專利名稱：光致抗蝕劑材料的管路氣泡監(jiān)測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)，特別涉及一種使用于光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)中，用以監(jiān)測光致抗蝕劑材料的管路氣泡監(jiān)測裝置。
背景技術：
由于大部分的光致抗蝕材料為液態(tài)，因此需要將光致抗蝕劑由一儲存槽推送至一反應室以涂布至一晶片。再者，大部分的光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)使用泵、管線，以及沿著管線設置的儲存槽以調整光致抗蝕材料于流進泵之前以及送至反應室的流速。因此，光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)需要設計為能夠提供均勻且連續(xù)的光致抗蝕劑材料至晶片，才能確保產(chǎn)品的品質。
另外，由于目前半導體制作過程對于各種光致抗蝕劑材料的需求，大部分光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)包括許多泵、儲存槽以及一反應室等。然而，大部分的泵、儲存槽以及管路等都僅適用于特定的光致抗蝕劑材料，不適合的光致抗蝕劑材料將影響光致抗蝕劑傳送的效果。
廣為人知的光致抗蝕劑層的形成品質受到光致抗蝕劑材料中的氣泡所影響。當管線中的氣泡進入泵后，同樣會進入反應室，并導致配置于晶片的光致抗蝕劑的品質惡化，以及影響光致抗蝕劑于品片的分布，皆導致于光致抗蝕劑材料中含有氣泡。另外，上述氣泡產(chǎn)生的原因在于光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)的管線未完全密封以及系統(tǒng)泵未以規(guī)定的方式運作。
為了解決上述問題，傳統(tǒng)光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)一般是采取增加一監(jiān)測器以監(jiān)測光致抗蝕劑中的氣泡。
圖1顯示傳統(tǒng)管路氣泡監(jiān)測裝置的結構。傳統(tǒng)管路氣泡監(jiān)測裝置中，各組件通過管路來連接。
光致抗蝕劑材料儲存于光致抗蝕劑儲存槽10。氮氣(N2)經(jīng)由氮氣連接器10A注入光致抗蝕劑儲存槽10，用以將光致抗蝕劑材料推進L/E儲存槽12。另一光致抗蝕劑材料來源為輸入端12A，用以提供光致抗蝕劑材料至L/E儲存槽12。L/E監(jiān)測器14設置于光致抗蝕劑儲存槽10與L/E儲存槽12之間以監(jiān)測位于其中的氣泡。緩沖儲存槽16用以儲存來自L/E儲存槽12的光致抗蝕劑材料。而泵18將管路之中的光致抗蝕劑施壓，并經(jīng)由過濾器17而由噴嘴19送出以執(zhí)行半導體制作過程。當L/E監(jiān)測器14監(jiān)測到氣泡時，會產(chǎn)生一警示信號以提醒操作者停止半導體制作過程，從而避免影響產(chǎn)品的品質。
然而，傳統(tǒng)管路氣泡監(jiān)測裝置的L/E監(jiān)測器14設置于管路氣泡監(jiān)測裝置的前端，因此，并無法監(jiān)測到存在于L/E儲存槽12或緩沖儲存槽16的氣泡。若于L/E儲存槽12或緩沖儲存槽16存在氣泡卻無法被測得，此時半導體制作過程仍繼續(xù)執(zhí)行，將造成效果不佳的涂布效果。事實上，氣泡產(chǎn)生的原因包括光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)的管線未完全密封以及系統(tǒng)泵未以規(guī)定的方式運作，故可能于光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)任何一處產(chǎn)生，若未能有效監(jiān)測到氣泡的存在，將嚴重影響光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)的執(zhí)行結果。

發(fā)明內容
有鑒于此，為了解決上述問題，本發(fā)明主要目的在于提供一種管路氣泡監(jiān)測裝置，于緩沖儲存槽與泵之間設置一氣泡監(jiān)測器以監(jiān)測位于光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)的管線末端的氣泡。
為達到上述的目的，本發(fā)明提出一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑內部的氣泡，包括至少一光致抗蝕劑槽、緩沖槽、泵以及氣泡監(jiān)測器。光致抗蝕劑槽用以提供光致抗蝕劑材料。緩沖槽用以儲存光致抗蝕劑材料。泵用以推動緩沖槽所儲存的光致抗蝕劑材料至一管路末端。氣泡監(jiān)測器設置于緩沖槽以及泵之間，用以監(jiān)測光致抗蝕劑材料中的氣泡，并于監(jiān)測到氣泡時，輸出警示信號。
另外，本發(fā)明還提出一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑輸送管路內部的氣泡，包括繼電器、第一及第二發(fā)光警示器、監(jiān)測器、以及蜂鳴器。繼電器具有吸持開關以及吸持線圈，吸持開關具有耦接于第一電源的第一端子以及第二端子，而吸持線圈耦接于第二端子與接地點之間。第一發(fā)光警示器耦接于第二端子，用以根據(jù)監(jiān)測信號而輸出第一警示信號。監(jiān)測器耦接于第一端子以及第二端子之間，用以監(jiān)測光致抗蝕劑輸送管路，當監(jiān)測到氣泡時，則輸出監(jiān)測信號至第一發(fā)光警示器以及吸持線圈以導通吸持開關。蜂鳴器于吸持開關導通時輸出第二警示信號。第二發(fā)光警示器耦接于第二電源，當吸持開關導通時，則輸出第三警示信號。


為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合附圖作詳細說明如下圖1顯示傳統(tǒng)管路氣泡監(jiān)測裝置的結構；圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置；圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置的電路結構。
標號說明10、20--光致抗蝕劑儲存槽 10A、20A--氮氣連接器12、22L/E--儲存槽 12A、22A--輸入端14、24--L/E監(jiān)測器 25--氣泡監(jiān)測器16、26--緩沖儲存槽17、27--過濾器18、28--泵19、29--噴嘴30--繼電器30A--吸持開關30B--吸持線圈 301--第一端子302--第二端子 31--第一指示裝置33--第二指示裝置 35--第三指示裝置37--重置開關 DC--第一電源AC--第二電源具體實施方式
圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置。根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置中，各組件通過管路來連接。
光致抗蝕劑材料儲存于光致抗蝕劑儲存槽20。氮氣(N2)經(jīng)由氮氣連接器20A注入光致抗蝕劑儲存槽20，用以將光致抗蝕劑材料推進L/E儲存槽22。另一光致抗蝕劑材料來源為輸入端22A，用以提供光致抗蝕劑材料至L/E儲存槽22。L/E監(jiān)測器24設置于光致抗蝕劑儲存槽20與L/E儲存槽22之間以監(jiān)測位于其中的氣泡。緩沖儲存槽26用以儲存來自L/E儲存槽22的光致抗蝕劑材料。而泵28將管路之中的光致抗蝕劑施壓，并經(jīng)由過濾器27而由噴嘴29送出以執(zhí)行半導體制作過程。再者，根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，于緩沖儲存槽26與泵28之間提供一氣泡監(jiān)測器25以監(jiān)測位于管路中的氣泡。氣泡監(jiān)測器25利用超音波或通過監(jiān)測光線不正常穿透光致抗蝕劑材料而判定氣泡的存在。
另外，由于管路氣泡監(jiān)測裝置于氣泡監(jiān)測器25的前端的管路為氣泡產(chǎn)生較頻繁處，因此所產(chǎn)生氣泡皆會于光致抗蝕劑通過氣泡監(jiān)測器25的時被發(fā)現(xiàn)。再者，當L/E監(jiān)測器14以及氣泡監(jiān)測器25監(jiān)測到氣泡時，會產(chǎn)生一警示信號以提醒操作者停止半導體制作過程，從而避免影響產(chǎn)品的品質。
圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實施例所述的管路氣泡監(jiān)測裝置的電路結構，包括下列組件。繼電器30包括一吸持開關30A以及一吸持線圈30B。吸持開關30A具有耦接于第一電源DC的第一端子301以及第二端子302，而吸持線圈30B耦接于第二端子302與接地點之間。第一指示裝置31耦接于第二端子302，用以根據(jù)監(jiān)測信號而輸出第一警示信號。在本實施例中，第一指示裝置31為發(fā)光警示器，且第一警示信號為發(fā)光警示器所發(fā)出的光線。監(jiān)測器耦接于第一端子301以及第二端子302之間，用以監(jiān)測光致抗蝕劑輸送管路內的氣泡。當監(jiān)測器監(jiān)測到上述氣泡時，則輸出一監(jiān)測信號至第一指示裝置31以及吸持線圈30B以導通吸持開關30A。第二指示裝置33于吸持開關30A導通時輸出一第二警示信號。在本實施例中，第二指示裝置33為一蜂鳴器。第二指示裝置35耦接于第二電源AC，并于吸持開關30A導通時，則輸出第三警示信號。在本實施例中，第三指示裝置35為發(fā)光警示器，且第三警示信號為發(fā)光警示器所發(fā)出的光線。再者，第三指示裝置35的輸出功率較第一指示裝置31高，因此能夠發(fā)出較明亮的光線來提醒操作者，增加指示的效果。另外，重置開關37設置于第一電源DC以及繼電器30之間，用以關閉第一電源DC。因此，當繼電器30因為接收到監(jiān)測信號而導通時，必須通過使用者操作重置開關37來關閉第一電源DC，從而使得繼電器30恢復未吸持狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明實施例，由于氣泡監(jiān)測器設置于泵附近，因此位于泵以及光致抗蝕劑儲存槽之間的氣泡皆能夠被氣泡監(jiān)測器測得。另外，根據(jù)本發(fā)明實施例所公開的氣泡監(jiān)測器能夠監(jiān)測到傳統(tǒng)L/E監(jiān)測器所無法監(jiān)測到的氣泡。再者，根據(jù)本發(fā)明實施例所公開的管路氣泡監(jiān)測裝置能夠不斷的輸出警示信號，直到操作者操作重置開關為止，因此能夠確保操作者獲知監(jiān)測到光致抗蝕劑氣泡的警示信號。
另外，根據(jù)本發(fā)明實施例所公開的管路氣泡監(jiān)測裝置，具有三種指示裝置，分別為使用12伏DC電源的發(fā)光警示器、使用110伏AC電源的發(fā)光警示器、以及一蜂鳴器。使用110伏AC電源的發(fā)光警示器能夠發(fā)出較明亮的光線以提醒操作者注意到監(jiān)測到光致抗蝕劑氣泡的警示信號。使用12伏DC電源的發(fā)光警示器、使用110伏AC電源的發(fā)光警示器、以及蜂鳴器分別通過不同的途徑來提醒操作者，確保操作者能夠得知光致抗蝕劑氣泡的存在，并在除去光致抗蝕劑中的氣泡，并操作重置開關后，才會停止輸出警示信號。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上，然其并非用于限定本發(fā)明，任何本領域的普通技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，可作一些等效變化和變動，因此本發(fā)明的保護范圍以權利要求為準。
權利要求
1.一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑內部的氣泡，其特征在于，包括至少一光致抗蝕劑槽，用以提供所述光致抗蝕劑材料；一緩沖槽，用以儲存所述光致抗蝕劑材料；一泵，用以推動所述緩沖槽所儲存的光致抗蝕劑材料至一管路末端；及一氣泡監(jiān)測器，設置于所述緩沖槽以及所述泵之間，用以監(jiān)測所述光致抗蝕劑材料中的氣泡，并于監(jiān)測到所述氣泡時，輸出一警示信號。
2.如權利要求1所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，還包括一儲存槽，設置于所述光致抗蝕劑槽與緩沖槽之間，用以累積所述光致抗蝕劑材料。
3.一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑輸送管路內部的氣泡，其特征在于，包括一繼電器，具有一吸持開關以及一吸持線圈，所述吸持開關具有耦接于第一電源的第一端子以及第二端子，而所述吸持線圈耦接于所述第二端子與接地點之間；一第一指示裝置，耦接于所述第二端子，用以根據(jù)一監(jiān)測信號而輸出一第一警示信號；一監(jiān)測器，耦接于所述第一端子以及第二端子之間，用以監(jiān)測所述光致抗蝕劑輸送管路，當監(jiān)測到所述氣泡時，則輸出所述監(jiān)測信號至所述第一指示裝置以及所述吸持線圈以導通所述吸持開關；一第二指示裝置，當所述吸持開關導通時，則輸出一第二警示信號；及一第三指示裝置，耦接于一第二電源，當所述吸持開關導通時，則輸出一第三警示信號。
4.如權利要求3所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，還包括一重置開關，設置于所述第一電源以及繼電器之間，用以關閉所述第一電源。
5.如權利要求3所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，所述第一指示裝置與第三指示裝置為發(fā)光警示器。
6.如權利要求3所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，所述第一電源為12V直流電源，而所述第二電源為110V交流電源。
7.一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑輸送管路內部的氣泡，其特征在于，包括一繼電器，具有一吸持開關以及一吸持線圈，所述吸持開關具有耦接于第一電源的第一端子以及第二端子，而所述吸持線圈耦接于所述第二端子與接地點之間；一第一發(fā)光警示器，耦接于所述第二端子，用以根據(jù)一監(jiān)測信號而輸出一第一警示信號；一監(jiān)測器，耦接于所述第一端子以及第二端子之間，用以監(jiān)測所述光致抗蝕劑輸送管路，當監(jiān)測到所述氣泡時，則輸出所述監(jiān)測信號至所述第一發(fā)光警示器以及所述吸持線圈以導通所述吸持開關；一蜂鳴器，當所述吸持開關導通時，則輸出一第二警示信號；以及一第二發(fā)光警示器，耦接于一第二電源，當所述吸持開關導通時，則輸出一第三警示信號。
8.如權利要求7所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，還包括一重置開關，設置于所述第一電源以及繼電器之間，用以關閉所述第一電源。
9.如權利要求7所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，所述第一電源為12V直流電源，而所述第二電源為110V交流電源。
10.如權利要求7所述的管路氣泡監(jiān)測裝置，其特征在于，所述第二發(fā)光警示器的輸出功率高于所述第一發(fā)光警示器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種管路氣泡監(jiān)測裝置，適用于監(jiān)測一光致抗蝕劑內部的氣泡，包括至少一光致抗蝕劑槽、緩沖槽、泵以及氣泡監(jiān)測器。光致抗蝕劑槽用以提供光致抗蝕劑材料，緩沖槽用以儲存光致抗蝕劑材料，泵用以推動緩沖槽所儲存的光致抗蝕劑材料至一管路末端，氣泡監(jiān)測器設置于緩沖槽以及泵之間，用以監(jiān)測光致抗蝕劑材料中的氣泡，并于監(jiān)測到氣泡時，輸出警示信號。
文檔編號G01N21/59GK1484024SQ0214277
公開日2004年3月24日 申請日期2002年9月19日 優(yōu)先權日2002年9月19日
發(fā)明者曾嘉豪, 蔡毓通, 蔡重德, 林政毅, 丁茂益 申請人:旺宏電子股份有限公司