用的。在此系統(tǒng)中，混合先于電泳過程，通過該過程由DNA樣品導(dǎo)出遺傳信息。現(xiàn)有的混合多個溝槽的努力不利地具有較長的距離以完全地實現(xiàn)此種混合。圖18C示出按照本發(fā)明的原理的一個混合器。這個混合器可以使用于，例如，如果希望組合在方向1809和1810上流動地不同的兩種液體的流動。如以上討論，借助設(shè)置一個超微結(jié)構(gòu)的特征圖案在溝槽的內(nèi)壁上，可以達(dá)到通過溝槽的較低的流動阻力。如以上所述，借助選擇地引起液體滲透超微結(jié)構(gòu)的特征圖案，例如，它借助超微結(jié)構(gòu)的特征圖案的不連續(xù)區(qū)域1806的溫度的提高，或者代替地，在液體和特征圖案的區(qū)域1806之間產(chǎn)生一個電壓差，在一定區(qū)域內(nèi)，比如區(qū)域1806，沿著壁的流動阻力能夠增加。因此通過圖18C的混合器的流動1805的特征是低流動阻力區(qū)域，并且鄰接顯微流體溝槽1802的區(qū)域1806有高流動阻力區(qū)域。因此，產(chǎn)生強烈的干擾流動，比如圖中的流動1808。這種干擾流動極大地增強了混合過程，以及實現(xiàn)越過一個較短的距離混合兩種或多種液體。此外，由于圖18的混合器能夠動態(tài)地控制液體和表面之間的界面性能，比如流動阻力，圖18的混合器能夠有效地調(diào)節(jié)。
圖19示出本發(fā)明的另一實施例，其中一個超微結(jié)構(gòu)的特征圖案設(shè)置在一個溝槽的內(nèi)壁上，這樣使其有利地使用在一個熱散逸器件內(nèi)。在許多用途中熱散逸是一個首要的關(guān)心，比如電子器件產(chǎn)生的熱量的散逸。一個電子器件的性能和全壽命經(jīng)常受到過渡熱量的有害的作用。器件1901是熱產(chǎn)生器件的一個實例，比如一個計算機內(nèi)的一個中央處理單元或其它的處理器。溝槽1902設(shè)置為鄰接或最好為與器件1901接觸。當(dāng)沒有熱量從器件1901產(chǎn)生時，溝槽1902內(nèi)的液體經(jīng)受低的流動阻力，如圖18B中所示。舉例來說，液體這樣選擇，當(dāng)經(jīng)受預(yù)定的熱量時，液體的表面張力下降，并且液體浸濕壁1904的表面。本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，超微結(jié)構(gòu)表面的浸濕的其它的方法也可以使用，比如圖9A和9B上面所述的電浸濕方法。
當(dāng)器件1901產(chǎn)生足夠的熱量時，熱通過溝槽壁1904轉(zhuǎn)移。在溝槽內(nèi)在方向1903上前進(jìn)的液體的表面張力下降，以及作為其結(jié)構(gòu)，液體滲透在超微結(jié)構(gòu)的特征圖案的溝槽區(qū)域1905的內(nèi)壁上的超微結(jié)構(gòu)特征圖案。這樣一來，在區(qū)域1905內(nèi)的液體進(jìn)入與壁1904的直接的接觸，以及更有效地由壁轉(zhuǎn)移熱量至在方向1903上流動的液體。本專業(yè)技術(shù)人員可以理解，由于液體滲透區(qū)域1905導(dǎo)致的干擾流動1906比一個未干擾的層流動可以更多地傳導(dǎo)熱散逸。雖然現(xiàn)有的以液體為根據(jù)的熱散逸企圖(不是根據(jù)超微結(jié)構(gòu)的特征圖案)是適合熱散逸至一定的程度，圖19的實施例有利地能夠散逸顯著多的熱量。
以上僅說明了本發(fā)明的原理。應(yīng)該理解，雖然在這里沒有清晰地說明和示出，本專業(yè)技術(shù)人員可以在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)設(shè)計實施本發(fā)明的原理的各種安排。例如，本專業(yè)技術(shù)人員根據(jù)這里不同的實施例的說明將會理解，本發(fā)明的原理能夠使用于廣泛不同的領(lǐng)域和用途。例如，移動一個液滴和引起它保持在一個希望的靜止的位置在各種器件(如顯微透鏡)的自身裝配中是有用的。借助使用這里公開的原理，一個顯微透鏡能夠放置在一個表面上，以及將自主地移動至一個希望的位置，在此位置使它保持靜止。在本發(fā)明的另一個潛在的實施例中，本發(fā)明的超微結(jié)構(gòu)的或顯微結(jié)構(gòu)的表面使用在一個顯示器件內(nèi)。通過使用這里公開的原理，借助控制在顯示器件內(nèi)一種或多種液體的運動，可以顯示不同的影像。
這里敘述的實例和條件的語言有意地表達(dá)為僅為了教學(xué)的目的，以幫助讀者了解本發(fā)明的原理，以及規(guī)定為不局限于這些特別敘述的實例和條件。再者，這里敘述的本發(fā)明的各個方面和實施例，以及特定的實例有意地包括功能等同的等同物。
權(quán)利要求
1.一種裝置，包括一個具有一個特征圖案的表面，上述的表面包括一組具有圖案內(nèi)特征的超微結(jié)構(gòu)顯微結(jié)構(gòu)，至少一個上述的圖案內(nèi)特征適合產(chǎn)生在上述的表面上設(shè)置的一個液滴在一個預(yù)定的方向上的控制的運動。
2.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，上述的至少一個上述的圖案內(nèi)特征是上述的超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)中至少一個相對于上述的液滴的一個電壓。
3.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，上述的至少一個上述的圖案內(nèi)特征是上述的一組超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的每個至少一部分之間的一個距離。
4.按照權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，上述的至少一個上述的圖案內(nèi)特征是上述的一組超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的至少一部分的一個形狀。
5.一種裝置，包括一個具有超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的一個圖案的表面，超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的上述的圖案的至少一部分的空間密度是可以改變的；和一個液滴設(shè)置在上述的表面上；其中，上述的圖案的空間密度適合在一個預(yù)定的方向上產(chǎn)生上述的液滴的控制的運動。
6.一種裝置，包括一個具有超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的一個圖案的表面，超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的上述的圖案的至少一部分的空間密度是可以改變的；以及一個液滴設(shè)置在上述的表面上；其中，上述的表面和上述的液滴之間的接觸區(qū)域適合在一個預(yù)定的方向上產(chǎn)生上述的液滴的控制的運動。
7.一種裝置，包括一個具有超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的一個圖案的表面；一個液滴設(shè)置在上述的表面上；以及用于引起上述的液滴以滲透上述的表面的器件。
8.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，上述的用于引起滲透的器件包括用于施加一個電壓至上述的液滴的器件。
9.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，上述的用于引起滲透的器件包括用于減少上述的液滴的表面張力的器件。
10.按照權(quán)利要求9的裝置，其特征在于，上述的用于減小表面張力的器件包括用于引入至少一種化學(xué)或生物元素進(jìn)入上述的液滴的至少一部分的器件。
11.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，入射在上述的表面上的至少一部分光束前進(jìn)通過上述的表面，上述的一部分光束取決于是否上述的液滴滲透進(jìn)入上述的表面。
12.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，入射在上述表面上的至少一部分光束反射出上述的表面，上述的一部分光束取決于是否上述的液滴滲透進(jìn)入上述的表面。
13.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，一個光束的一個第一波長是在一個第一預(yù)定的方向上反射出上述的表面。
14.按照權(quán)利要求13的裝置，其特征在于，當(dāng)上述的液滴滲透上述的圖案時，光線的一個第二波長是在一個第二預(yù)定的方向上反射出上述的表面。
15.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，上述的用于引起滲透的器件包括用于提高上述的液滴的溫度的器件。
16.按照權(quán)利要求7的裝置，其特征在于，上述用于引起滲透的器件包括用于提高上述的表面的溫度的器件。
17.一種裝置，包括一個表面，上述的表面適合在一個預(yù)定的方向上產(chǎn)生一個液滴的控制的運動，上述的液滴設(shè)置在上述的表面上，上述的表面包括一組超微結(jié)構(gòu)或微米結(jié)構(gòu)，其中，上述的一組結(jié)構(gòu)具有來自上述一組結(jié)構(gòu)的至少一個第二部分的不同的空間密度。
18.一種裝置，包括一個表面，上述的表面適合在一個預(yù)定的方向上產(chǎn)生一個液滴的控制的運動，上述的液滴設(shè)置在上述的表面上，上述的表面包括一組超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)，其中，每個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)在上述的一組結(jié)構(gòu)的至少一個第一部分具有一個預(yù)定的不對稱形狀。
19.按照權(quán)利要求18的裝置，其特征在于，每個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)在上述的一組結(jié)構(gòu)的至少一個第二部分具有一個改變的空間密度。
20.一種使用一個探測器探測化學(xué)或生物元素存在的方法，上述的探測器具有一個表面，上述的表面包括超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的一個圖案，以及一個液滴設(shè)置在上述的表面上，上述的方法包括暴露上述的探測器至一個介質(zhì)的步驟，其中，上述的液體是用這樣一種方式選擇，使上述的液滴滲透上述的表面以響應(yīng)被引入上述的液滴內(nèi)的上述的介質(zhì)內(nèi)的一種化學(xué)或生物元素。
21.按照權(quán)利要求20的方法，其特征在于，還包括產(chǎn)生響應(yīng)上述的液滴滲透上述的表面的一個指示。
22.按照權(quán)利要求21的方法，其特征在于，上述的指示包括在上述的表面的至少一部分的顏色的一個改變。
23.按照權(quán)利要求21的方法，其特征在于，上述的指示包括一個電信號。
24.一種顯微流體混合器，包括一個第一溝槽，適合容納一種第一液體；一個第二溝槽，適合容納一種第二液體；一個第三溝槽，適合容納一種第三液體；其中，上述的第三液體包括上述的第一液體和上述的第二液體；用于合并上述的第一溝槽和上述的第二溝槽進(jìn)入上述的第三溝槽的器件；和用于借助引起至少一個上述的第一液體和上述的第二液體滲透上述的第三溝槽的一個表面而干擾上述的第三溝槽內(nèi)的流動的器件。
25.一種可調(diào)節(jié)的熱散逸器件，包括適合容納一種液體的一個溝槽，其中，一個熱產(chǎn)生器件設(shè)置在上述的溝槽的一個表面上；和用于借助引起上述的液體滲透上述的溝槽的一個表面而干擾上述的溝槽內(nèi)的流動的器件。
全文摘要
公開一種方法和裝置，其中設(shè)置在一個超微結(jié)構(gòu)或顯微結(jié)構(gòu)的表面上的一個液滴的運動是取決于超微結(jié)構(gòu)的特征圖案的至少一個特征，或者液滴的至少一個特征。在一個實施例中，液滴的橫向的運動取決于超微結(jié)構(gòu)的特征圖案的至少一個特征，這樣使液滴在一個希望的方向上沿著一個超微結(jié)構(gòu)的特征圖案運動。在另一個實施例中，液滴的運動取決于或者超微結(jié)構(gòu)特征圖案的至少一個特征，或者液滴的至少一個特征，以這樣一種方式使液滴在一個希望的區(qū)域滲透特征圖案以及變成基本上不移動的。
文檔編號G01N21/55GK1534312SQ200410031498
公開日2004年10月6日 申請日期2004年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月31日
發(fā)明者阿維諾姆·科恩布利特, 季莫費·N·克勞片金, 瑪麗·L·曼迪奇, 托比亞斯·M·施奈德, 約瑟夫·A·泰勒, 楊澍, A 泰勒, N 克勞片金, L 曼迪奇, 斯 M 施奈德, 阿維諾姆 科恩布利特 申請人:朗迅科技公司