專利名稱：半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)試系統(tǒng)LSI等半導(dǎo)體集成電路的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，由于對(duì)多種電路混合載置的系統(tǒng)LSI的開(kāi)發(fā)迅速發(fā)展，人們提出了對(duì)該系統(tǒng)LSI進(jìn)行測(cè)試用的各種各樣的裝置和方法。
由測(cè)試器制造者提供了用于系統(tǒng)LSI的測(cè)試專用的作為半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置的混合信號(hào)測(cè)試器，該半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置存在價(jià)格極其昂貴的問(wèn)題。
為達(dá)到低價(jià)格化和高精度化的目的，日本特開(kāi)2002-236150號(hào)公報(bào)等揭示了具有廉價(jià)的測(cè)試器和模擬電路單元測(cè)定功能的器件測(cè)試裝置(外部測(cè)試輔助裝置Built OffSelf Test(以下簡(jiǎn)稱“BOST裝置”)，還揭示了取代廉價(jià)的測(cè)試器，使用作為通用計(jì)算機(jī)裝置的通用PC(個(gè)人計(jì)算機(jī))和通用EWS(工作站)、通信卡、通信形式變換模塊，控制BOST裝置進(jìn)行測(cè)試的方法。
圖2是表示這種已有的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置的構(gòu)成和測(cè)試方法的概略圖。該已有半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置中，BOST裝置21的控制裝置22，使用由通用PC或者通用工作站構(gòu)成的通用計(jì)算機(jī)裝置，這些控制裝置22和BOST裝置21通過(guò)作為一般的通信形式的USB、RS232C、EEE1394、GPIB、LAN等通信線路23連接。這里，作為BOST裝置21一側(cè)的接口，對(duì)于每一通信形式都設(shè)有通信卡24，共有多個(gè)通信卡24，在BOST裝置21設(shè)置1個(gè)或者多個(gè)可以安裝的溝槽，并且具備向BOST裝置21的專用總線形式轉(zhuǎn)變的通信形式變換模塊25。
又，在BOST裝置21中設(shè)置的BOST板26由ADC/DAC測(cè)定部27、測(cè)定數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器28、解析部29、控制部30、電源部31構(gòu)成。在這里，ADC/DAC測(cè)定部27由產(chǎn)生數(shù)字測(cè)試信號(hào)并將這個(gè)測(cè)試信號(hào)提供給作為被測(cè)定器件的半導(dǎo)體集成電路的DA變換電路的數(shù)據(jù)電路、變換來(lái)自該數(shù)據(jù)電路的數(shù)字測(cè)試信號(hào)為模擬測(cè)試信號(hào)，然后提供給被測(cè)定器件的AD變換電路的測(cè)試用DA變換電路(數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC))、以及將被測(cè)定器件的DA變換電路的模擬測(cè)試輸出變換為數(shù)字測(cè)試輸出的測(cè)試用AD變換電路(模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC))構(gòu)成。測(cè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器部28存儲(chǔ)由被測(cè)定器件的AD變換電路來(lái)的數(shù)字測(cè)試輸出和測(cè)試用AD變換電路的數(shù)字測(cè)試輸出。解析部29分析在測(cè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器28中存儲(chǔ)的各數(shù)字測(cè)試輸出，并將分析結(jié)果提供給作為控制裝置22的通用計(jì)算機(jī)裝置22。
但是，上述已有構(gòu)成的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置中，作為器件測(cè)定裝置的BOST裝置21中，不僅有ADC/DAC測(cè)定部27和解析部29，還裝入了通信接口卡24、通信形式變換模塊25、以及控制部30等，因此BOST裝置21的尺寸變大，作為外部附加的部件多而空間很小的測(cè)試板是不合適的。又，存在在被測(cè)定器件的近側(cè)置放多個(gè)BOST裝置21有困難的問(wèn)題。
在不久的將來(lái)，需要對(duì)混合搭載更多種電路的系統(tǒng)LSI等半導(dǎo)體集成電路進(jìn)行測(cè)試，并期望測(cè)試高精度化和低成本化，而為了對(duì)大量半導(dǎo)體集成電路進(jìn)行高精度的測(cè)試，需要在作為被測(cè)定器件的半導(dǎo)體集成電路的近側(cè)配置多個(gè)有適用于各半導(dǎo)體集成電路的測(cè)定部的BOST裝置21。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述已有的課題而作出的，其目的在于，提供既能夠在被測(cè)定器件的近側(cè)放置由BOST板等構(gòu)成的多個(gè)器件測(cè)定裝置，也能對(duì)系統(tǒng)LSI等半導(dǎo)體集成電路中的多個(gè)混合搭載的電路進(jìn)行高精度的測(cè)試的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置。
本發(fā)明的第1形態(tài)的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，以在半導(dǎo)體集成電路的制造工程中進(jìn)行是否良好的檢查及功能和性能的評(píng)價(jià)為目的，該測(cè)試裝置具備對(duì)半導(dǎo)體集成電路構(gòu)成的被測(cè)定器件進(jìn)行信號(hào)收發(fā)的測(cè)定部和用可編程的器件對(duì)來(lái)自所述測(cè)定部的信息進(jìn)行分析的解析部構(gòu)成的器件測(cè)定裝置、以及用與所述器件測(cè)定裝置不同的board構(gòu)成，與所述器件測(cè)定裝置連接，對(duì)所述器件測(cè)定裝置進(jìn)行控制，而且與通用計(jì)算機(jī)裝置進(jìn)行通信的控制·通信卡。
采用這樣的構(gòu)造，就不需要用測(cè)試器制造商提供的高價(jià)的測(cè)試裝置，而通過(guò)使用價(jià)格便宜的通用計(jì)算機(jī)裝置，控制·通信卡、器件測(cè)定裝置，謀求低成本化。
在本發(fā)明的第2形態(tài)中，所述的控制·通信卡具有從器件測(cè)定裝置取入數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入部、給所述器件測(cè)定裝置提供控制信號(hào)的控制信號(hào)輸出部、以及與通用計(jì)算機(jī)裝置進(jìn)行信號(hào)交換的接口部。
采用這樣的構(gòu)造，通過(guò)在控制·通信卡上設(shè)置數(shù)據(jù)輸入部、控制信號(hào)輸出部和接口部，可以使器件測(cè)定裝置上搭載的部件為最低限度的數(shù)目，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，又容易利用通用計(jì)算機(jī)裝置處理多個(gè)器件測(cè)定裝置。
在本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)中，器件測(cè)定裝置形成這樣的結(jié)構(gòu)，即具有程序?qū)懭肟?，可以從通用?jì)算機(jī)裝置向器件測(cè)定裝置的可編程器件寫(xiě)入程序。
采用這樣的構(gòu)造，隨時(shí)可以簡(jiǎn)單地從通用計(jì)算機(jī)裝置下載測(cè)試用的程序到器件測(cè)定裝置，因?yàn)橥耆桓鼡QROM等硬件，調(diào)整器件測(cè)定裝置的效率高。又，通過(guò)改寫(xiě)器件測(cè)定裝置上的可編程的器件的內(nèi)容，完全不變更硬件就可以測(cè)定多品種的被測(cè)定器件，同時(shí)測(cè)試裝置能夠通用化。
在本發(fā)明的第4實(shí)施形態(tài)中，所述的器件測(cè)定裝置或控制·通信卡具備觀測(cè)器件測(cè)定裝置的輸入輸出信號(hào)和內(nèi)部信號(hào)的觀測(cè)用端子。
采用這樣的構(gòu)造，使用觀測(cè)用的端子，能夠確認(rèn)從器件測(cè)定裝置輸入輸出什么樣的信號(hào)，其內(nèi)部進(jìn)行什么樣的動(dòng)作。
在本發(fā)明的第5實(shí)施形態(tài)中，器件測(cè)定裝置上設(shè)置用于通過(guò)電纜連接搭載被測(cè)定器件安裝用的插座的基板的插頭和用于直接插入所述基板的插頭。
采用這樣的構(gòu)造，能夠?qū)⒈粶y(cè)定器件適當(dāng)?shù)剡B接于安裝的基板上。
在本發(fā)明的第6實(shí)施形態(tài)中，器件測(cè)定裝置具備輸入在被測(cè)定器件上設(shè)置的多個(gè)電路來(lái)的信號(hào)的多個(gè)輸入端子、以及選擇切換處理來(lái)自這些輸入端子的多個(gè)輸入信號(hào)的輸入信號(hào)選擇手段。
采用這樣的構(gòu)造，可以一邊選擇、切換來(lái)自混載于被測(cè)定器件上的多個(gè)回路的信號(hào)一邊進(jìn)行處理，也可以對(duì)應(yīng)進(jìn)行多個(gè)電路測(cè)試的情況。
本發(fā)明的第7實(shí)施形態(tài)中，控制·通信卡具備器件測(cè)定裝置診斷手段，該手段向器件測(cè)定裝置傳送診斷該器件測(cè)定裝置的診斷用信號(hào)，同時(shí)傳送來(lái)自所述器件測(cè)定裝置的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)到通用計(jì)算機(jī)裝置上。
采用這樣的構(gòu)造，控制·通信卡給予器件測(cè)定裝置以診斷用的信號(hào)，器件測(cè)定裝置根據(jù)控制·通信卡提供的診斷用信號(hào)進(jìn)行自診斷，再將結(jié)果返回給控制·通信卡。這樣，就能進(jìn)行器件測(cè)定裝置的自診斷。
在本發(fā)明的第8實(shí)施形態(tài)中，設(shè)置多個(gè)器件測(cè)定裝置，形成能夠用于1個(gè)或者多個(gè)器件測(cè)定裝置進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)構(gòu)。
采用這樣的構(gòu)造，測(cè)試被測(cè)定器件含有的特性不同的多個(gè)電路(例如ADC電路，DAC電路等)的情況下，能夠用具備適于各電路的特性的測(cè)定部的器件測(cè)定裝置進(jìn)行測(cè)試。又，因?yàn)槠骷y(cè)定裝置小型化了，所以能夠在被測(cè)定器件周圍配置多個(gè)。
在本發(fā)明的第9實(shí)施形態(tài)中，器件測(cè)定裝置的可編程器件是Flash-ROM(閃存)。
在本發(fā)明的第10實(shí)施形態(tài)中，器件測(cè)定裝置中搭載了可以安裝被測(cè)定器件的插座。
采用這樣的構(gòu)造，器件測(cè)定裝置中可以直接安裝被測(cè)定器件進(jìn)行測(cè)定。
這樣使用本發(fā)明，使BOST板等器件測(cè)定裝置具有必要的最低限度的功能(解析部和測(cè)定部)，使控制·通信卡具有其他功能，這樣就實(shí)現(xiàn)器件測(cè)定裝置的小型化，在對(duì)被測(cè)定器件中混合搭載的多個(gè)電路進(jìn)行測(cè)試時(shí)，能夠在被測(cè)定器件的近旁不受場(chǎng)所的制約配置多個(gè)具有適用于各電路特性的測(cè)定部的小型器件測(cè)定裝置來(lái)進(jìn)行測(cè)試。又，對(duì)于被測(cè)定器件和全部的器件測(cè)定裝置，因?yàn)槟軌蜃屇M信號(hào)的配線距離最短，所以能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的測(cè)試。
另一方面，在器件測(cè)定裝置的控制中使用通用PC/EWS等通用計(jì)算機(jī)裝置，因此與測(cè)試器制造商提供的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置(混合式信號(hào)測(cè)試器)相比要便宜，又，因?yàn)槿菀子赏ㄓ糜?jì)算機(jī)裝置改寫(xiě)器件測(cè)定裝置的解析部的程序，排除故障的性能和通用性能提高了。


圖1是本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置的簡(jiǎn)略圖。
圖2是已有的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置的簡(jiǎn)略圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照?qǐng)D1說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。
圖1是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置的構(gòu)成的概略圖。如圖1所示，半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置具備作為器件測(cè)定裝置的BOST板1，以及用的與BOST板(board)1不同的板構(gòu)成，連接作為器件測(cè)定裝置的BOST板1并對(duì)其進(jìn)行控制，并且對(duì)通用PC/EWS構(gòu)成的通用計(jì)算機(jī)裝置2進(jìn)行通信的控制·通信卡3。又，BOST板1和控制通信卡由專用線13連接，而專用線13中只進(jìn)行數(shù)字信號(hào)的通信。還有，14是連接通用計(jì)算機(jī)裝置2和控制通信卡3的USB、RS232C、IEEE1394、GPIB、LAN等通信線路。
作為器件測(cè)定裝置的BOST板1是以作為被測(cè)定器件4的半導(dǎo)體集成電路的制造工程中的是否良好的檢查和功能性能評(píng)價(jià)為目的，由與被測(cè)定器件4進(jìn)行模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)的交換的測(cè)定部5、以及用可編程器件分析來(lái)自測(cè)定部5的信息的解析部6構(gòu)成。還有，為了測(cè)定被測(cè)定器件4的不同特性的多個(gè)電路，可以使用多枚BOST板1。
通用計(jì)算機(jī)裝置2通過(guò)控制·通信卡3向BOST板1發(fā)送測(cè)試開(kāi)始信號(hào)和最低限度必要的控制信號(hào)，BOST板1給被測(cè)定器件提供用于器件測(cè)試的數(shù)字/模擬信號(hào)。BOST板1判斷從被測(cè)定器件4返回的模擬/數(shù)字信號(hào)是否正常的響應(yīng)信號(hào)，通過(guò)控制通信卡3向通用計(jì)算機(jī)裝置2傳回PASS/FAIL信號(hào)。又，BOST板1和控制·通信卡3通過(guò)只進(jìn)行數(shù)字信號(hào)通信的專用線13連接。
控制·通信卡3由取入來(lái)自BOST板1的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入部7、向BOST板1提供控制信號(hào)的控制信號(hào)輸出部8、進(jìn)行與通用計(jì)算機(jī)裝置2的信號(hào)交換的接口部(BUS_I/F部)9、以及輸入輸出對(duì)BOST板1進(jìn)行診斷的數(shù)據(jù)的診斷用數(shù)據(jù)輸入輸出部10構(gòu)成。
又，BOST板1有寫(xiě)入用于測(cè)定被測(cè)定器件4的程序的Flash-ROM，同時(shí)還設(shè)置將所述程序等寫(xiě)入所述Flash-ROM的程序?qū)懭肟?a，形成能夠從通用計(jì)算機(jī)裝置2向BOST板1的Flash-ROM寫(xiě)入程序的裝置。
又，BOST板1具備為了能夠得到被測(cè)定器件4的詳細(xì)評(píng)價(jià)和BOST板1的Flash-ROM的評(píng)價(jià)等，觀測(cè)BOST板1的輸入輸出信號(hào)和內(nèi)部信號(hào)的觀測(cè)用端子1b。還有，也可以將觀測(cè)用端子1b設(shè)置在控制·通信卡上，形成能夠通過(guò)專用線向BOST板1輸出的結(jié)構(gòu)。
而且，BOST板1上具備利用通用電纜與搭載被測(cè)定器件4安裝用的插座11的基板12連接用的插頭1c、用于直接插入搭載被測(cè)定器件4安裝用的插座11的基板12用的插頭1d。這些插頭1c，1d上設(shè)置輸入來(lái)自被測(cè)定器件4中混合搭載的多個(gè)電路的信號(hào)的多個(gè)輸入端子。而且，BOST板1具備對(duì)來(lái)自這些插頭1c、1d上設(shè)置的多個(gè)輸入端子的多個(gè)輸入信號(hào)進(jìn)行選擇切換處理的輸入信號(hào)選擇功能。
控制·通信卡3具備向BOST板1提供診斷用信號(hào)，向通用計(jì)算機(jī)裝置2傳送來(lái)自BOST板1的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的器件測(cè)定裝置診斷功能。又，BOST板1或控制·通信卡3中搭載有向BOST板1和控制·通信卡提供時(shí)鐘脈沖的時(shí)鐘脈沖生成部(未圖示)。
下面對(duì)具備以上構(gòu)成的這種半導(dǎo)體集成電路測(cè)試裝置，說(shuō)明其動(dòng)作的一個(gè)例子。
來(lái)自通用計(jì)算機(jī)裝置2的測(cè)試開(kāi)始·控制信號(hào)(測(cè)試開(kāi)始的信號(hào)和最低限度需要的控制信號(hào))a經(jīng)過(guò)控制·通信卡3的BUS_I/F部9、控制信號(hào)輸出部8，輸入到BOST板1。接收到信號(hào)a的BOST板1向被測(cè)定器件4輸出測(cè)試用信號(hào)b(模擬或數(shù)字信號(hào)，下面記為模擬/數(shù)字信號(hào))，輸入來(lái)自被測(cè)定器件4的應(yīng)答信號(hào)(模擬/數(shù)字信號(hào))c到BOST板1的測(cè)定部5。BOST板1的解析部6分析應(yīng)答信號(hào)c是否包括在預(yù)先決定的精度范圍中，也就是說(shuō)，判斷是否正常的應(yīng)答信號(hào)，并使作為其結(jié)果的PASS/FAIL信號(hào)d經(jīng)過(guò)控制·通信卡3的數(shù)據(jù)輸入部7、BUS_I/F部9返回到通用計(jì)算機(jī)裝置2中。
進(jìn)行調(diào)整等的情況下，想改寫(xiě)B(tài)OST板1的解析部6時(shí)，從通用計(jì)算機(jī)裝置2把程序改寫(xiě)信號(hào)e提供給BOST板1的解析部6，進(jìn)行程序的改寫(xiě)。
又，在這一實(shí)施形態(tài)中，能夠進(jìn)行定期校正，診斷(DIAG)BOST板1，診斷BOST板1時(shí)，控制·通信卡3的診斷用數(shù)據(jù)輸入部8提供BOST板1以診斷用的信號(hào)，BOST板1根據(jù)Flash-ROM中已寫(xiě)入的診斷用程序和來(lái)自控制·通信卡3的診斷用信號(hào)進(jìn)行自診斷，并使其結(jié)果返回到控制·通信卡3中。就這樣，在控制·通信卡3和BOST板1之間進(jìn)行診斷用信號(hào)的交換并且進(jìn)行診斷。因此，已有的技術(shù)中，模擬測(cè)試裝置自診斷時(shí)需要DA變換電路和AD變換電路兩者，但是本方法中，因?yàn)槭棺栽\斷從BOST板1返回到控制·通信卡3中，DA變換電路和AD變換電路只需要任意一個(gè)就可以了。
采用這樣的構(gòu)成，半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置的構(gòu)成包括價(jià)格便宜的通用計(jì)算機(jī)裝置2、控制·通信卡3。以及有測(cè)定部5和解析部6的作為器件測(cè)定裝置的BOST板1，利用這樣的構(gòu)成，不再需要測(cè)試器制造商提供的高價(jià)測(cè)試裝置，從而可謀求低成本化。又，作為器件測(cè)定裝置的BOST板1的構(gòu)成，只要以可編程器件Flash-ROM(也可以用Flash-ROM以外的可編程器件)構(gòu)成的解析部6和測(cè)定部5為最低限度即可，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化和低成本化。又，因?yàn)锽OST板1和控制·通信卡通過(guò)只進(jìn)行數(shù)字信號(hào)通信的專用線13連接，所以BOST板1在被測(cè)定器件4的近側(cè)能夠不受場(chǎng)所制約地自由移動(dòng)，能為了減少噪音將模擬信號(hào)的通信距離變?yōu)樽疃?，從而?shí)現(xiàn)高精度化。
又，控制·通信卡的構(gòu)成包括取入來(lái)自BOST板1的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入部7、給予BOST板1以控制信號(hào)的控制信號(hào)輸出部8、與通用計(jì)算機(jī)裝置2進(jìn)行信號(hào)交換的接口部(BUS_I/F部)9以及輸入輸出診斷BOST板1數(shù)據(jù)的診斷用數(shù)據(jù)輸入輸出部10，采用這樣的構(gòu)成，BOST板1上搭載的部件能夠達(dá)到最低限度從而實(shí)現(xiàn)小型化，又，利用通用計(jì)算機(jī)裝置2可以簡(jiǎn)單地處理多個(gè)BOST板1。
又因?yàn)椴捎媚軌驈耐ㄓ糜?jì)算機(jī)裝置2向BOST板1的Flash-ROM寫(xiě)入程序的結(jié)構(gòu)，所以隨時(shí)能夠從測(cè)試用的通用計(jì)算機(jī)裝置2下載程序，不進(jìn)行ROM替換等任何硬件的變更，因此器件測(cè)定裝置調(diào)整的效率高。又，因?yàn)锽OST板1上的Flash-ROM等的可編程器件能夠多次改寫(xiě)，測(cè)試中需要的數(shù)據(jù)可以全部存儲(chǔ)。從而，通過(guò)改寫(xiě)可編程器件的內(nèi)容，在硬件方面可完全不改變，就能測(cè)定多品種的被測(cè)定器件4，能夠?qū)⑻岢龅臏y(cè)試裝置通用化。
又，在BOST板1具備觀測(cè)BOST板1的輸入輸出信號(hào)和內(nèi)部信號(hào)的觀測(cè)用端子1b，因此通過(guò)使用這個(gè)觀測(cè)用端子1b，能夠確認(rèn)作為器件測(cè)定裝置的BOST板1內(nèi)部的動(dòng)作。又，通過(guò)改寫(xiě)Flash-ROM等可編程器件的內(nèi)容，能夠決定從觀測(cè)用端子1b輸出的信號(hào)，因此能夠抑制觀測(cè)用端子1b于最低限度。
又，BOST板1具備用于通過(guò)電纜連接基板12的插頭1c以及用于直接插入基板12的插頭1d，所以被測(cè)定器件4和BOST板1的連接方法可以選擇，BOST板1能夠進(jìn)行適合搭載被測(cè)定器件4的基板12的形狀的連接。
又，BOST板1具備能夠處理來(lái)自被測(cè)定器件4的多個(gè)輸入信號(hào)的輸入信號(hào)選擇功能，所以來(lái)自被測(cè)定器件4上混合搭載的多個(gè)電路的信號(hào)可以通過(guò)可編程器件的控制切換，從而能夠達(dá)到用1枚BOST板1進(jìn)行多個(gè)回路測(cè)試的效果。
又，因?yàn)槟軌蚴褂枚鄠€(gè)作為器件測(cè)定裝置的BOST板1進(jìn)行測(cè)試，所以對(duì)被測(cè)定器件4中包含特性不同的多個(gè)電路(ADC電路，DAC電路等)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，能夠在具有適合各電路特性的測(cè)定部5的BOST板進(jìn)行測(cè)試，因?yàn)锽OST板1小型化了，所以能夠在被測(cè)定器件周圍配置多個(gè)。還有，在上述實(shí)施的形態(tài)中敘述了通過(guò)1枚控制·通信卡3進(jìn)行多個(gè)BOST板1的控制的情況，但不僅限于此，也可以用多枚控制·通信卡進(jìn)行控制。
又，上述實(shí)施的形態(tài)中，敘述了將被測(cè)定器件4安裝于基板12上安裝的插座11中的情況，但不限于此，也可以在BOST板1本身搭載能夠安裝被測(cè)定器件4的插座，這種情況下，為了減少噪音，能夠?qū)⒛M信號(hào)的通信距離進(jìn)一步縮短，從而實(shí)現(xiàn)高精度化。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，具備由對(duì)半導(dǎo)體集成電路構(gòu)成的被測(cè)定器件進(jìn)行信號(hào)交換的測(cè)定部和用可編程的器件對(duì)來(lái)自所述測(cè)定部的信息進(jìn)行分析的解析部構(gòu)成的器件測(cè)定裝置、以及用與所述器件測(cè)定裝置不同的板構(gòu)成，與所述器件測(cè)定裝置連接，對(duì)所述器件測(cè)定裝置進(jìn)行控制，而且與通用計(jì)算機(jī)裝置進(jìn)行通信的控制·通信卡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，控制·通信卡具有從器件測(cè)定裝置取入數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入部、向所述器件測(cè)定裝置提供控制信號(hào)的控制信號(hào)輸出部，以及與通用計(jì)算機(jī)裝置進(jìn)行信號(hào)交換的接口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，器件測(cè)定裝置由有程序?qū)懭肟?，能從通用?jì)算機(jī)裝置將程序?qū)懭肫骷y(cè)定裝置的可編程的器件中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，在所述器件測(cè)定裝置或控制·通信卡上具有觀測(cè)器件測(cè)定裝置的輸入輸出信號(hào)以及內(nèi)部信號(hào)的觀測(cè)用端子。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，在器件測(cè)定裝置上設(shè)有通過(guò)電纜與基板連接用的插頭，以及直接插入所述基板用的插頭；所述基板是搭載被測(cè)定器件安裝用的插座的基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，器件測(cè)定裝置具備輸入被測(cè)定器件上設(shè)置的多個(gè)電路來(lái)的信號(hào)的多個(gè)輸入端子，以及選擇、切換處理來(lái)自這些輸入端子的多個(gè)輸入信號(hào)的輸入信號(hào)選擇手段。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，控制·通信卡具備向器件測(cè)定裝置提供診斷該器件測(cè)定裝置的診斷用信號(hào)，同時(shí)將來(lái)自所述器件測(cè)定裝置的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)傳送到通用計(jì)算機(jī)裝置的器件測(cè)定裝置診斷手段。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，設(shè)置多個(gè)器件測(cè)定裝置，形成能用一個(gè)或多個(gè)器件測(cè)定裝置進(jìn)行測(cè)試的結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，器件測(cè)定裝置是，擁具有程序?qū)懭肟?，形成能夠?qū)⒊绦驈耐ㄓ糜?jì)算機(jī)裝置寫(xiě)入到器件測(cè)定裝置的可編程的器件的結(jié)構(gòu)，器件測(cè)定裝置的可編程的器件是Flash-ROM。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置，其特征在于，在器件測(cè)定裝置上搭載有能安裝被測(cè)定器件的插座。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠在被測(cè)定器件近旁配置由BOST板等構(gòu)成的多個(gè)器件測(cè)定裝置，能夠?qū)ο到y(tǒng)LSI等半導(dǎo)體集成電路中混合載置的多個(gè)電路進(jìn)行高精度測(cè)試的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置。本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試裝置具備以半導(dǎo)體集成電路的制造工序中的品質(zhì)是否良好的檢查、或功能、性能的評(píng)價(jià)為目的，由對(duì)半導(dǎo)體集成電路構(gòu)成的被測(cè)定器件(4)進(jìn)行信號(hào)交換的測(cè)定部(5)和用可編程的器件對(duì)來(lái)自所述測(cè)定部(5)的信息進(jìn)行分析的解析部(6)構(gòu)成的器件測(cè)定裝置(1)、以及用與該器件測(cè)定裝置(1)不同的板構(gòu)成，與所述器件測(cè)定裝置(1)連接，對(duì)所述器件測(cè)定裝置(1)進(jìn)行控制，而且與通用計(jì)算機(jī)裝置(2)進(jìn)行通信的控制·通信卡(3)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1573344SQ20041000680
公開(kāi)日2005年2月2日 申請(qǐng)日期2004年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月18日
發(fā)明者鐮野智, 金光朋彥 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社