專利名稱：插入體和具有它的電子部件處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在存放被試驗(yàn)部件的狀態(tài)下，能把所述被試驗(yàn)部件提供給基于電子部件試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)的電子部件存放體(插入體)、以及利用它的電子部件處理裝置。
背景技術(shù)：
在本導(dǎo)體器件等的制造過程中，需要用于試驗(yàn)IC器件等電子部件的性能或功能等的電子部件試驗(yàn)裝置。作為這樣的電子部件試驗(yàn)裝置的一例，眾所周知的有由電子部件處理裝置、電子部件接觸裝置和試驗(yàn)用主裝置構(gòu)成的電子部件試驗(yàn)裝置。
作為電子部件處理裝置的一例，眾所周知的有在被試驗(yàn)IC器件上外加低溫、高溫等各種溫度應(yīng)力后安裝到插座(socket)上，并且按照試驗(yàn)結(jié)果把試驗(yàn)完畢的IC器件分類存放的、被稱作處理機(jī)(handler)的IC器件處理裝置。另外，作為電子部件接觸裝置的一例，通過插座和測試頭使被試驗(yàn)IC器件接觸試驗(yàn)用主裝置(電連接)的IC器件接觸裝置。
使用處理機(jī)的IC器件的試驗(yàn)例如按如下進(jìn)行。把被試驗(yàn)IC器件輸送到具有IC插座的測試頭的上方后，通過推動器按壓，安裝到IC插座上。據(jù)此，IC插座的連接端子與被試驗(yàn)IC器件的外部端子接觸，被試驗(yàn)IC器件通過IC插座和測試頭電連接在試驗(yàn)用主裝置上。而且，把從試驗(yàn)用主裝置通過電纜提供給測試頭的測試信號外加到被試驗(yàn)IC器件上，并且把從被試驗(yàn)IC器件讀出的響應(yīng)信號通過測試頭發(fā)送給試驗(yàn)用主裝置，從而測定被試驗(yàn)IC器件的電特性。
在使用處理機(jī)的IC器件的試驗(yàn)中，被試驗(yàn)IC器件存放在托盤中，輸送到處理機(jī)內(nèi)，試驗(yàn)結(jié)束后，把各IC器件按照各自的試驗(yàn)結(jié)果放到不同類別的托盤中。當(dāng)試驗(yàn)前和試驗(yàn)后的用于存放IC器件的托盤(以下也稱作客戶托盤)與在處理機(jī)內(nèi)循環(huán)輸送的托盤(以下稱作測試托盤)的類型不同時，在試驗(yàn)的前后，在客戶托盤和測試托盤之間進(jìn)行IC器件的換乘。
在測試托盤之中安裝多個稱作插入體的電子部件存放體，被試驗(yàn)IC器件存放在測試托盤上安裝的插入體中，輸送到測試頭，在存放在插入體中的狀態(tài)下按壓測試頭。如果使用安裝多個插入體的測試托盤，就能同時測定多個IC器件。
在插入體中，與被試驗(yàn)IC器件的封裝類型等對應(yīng)而存在各種構(gòu)造。例如，如圖19所示，在存放BGA型IC器件等區(qū)域陣列型電子部件的插入體16的插入體主體17中形成把被試驗(yàn)IC器件2向引導(dǎo)核心18引導(dǎo)(guide)的器件引導(dǎo)部171a，IC器件2由器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)，存放到引導(dǎo)核心18中。在引導(dǎo)核心18的下端形成開口部182，從而使IC器件2的外部端子22在插座的連接端子方向露出，由開口部182的周圍部支撐IC器件2的外部端面(IC器件2的封裝主體外表面中的外部端子22排列的面)。
另外，在插入體16中設(shè)置防止存放在引導(dǎo)核心18中的IC器件2的飛出或位置偏移的閂鎖機(jī)構(gòu)(例如特開2001-33518號公報(bào))，該閂鎖機(jī)構(gòu)具有閂鎖175，在閂鎖175的一端形成閂鎖部175b，臂部175d、175e連接在其上，在臂部175d上設(shè)置力點(diǎn)175a。在臂部75d上形成成為旋轉(zhuǎn)中心的通孔175f，通過在在此插入銷，閂鎖175由插入體主體17支撐，可以旋轉(zhuǎn)。在該閂鎖機(jī)構(gòu)中，伴隨著桿板19對插入體主體17的接近，如果從力點(diǎn)175a輸入外力，則閂鎖部175b如圖19(a)所示，移動到覆蓋存放在引導(dǎo)核心18中的器件2的上表面，防止IC器件2的飛出或位置偏移(關(guān)閉位置)，而伴隨著桿板19從插入體主體17背離，解除對力點(diǎn)175a的外力輸入，則閂鎖部175b如圖19(b)所示，從存放在引導(dǎo)核心18中的器件2的上表面退開，移動到IC器件2的出入成為可能的位置(打開位置)。

發(fā)明內(nèi)容
在插入體16中，如圖19所示，插入體主體17和引導(dǎo)核心18成為一體，引導(dǎo)核心18是不能更換的。按照引導(dǎo)核心18的構(gòu)造決定能存放在插入體16中的IC器件的尺寸，所以除了核心18的更換是不可能的，能存放在插入體16中的IC器件的尺寸也受限制，對于每個不同的IC器件尺寸有必要制作不同的插入體16?？墒?，插入體16的引導(dǎo)核心18以外的構(gòu)造與IC器件的尺寸無關(guān)，幾乎可以為相同的，所以對于每個不同的IC器件尺寸制作不同的插入體是低效的。
另外，當(dāng)在插入體16中能存放多種尺寸的IC器件時，能對應(yīng)于多種尺寸的IC器件的閂鎖機(jī)構(gòu)即閂鎖部175b的開關(guān)量(打開位置和關(guān)閉位置之間的移動量)大的閂鎖機(jī)構(gòu)成為必要的。如果增大閂鎖175的旋轉(zhuǎn)角度，就能增大閂鎖部175b的開關(guān)量?？墒?，在圖19所示的閂鎖175中，在臂部175d上設(shè)置桿板19作用的力點(diǎn)175a，所以接近插入體主體17的桿板19不僅作用于力點(diǎn)175a，也與臂部175d、175e干涉，臂部175d、175e的旋轉(zhuǎn)由桿板19限制。如果臂部175d、175e的旋轉(zhuǎn)被限制，則閂鎖部175b的旋轉(zhuǎn)也受限制，所以無法增大閂鎖部175b的旋轉(zhuǎn)角度。
因此，本發(fā)明的第一目的在于提供可插拔地安裝在插入體主體上的引導(dǎo)核心。
另外，本發(fā)明的第二目的在于提供可插拔地安裝引導(dǎo)核心的插入體主體。
另外，本發(fā)明的第三目的在于提供具有能可插拔地安裝引導(dǎo)核心，并且閂鎖部的開關(guān)量大，能對應(yīng)于多種尺寸的IC器件的閂鎖機(jī)構(gòu)的插入體主體。
另外，本發(fā)明的第四目的在于提供具有所述引導(dǎo)核心和所述插入體主體的插入體、以及具有該插入體的電子部件處理裝置。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，由本發(fā)明提供的引導(dǎo)核心、插入體主體、插入體和電子部件處理裝置具有以下的特征。
(1)本發(fā)明的引導(dǎo)核心可插拔地安裝在插入體主體上，其特征在于包括為了使區(qū)域陣列型電子部件的外部端子向插座的連接端子方向露出，支撐所述區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面的支撐部；能夠可裝卸地與所述插入體主體所具有的鉤部配合的鉤承部。
在本發(fā)明中，“插入體”意味著在存放被試驗(yàn)電子部件的狀態(tài)下，能把該被試驗(yàn)電子部件提供給基于電子部件試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)的電子部件存放體，“插入體主體”意味著能安裝引導(dǎo)核心，并且能把被試驗(yàn)電子部件引導(dǎo)(guide)到安裝的引導(dǎo)核心的插入體構(gòu)成構(gòu)件，“引導(dǎo)核心”意味著支撐該被試驗(yàn)電子部件，從而能把被試驗(yàn)電子部件提供給基于電子部件試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)的插入體構(gòu)成構(gòu)件。須指出的是，關(guān)于“插入體”、“插入體主體”以及“引導(dǎo)核心”的定義并不限定插入體、插入體主體以及引導(dǎo)核心具有的功能。
本發(fā)明的引導(dǎo)核心安裝在插入體主體上，通過插入體主體把被試驗(yàn)電子部件引導(dǎo)(guide)到安裝在插入體主體上的引導(dǎo)核心中。而且，被試驗(yàn)電子部件由引導(dǎo)核心的支撐部支撐被試驗(yàn)電子部件，使其外部端子向插座的連接端子方向露出。據(jù)此，在由引導(dǎo)核心支撐被試驗(yàn)電子部件的狀態(tài)下，把該被試驗(yàn)電子部件的外部端子連接在插座的連接端子上，能進(jìn)行該被試驗(yàn)電子部件的試驗(yàn)。
成為本發(fā)明的引導(dǎo)核心的對象的電子部件是區(qū)域陣列型電子部件。在此“區(qū)域陣列型電子部件”意味著在電子部件的封裝主體的外表面配置外部端子(例如矩陣狀)的電子部件，并未特別限定其種類，但是作為代表的具體例，能列舉出BGA(ball grid array)、LGA(landgrid array)、PGA(pin grid array)、CSP(chip size package)等IC器件。另外，區(qū)域陣列型電子部件的外部端子的形狀并未特別限定，例如能列舉出球、凸臺、針等形狀的外部端子。另外，“區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面”意味著區(qū)域陣列型電子部件的封裝主體的外表面中外部端子排列的面。
本發(fā)明的引導(dǎo)核心的支撐部的構(gòu)造只要能支撐區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面，使區(qū)域陣列型電子部件的外部端子向插座的連接端子方向露出，就未特別限定。作為這樣的構(gòu)造的具體例，列舉出以下構(gòu)造具有使區(qū)域陣列型電子部件的外部端子向插座的連接端子方向露出的開口部，由開口部周圍支撐區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面。
本發(fā)明的引導(dǎo)核心具有的鉤承部只要能與插入體主體具有的鉤部可脫開配合地配合，從而使引導(dǎo)核心可插拔地安裝在插入體主體上，就未特別限定。另外，只要能通過鉤部和鉤承部的配合，把引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上，就未特別限定鉤承部的位置和個數(shù)。例如，通過在支撐部的周圍相對的位置分別設(shè)置1以上的鉤承部，能以穩(wěn)定的狀態(tài)把本發(fā)明的引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上。
通過插入體主體的鉤部和引導(dǎo)核心的鉤承部配合，本發(fā)明的引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上，并且通過解除插入體主體的鉤部和引導(dǎo)核心的鉤承部的配合，從插入體主體脫開。因此，如果利用本發(fā)明的引導(dǎo)核心，就能制作可更換引導(dǎo)核心的插入體。而且，在利用本發(fā)明的引導(dǎo)核心的插入體中，通過只更換引導(dǎo)核心，就能存放多種尺寸的電子部件。
(2)在所述(1)所述的引導(dǎo)核心的首選形態(tài)中，所述引導(dǎo)核心具有所述鉤部能進(jìn)入的鉤進(jìn)入孔，所述鉤承部設(shè)置為能與進(jìn)入所述鉤進(jìn)入孔中的所述鉤部配合。
本形態(tài)的引導(dǎo)核心具有的鉤進(jìn)入孔只要插入體主體具有的鉤部能進(jìn)入，就未特別限定其形狀、構(gòu)造、大小、位置等，能按照插入體主體具有的鉤部的形狀、構(gòu)造、大小、位置等，適當(dāng)決定。作為鉤進(jìn)入孔，能列舉出凹部或貫通孔。鉤進(jìn)入孔例如在設(shè)置在支撐部的周圍的凸緣的相對的位置上分別設(shè)置一個以上。
在本形態(tài)的引導(dǎo)核心中，只要鉤承部能與進(jìn)入鉤進(jìn)入孔的鉤部配合，就未特別限定設(shè)置鉤承部的位置。鉤承部能設(shè)置在鉤進(jìn)入孔的出口附近，從而與鉤進(jìn)入孔的內(nèi)側(cè)面連續(xù)。
在本形態(tài)的引導(dǎo)核心中，設(shè)置為鉤承部能與進(jìn)入鉤進(jìn)入孔的鉤部配合，所以能把引導(dǎo)核心接近安裝到插入體主體上。據(jù)此，能可靠地從插入體主體向引導(dǎo)核心引導(dǎo)電子部件。
(3)在所述(1)或(2)記載的引導(dǎo)核心的首選形態(tài)中，所述引導(dǎo)核心具有用于嵌插對所述插座進(jìn)行所述引導(dǎo)核心的定位的導(dǎo)軸的導(dǎo)軸嵌插孔。
在本形態(tài)的引導(dǎo)核心中，通過把設(shè)置在插座一側(cè)的(例如設(shè)置在插座引導(dǎo)部的)導(dǎo)軸嵌插到導(dǎo)軸嵌插孔中，能進(jìn)行引導(dǎo)核心對插座的正確定位。據(jù)此，進(jìn)行由引導(dǎo)核心支撐的被試驗(yàn)電子部件對插座的正確定位，能可靠連接被試驗(yàn)電子部件的外部端子和插座的連接端子。
(4)本發(fā)明的插入體主體可插拔地安裝所述(1)～(3)中的任意一項(xiàng)所述的引導(dǎo)核心，其特征在于包括具有安裝所述引導(dǎo)核心的引導(dǎo)核心安裝口、為了把電子部件向安裝在所述引導(dǎo)核心安裝口上的所述引導(dǎo)核心引導(dǎo)而與所述引導(dǎo)核心安裝口連通的電子部件進(jìn)入口的電子部件引導(dǎo)部；可裝卸地與所述引導(dǎo)核心具有的鉤承部配合的鉤部。
在本發(fā)明的插入體主體中，電子部件引導(dǎo)部具有引導(dǎo)核心安裝口和電子部件進(jìn)入口，引導(dǎo)核心安裝口和電子部件進(jìn)入口連通，從而把從電子部件進(jìn)入口進(jìn)入的電子部件向安裝在引導(dǎo)核心安裝口上的引導(dǎo)核心進(jìn)行引導(dǎo)(guide)。
在本發(fā)明的插入體主體的引導(dǎo)核心安裝口中安裝引導(dǎo)核心，把由插入體主體的電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)的被試驗(yàn)電子部件搬入安裝在引導(dǎo)核心安裝口中的引導(dǎo)核心中。而且，被試驗(yàn)電子部件在由引導(dǎo)核心支撐的狀態(tài)下，提供給基于電子部件試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)。試驗(yàn)完畢的電子部件由電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)，從電子部件進(jìn)入口搬出到插入體主體外。
本發(fā)明的插入體主體的鉤部的構(gòu)造只要能把引導(dǎo)核心可插拔地安裝在插入體主體上，可裝卸地與引導(dǎo)核心具有的鉤承部配合，就未特別限定。另外，能按照引導(dǎo)核心具有的鉤承部的位置和個數(shù)，適當(dāng)決定鉤部的位置和個數(shù)在本發(fā)明的插入體主體中，通過插入體主體的鉤部和引導(dǎo)核心的鉤承部配合，把引導(dǎo)核心安裝在插入體主體上，并且通過解除插入體主體的鉤部和引導(dǎo)核心的鉤承部的配合，引導(dǎo)核心從插入體主體脫開因此，如果利用本發(fā)明的插入體主體，就能制作能更換引導(dǎo)核心的插入體。在利用本發(fā)明插入體主體的插入體中，只通過更換引導(dǎo)核心，能存放多種尺寸的被試驗(yàn)電子部件。
(5)在所述(4)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述鉤部設(shè)置為能進(jìn)入所述引導(dǎo)核心具有的鉤進(jìn)入孔，并且在進(jìn)入所述鉤進(jìn)入孔的狀態(tài)下能與所述鉤承部配合。
本形態(tài)的插入體主體具有的鉤部只要能進(jìn)入引導(dǎo)核心具有的鉤進(jìn)入孔，在進(jìn)入該鉤進(jìn)入孔的狀態(tài)下能與所述鉤承部配合，就未特別限制其形狀、構(gòu)造、大小、位置等，能按照引導(dǎo)核心具有的鉤進(jìn)入孔和鉤承部的形狀、構(gòu)造、大小、位置等，適當(dāng)決定。
在本形態(tài)的插入體主體中，鉤部在進(jìn)入該鉤進(jìn)入孔的狀態(tài)下能與所述鉤承部配合，所以能使引導(dǎo)核心接近安裝在插入體主體上。據(jù)此，能從插入體主體向引導(dǎo)核心可靠地引導(dǎo)電子部件。
須指出的是，當(dāng)在鉤進(jìn)入孔的輸出附近設(shè)置有鉤承部時，有時鉤部在從鉤進(jìn)入孔的出口飛出的狀態(tài)下與鉤承部配合，但是即使是這樣的狀態(tài)，只要鉤部在從鉤進(jìn)入孔的入口進(jìn)入的狀態(tài)下與鉤承部配合，就包含在“在進(jìn)入鉤進(jìn)入孔的狀態(tài)下與鉤承部配合”中。
(6)在所述(4)或(5)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述鉤部設(shè)置為能向與所述鉤進(jìn)入孔配合的方向移動。
在本形態(tài)的插入體主體中，通過使鉤部向與所述鉤進(jìn)入孔配合的方向移動，能把引導(dǎo)核心安裝在插入體主體上，并且通過使鉤部向與此相反的方向(解除與鉤承部的配合的方向)移動，能從插入體主體把引導(dǎo)核心脫開，所以能容易地進(jìn)行引導(dǎo)核心對插入體主體的安裝和取下(更換)。
(7)在所述(6)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，設(shè)置所述鉤部使其能以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。
在本形態(tài)的插入體主體中，鉤部以旋轉(zhuǎn)軸為中心在一定軌道上移動，所以能容易并且可靠地使鉤部向與鉤承部配合的方向移動，并且能容易并且可靠地使鉤部向與此相反的方向(解除與鉤承部的配合的方向)移動。據(jù)此，能容易并且可靠地進(jìn)行引導(dǎo)核心對插入體主體的安裝和取下(更換)。
(8)在所述(6)或(7)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述鉤部通過彈性構(gòu)件，靠向與所述鉤承部配合的方向。
在本形態(tài)的插入體主體中，只要能使鉤部靠向與鉤承部配合的方向，就未特別限定彈性構(gòu)件的種類、設(shè)置彈性構(gòu)件的位置。作為彈性構(gòu)件，例如能使用扭簧等彈簧。
在本形態(tài)的插入體主體中，通過彈性構(gòu)件的靠向力，鉤部和鉤承部的配合變得牢固，能以穩(wěn)定的狀態(tài)對插入體主體安裝引導(dǎo)核心。
(9)在所述(8)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述插入體主體具有限制所述鉤部向與所述鉤承部配合的方向的移動或轉(zhuǎn)動的阻擋部。
在本形態(tài)的插入體主體中，在未安裝引導(dǎo)核心的狀態(tài)下，也能把鉤部保持在阻擋部。
在本形態(tài)的插入體主體中，當(dāng)使鉤部和鉤承部配合時，對保持在阻擋部的鉤部作用外例，使該鉤部向解除與鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動后，使引導(dǎo)核心移動到插入體主體的引導(dǎo)核心安裝口，解除外力。解除外力的鉤部通過彈性構(gòu)件的靠向力向與鉤承部配合的方向移動或轉(zhuǎn)動，與鉤承部配合。這時，在鉤部向與鉤承部配合的方向的移動或轉(zhuǎn)動由阻擋部限制之前的階段中，與鉤承部配合，或在向與鉤承部配合的方向的移動或轉(zhuǎn)動由阻擋部限制的狀態(tài)下，與鉤承部配合。
在本形態(tài)的插入體主體中，阻擋部的構(gòu)造只要能限制鉤部的移動或轉(zhuǎn)動，就未特別限定。另外，阻擋部的位置只要不妨礙鉤部和鉤承部的配合，就未特別限定。
(10)在所述(9)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述插入體主體具有設(shè)置在所述鉤部上的夾具支撐部，即受到基于夾具的按壓，使所述鉤部向解除與所述鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動的所述夾具支撐部。
在本形態(tài)的插入體主體中，夾具支撐部的形狀、構(gòu)造等只要受到基于夾具的按壓，能使鉤部向解除與鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動，就未特別限定。另外，夾具的形狀、構(gòu)造只要能按壓夾具支撐部，就未特別限定。作為夾具，例如使用具有能按壓夾具支撐部的軸的夾具。
在本形態(tài)的插入體主體中，夾具支撐部設(shè)置在鉤部上，能與鉤部一起移動或轉(zhuǎn)動，如果夾具支撐部受到基于夾具的按壓，鉤部就向解除與鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動。然后，如果解除基于夾具的按壓力，鉤部通過彈性構(gòu)件的靠向力，向與鉤承部配合的方向移動或轉(zhuǎn)動。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，能容易地進(jìn)行引導(dǎo)核心對插入體主體的安裝和取下(更換)。
(11)在所述(10)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述插入體主體具有所述夾具能進(jìn)入的夾具進(jìn)入孔，把所述夾具支撐部設(shè)置為進(jìn)入夾具進(jìn)入孔的所述夾具能按壓所述夾具支撐部。
在本形態(tài)的插入體主體中，通過使夾具進(jìn)入夾具進(jìn)入孔，能按壓夾具支撐部，并且通過使夾具從夾具進(jìn)入孔退出，能解除對夾具支撐部的按壓。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，通過夾具對夾具進(jìn)入孔的進(jìn)出，能容易地進(jìn)行引導(dǎo)核心對插入體主體的安裝和取下(更換)。
(12)在所述(11)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，設(shè)置所述夾具支撐部，從而使進(jìn)入到所述夾具進(jìn)入孔內(nèi)的所述夾具與所述夾具支撐部接觸，通過在所述夾具支撐部上滑動，能按壓所述夾具支撐部。
在本形態(tài)的插入體主體中，例如在鉤部保持在阻擋部上的狀態(tài)下，把夾具支撐部設(shè)置為遮擋夾具從夾具進(jìn)入孔進(jìn)入。具體而言，把具有夾具接觸的面的夾具支撐部設(shè)置為向鉤部和鉤承部配合的方向傾斜，橫穿夾具進(jìn)入孔。進(jìn)入夾具進(jìn)入孔的夾具與夾具支撐部接觸，一邊在夾具支撐部上滑動，一邊把夾具支撐部向夾具的行進(jìn)方向按壓。據(jù)此，在夾具支撐部上作用向解除鉤部和鉤承部的配合的方向的力，鉤部與夾具支撐部一起向解除鉤部和鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動。如果夾具從夾具進(jìn)入孔退出，作用在夾具支撐部上的基于夾具的按壓力就解除，鉤部通過彈性構(gòu)件的靠向力，向與鉤承部配合的方向移動或轉(zhuǎn)動。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，使用夾具，能容易并且可靠地執(zhí)行引導(dǎo)核心對插入體主體的安裝和取下(更換)。
(13)在所述(4)～(12)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述插入體主體包含閂鎖機(jī)構(gòu)，所述閂鎖機(jī)構(gòu)具有從對于所述插入體主體向接近和背離的方向移動的驅(qū)動體受到向所述驅(qū)動體的接近方向的作用，旋轉(zhuǎn)移動的驅(qū)動體作用部；在所述電子部件引導(dǎo)部為打開狀態(tài)的打開位置和為關(guān)閉狀態(tài)的關(guān)閉位置之間旋轉(zhuǎn)移動的閂鎖部；使所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動的臂部；在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部位于比包含所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線，并且垂直于所述驅(qū)動體的靠近背離方向的平面更靠近所述驅(qū)動體的位置，并且位于平行于所述驅(qū)動體的靠近背離方向的平面的附近，所述驅(qū)動體與所述臂部不干涉地移動。
在本形態(tài)的插入體主體中，把驅(qū)動體設(shè)置為對于插入體主體的電子部件進(jìn)入面，向接近和背離的方向移動。在此，“電子部件進(jìn)入面”意味著插入體主體的外表面中的設(shè)置電子部件引導(dǎo)部的電子部件進(jìn)入口的外表面。當(dāng)把驅(qū)動體設(shè)置為對于插入體主體的電子部件進(jìn)入面，向接近和背離的方向移動時，把驅(qū)動體的構(gòu)造、位置調(diào)節(jié)為不妨礙通過電子部件進(jìn)入口的電子部件的搬入和搬出。例如通過在驅(qū)動體上設(shè)置與電子部件進(jìn)入口連通的開口部，通過電子部件進(jìn)入口的電子部件的搬入和搬出成為可能。當(dāng)向插入體內(nèi)搬入被試驗(yàn)電子部件時，驅(qū)動體從把被試驗(yàn)電子部件搬入插入體內(nèi)的裝置受到按壓例，對插入體主體向靠近的方向移動。希望通過彈簧等彈性構(gòu)件使驅(qū)動體靠向從插入體主體向背離的方向，從而當(dāng)被解除來自所述裝置的按壓力時，從插入體主體向背離的方向移動。須指出的是，把驅(qū)動體位于離插入體主體最遠(yuǎn)的位置的狀態(tài)稱作“驅(qū)動體的最背離時”。
在本形態(tài)的插入體主體中，作為驅(qū)動體的具體例，能列舉出桿板。桿板可以直接作用于驅(qū)動體作用部，也可以通過其他構(gòu)件間接作用。例如在桿板上設(shè)置突起部，該突起部作用于驅(qū)動體作用部。
在本形態(tài)的插入體主體中，從驅(qū)動體受到向驅(qū)動體的接近方向的作用(即向接近插入體主體的方向的力)的驅(qū)動體作用部以旋轉(zhuǎn)軸為中心，旋轉(zhuǎn)移動。驅(qū)動體作用部從驅(qū)動體受到向驅(qū)動體的背離方向的作用(即向背離插入體主體的方向的力)，能旋轉(zhuǎn)移動。
在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體作用部和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，如果從驅(qū)動體受到向驅(qū)動體的接近方向的作用，旋轉(zhuǎn)移動，則閂鎖部從打開位置向關(guān)閉位置，或從關(guān)閉位置向打開位置旋轉(zhuǎn)移動。在此，“打開位置”是電子部件引導(dǎo)部位打開狀態(tài)的位置，“打開狀態(tài)”意味著通過電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)電子部件，能向引導(dǎo)核心搬入的狀態(tài)和從引導(dǎo)核心能搬出的狀態(tài)。另外，“關(guān)閉位置”意味著電子部件引導(dǎo)部為關(guān)閉狀態(tài)的位置，“關(guān)閉狀態(tài)”也為這無法通過電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)電子部件，向引導(dǎo)核心搬入的狀態(tài)和從引導(dǎo)核心搬出的狀態(tài)。當(dāng)閂鎖部位于打開位置時，用電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)電子部件，能向引導(dǎo)核心搬入，并且用電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)，能從引導(dǎo)核心搬出。另外，當(dāng)閂鎖部位于關(guān)閉位置時，不能用電子部件引導(dǎo)部引導(dǎo)電子部件(即電子部件無法通過電子部件引導(dǎo)部)，能防止由安裝在插入體主體的引導(dǎo)核心安裝口上的引導(dǎo)核心支撐的電子部件的飛出。閂鎖部的頂端部在引導(dǎo)核心安裝口的中央部附近和電子部件引導(dǎo)部的內(nèi)側(cè)面附近之間旋轉(zhuǎn)移動時，當(dāng)閂鎖部的頂端部位于引導(dǎo)核心安裝口的中央部附近時，閂鎖部位于“關(guān)閉位置”，當(dāng)閂鎖部的頂端部位于電子部件引導(dǎo)部的內(nèi)側(cè)面附近時，閂鎖部位于“打開位置”。
在本形態(tài)的插入體主體中，當(dāng)閂鎖部位于關(guān)閉位置時，閂鎖部的頂端部能把由安裝在插入體主體的引導(dǎo)核心安裝口上的引導(dǎo)核心支撐的電子部件向引導(dǎo)核心的支撐部的方向按壓，據(jù)此，把電子部件保持在引導(dǎo)核心的給定位置，能防止電子部件的位置偏移。例如，閂鎖部的頂端部通過按壓由安裝在插入體主體的引導(dǎo)核心安裝口上的引導(dǎo)核心支撐的電子部件的向著電子部件進(jìn)入口方向的外表面，能防止電子部件的位置便宜。須指出的是，當(dāng)閂鎖部的頂端部按壓由引導(dǎo)核心支撐的電子部件時，閂鎖部的頂端部通過與電子部件接觸，限制閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動，雖然有時電子部件未由引導(dǎo)核心支撐時的閂鎖部的關(guān)閉位置和電子部件由引導(dǎo)核心支撐時的閂鎖部的關(guān)閉位置不同，但是只要電子部件引導(dǎo)部為關(guān)閉狀態(tài)，就包含在“關(guān)閉位置”中。另外，閂鎖部的關(guān)閉位置有時根據(jù)由引導(dǎo)核心支撐的電子部件的尺寸而不同，但是只要電子部件引導(dǎo)部為關(guān)閉狀態(tài)，就包含在“關(guān)閉位置”中。
在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)軸和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)軸在電子部件引導(dǎo)部的內(nèi)側(cè)面，垂直或大致垂直于驅(qū)動體的靠近背離方向。另外，驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)中心線可以不同，但是希望一致(即希望驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)軸和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)軸相同)。通過使兩者的旋轉(zhuǎn)中心線一致，能通過簡易的機(jī)構(gòu)使兩者的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動。當(dāng)兩者的旋轉(zhuǎn)中心線一致時，通過用臂部連接驅(qū)動體作用部和閂鎖部，就能使兩者的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動。
在本形態(tài)的插入體主體中，把臂部的構(gòu)造、配置調(diào)節(jié)為不妨礙通過電子部件進(jìn)入口的電子部件的搬入和搬出。把臂部設(shè)置為在驅(qū)動體的最背離時，沿著電子部件的內(nèi)側(cè)面。
在本形態(tài)的插入體主體中，在驅(qū)動體的最背離時，驅(qū)動體作用部位于比包含驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線，并且垂直于驅(qū)動體的靠近背離方向的平面更靠近驅(qū)動體的位置，所以受到向驅(qū)動體的接近方向的作用的驅(qū)動體作用部向包含驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線，垂直于驅(qū)動體的靠近背離方向的平面旋轉(zhuǎn)移動。當(dāng)驅(qū)動體作用部這樣旋轉(zhuǎn)移動時，驅(qū)動體的最背離時的驅(qū)動體作用部越接近平行于驅(qū)動體的靠近背離方向的平面，驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)角度就越大。在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體位于包含驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的靠近背離方向的平面的附近，所以驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)角度增大。閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動與驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，如果驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)角度增大，則閂鎖部的旋轉(zhuǎn)角度也增大，所以在本形態(tài)的插入體主體中，閂鎖部的旋轉(zhuǎn)角度也增大。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，閂鎖部的開關(guān)量(打開位置和關(guān)閉位置的移動量)大，能防止多種尺寸的電子部件的飛出和位置偏移。
另外，驅(qū)動體與臂部不干涉地移動，所以驅(qū)動體不妨礙臂部的動作，通過臂部能可靠地使驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，據(jù)此，能確保閂鎖部的大開關(guān)量。
(14)在所述(13)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述驅(qū)動體作用部通過彈性構(gòu)件，靠向所述驅(qū)動體的背離方向。
在本形態(tài)的插入體主體中，如果驅(qū)動體向背離插入體主體的方向移動，則驅(qū)動體作用部從彈性體受到向驅(qū)動體的背離方向的作用，向與伴隨著驅(qū)動體的接近的驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動相反的方向旋轉(zhuǎn)移動。這時，閂鎖部也與驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，向與伴隨著驅(qū)動體的接近的閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動相反的方向旋轉(zhuǎn)移動。即伴隨著驅(qū)動體的接近，閂鎖部從打開位置向關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動時，伴隨著驅(qū)動體的背離，閂鎖部從關(guān)閉位置向打開位置旋轉(zhuǎn)移動，當(dāng)伴隨著驅(qū)動體的接近，閂鎖部從關(guān)閉位置向打開位置旋轉(zhuǎn)移動時，伴隨著驅(qū)動體的背離，閂鎖部從打開位置向關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，通過使驅(qū)動體向接近和背離插入體主體的方向移動，能使從打開位置旋轉(zhuǎn)移動到關(guān)閉位置的閂鎖部再旋轉(zhuǎn)移動到打開位置，或使從關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動到打開位置的閂鎖部再旋轉(zhuǎn)移動到關(guān)閉位置。
(15)在所述(13)或(14)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部位于所述驅(qū)動體的附近。
在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體一邊向驅(qū)動體作用部施加作用，一邊移動的距離變長，所以受到驅(qū)動體的作用，驅(qū)動體作用部旋轉(zhuǎn)移動的旋轉(zhuǎn)角度也變大，與驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動而旋轉(zhuǎn)移動的閂鎖部的旋轉(zhuǎn)角度也變大。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，閂鎖部的開關(guān)量(打開位置和關(guān)閉位置的移動量)增大，能防止多種尺寸的電子部件的飛出和位置便宜。
(16)在所述(13)～(15)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，當(dāng)從所述驅(qū)動體受到向所述驅(qū)動體的接近方向的作用，所述驅(qū)動體作用部旋轉(zhuǎn)移動時，所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，從而所述閂鎖部從所述關(guān)閉位置向所述打開位置旋轉(zhuǎn)移動。
在本形態(tài)的插入體主體中，當(dāng)把被試驗(yàn)電子部件搬入插入體內(nèi)時，如果使把該被試驗(yàn)電子部件搬入插入體內(nèi)的裝置向接近電子部件進(jìn)入面的方向移動，通過該裝置按壓驅(qū)動體，使驅(qū)動體向接近電子部件進(jìn)入面的方向移動，就能使閂鎖部從關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動到打開位置。因此，在本形態(tài)的插入體主體中，使把被試驗(yàn)電子部件向插入體內(nèi)搬入的裝置的動作與閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，通過該裝置把被試驗(yàn)電子部件搬入插入體時，能使閂鎖部旋轉(zhuǎn)移動到打開位置，所以能利用該裝置可靠地把電子部件搬入插入體內(nèi)。
(17)在所述(13)～(16)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線和所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)中心線一致。
在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)中心線一致，所以能使閂鎖機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單純化。
(18)在所述(17)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部和所述閂鎖部對于包含所述旋轉(zhuǎn)中心線，并且垂直于所述驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)。
在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體的最背離時的閂鎖部位置為關(guān)閉位置。因此，當(dāng)從驅(qū)動體受到向驅(qū)動體的接近方向的作用，驅(qū)動體作用部旋轉(zhuǎn)移動時，能使驅(qū)動體作用部和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，從而閂鎖部從關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動到打開位置。
(19)在所述(17)或(18)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，所述旋轉(zhuǎn)中心線位于所述電子部件進(jìn)入口的附近，在所述驅(qū)動體的最背離時，所述閂鎖部的頂端部位于接近包含所述旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的接近背離方向的平面的位置，并且位于所述引導(dǎo)核心安裝口的附近。
在本形態(tài)的插入體主體中，位于關(guān)閉位置的閂鎖部的頂端部位于接近包含旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的接近背離方向的平面的位置，并且引導(dǎo)核心安裝口的附近，從而伴隨著閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動的閂鎖部的頂端部的移動距離增加，據(jù)此，閂鎖部的開關(guān)量增大。
(20)在所述(17)～(19)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部和所述臂部對于垂直于所述旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于所述驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)。
在本形態(tài)的插入體主體中，伴隨著驅(qū)動體的移動而描畫的驅(qū)動體的軌道和臂部的軌道對于垂直于旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)，所以能使驅(qū)動體移動為對驅(qū)動體作用部作用，但是對臂部不作用，據(jù)此，通過臂部能可靠地使驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，據(jù)此，能確保閂鎖部的大開關(guān)量。
須指出的是，在本形態(tài)的插入體主體中，驅(qū)動體作用部和臂部對于滿足“垂直于旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的接近背離方向”的條件的某平面，位于相反一側(cè)。
在本形態(tài)的插入體主體中，如果在臂部設(shè)置具有在驅(qū)動體的最背離時，在驅(qū)動體和電子部件進(jìn)入面之間存在的頂端部的突起部，則設(shè)置在臂部上的突起部的頂端部成為驅(qū)動體作用部，驅(qū)動體作用部和臂部對于垂直于旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)。
(21)在所述(14)～(20)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體的首選形態(tài)中，在所述插入體主體中設(shè)置能存放所述驅(qū)動體作用部的存放部，從而所述驅(qū)動體作用部能與所述插入體主體不干涉地旋轉(zhuǎn)移動。
在本形態(tài)的插入體主體中，存放部能在電子部件進(jìn)入口的周圍部設(shè)置為能存放驅(qū)動體作用部的凹部。
在本形態(tài)的插入體主體中，通過把驅(qū)動體作用部存放在插入體主體的存放部中，能使驅(qū)動體作用部能與插入體主體不干涉地旋轉(zhuǎn)移動，所以能確保驅(qū)動體作用部的大的旋轉(zhuǎn)移動，據(jù)此，能確保與驅(qū)動體作用部聯(lián)動的閂鎖部的大的旋轉(zhuǎn)移動。
(22)本發(fā)明的插入體的特征在于具有所述(1)～(3)中的任意一項(xiàng)記載的引導(dǎo)核心和所述(4)～(21)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體。
在本發(fā)明的插入體中，發(fā)揮所述(1)～(3)中的任意一項(xiàng)記載的引導(dǎo)核心具有的作用效果和所述(4)～(21)中的任意一項(xiàng)記載的插入體主體具有的作用效果。
(23)在所述(22)所述的插入體的首選形態(tài)中，所述插入體把被試驗(yàn)電子部件向電子部件試驗(yàn)裝置的測試頭的接觸部輸送，安裝到把它搬出的托盤上。
在電子部件試驗(yàn)裝置的測試頭的接觸部上設(shè)置有安裝被試驗(yàn)電子部件的插座，在那里進(jìn)行被試驗(yàn)電子部件的試驗(yàn)。
在本形態(tài)的插入體中，能高效進(jìn)行被試驗(yàn)電子部件向接觸部的輸送、被試驗(yàn)電子部件在接觸部的試驗(yàn)、試驗(yàn)完畢的電子部件從接觸部的搬出。另外，通過在托盤中安裝多個插入體，能同時試驗(yàn)多個電子部件。
(24)本發(fā)明的電子部件處理裝置在插入體中存放區(qū)域陣列型電子部件的狀態(tài)下，使所述區(qū)域陣列型電子部件的外部端子和插座的連接端子連接，進(jìn)行所述區(qū)域陣列型電子部件的試驗(yàn)，其特征在于作為所述插入體，具有所述(22)或(23)記載的插入體。
在本發(fā)明的電子部件處理裝置中，發(fā)揮所述(22)或(23)記載的插入體的作用效果。


下面簡要說明附圖。
圖1是表示本發(fā)明電子部件處理裝置的一個實(shí)施例的IC試驗(yàn)裝置的全體側(cè)視圖。
圖2是表示該IC試驗(yàn)裝置的處理機(jī)的立體圖。
圖3是表示被試驗(yàn)IC的處理方法的托盤的程序流程圖。
圖4是表示該IC試驗(yàn)裝置的IC儲存部的構(gòu)造的立體圖。
圖5是表示該IC試驗(yàn)裝置中使用的客戶托盤的立體圖。
圖6是表示該IC試驗(yàn)裝置中使用的測試托盤的局部分解立體圖。
圖7是該IC試驗(yàn)裝置中使用的本發(fā)明的插入體的分解立體圖。
圖8(a)是表示構(gòu)成該插入體的插入體主體的主體部的俯視圖，圖8(b)是圖8(a)的A-A剖視圖。
圖9(a)是構(gòu)成該插入體的引導(dǎo)核心的俯視圖，圖9(b)是圖9(a)的A-A剖視圖。
圖10是說明通過設(shè)置在該插入體主體上的鉤機(jī)構(gòu)，把該引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上的步驟的局部剖視圖。
圖11(a)是該插入體主體的俯視圖，圖11(b)是圖11(a)的A-A剖視圖。
圖12(a)是在設(shè)置在插入體主體的閂鎖機(jī)構(gòu)中，表示閂鎖部位于關(guān)閉位置時的剖視圖(相當(dāng)于圖11(b))，圖12(b)是該閂鎖部位于打開位置時的剖視圖。
圖13是表示IC試驗(yàn)裝置的測試頭的插座附近的構(gòu)造的分解立體圖。
圖14是表示IC試驗(yàn)裝置的測試頭的插座附近的構(gòu)造的局部剖視圖。
圖15是表示通過設(shè)置在插入體主體上的鉤機(jī)構(gòu)，把引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上時，和通過設(shè)置在插入體主體上的鉤機(jī)構(gòu)，從插入體主體取下引導(dǎo)核心時使用的夾具的側(cè)視圖。
圖16是表示鉤機(jī)構(gòu)的按照不同彈簧的實(shí)施例的立體圖。
圖17是表示閂鎖結(jié)構(gòu)的按照不同彈簧的實(shí)施例的立體圖。
圖18(a)是成為IC器件試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)對象的IC器件的側(cè)視圖，圖18(b)是IC器件的仰視圖。
圖19(a)是表示以往的插入體的閂鎖機(jī)構(gòu)處于打開狀態(tài)時的局部剖視圖，圖19(b)是表示閂鎖機(jī)構(gòu)處于關(guān)閉狀態(tài)時的局部剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明實(shí)施例。
圖1是表示本發(fā)明電子部件處理裝置的一個實(shí)施例的IC試驗(yàn)裝置的全體側(cè)視圖，圖2是表示該IC試驗(yàn)裝置的處理機(jī)的立體圖，圖3是表示被試驗(yàn)IC的處理方法的托盤的程序流程圖，圖4是表示該IC試驗(yàn)裝置的IC儲存部的構(gòu)造的立體圖，圖5是表示該IC試驗(yàn)裝置中使用的客戶托盤的立體圖，圖6是表示該IC試驗(yàn)裝置中使用的測試托盤的局部分解立體圖，圖7是該IC試驗(yàn)裝置中使用的本發(fā)明的插入體的分解立體圖，圖8(a)是表示構(gòu)成該插入體的插入體主體的主體部的俯視圖，圖8(b)是圖8(a)的A-A剖視圖，圖9(a)是構(gòu)成該插入體的引導(dǎo)核心的俯視圖，圖9(b)是圖9(a)的A-A剖視圖，圖10是說明通過設(shè)置在該插入體主體上的鉤(hook)機(jī)構(gòu)，把該引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上的步驟的局部剖視圖，圖11(a)是該插入體主體的俯視圖，圖11(b)是圖11(a)的A-A剖視圖，圖12(a)是在設(shè)置在插入體主體的閂鎖機(jī)構(gòu)中，表示閂鎖部位于關(guān)閉位置時的剖視圖(相當(dāng)于圖11(b))，圖12(b)是該閂鎖部位于打開位置時的剖視圖，圖13是表示IC試驗(yàn)裝置的測試頭的插座附近的構(gòu)造的分解立體圖，圖14是表示IC試驗(yàn)裝置的測試頭的插座附近的構(gòu)造的局部剖視圖，圖15是表示通過設(shè)置在插入體主體上的鉤機(jī)構(gòu)，把引導(dǎo)核心安裝到插入體主體上時，和通過設(shè)置在插入體主體上的鉤機(jī)構(gòu)，從插入體主體取下引導(dǎo)核心時使用的夾具的側(cè)視圖。
須指出的是，圖3是用于理解本實(shí)施例的IC器件試驗(yàn)裝置的被試驗(yàn)IC器件的處理方法的圖，實(shí)際上也存在平面表示并列配置在上下方向的構(gòu)件的部分。因此，參照圖2說明該機(jī)械的(三維)構(gòu)造。
首先，說明本實(shí)施例的IC器件試驗(yàn)裝置的全體結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，本實(shí)施例的IC器件試驗(yàn)裝置10具有處理機(jī)1和測試頭5和試驗(yàn)用主裝置6。處理機(jī)1執(zhí)行把應(yīng)該試驗(yàn)的電子部件即IC器件依次輸送到設(shè)置在測試頭5的上方的接觸部9的插座中，根據(jù)測試結(jié)果把試驗(yàn)完畢的IC器件分類，存放到給定托盤中的動作。成為IC器件試驗(yàn)裝置10的試驗(yàn)對象的IC器件是BGA、LGA、PGA、CSP等區(qū)域陣列型IC器件。
接觸部9的插座通過測試頭5和電纜7電連接在試驗(yàn)用主裝置6上，可插拔地安裝在插座上的IC器件通過測試頭5和電纜7電連接在試驗(yàn)用主裝置6上。對安裝在插座上的IC器件外加來自試驗(yàn)用主裝置6的試驗(yàn)用電信號，從IC器件讀出的響應(yīng)信號通過電纜7發(fā)送給試驗(yàn)用主裝置6，據(jù)此，能試驗(yàn)IC器件的性能或功能。
在處理機(jī)1的下部主要內(nèi)置有控制處理機(jī)1的控制裝置，但是在一部分中設(shè)置空間部分8。在該空間部分8配置可自由更換的測試頭5，通過形成在處理機(jī)1中的通孔，能對設(shè)置在測試頭5的上方的接觸部9的插座插拔IC器件。
IC器件試驗(yàn)裝置10是用于在比常溫還高的溫度下(高溫)或低的溫度狀態(tài)下(低溫)，對應(yīng)該試驗(yàn)的電子部件即IC器件進(jìn)行試驗(yàn)的裝置，處理機(jī)1如圖2和圖3所示，具有由恒溫槽101、測試室102、除熱槽103構(gòu)成的室100。設(shè)置在圖1所示的測試頭5的上方的接觸部9插入測試室102的內(nèi)部，在那里進(jìn)行IC器件的試驗(yàn)。
如圖2和圖3所示，IC器件試驗(yàn)裝置10的處理機(jī)1由以下部分構(gòu)成存放從此要進(jìn)行試驗(yàn)的IC器件，另外把試驗(yàn)完畢的IC器件分類存放的IC存放部200；把從IC存放部200送來的被試驗(yàn)IC器件送入室100中的裝載部300；包含測試頭5的室100；把在室100中進(jìn)行試驗(yàn)的試驗(yàn)完畢的IC器件分類取出的卸載部400。須指出的是，在處理機(jī)1的內(nèi)部，IC器件存放在測試托盤中輸送。
多個存放到處理機(jī)1中之前的IC器件存放在圖5所示的客戶托盤KST內(nèi)，在該狀態(tài)下，提供給圖2和圖3所示的處理機(jī)1的IC存放部200，在那里，IC器件從客戶托盤KST換乘到在處理機(jī)1內(nèi)輸送的測試托盤TST(參照圖6)上。在處理機(jī)1的內(nèi)部，如圖3所示，IC器件在安放在測試托盤TST上的狀態(tài)下移動，對其提供高溫或低溫的溫度應(yīng)力，試驗(yàn)(檢查)是否恰當(dāng)?shù)毓ぷ?，按照該試?yàn)結(jié)果分類。下面，詳細(xì)說明處理機(jī)1的內(nèi)部。
第一，說明與IC存放部200關(guān)聯(lián)的部分。
如圖2所示，在IC存放部200中設(shè)置有存放試驗(yàn)前的IC器件的試驗(yàn)前IC儲存部201；按照試驗(yàn)結(jié)果把試驗(yàn)后的IC器件分類存放的試驗(yàn)完畢IC儲存部202。
試驗(yàn)前IC儲存部201和試驗(yàn)完畢IC儲存部202如圖4所示，具有框狀的托盤支撐框203；從該托盤支撐框203的下部侵入，能向上部升降的升降部204。在托盤支撐框203上支撐多個重疊的客戶托盤KST，只有重疊的客戶托盤KST能通過升降部204上下移動。
在圖2所示的試驗(yàn)前IC儲存部201中，層疊保持著存放試驗(yàn)前的IC器件的客戶托盤KST，在試驗(yàn)完畢IC儲存部202中層疊保持著把結(jié)束試驗(yàn)的IC器件分類存放的客戶托盤KST。
須指出的是，試驗(yàn)前IC儲存部201和試驗(yàn)完畢IC儲存部202是同一或大致相同的構(gòu)造，所以能把試驗(yàn)前IC儲存部201作為試驗(yàn)完畢IC儲存部202使用，反之亦然。因此，按照必要，能容易變更試驗(yàn)前IC儲存部201和試驗(yàn)完畢IC儲存部202的數(shù)。
如圖2和圖3所示，在本實(shí)施例中，作為試驗(yàn)前IC儲存部201，設(shè)置2個儲存部STK-B。在儲存部STK-B的旁邊，作為試驗(yàn)完畢IC儲存部202，設(shè)置2個向卸載部400輸送的空儲存部STK-E。另外，在其旁邊，作為試驗(yàn)完畢IC儲存部202，設(shè)置8個儲存部STK-1、STK-2、…STK-8，按照試驗(yàn)結(jié)果，最多能劃分為8個分類存放。即除了合格品和不合格品以外，在合格品中還能劃分為工作速度為高速的、中速的、低速的，或在不合格品中，也能劃分為需要再次試驗(yàn)的等。
第二，說明與裝載部300關(guān)聯(lián)的部分。
圖4所示的試驗(yàn)前IC儲存部201的托盤支撐框203中存放的客戶托盤KST如圖2所示，由設(shè)置在IC存放部200和裝置襯底105之間的托盤輸送臂205從裝置襯底105運(yùn)送到裝載部300的窗部306。然后，在裝載部300中，通過X-Y輸送裝置304把安放到客戶托盤KST中的被試驗(yàn)IC器件輸送到精密調(diào)整部(preciser)305，在此修正被試驗(yàn)IC器件的相互位置后，再使用X-Y輸送裝置304把輸送到精密調(diào)整部305的被試驗(yàn)IC器件換乘到停止在裝載部300中的測試脫盤TST上。
作為把被試驗(yàn)IC器件從客戶托盤KST換乘到測試脫盤TST上的X-Y輸送裝置304，如圖2所示，具有架設(shè)在裝置襯底105的上部的2條軌道301；通過這2條軌道301，能在客戶托盤KST和測試脫盤TST之間往返(方向?yàn)閅方向)的可動臂302；由可動臂302支撐，能沿著可動臂302向X方向移動的可動頭303。
在X-Y輸送裝置304的可動頭303上向下安裝吸附頭，該吸附頭一邊吸引空氣，一邊移動，從而從客戶托盤KST吸附被試驗(yàn)IC器件，把該被試驗(yàn)IC器件換乘到測試脫盤TST上。對可動頭303例如安裝8個這樣的吸附頭，一次能把8個被試驗(yàn)IC器件換乘到測試脫盤TST上。
第三，說明與室100關(guān)聯(lián)的部分。
上述的測試脫盤TST由裝載部300裝入被試驗(yàn)IC器件后，被送入室100中，在搭載在測試脫盤TST上的狀態(tài)下，測試各被試驗(yàn)IC器件。
如圖2和圖3所示，室100由以下部分構(gòu)成對裝入測試脫盤TST中的被試驗(yàn)IC器件提供作為目的的高溫或低溫的熱應(yīng)力的恒溫槽101；把處于由該恒溫槽101提供熱應(yīng)力的狀態(tài)的被試驗(yàn)IC器件安裝到測試頭5上的插座中，進(jìn)行試驗(yàn)的測試室102；從由測試室102試驗(yàn)的被試驗(yàn)IC器件除去提供的熱應(yīng)力的除熱槽103。
在除熱槽103中，當(dāng)用恒溫槽101作用高溫時，通過送風(fēng)把被試驗(yàn)IC器件冷卻，恢復(fù)到室溫，另外，當(dāng)用恒溫槽101作用低溫時，用暖風(fēng)或加熱器等對被試驗(yàn)IC器件加熱，回到不結(jié)露的程度的溫度。然后，把除熱的被試驗(yàn)IC器件搬出到卸載部400。
如圖2所示，室100的恒溫槽101和除熱槽103配置為比測試室102更向上方突出。另外，如圖3所示，在恒溫槽101中設(shè)置有垂直輸送裝置，在測試室102空出之前，多個測試脫盤TST一邊由該垂直輸送裝置支撐，一邊待機(jī)。在待機(jī)中，主要對被試驗(yàn)IC器件作用高溫或低溫的熱應(yīng)力。
在測試室102中，在其中央下部配置測試頭5，把測試脫盤TST輸送到測試頭5上。在那里，把由圖6所示的測試脫盤TST保持的全部IC器件依次與測試頭5電接觸，關(guān)于測試脫盤TST內(nèi)的全部IC器件進(jìn)行試驗(yàn)。而試驗(yàn)結(jié)束的測試脫盤TST由除熱槽103除熱，把IC器件的溫度恢復(fù)到室溫后，排出到圖2和圖3所示的卸載部400中。
另外，如圖2所示，在恒溫槽101和除熱槽103的上部分別形成用于從裝置襯底105送入測試脫盤TST的入口用開口、用于把測試脫盤TST向裝置襯底105送出的出口用開口。在裝置襯底105上安裝用于從這些開口部取出放入測試脫盤TST的測試脫盤輸送裝置108。這些輸送裝置108例如由旋轉(zhuǎn)輥等構(gòu)成。通過設(shè)置在裝置襯底105上的測試脫盤輸送裝置108，由除熱槽103排出的測試脫盤TST通過卸載部400和裝載部300輸送回恒溫槽101。
測試脫盤TST如圖6所示，具有矩形框架12，在框架12上，平行并且以等間隔設(shè)置多個棧條13。在這些棧條13的兩側(cè)、與這些棧條13平行的框架12的邊12a的內(nèi)側(cè)，在長度方向以等間隔突出形成多個安裝片14。通過設(shè)置在這些棧條13之間以及棧條13和邊12a之間的多個安裝片14的相對的兩個安裝片14，構(gòu)成插入體存放部15。
在插入體存放部15中分別收藏一個插入體16。在插入體16的兩端部分別形成對安裝片14的安裝用孔21，使用扣件以浮動狀態(tài)(能在三維上微動的狀態(tài))把插入體16安裝在兩個安裝片14上。例如在一個測試脫盤TST上安裝4×16個這樣的插入體16，通過把被試驗(yàn)IC器件存放到插入體16中，把被試驗(yàn)IC器件裝入測試脫盤TST中。
被試驗(yàn)IC器件如圖6所示，排列為4行×16列時，例如在各行中，每隔4列配置的被試驗(yàn)IC器件同時試驗(yàn)。即在第一次試驗(yàn)中，在各行中，配置在第1、5、9、12列中的16個被試驗(yàn)IC器件同時試驗(yàn)，在第二次是試驗(yàn)中，使測試脫盤TST移動1列，配置在第2、6、10、15列中的被試驗(yàn)IC器件同時試驗(yàn)，通過重復(fù)該過程，試驗(yàn)(所謂的同時測定16個)被試驗(yàn)IC器件。試驗(yàn)的結(jié)果存儲到由為測試脫盤TST付與的識別編號、在測試脫盤TST的內(nèi)部分配的被試驗(yàn)IC器件的編號決定的地址中。
圖18表示存放在插入體16中的被試驗(yàn)IC器件的一例。圖18(a)是被試驗(yàn)IC器件的側(cè)視圖，圖18(b)是被試驗(yàn)IC器件的仰視圖。如圖18所示，被試驗(yàn)IC器件2是在封裝主體21的下表面23上把外部端子22即焊錫球排列為矩陣狀的BGA型IC器件。排列有外部端子22的封裝主體21的下表面23相當(dāng)于IC器件2的外部端子面。
本實(shí)施例的插入體16如圖7所示，具有插入體主體17、引導(dǎo)核心18、桿板19。
插入體主體17如圖7所示，具有主體部171、鉤機(jī)構(gòu)F和閂鎖機(jī)構(gòu)L。在插入體主體17的主體部171的大致中央，如圖7和圖8所示，設(shè)置有在上下方向開口的器件引導(dǎo)部171a。器件引導(dǎo)部171a如圖8所示，在上端部具有器件進(jìn)入口171b，在下端部具有引導(dǎo)核心安裝口171c。器件進(jìn)入口171b和引導(dǎo)核心安裝口171c連通，能把從器件進(jìn)入口171b進(jìn)入的IC器件引導(dǎo)到安裝在引導(dǎo)核心安裝口171c上的引導(dǎo)核心18。據(jù)此，由X-Y輸送裝置304從客戶托盤KST輸送到測試脫盤TST中的被試驗(yàn)IC器件由器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)，搬入安裝在引導(dǎo)核心安裝口171c上的引導(dǎo)核心18中。另外，被試驗(yàn)IC器件的試驗(yàn)后，試驗(yàn)完畢的IC器件由器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)，從器件進(jìn)入口171b搬出。
在插入體主體17的主體部171的上方，如圖7所示，通過壓簧194安裝桿板19。通過壓簧194，桿板19靠向上方(背離插入體主體17的主體部171的方向)，如果受到向下放(接近插入體主體17的主體部171的方向)的按壓力，就向下方移動，如果解除按壓力，通過壓簧194的靠向力，向上方移動。當(dāng)桿板19向上方移動時，形成在桿板19上的凸部191和形成在插入體主體17的主體部171上的凹部171d配合，從而限制向桿板19的上方的移動量。
在桿板19的大致中央，如圖7所示，設(shè)置有開口部192，露出插入體主體17的主體部171的器件進(jìn)入口171b。桿板19的開口部192形成得比器件進(jìn)入口171b大一些，從而不妨礙IC器件通過器件進(jìn)入口171b的搬入和搬出，另外，不妨礙后面描述的閂鎖175的旋轉(zhuǎn)。另外，在桿板19上，如圖7所示，設(shè)置與插入體主體17的主體部171上設(shè)置的核心夾持器171e連通的通孔193，圖15所示的夾具的軸GF能通過桿板19的通孔193進(jìn)入夾持器171e內(nèi)。
在插入體主體17的主體部171的下方，如圖7所示，安裝有引導(dǎo)核心18。引導(dǎo)核心18如圖7和圖9所示，具有由底板部和從底板部直立設(shè)置的側(cè)板部構(gòu)成的器件支撐部181、設(shè)置在器件支撐部181的側(cè)板部的上端周圍部上的凸緣部183。在器件支撐部181的底板部的大致中央，如圖7和圖9所示，設(shè)置有開口部182，器件支撐部181的底板部通過開口部182的周圍部188，能支撐IC器件的外部端子面。而且，支撐在器件支撐部181上的IC器件的外部端子通過開口部182在插座的連接端子方向露出。
在引導(dǎo)核心18的上端部，如圖7和圖9所示，設(shè)置與開口部182連通的器件引導(dǎo)部連通口184，如果把引導(dǎo)核心18安裝到插入體主體17的引導(dǎo)核心安裝口171c上，則引導(dǎo)核心18的開口部182通過器件引導(dǎo)部連通口184與插入體主體17的器件引導(dǎo)部171a連通。據(jù)此，能把IC器件從插入體主體17的器件引導(dǎo)部171a向引導(dǎo)核心18的器件支撐部181引導(dǎo)。凸緣部183的內(nèi)側(cè)面如圖7和圖9所示，成為錐形，能可靠地把IC器件向器件支撐部181引導(dǎo)。
在凸緣部183中，如圖7和圖9所示，在相對的位置(在圖9中左右)分別設(shè)置兩個鉤進(jìn)入孔186。在鉤進(jìn)入孔186中，如圖9所示，設(shè)置鉤承部185，從而與鉤進(jìn)入孔186的內(nèi)側(cè)面連續(xù)，插入體主體17的鉤部172a在進(jìn)入鉤進(jìn)入孔186的狀態(tài)下，與鉤承部185配合，并且解除了與鉤承部185的配合的鉤部172a能從鉤進(jìn)入孔186退出。另外，在凸緣部183中，如圖7和圖9所示，設(shè)置用于插嵌插座引導(dǎo)部41的導(dǎo)軸413(圖13和圖14)的導(dǎo)軸嵌插孔187，通過在導(dǎo)軸嵌插孔187中插入導(dǎo)軸413，能進(jìn)行引導(dǎo)核心18對插座40的正確的定位。
在插入體主體17的主體部171中，如圖17所示，設(shè)置具有核心夾持器172、扭簧173、軸174的鉤機(jī)構(gòu)F。核心夾持器172如圖7所示，具有向著同一方向的兩個鉤部172a、連接兩個鉤部172a之間的平板狀的夾具支撐部172b。在核心夾持器172中，如圖7所示，在兩個鉤部172a的各自上方設(shè)置有通孔172c，軸174插入插入體主體17的主體部171的通孔171m(參照圖8)和核心夾持器172的通孔172c中，從而核心夾持器172可旋轉(zhuǎn)地支撐在插入體主體17的主體部171上。
軸174設(shè)置在插入體主體17的主體部171上，大致垂直于鉤部172a和鉤承部185配合的方向，所以鉤部172a能向與鉤承部185配合的方向和解除與鉤承部185的配合的方向轉(zhuǎn)動。另外，調(diào)節(jié)設(shè)置軸174的位置，使鉤部172a位于比引導(dǎo)核心安裝口171c更下方(參照圖10)，鉤部172a能進(jìn)入安裝在引導(dǎo)核心安裝口171c上的引導(dǎo)核心18的鉤進(jìn)入孔186中。
插入體主體17的主體部171如圖7和圖8所示，在器件引導(dǎo)部171a的兩側(cè)設(shè)置在上下方向開口的核心夾持器存放部171e，核心夾持器172存放在核心夾持器存放部171e中。核心夾持器存放部171e如圖8所示，具有設(shè)置為大致垂直于鉤部172a和鉤承部185配合的方向的阻擋面171f、與阻擋面171f相對的扭簧安裝面171g。在存放在核心夾持器存放部171e中的核心夾持器172的通孔172d中，如圖7和圖10(a)所示，扭簧173的一端部173a插入，另外，如圖10(a)所示，扭簧173的另一端部173b安裝在扭簧安裝面171g上。這時，扭簧173為扭轉(zhuǎn)狀態(tài)，所以通過扭簧173，鉤部172a靠向與鉤承部185配合的方向，但是如圖10(a)所示，鉤部172a向與鉤承部185配合的方向的轉(zhuǎn)動由阻擋面171f限制。
當(dāng)把引導(dǎo)核心18安裝到插入體主體17上時，由阻擋面171f保持的鉤部172a按以下步驟與引導(dǎo)核心18的鉤承部185配合。首先，圖15所示的夾具G的軸GF從核心夾持器存放部171e的上端開口部進(jìn)入核心夾持器存放部171e內(nèi)。須指出的是，在桿板19上設(shè)置有與核心夾持器存放部171e連通的通孔193，所以即使是把桿板19安裝在插入體主體17的主體部171的上方的狀態(tài)，也能使夾具G的軸GF進(jìn)入核心夾持器存放部171e內(nèi)。當(dāng)鉤部172a由阻擋面171f保持時，平板裝的夾具支撐部172b如圖10所示，向著鉤部172a和鉤承部185配合的方向(即從扭簧安裝面171g向著阻擋面171f)，向下傾斜，位于遮擋夾具G的軸GF進(jìn)入的位置，所以從核心夾持器存放部171e的上部端口進(jìn)入的夾具G的軸GF與夾具支撐部172b接觸，在夾具支撐部172b上滑動，從而向下按壓夾具支撐部172b。據(jù)此，夾具支撐部172b如圖10(b)所示，向扭簧安裝面171g轉(zhuǎn)動。伴隨著扭簧安裝面172b的轉(zhuǎn)動，鉤部172a向解除與鉤承部185的配合的方向轉(zhuǎn)動，變?yōu)槟芘c鉤承部185配合(脫開)的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，使鉤部172a進(jìn)入引導(dǎo)核心18的鉤進(jìn)入孔186后，使夾具G的軸GF從核心夾持器存放部171e退出，作用于夾具支撐部172b上的按壓力就解除，如圖10(c)所示，通過扭簧173的靠向力，鉤部172a向與鉤承部185的配合的方向轉(zhuǎn)動。據(jù)此，鉤部172a與鉤承部185配合，把引導(dǎo)核心18安裝到插入體主體17上。
當(dāng)從插入體主體17取下安裝在插入體主體17上的引導(dǎo)核心18時，也按照與所述相同的步驟。即如果從核心夾持器存放部171e的上端開口部使夾具G的軸GF進(jìn)入核心夾持器存放部171e內(nèi)，則伴隨著夾具支撐部172b的轉(zhuǎn)動，鉤部172a向解除與鉤承部185的配合的方向轉(zhuǎn)動，成為能與鉤承部185脫開的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，通過使鉤部172a從引導(dǎo)核心18的鉤進(jìn)入孔186退出，解除鉤部172a和鉤承部185的配合，引導(dǎo)核心18從插入體主體17脫出。
在插入體主體17的主體部171上，如圖7和圖11所示，設(shè)置具有閂鎖175、扭簧176和軸177的閂鎖機(jī)構(gòu)L。
閂鎖175如圖7和圖11所示，具有桿板作用部175a、閂鎖部175b、連接桿板作用部175a和閂鎖部175b的臂部175c。
臂部175c如圖7和圖11所示，由第二臂175e、與第二臂部175e的兩端相對設(shè)置的兩個第一臂175d構(gòu)成，如圖11所示，第二臂175e如果沿著器件引導(dǎo)部171a的長度方向的內(nèi)側(cè)面，存放在器件引導(dǎo)部171a內(nèi)，則第一臂部175d沿著器件引導(dǎo)部171a的寬度方向的內(nèi)側(cè)面，存放在器件引導(dǎo)部171a內(nèi)。
在相對的2個第一臂175d的邊緣部分別如圖7和圖11所示，設(shè)置桿板作用部175a，向與第二臂175e的延伸方向相反的方向延伸。另外，在相對的兩個第一臂175d中，分別如圖7和圖11所示，與第二臂175e相比，更接近桿板作用部175a設(shè)置嵌插軸177的通孔175f。另外，在第二臂175e的大致中央，如圖7和圖11所示，設(shè)置閂鎖部175b，在與第一臂175d的延伸方向成銳角的方向延伸。
在相對的2個第一臂175d的通孔175f上，如圖7所示，軸177的一端部插入，軸177的另一端部由插入體主體17的主體部171的軸支撐部171i支撐，閂鎖部175可旋轉(zhuǎn)地支撐在插入體主體17的主體部171上。在插入體主體17的主體部171上，如圖7和圖11所示，相對設(shè)置這樣支撐的兩個閂鎖175。
軸支撐部171i如圖7和圖8所示，在器件進(jìn)入口171b的寬度方向的邊緣部，設(shè)置為能存放軸177的端部的凹部。各軸177由軸支撐部171i支撐，從而位于器件進(jìn)入口171b的附近。另外，插入相對的第一臂175d的通孔175f中的2個軸177由軸支撐部171i支撐，從而旋轉(zhuǎn)中心線一致，另外，旋轉(zhuǎn)中心線大致垂直于桿板19的接近背離方向(上下方向)。閂鎖175能以這樣支撐的軸177為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。即桿板作用部175a和閂鎖部175b能以軸177為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)移動，通過臂部175c，桿板作用部175a的旋轉(zhuǎn)移動和閂鎖部175b的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動。
在器件引導(dǎo)部171a的長度方向的內(nèi)側(cè)面上，如圖7、圖8以及圖11所示，在其下部設(shè)置臺部171k，第二臂175e由臺部171k支撐，從而限制第二臂175e向下方的旋轉(zhuǎn)移動。因此，當(dāng)閂鎖175不受桿板19的作用時，(例如，當(dāng)桿板19位于最背離插入體主體17的狀態(tài)時)，閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)。
當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，桿板作用部175a位于比包含軸177的旋轉(zhuǎn)中心線，并且垂直于桿板19的接近背離方向(上下方向)的平面H1(參照圖12)更靠近桿板19的位置(即桿板作用部175a位于比軸177更上方)。因此，從桿板19受到向桿板19的接近方向(下方)的作用的桿板作用部175a向平面H1旋轉(zhuǎn)移動(桿板作用部175a向下方旋轉(zhuǎn)移動)。
另外，當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，桿板作用部175a位于包含軸177的旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于桿板19的接近背離方向(上下方向)的平面H2(參照圖12)的附近(即如圖12所示，桿板作用部175a和平面H2的距離X縮短)。因此，桿板作用部175a能向平面H1旋轉(zhuǎn)移動的旋轉(zhuǎn)角度增大。
另外，當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，桿板作用部175a位于處于最背離狀態(tài)(最背離插入體主體17的狀態(tài))的桿板19的附近。因此，桿板19在桿板作用部175a上施加作用，向下方移動的距離增加，受到桿板19的作用，桿板作用部175a能旋轉(zhuǎn)移動的旋轉(zhuǎn)角度增大。
另外，當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，閂鎖部175b位于使器件引導(dǎo)部171a為關(guān)閉狀態(tài)的位置(關(guān)閉位置)。即閂鎖部175b位于從器件引導(dǎo)部171a的長度方向的內(nèi)側(cè)面向著引導(dǎo)核心安裝口171c的大致中央部，橫穿器件引導(dǎo)部171a，所以IC器件無法通過器件引導(dǎo)部171a，處于通無法過器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)IC器件，搬入引導(dǎo)核心18中的狀態(tài)和無法從引導(dǎo)核心18搬出的狀態(tài)。
另外，當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，桿板作用部175a和閂鎖部175b對于平面H1，位于相反一側(cè)。因此，當(dāng)桿板作用部175a向下方旋轉(zhuǎn)移動時，閂鎖部175b向上方旋轉(zhuǎn)移動(即閂鎖部175b從關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動到打開位置)。
另外，當(dāng)閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，閂鎖部175b的頂端部位于接近平面H2的位置，并且位于引導(dǎo)核心安裝口171c的附近。位于關(guān)閉位置的閂鎖部175b的頂端部位于這樣的位置，從而閂鎖部175b的頂端部的移動距離增加(即閂鎖部175b的開關(guān)量增大)。
如果桿板作用部175a受到桿板19的作用，則位于關(guān)閉位置的閂鎖部175b(參照圖12(a))按照以下的順序，移動到打開位置(參照圖12(b))。如果桿板19向下方移動，則桿板19與桿板作用部175a接觸，向下方按壓桿板作用部175a。從桿板19受到向下方的按壓力的桿板作用部175a向下方旋轉(zhuǎn)移動。桿板作用部175a持續(xù)旋轉(zhuǎn)移動，直到存放到器件進(jìn)入口171b的邊緣部上設(shè)置的凹部171p中。桿板作用部175a存放到凹部171p中，從而能與插入體主體17的主體部171不干涉地旋轉(zhuǎn)移動。通過桿板作用部175a的旋轉(zhuǎn)移動，第一臂175d旋轉(zhuǎn)，通過第一臂175d的旋轉(zhuǎn)，第二臂175e向與桿板作用部175a相反的方向(上方)旋轉(zhuǎn)移動。而且，伴隨著第二臂175e的旋轉(zhuǎn)移動，閂鎖部175b也向上方旋轉(zhuǎn)移動。這時，閂鎖部175b的頂端部從引導(dǎo)核心安裝口171c的大致中央部向器件引導(dǎo)部171a的長度方向的內(nèi)側(cè)面旋轉(zhuǎn)移動，存放在設(shè)置在該內(nèi)側(cè)面的下部的臺部171k上形成的閂鎖部存放部171r中。這樣，如圖12(b)所示，閂鎖部175b移動到使器件引導(dǎo)部171a為打開狀態(tài)的位置(打開位置)。即IC器件能通過器件引導(dǎo)部171a，成為IC器件由器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)，能搬入引導(dǎo)核心18中的狀態(tài)和能從引導(dǎo)核心18搬出的狀態(tài)。在圖12所示的例子中，桿板19向下方的移動量1.5mm能變換為閂鎖部175b的開關(guān)量4.7mm。
閂鎖175保持在圖11所示的狀態(tài)時，桿板作用部175a和第一臂175d以及第二臂175e對于垂直于軸177的旋轉(zhuǎn)中心線，并且平行于桿板19的接近背離方向的平面H3(參照圖11)，位于相反一側(cè)，所以伴隨著桿板19的移動而描繪的桿板作用部175a的軌道和第一臂175d以及第二臂175e的軌道對于平面H3，位于相反一側(cè)。因此，桿板19通過比器件進(jìn)入口171b還大一些的開口部192的周圍部，對臂部175c不作用，只作用于桿板作用部175a。因此，伴隨著桿板19向插入體主體17的接近，臂部175c從器件引導(dǎo)部171a內(nèi)通過器件進(jìn)入口171b向器件引導(dǎo)部171a外(器件進(jìn)入口171b的上方)移動，但是桿板19與臂部175c不干涉。即通過臂部175c，能使桿板作用部175a的旋轉(zhuǎn)移動和閂鎖部175b的旋轉(zhuǎn)移動可靠地聯(lián)動。
在器件引導(dǎo)部171a的寬度方向的內(nèi)側(cè)面上，如圖7、圖8和圖11所示，在其下部設(shè)置有彈簧固定部171j，通過固定在彈簧固定部171j上的扭簧176，桿板作用部175a靠向上方。因此，桿板19向上方移動，如果通過桿板19而使桿板作用部175a受到的向下方的力解除，則通過扭簧176，桿板作用部175a靠向上方，向上方旋轉(zhuǎn)移動。據(jù)此，閂鎖部從打開位置旋轉(zhuǎn)移動到關(guān)閉位置。
當(dāng)通過X-Y輸送裝置304的吸附頭，被試驗(yàn)IC器件從客戶托盤KST換乘到測試脫盤TST上時，該吸附頭向下方按壓桿板19(接近插入體主體17的方向)。據(jù)此，桿板19向下方移動，向下方按壓桿板作用部175a。受到基于桿板19的作用的桿板作用部175a向下方旋轉(zhuǎn)移動，與此同時，閂鎖部175b從關(guān)閉位置旋轉(zhuǎn)移動到打開位置。據(jù)此，被試驗(yàn)IC器件由器件引導(dǎo)部171a引導(dǎo)，變?yōu)槟馨崛胍龑?dǎo)核心18中的狀態(tài)，把吸附在X-Y輸送裝置304的吸附頭上的被試驗(yàn)IC器件搬入引導(dǎo)核心18中。被試驗(yàn)IC器件搬入引導(dǎo)核心18后，X-Y輸送裝置304的吸附頭從插入體主體17背離。據(jù)此，解除桿板19從該吸附頭受到的按壓力，桿板19向背離插入體主體17的方向移動。據(jù)此，桿板作用部175a從桿板19受到的按壓力解除。桿板作用部175a從扭簧176受到向上方的靠向力，向上方旋轉(zhuǎn)移動，與此同時，閂鎖部175b從打開位置移動到關(guān)閉位置。據(jù)此，防止支撐在引導(dǎo)核心18上的被試驗(yàn)IC器件向插入體外的飛出。另外，位于關(guān)閉位置的閂鎖部175b按壓由引導(dǎo)核心18支撐的被試驗(yàn)IC器件的上表面，據(jù)此，防止被試驗(yàn)IC器件的位置偏移。
如圖13和圖14所示，在插入體16的兩側(cè)形成推動器30的導(dǎo)銷32和插座引導(dǎo)部41的引導(dǎo)襯套411分別從上下插入的導(dǎo)孔20，在插入體16的兩側(cè)的角部形成測試脫盤TST對安裝片14的安裝用孔21。須指出的是，圖13和圖14所示的插入體16簡化表示了其結(jié)構(gòu)。
如圖13和圖14所示，插入體16的導(dǎo)孔20是用于定位的孔。例如圖中左側(cè)的導(dǎo)孔20為用于定位的孔，當(dāng)比右側(cè)的導(dǎo)孔20的內(nèi)徑還小時，在左側(cè)的導(dǎo)孔20中，在其上半部分插入推動器30的導(dǎo)銷32，進(jìn)行定位，在其下半部分插入插座引導(dǎo)部41的引導(dǎo)襯套411，進(jìn)行定位。而圖中右側(cè)的導(dǎo)孔20和插入推動器30的導(dǎo)銷32以及插座引導(dǎo)部41的引導(dǎo)襯套411為松配合狀態(tài)。
如圖13所示，在測試頭5上配置有插座板50。能以在圖6所示的測試脫盤TST中，在行方向上每隔3個，與合計(jì)4列的被試驗(yàn)IC器件2對應(yīng)的數(shù)(4行×4列)配置插座板50，但是，如果減小一個一個插座板50的大小，就能配置4行×16列的插座板50，從而能同時測試圖6所示的測試脫盤TST上保持的全部IC器件2。
如圖13所示，在插座板50之上設(shè)置插座40，如圖13和圖14所示，在插座40上固定插座引導(dǎo)部41，從而插座40的連接端子44露出。插座40的連接端子44是浮動針，設(shè)置為與IC器件2的外部端子22對應(yīng)的數(shù)和位置，通過圖外的彈簧，靠向上方。在插座引導(dǎo)部41的兩側(cè)插入推動器30上形成的2個導(dǎo)銷32，在這2個導(dǎo)銷32之間設(shè)置用于進(jìn)行定位的引導(dǎo)襯套411。
圖13和圖14所示的推動器30與插座40的數(shù)對應(yīng)，設(shè)置在測試頭5的上方，通過未圖示的Z軸驅(qū)動裝置(例如流體壓泵體)，在Z軸方向上下移動。如圖8和圖9所示，在推動器30的大致中央形成用于按壓被試驗(yàn)IC器件2的按壓部31，在其兩側(cè)設(shè)置插入插入體16的導(dǎo)孔20以及插座引導(dǎo)部40的引導(dǎo)襯套411中的導(dǎo)銷32。另外，如圖13和圖14，在按壓部31和導(dǎo)銷32之間，設(shè)置當(dāng)推動器30通過Z軸驅(qū)動裝置下降時，限制下限的阻擋引導(dǎo)部33，阻擋引導(dǎo)部33與插座引導(dǎo)部40的阻擋面412接觸，從而決定以不破壞存放在插入體16中的被試驗(yàn)IC器件2的適當(dāng)壓力按壓的推動器30的下限位置。
第四，說明與卸載部400關(guān)聯(lián)的部分。
在圖2和圖3所示的卸載部400中設(shè)置與設(shè)置在裝載部300上的X-Y輸送裝置304同一構(gòu)造的X-Y輸送裝置404，通過該X-Y輸送裝置404，試驗(yàn)完畢的IC器件從運(yùn)出到卸載部400的測試脫盤TST換乘到客戶托盤KST中。
如圖2所示，在卸載部400的安裝襯底105上，開設(shè)二對為了使運(yùn)往卸載部400的客戶托盤KST面對安裝襯底105的上表面而配置的一對窗部406、406。
另外，雖然省略圖示，但是在各窗部406的下方設(shè)置用于使客戶托盤KST升降的升降臺，在此，裝載裝滿了重新排放的試驗(yàn)完畢的被試驗(yàn)IC器件的客戶托盤KST下降，把該滿托盤移交給托盤輸送臂205。
以上說明的實(shí)施例是為了便于理解而描述的，并不是用來限定本發(fā)明的。因此，所述實(shí)施例所示的各要素也包含屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍的全部設(shè)計(jì)變更或相等物。
在所述實(shí)施例中，能進(jìn)行以下變更。
例如，如圖16所示，能使圖7所示的鉤機(jī)構(gòu)F的扭簧173為連接設(shè)置在核心夾持器172上的板簧173’。另外，能使圖7所示的閂鎖機(jī)構(gòu)L的扭簧176為圖17所示板簧176’。另外，能把鉤機(jī)構(gòu)F的鉤部172a和鉤承部185的配合方向變更為任意方向。另外，IC器件試驗(yàn)裝置10并不局限于所述實(shí)施例中說明的室類型，例如可以是無室類型、加熱板類型。
產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用的可能性第一，根據(jù)本發(fā)明可以提供可插拔地安裝在插入體主體上的引導(dǎo)核心。第二，根據(jù)本發(fā)明可以提供可插拔地安裝引導(dǎo)核心的插入體主體。第三，根據(jù)本發(fā)明可以提供具有可插拔地安裝引導(dǎo)核心，并且閂鎖部的開關(guān)量大，能與多種尺寸的IC器件對應(yīng)的閂鎖機(jī)構(gòu)的插入體主體。第四，根據(jù)本發(fā)明可以提供具有上述引導(dǎo)核心和上述插入體主體的插入體以及具有該插入體的電子部件處理裝置。
權(quán)利要求
1.一種引導(dǎo)核心，可插拔地安裝在插入體主體上，其特征在于包括能支撐所述區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面，以使區(qū)域陣列型電子部件的外部端子向插座的連接端子方向露出的支撐部；和能夠可裝卸地與所述插入體主體所具有的鉤部配合的鉤承部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的引導(dǎo)核心，其特征在于所述引導(dǎo)核心具有所述鉤部能進(jìn)入的鉤進(jìn)入孔，所述鉤承部被設(shè)置為使其能與進(jìn)入所述鉤進(jìn)入孔中的所述鉤部配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的引導(dǎo)核心，其特征在于所述引導(dǎo)核心具有用于嵌插對所述插座進(jìn)行所述引導(dǎo)核心的定位的導(dǎo)軸的導(dǎo)軸嵌插孔。
4.一種插入體主體，能夠可插拔地安裝權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的引導(dǎo)核心，其特征在于包括具有安裝所述引導(dǎo)核心的引導(dǎo)核心安裝口、以及為了能把電子部件引導(dǎo)至安裝在所述引導(dǎo)核心安裝口上的所述引導(dǎo)核心而與所述引導(dǎo)核心安裝口連通的電子部件進(jìn)入口的電子部件引導(dǎo)部；能夠可裝卸地與所述引導(dǎo)核心具有的鉤承部配合的鉤部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的插入體主體，其特征在于所述鉤部被設(shè)置為能進(jìn)入所述引導(dǎo)核心具有的所述鉤進(jìn)入孔，并且能在進(jìn)入到所述鉤進(jìn)入孔內(nèi)的狀態(tài)下與所述鉤承部配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的插入體主體，其特征在于所述鉤部被設(shè)置為能向與所述鉤承部配合的方向移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的插入體主體，其特征在于把所述鉤部設(shè)置為使其能以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的插入體主體，其特征在于所述鉤部通過彈性構(gòu)件而靠向與所述鉤承部配合的方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的插入體主體，其特征在于所述插入體主體具有限制所述鉤部向與所述鉤承部配合的方向移動或轉(zhuǎn)動的阻擋部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的插入體主體，其特征在于所述插入體主體具有設(shè)置在所述鉤部上的夾具支撐部，即受到基于夾具的按壓而使所述鉤部向解除與所述鉤承部的配合的方向移動或轉(zhuǎn)動的所述夾具支撐部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的插入體主體，其特征在于所述插入體主體具有所述夾具能進(jìn)入的夾具進(jìn)入孔，所述夾具支撐部被設(shè)置為使進(jìn)入到所述夾具進(jìn)入孔內(nèi)的所述夾具能按壓所述夾具支撐部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的插入體主體，其特征在于設(shè)置所述夾具支撐部，以使進(jìn)入到所述夾具進(jìn)入孔內(nèi)的所述夾具與所述夾具支撐部接觸，能通過在所述夾具支撐部上滑動來按壓所述夾具支撐部。
13.根據(jù)權(quán)利要求4～12中任意一項(xiàng)所述的插入體主體，其特征在于所述插入體主體包含具有驅(qū)動體作用部、閂鎖部和臂部的閂鎖機(jī)構(gòu)；其中，所述驅(qū)動體作用部，從相對于所述插入體主體而向接近和背離的方向移動的驅(qū)動體處接受向所述驅(qū)動體的接近方向的作用來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動；所述閂鎖部，在使所述電子部件引導(dǎo)部成為打開狀態(tài)的打開位置和成為關(guān)閉狀態(tài)的關(guān)閉位置之間旋轉(zhuǎn)移動；所述臂部，使所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動；在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部位于比包含所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線并垂直于所述驅(qū)動體的靠近背離方向的平面更靠近所述驅(qū)動體的位置上，并且位于包含所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線并平行于所述驅(qū)動體的靠近背離方向的平面的附近；所述驅(qū)動體與所述臂部不干涉地移動。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的插入體主體，其特征在于所述驅(qū)動體作用部通過彈性構(gòu)件靠向所述驅(qū)動體的背離方向。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的插入體主體，其特征在于在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部位于所述驅(qū)動體的附近。
16.根據(jù)權(quán)利要求13～15中任意一項(xiàng)所述的插入體主體，其特征在于當(dāng)從所述驅(qū)動體接受向所述驅(qū)動體的接近方向的作用，所述驅(qū)動體作用部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動時，所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)移動和所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)移動聯(lián)動，以使所述閂鎖部從所述關(guān)閉位置向所述打開位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動。
17.根據(jù)權(quán)利要求13～16中任意一項(xiàng)所述的插入體主體，其特征在于所述驅(qū)動體作用部的旋轉(zhuǎn)中心線與所述閂鎖部的旋轉(zhuǎn)中心線一致。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的插入體主體，其特征在于在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部和所述閂鎖部相對于包含所述旋轉(zhuǎn)中心線并垂直于所述驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的插入體主體，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)中心線位于所述電子部件進(jìn)入口的附近，在所述驅(qū)動體的最背離時，所述閂鎖部的頂端部位于接近包含所述旋轉(zhuǎn)中心線并平行于所述驅(qū)動體的接近背離方向的平面的位置上，并且位于所述引導(dǎo)核心安裝口的附近。
20.根據(jù)權(quán)利要求7～19中任意一項(xiàng)所述的插入體主體，其特征在于在所述驅(qū)動體的最背離時，所述驅(qū)動體作用部和所述臂部相對于垂直于所述旋轉(zhuǎn)中心線并平行于所述驅(qū)動體的接近背離方向的平面，位于相反一側(cè)。
21.根據(jù)權(quán)利要求4～20中任意一項(xiàng)所述的插入體主體，其特征在于在所述插入體主體中設(shè)置能存放所述驅(qū)動體作用部的存放部，以使所述驅(qū)動體作用部能與所述插入體主體不干涉地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動。
22.一種插入體，其特征在于具有權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的引導(dǎo)核心和權(quán)利要求4～21中任意一項(xiàng)所述的插入體主體。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的插入體，其特征在于所述插入體把被試驗(yàn)電子部件輸送到電子部件試驗(yàn)裝置的測試頭的接觸部，安裝到用于將其搬出的托盤上。
24.一種電子部件處理裝置，在把區(qū)域陣列型電子部件存放到插入體中的狀態(tài)下，使所述區(qū)域陣列型電子部件的外部端子與插座的連接端子連接來進(jìn)行所述區(qū)域陣列型電子部件的試驗(yàn)，其特征在于作為上述插入體，具有權(quán)利要求22或23所述的插入體。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種可插拔地安裝在插入體主體上的引導(dǎo)核心和可插拔地安裝引導(dǎo)核心的插入體主體。所述引導(dǎo)核心其特征在于包括為了使區(qū)域陣列型電子部件的外部端子向插座的連接端子方向露出，支撐所述區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面的支撐部；能夠可裝卸地與所述插入體主體所具有的鉤部配合的鉤承部。所述插入體主體其特征在于包括具有安裝所述引導(dǎo)核心的引導(dǎo)核心安裝口、以及為了把電子部件向安裝在所述引導(dǎo)核心安裝口上的所述引導(dǎo)核心引導(dǎo)而與所述引導(dǎo)核心安裝口連通的電子部件進(jìn)入口的電子部件引導(dǎo)部；和能可裝卸地與所述引導(dǎo)核心具有的鉤承部配合的鉤部。
文檔編號G01R31/26GK1610832SQ0282658
公開日2005年4月27日 申請日期2002年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月6日
發(fā)明者齊藤登 申請人:株式會社愛德萬測試