技術(shù)編號(hào):6039001
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑涂布系統(tǒng),特別涉及一種使用于光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)中,用以監(jiān)測(cè)光致抗蝕劑材料的管路氣泡監(jiān)測(cè)裝置。背景技術(shù) 由于大部分的光致抗蝕材料為液態(tài),因此需要將光致抗蝕劑由一儲(chǔ)存槽推送至一反應(yīng)室以涂布至一晶片。再者,大部分的光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)使用泵、管線,以及沿著管線設(shè)置的儲(chǔ)存槽以調(diào)整光致抗蝕材料于流進(jìn)泵之前以及送至反應(yīng)室的流速。因此,光致抗蝕劑涂布系統(tǒng)需要設(shè)計(jì)為能夠提供均勻且連續(xù)的光致抗蝕劑材料至晶片,才能確保產(chǎn)品的品質(zhì)。另外,由于目前半導(dǎo)體制作...
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