專利名稱：同時(shí)檢測(cè)多個(gè)具有不同能量的x射線的x射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的制作方法
相關(guān)申請(qǐng)的相互參考本申請(qǐng)基于并要求2001年6月4日提交的在先日本專利申請(qǐng)2001-168398的優(yōu)先權(quán)，這里參考引用其全部?jī)?nèi)容。
2.背景技術(shù)的描述通常，例如使用X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置來(lái)檢測(cè)混入例如生肉、魚、加工食品和藥品等被檢測(cè)對(duì)象中(包括其表面上)的雜質(zhì)(金屬、骨頭、玻璃、石頭、合成樹脂材料等)。
圖5是表示這種常規(guī)已知的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖5所示，在常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，在上側(cè)安裝X射線生成部分50，在下側(cè)安裝X射線檢測(cè)部分51。
另外，在X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，從X射線生成部分50照射出的X射線穿過(guò)如上所述的被檢測(cè)對(duì)象W，之后在X射線檢測(cè)部分51處被接收。
在此情況下，在X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置主體上安裝在從X射線生成部分50照射出的X射線中傳送被檢測(cè)對(duì)象W的傳送部分52。
根據(jù)該方法，由于X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置將X射線照射到傳送部分52上傳送的被檢測(cè)對(duì)象W上，在X射線檢測(cè)部分51處接收透過(guò)被檢測(cè)對(duì)象W的被傳輸?shù)腦射線，則可檢測(cè)出被檢測(cè)對(duì)象W中是否混入雜質(zhì)。
在這種常規(guī)的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，X射線生成部分50和X射線檢測(cè)部分51是單個(gè)的，并構(gòu)成一對(duì)。
根據(jù)該方法，因?yàn)閺腦射線生成部分50中照射出的X射線的輻射性質(zhì)(波長(zhǎng)的長(zhǎng)度，即，能量的幅值)是唯一的，所以限制了可由這種X射線檢測(cè)的雜質(zhì)的特性。
具體而言，當(dāng)加工食品中混入雜質(zhì)時(shí)，如果雜質(zhì)是成分不同于該加工食品且具有高的X射線吸收率的金屬等，則可相對(duì)容易地檢測(cè)出雜質(zhì)。
但是，如果X射線的輸出或輻射性質(zhì)被設(shè)定為檢測(cè)金屬，則當(dāng)混入成分或X射線吸收率基本與加工食品的相同的骨頭、貝殼等雜質(zhì)時(shí)，則難以進(jìn)行檢測(cè)。
另外，如果如果X射線的輸出或輻射性質(zhì)如上所述被設(shè)定為檢測(cè)金屬，則難以檢測(cè)出混入被檢測(cè)對(duì)象W中的小的雜質(zhì)或薄的雜質(zhì)。
通常，為了解決上述問(wèn)題，在例如日本專利申請(qǐng)10-318943(KOKAI)中公開了一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，已考慮允許多個(gè)X射線照射到被檢測(cè)對(duì)象W上。
如圖6所示，一種改進(jìn)的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置具有如下結(jié)構(gòu)，其中，除了上述一對(duì)X射線生成部分50和X射線檢測(cè)部分51外，還在傳送部分52的傳送方向上具有另一對(duì)X射線生成部分60和X射線檢測(cè)部分61。
在該方法構(gòu)成的常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，在從X射線生成部分60照射出的到達(dá)X射線檢測(cè)部分61的X射線中設(shè)置一X射線濾波器62。
由于該X射線濾波器62，可使來(lái)自X射線生成部分60的X射線的輻射性質(zhì)不同于來(lái)自X射線生成部分50的X射線的輻射性質(zhì)。
根據(jù)該方法，可在X射線檢測(cè)部分61處檢測(cè)出不同于在X射線檢測(cè)部分51處檢測(cè)到的雜質(zhì)的雜質(zhì)。
通過(guò)分別在X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)對(duì)這些X射線檢測(cè)部分51、61的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行圖像處理，可執(zhí)行更詳細(xì)的雜質(zhì)檢測(cè)，例如獲得基于兩檢測(cè)信號(hào)等所強(qiáng)調(diào)的雜質(zhì)的圖象。這樣，就可對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行更精確的檢測(cè)。
分別用設(shè)置在與傳送部分52傳送方向垂直的方向上的不同位置上的線傳感器來(lái)構(gòu)成X射線檢測(cè)部分51、61。
該線傳感器由將X射線轉(zhuǎn)換為光的閃爍器和接收由閃爍器轉(zhuǎn)換的光的光電二極管陣列來(lái)構(gòu)成。
但是，在上述結(jié)構(gòu)中，需要兩對(duì)X射線生成部分50、60和X射線檢測(cè)部分51、61。這樣，產(chǎn)生成本高的問(wèn)題，并且因?yàn)樾枰蟮姆胖每臻g，則導(dǎo)致整個(gè)裝置變大。
值得注意的是，日本專利申請(qǐng)10-318943(KOKAI)還公開了一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，用于從單個(gè)X射線生成部分中照射X射線，并在分別設(shè)置于傳送部分52的傳送方向上的不同位置上的兩個(gè)X射線檢測(cè)部分51、61處檢測(cè)出穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象W的被傳輸X射線。
此時(shí)，X射線濾波器62位于X射線檢測(cè)部分51、61之一上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，使用一個(gè)X射線生成部分和兩個(gè)X射線檢測(cè)部分51、61就足夠了。因此，與根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置相比，在成本和空間方面具有優(yōu)勢(shì)，但問(wèn)題在于改進(jìn)上不明顯。
圖7A、7B和7C是表示根據(jù)具有上述多個(gè)X射線照射結(jié)構(gòu)的常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，基于多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中被檢測(cè)對(duì)象W的X射線傳輸圖像的視圖。
圖7A表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中X射線檢測(cè)器51側(cè)上的X射線傳輸圖像A。
另外，圖7B表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中X射線檢測(cè)器61側(cè)上的X射線傳輸圖像B。
此外，圖7C表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中上述X射線傳輸圖像A、B的疊加圖像。
如上所述，在構(gòu)成照射多個(gè)X射線的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，在任何情況下，X射線檢測(cè)部分51、61都位于傳送部分52的傳送方向上的不同位置處。這樣，即使對(duì)于相同的被檢測(cè)對(duì)象W，檢測(cè)時(shí)間也不同。
因此，當(dāng)僅在X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中疊加兩個(gè)圖像A、B時(shí)，如圖7C所示，被檢測(cè)對(duì)象W與雜質(zhì)G的圖像相差距離L(對(duì)應(yīng)于時(shí)間)，產(chǎn)生所謂在該狀態(tài)下不能執(zhí)行疊加處理的問(wèn)題。
為了修正該時(shí)滯，在X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中需要特定的處理，例如信號(hào)延遲等。
另外，圖8A、8B和8C是表示根據(jù)具有上述多個(gè)X射線照射結(jié)構(gòu)的常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，基于多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中被檢測(cè)對(duì)象W的X射線傳輸圖像另一實(shí)例的視圖。
圖8A表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中X射線檢測(cè)器51側(cè)上的X射線傳輸圖像A。
另外，圖8B表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中X射線檢測(cè)器61側(cè)上的X射線傳輸圖像B。
此外，圖8C表示X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中上述X射線傳輸圖像A、B的疊加圖像。
當(dāng)被檢測(cè)對(duì)象W是蒸餾(retort)包裝食品等時(shí)，在由傳送部分52傳送期間可改變結(jié)構(gòu)。
在圖8A、8B和8C所示實(shí)例中，當(dāng)每個(gè)X射線檢測(cè)器51、61都執(zhí)行檢測(cè)時(shí)，被檢測(cè)對(duì)象W的結(jié)構(gòu)改變。
當(dāng)被檢測(cè)對(duì)象W的結(jié)構(gòu)如此改變時(shí)，在X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)處，不執(zhí)行兩個(gè)圖像的自身疊加處理。
根據(jù)該方法，在其中僅沿傳送部分52設(shè)置X射線生成部分和X射線檢測(cè)部分的結(jié)構(gòu)中，不能提高X射線的雜質(zhì)檢測(cè)精度。
特別是，在不同的生產(chǎn)線中，當(dāng)檢測(cè)連續(xù)加工的被檢測(cè)對(duì)象W中是否混入雜質(zhì)時(shí)，必須實(shí)時(shí)執(zhí)行雜質(zhì)檢測(cè)的確定。期望同時(shí)獲得高速和高精度的雜質(zhì)檢測(cè)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，包括X射線生成部分(1)，照射X射線；傳送部分(3)，傳送被檢測(cè)對(duì)象(W)，以穿過(guò)X射線生成部分照射出的X射線；第一傳感器模塊(2a)，沿穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的傳輸方向設(shè)置，接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；和第二傳感器模塊(2b)，接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，輸出對(duì)應(yīng)于不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)分別對(duì)應(yīng)于在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、從第一和第二傳感器模塊輸出到相同被檢測(cè)對(duì)象的第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種根據(jù)第一方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，至少第一和第二傳感器模塊之一具有一個(gè)X射線濾波器，通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分或剩余部分，使第一X射線能量與第二X射線能量彼此不同，相差一預(yù)定幅值。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種根據(jù)第一方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，第一傳感器模塊具有一個(gè)第一傳感器設(shè)備，通過(guò)傳送部分將該設(shè)備設(shè)置在垂直于被檢測(cè)對(duì)象傳送方向的預(yù)定位置上，該設(shè)備通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分來(lái)輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)，和沿著X射線的傳輸方向，將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分引導(dǎo)到第二傳感器模塊上。
根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供一種根據(jù)第三方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，第二傳感器模塊具有一個(gè)X射線濾波器，設(shè)置在對(duì)應(yīng)于設(shè)置第一傳感器模塊的預(yù)定位置的位置上，該濾波器通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，使第二X射線能量與第一X射線能量相差一預(yù)定幅值，將剩余部分從第一傳感器模塊引導(dǎo)到第二傳感器模塊上，和具有一個(gè)第二傳感器設(shè)備，輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，提供一種根據(jù)第一方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，第一傳感器模塊具有一個(gè)第一閃爍器，和一個(gè)第一光接收元件，該閃爍器將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分轉(zhuǎn)換為第一光，該光接收元件接收第一閃爍器轉(zhuǎn)換的第一光，并輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)，和沿著X射線的傳輸方向，將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分引導(dǎo)到第二傳感器模塊上。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面，提供一種根據(jù)第五方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，第一傳感器模塊具有一個(gè)光反射器，將第一閃爍器轉(zhuǎn)換的第一光引導(dǎo)到光接收元件上。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面，提供一種根據(jù)第五方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其中，第二傳感器模塊具有一X射線濾波器，通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，使第二X射線能量與第一X射線能量相差一預(yù)定幅值，將剩余部分從第一傳感器模塊引導(dǎo)到第二傳感器模塊上，一個(gè)第二閃爍器，將第二X射線能量轉(zhuǎn)換成第二光，通過(guò)X射線濾波器使第二X射線能量與第一X射線能量相差預(yù)定幅值，和一個(gè)第二光接收元件，接收第二閃爍器轉(zhuǎn)換的第二光，并輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，提供一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，包括照射X射線；傳送被檢測(cè)對(duì)象(W)，以穿過(guò)X射線；由沿穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線傳輸方向設(shè)置的第一傳感器模塊(2a)來(lái)接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；和由第二傳感器模塊(2b)接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，輸出對(duì)應(yīng)于不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)分別對(duì)應(yīng)于在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、從第一和第二傳感器模塊輸出到相同被檢測(cè)對(duì)象的第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，提供一種根據(jù)第八方面的X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，進(jìn)一步包括通過(guò)位于至少第一和第二傳感器模塊之一處的一X射線濾波器，通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分或剩余部分，使第一X射線能量與第二X射線能量彼此不同，相差一預(yù)定幅值。
根據(jù)本發(fā)明的第十方面，提供一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，包括
照射X射線；傳送被檢測(cè)對(duì)象(W)，以穿過(guò)X射線；將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線轉(zhuǎn)換成第一光；接收第一光，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，獲得具有與第一X射線能量相差預(yù)定幅值的第二X射線能量的X射線；將具有第二X射線能量的X射線轉(zhuǎn)換成第二光；和接收第二光，并輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)分別對(duì)應(yīng)于在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、輸出到相同被檢測(cè)對(duì)象的第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，從X射線生成部分1照射到被檢測(cè)對(duì)象W的X射線穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象，被X射線檢測(cè)部分2接收。
X射線檢測(cè)部分2包括沿X射線傳輸方向設(shè)置在靠上和靠下位置上的多個(gè)傳感器模塊2a、2b。傳感器模塊2a、2b分別根據(jù)來(lái)自光接收元件23、33的X射線傳輸量來(lái)輸出X射線傳輸數(shù)據(jù)。
位于上級(jí)的傳感器模塊2a通過(guò)閃爍器21將X射線轉(zhuǎn)換為可視光，在可視光反射器22處反射該光，通過(guò)光接收元件23來(lái)檢測(cè)X射線傳輸量。
在位于下級(jí)的傳感器模塊2b中，X射線濾波器30使預(yù)定波段中的X射線能量衰減，通過(guò)閃爍器31將X射線轉(zhuǎn)換成可視光，之后由光接收元件33來(lái)檢測(cè)X射線傳輸量。
水平設(shè)置傳感器模塊2a、2b，以接收單個(gè)X射線束，并可同時(shí)檢測(cè)被檢測(cè)對(duì)象W。
另外，提供X射線濾波器30，因此可改變每個(gè)傳感器模塊2a、2b處接收到的X射線的輻射性質(zhì)，并可強(qiáng)調(diào)被檢測(cè)對(duì)象W中的雜質(zhì)G。
本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)在下述描述中被闡明，并一定程度上從該描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐來(lái)領(lǐng)會(huì)。通過(guò)下面具體指出的手段和組合，可實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)。
附圖的簡(jiǎn)要描述引入并構(gòu)成說(shuō)明書一部分的


本發(fā)明的實(shí)施例，并與上述的概述和下述的實(shí)施例的具體描述一起來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的原理。
圖1是表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的外部結(jié)構(gòu)的透視圖；圖2是表示圖1的X射線檢測(cè)部分2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，作為表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的主要部分的示意圖；圖3A、3B和3C是表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，基于多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)中被檢測(cè)對(duì)象W的X射線傳輸圖像的一個(gè)實(shí)例的視圖；圖4是表示圖1的X射線檢測(cè)部分2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，作為表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的主要部分的示意圖；圖5是表示一常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是表示一常規(guī)的改進(jìn)后的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7A、7B和7C是表示通過(guò)具有多個(gè)X射線照射結(jié)構(gòu)的常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，根據(jù)多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)處被檢測(cè)對(duì)象W的X射線傳輸圖像的一個(gè)實(shí)例的視圖；圖8A、8B和8C是表示通過(guò)上述具有多個(gè)X射線照射結(jié)構(gòu)的常規(guī)X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，根據(jù)多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的X射線檢測(cè)信號(hào)處理部分(未圖示)處被檢測(cè)對(duì)象W的X射線傳輸圖像另一實(shí)例的視圖。
發(fā)明的詳細(xì)描述如附圖所述，對(duì)本發(fā)明的當(dāng)前最佳實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明，其中，相同標(biāo)號(hào)表示相同或?qū)?yīng)的部分。
下面，參照附圖來(lái)具體、詳細(xì)描述本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)圖1是表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)的外部結(jié)構(gòu)的透視圖。
即，如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置主要包括生成X射線的X射線生成部分1、從X射線生成部分1接收X射線的X射線檢測(cè)部分2、和在X射線生成部分1和X射線檢測(cè)部分2之間傳送被檢測(cè)對(duì)象的傳送部分3。
首先，構(gòu)成X射線生成部分1，通過(guò)覆蓋X射線管4的外周來(lái)防止X射線泄漏，利用屏蔽板生成X射線。
其中，用屏蔽材料，例如鉛等形成屏蔽板，沿X射線管4的存儲(chǔ)部直線排列。
另外，在形成X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的外殼5的上部設(shè)置X射線生成部分1，該生成部分1向下照射X射線。
值得注意的是，如長(zhǎng)短交替虛線所示，從X射線管4以基本向下擴(kuò)展的圓錐形來(lái)照射X射線。
另外，構(gòu)成X射線生成部分1，因此，通過(guò)散熱片來(lái)散除生成X射線時(shí)產(chǎn)生的熱量。
在傳送部分3的上表面?zhèn)壬系膫魉蛶У南卤砻嫖恢锰幵O(shè)置X射線檢測(cè)部分2。通過(guò)接收從X射線生成部分1照射的基本為圓錐形的X射線，X射線檢測(cè)部分2將對(duì)應(yīng)于接收到的X射線能量的電信號(hào)輸出到控制裝置(未圖示)。
X射線檢測(cè)部分2具有容納于金屬盒中的線性閃爍器和X射線傳感器，和在金屬盒上表面形成開口的縫隙。
沿X射線傳感器布局形成縫隙，將X射線生成部分1照射出的基本圓錐平面形的X射線壓縮為線性形式，使X射線穿過(guò)設(shè)置在金屬盒內(nèi)的X射線傳感器。
另外，傳送部分3使被檢測(cè)對(duì)象W(參照?qǐng)D1和圖6)穿過(guò)X射線生成部分1照射到X射線檢測(cè)部分2的X射線部分。
傳送部分3包括輥?zhàn)?、電機(jī)單元10、和傳送帶11。
另外，在傳送部分3處，通過(guò)電機(jī)單元10的驅(qū)動(dòng)來(lái)旋轉(zhuǎn)輥?zhàn)?，沿一個(gè)方向循環(huán)傳送帶11。
傳送帶11的循環(huán)方向是與X射線檢測(cè)部分的線傳感器的設(shè)置方向垂直的方向。
圖2是表示圖1的X射線檢測(cè)部分2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，作為表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的主要部分的示意圖。
即，如圖2所示，X射線檢測(cè)部分2由多個(gè)傳感器模塊構(gòu)成。
X射線檢測(cè)部分2具有如下結(jié)構(gòu)，其中，在所述實(shí)例中提供兩個(gè)傳感器模塊2a、2b。
這些傳感器模塊2a、2b被設(shè)置成在垂直方向上連接，以接收從圖1的X射線生成部分1照射出的單個(gè)X射線束。
一個(gè)傳感器模塊2a位于上級(jí)，另一個(gè)傳感器模塊2b位于下級(jí)。
這里，閃爍器21、可視光反射器22、和光接收元件23位于上級(jí)的傳感器模塊2a處。
另外，X射線濾波器30、閃爍器31和光接收元件33位于下級(jí)的傳感器模塊2b處。
此時(shí)，光接收元件23、33由多個(gè)沿垂直于圖2畫面的深度方向設(shè)置成線性形式的光電二極管形成。
值得注意的是，X射線濾波器30、閃爍器21、31和可視光反射器22在沿光接收元件23、33設(shè)置的上述深度方向上也具有預(yù)定長(zhǎng)度。
另外，可視光反射器22由整個(gè)反射鏡構(gòu)成，并如圖所示，設(shè)置成傾斜45度。
另外，X射線濾波器30由改變X射線輻射性質(zhì)(波段(wavelength band)，即能量)的輻射性質(zhì)可變體構(gòu)成。
X射線濾波器30由形成為薄板形式的例如鋁或銅等金屬、或碳、或樹脂材料構(gòu)成。
X射線濾波器30衰減傳感器模塊2b接收的預(yù)定波段的X射線能量。
可根據(jù)用于X射線濾波器30使用的材料等來(lái)設(shè)定該預(yù)定波段。
根據(jù)該方法，在傳感器模塊2b處，例如，可獲得X射線生成部分1生成的X射線中，僅具有必需的X射線波段的預(yù)定X射線能量的X射線，該X射線與具有傳感器模塊2a處接收的預(yù)定波段的X射線能量的X射線不同。
根據(jù)該方法，通過(guò)使用在傳感器模塊2a、2b處具有不同預(yù)定X射線能量的X射線，可強(qiáng)調(diào)具有不同材料的被檢測(cè)對(duì)象和雜質(zhì)的陰影。
值得注意的是，至少在傳感器模塊2b處使未在傳感器模塊2a處轉(zhuǎn)換為可視光的剩余部分的X射線輻射性質(zhì)改變。
根據(jù)該方法，使得傳感器模塊2a處接收的X射線輻射性質(zhì)與傳感器模塊2b處接收的X射線不同。
下面描述上述結(jié)構(gòu)的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的雜質(zhì)檢測(cè)操作。
首先，在沿著由傳送部分3傳送的被檢測(cè)對(duì)象的路徑的位置處，將X射線生成部分1照射出的X射線照射到被檢測(cè)對(duì)象上。
利用該X射線的照射，X射線檢測(cè)部分2的對(duì)應(yīng)傳感器模塊2a、2b檢測(cè)到穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線。
一個(gè)傳感器模塊2a通過(guò)閃爍器2 1將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線轉(zhuǎn)換為光。
可視光反射器22將閃爍器21處轉(zhuǎn)換的光反射成水平正交方向90度，之后，由光接收元件23接收該光。
這里，光接收元件23的每個(gè)光電二極管都將接收到的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，將該信號(hào)輸出到控制裝置(未圖示)。
因?yàn)楣饨邮赵?3位于其不直接從X射線生成部分1接收X射線的位置處，所以可提高其壽命。
另外，傳感器模塊2b處接收在傳感器模塊2a處未被轉(zhuǎn)換成可視光的X射線。
在X射線濾波器30處改變這些X射線的輻射性質(zhì)，之后，閃爍器31將X射線轉(zhuǎn)換成光。
光接收元件33接收閃爍器31處轉(zhuǎn)換的光。
這里，光接收元件33的每個(gè)光電二極管都將接收到的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并將該信號(hào)輸出給控制裝置(未圖示)。
光接收元件33位于從X射線生成部分1直接接收X射線的剩余部分的較低位置處，并由X射線濾波器30來(lái)衰減接收到的X射線。因此，可提高其壽命。
對(duì)應(yīng)的傳感器模塊2a、2b的光接收元件23、33分別輸出具有與穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線部分和其剩余部分對(duì)應(yīng)的不同能量的X射線傳輸數(shù)據(jù)。
控制裝置(未圖示)生成具有對(duì)應(yīng)于X射線傳輸數(shù)據(jù)的X射線量的密度等級(jí)的X射線傳輸圖像。
圖3A、3B和3C是表示對(duì)應(yīng)傳感器單元2a、2b輸出的X射線傳輸圖像的一個(gè)實(shí)例的視圖。
在該圖所示實(shí)例中，僅顯示了被檢測(cè)對(duì)象的輪廓。但是，實(shí)際上，根據(jù)X射線傳輸量，被檢測(cè)對(duì)象具有預(yù)定密度。
另外，因?yàn)殡s質(zhì)G的X射線傳輸量小，所以其密度顯示得比被檢測(cè)對(duì)象W的高。
值得注意的是，對(duì)于雜質(zhì)G的X射線傳輸量的圖中說(shuō)明，為了方便，大量的陰影線(較高密度)表示X射線傳輸量較小的狀態(tài)。
在圖像擴(kuò)展后，獲得一個(gè)傳感器單元2a輸出的X射線傳輸數(shù)據(jù)，作為圖3A所示的X射線傳輸圖像A。
另外，在圖像擴(kuò)展后，獲得傳感器單元2b輸出的X射線傳輸數(shù)據(jù)，作為圖3B所示的X射線傳輸圖像B。
如這些附圖所示，當(dāng)X射線傳輸圖像A中雜質(zhì)G的密度低(雜質(zhì)G的X射線傳輸量高)且X射線傳輸圖像B中雜質(zhì)G的密度高(雜質(zhì)G的X射線傳輸量低)時(shí)，假設(shè)通過(guò)控制裝置(未圖示)的圖像處理來(lái)執(zhí)行這些X射線傳輸圖像A、B的(A+B)，則可獲得結(jié)果，作為圖3C所示的圖像A+B的狀態(tài)。
根據(jù)該方法，通過(guò)控制裝置(未圖示)使傳感器模塊2a處接收的X射線和傳感器模塊2b處接收的X射線的輻射性質(zhì)互不相同，使雜質(zhì)G的密度相對(duì)高，并對(duì)應(yīng)于被檢測(cè)對(duì)象W來(lái)強(qiáng)調(diào)雜質(zhì)G，可容易地析取出雜質(zhì)G。
另外，控制裝置(未圖示)的圖像處理不限于疊加(加法)處理，也可執(zhí)行差(減法)處理。
例如，如果執(zhí)行從X射線傳輸圖像B中減去A的差(B-A)，則保持雜質(zhì)G的密度，使被檢測(cè)對(duì)象W的密度低。結(jié)果，可按照與疊加(A+B)基本相同的方法來(lái)析取雜質(zhì)G。
將上述兩個(gè)傳感器單元2a、2b設(shè)置成在單個(gè)X射線束的傳輸方向上垂直連接。
根據(jù)該方法，對(duì)應(yīng)于傳送部分3上傳送的被檢測(cè)對(duì)象W的傳送方向，在基本相同時(shí)間執(zhí)行相同點(diǎn)處的被檢測(cè)對(duì)象W的X射線雜質(zhì)檢測(cè)。
因此，如圖3A、3B、和3C所示，在傳感器單元2a、2b的X射線傳輸圖像A、B中不會(huì)產(chǎn)生傳送方向上的偏移。
因此，可容易執(zhí)行控制裝置(未圖示)的兩個(gè)圖像數(shù)據(jù)的疊加(或差)處理，不必實(shí)施匹配兩個(gè)圖像數(shù)據(jù)的電延遲處理等，可容易析取雜質(zhì)G。
另外，當(dāng)波傳送時(shí)被檢測(cè)對(duì)象W變形，因?yàn)閮蓚€(gè)X射線傳輸圖像A、B按照該變形以相同方式變形，所以可得到兩個(gè)圖像的匹配。
在控制裝置(未圖示)處，根據(jù)上述圖像處理后的X射線傳輸數(shù)據(jù)，確定被檢測(cè)對(duì)象W中(包括其表面上)是否有雜質(zhì)。根據(jù)確定結(jié)果向外部輸出表示良好項(xiàng)(沒(méi)有雜質(zhì))或缺陷項(xiàng)(有雜質(zhì))的分類信號(hào)等。
之后，傳送完成上述檢測(cè)的被檢測(cè)對(duì)象W，此后，位于后級(jí)的選擇器等根據(jù)控制裝置(未圖示)輸出的分類信號(hào)將被檢測(cè)對(duì)象分類為良好項(xiàng)或缺陷項(xiàng)。
另外，X射線檢測(cè)部分2具有多個(gè)傳感器模塊2a、2b，但具有單個(gè)X射線生成部分1。因此，即使不提供多個(gè)X射線生成部分1和X射線檢測(cè)部分2，也可基于具有不同輻射性質(zhì)的X射線來(lái)執(zhí)行雜質(zhì)檢測(cè)。因此，當(dāng)抑制成本增加的同時(shí)，可執(zhí)行上述雜質(zhì)檢測(cè)。
下面說(shuō)明上述多個(gè)傳感器模塊2a、2b的雜質(zhì)檢測(cè)的具體實(shí)例。
在一個(gè)傳感器模塊2a處，因?yàn)闆](méi)有X射線濾波器30，所以接收到傳輸量未被衰減的X射線。傳感器模塊2a將對(duì)應(yīng)于這些X射線傳輸量的電信號(hào)輸出到控制裝置(未圖示)。
另外，在提供了X射線濾波器30的傳感器模塊2b處，接收傳輸量未被衰減的X射線。傳感器模塊2b將對(duì)應(yīng)于這些X射線傳輸量的電信號(hào)輸出到控制裝置(未圖示)。
在具體實(shí)例中，可考慮如下情況，其中，加工食品中原有的骨頭、貝殼等、或加工食品中原來(lái)沒(méi)有的金屬等被檢測(cè)為作為加工食品的被檢測(cè)對(duì)象W中(包括其表面上)的雜質(zhì)G。
在該情況下，僅以傳感器模塊2a處輸出的X射線傳輸數(shù)據(jù)強(qiáng)調(diào)X射線難以傳輸?shù)慕饘?，在傳感器模塊2a處接收傳輸量未被衰減的X射線。
接著，X射線濾波器30僅衰減預(yù)定波段的X射線能量，在該預(yù)定波段下，該X射線能量在X射線生成部分1生成的X射線中是高的。這樣，在控制裝置(未圖示)處，可強(qiáng)調(diào)被檢測(cè)對(duì)象W和雜質(zhì)G中軟材料的陰影。
另外，根據(jù)接收X射線濾波器30已去除具有高的X射線能量部分(即低X射線能量)的X射線的傳感器模塊2b的X射線傳輸數(shù)據(jù)，在控制裝置(未圖示)處，也可強(qiáng)調(diào)可容易穿過(guò)X射線的骨頭和貝殼等(小的雜質(zhì)和薄的雜質(zhì))。
根據(jù)該方法，在控制裝置(未圖示)處，由于根據(jù)來(lái)自傳感器模塊2a和傳感器模塊2b的兩個(gè)X射線傳輸數(shù)據(jù)，對(duì)應(yīng)于期望雜質(zhì)G的類型來(lái)設(shè)定多個(gè)臨界值，所以可確定被選擇為缺陷項(xiàng)的被檢測(cè)對(duì)象W中的雜質(zhì)是否僅是骨頭、貝殼等(小的雜質(zhì)或薄的雜質(zhì))，或僅是金屬等，或包括骨頭、貝殼等(小的雜質(zhì)或薄的雜質(zhì))和金屬等。除了上述良好項(xiàng)和缺陷項(xiàng)的分類信號(hào)外，可向外部輸出確定信號(hào)。
例如，設(shè)定作為雜質(zhì)G種類的骨頭、金屬等被混入用作被檢測(cè)對(duì)象W的火腿食品中，執(zhí)行包括每種雜質(zhì)G的檢測(cè)的檢測(cè)。
因此，由于上述具有接收不同輻射性質(zhì)X射線的傳感器模塊2a、2b的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，所以可單獨(dú)檢測(cè)容易穿過(guò)X射線的雜質(zhì)(例如骨頭和貝殼等小雜質(zhì)或薄雜質(zhì))和難以穿過(guò)X射線的雜質(zhì)(金屬等)。這樣，可不限制被檢測(cè)雜質(zhì)的性質(zhì)來(lái)執(zhí)行高精度的雜質(zhì)檢測(cè)。
另外，不用說(shuō)，如上所述，通過(guò)使兩個(gè)X射線傳輸圖像經(jīng)歷控制裝置(未圖示)處的上述疊加或差處理，可執(zhí)行析取處理，例如分別對(duì)應(yīng)于被檢測(cè)對(duì)象W強(qiáng)調(diào)雜質(zhì)G。
值得注意的是，如圖2中虛線所示，X射線濾波器30可位于傳感器單元2a處，而不位于傳感器單元2b處。
(第二實(shí)施例)上述第一實(shí)施例為如下情況，其中，如圖2所示，通過(guò)在一個(gè)傳感器單元2b處提供X射線濾波器30來(lái)改變X射線的輻射性質(zhì)。
第二實(shí)施例是如下結(jié)構(gòu)(未圖示)，使用具有分別不同X射線/光轉(zhuǎn)換特性的部件作為傳感器單元2a、2b處提供的閃爍器21、31，在傳感器單元2b處不提供X射線濾波器30。
根據(jù)該方法，在第二實(shí)施例中，傳感器單元2a、2b分別檢測(cè)具有不同X射線波段即能量的X射線傳輸量。這樣，即使不用X射線濾波器30，也可象使用X射線濾波器30情況中同樣的方法在對(duì)應(yīng)傳感器單元2a、2b處檢測(cè)不同種類的雜質(zhì)。
另外，由于控制裝置(未圖示)進(jìn)行的X射線傳輸圖像的疊加處理或差處理，所以可相對(duì)于被檢測(cè)對(duì)象W來(lái)強(qiáng)調(diào)雜質(zhì)G。
(第三實(shí)施例)圖4是表示X射線檢測(cè)部分2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，作為表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)示意即，如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置情況如下，其中，在X射線檢測(cè)部分2處提供了三個(gè)傳感器模塊2a、2b和2c。
這些傳感器模塊2a、2b和2c相應(yīng)設(shè)置成在垂直方向上連接，以接收從X射線生成部分1照射的單個(gè)X射線束。
在此情況下，按與上述第一實(shí)施例中傳感器模塊2a、2b相同的方法來(lái)構(gòu)造最上和最下的傳感器模塊2a、2b。
另外，位于中間的傳感器模塊2c結(jié)合傳感器模塊2a和傳感器模塊2b。
即，如圖4所示，在傳感器模塊2c處提供X射線濾波器40、閃爍器41、可視光反射器42和光接收元件43。
這里，改變X射線以具有分別不同輻射性質(zhì)的濾波器被用作位于中間和最下傳感器模塊2c、2b上的X射線濾波器40、30。
具體而言，使用X射線濾波器40、30(可部分疊加)，其中，至少由最下X射線濾波器30衰減的X射線的預(yù)定波段即能量不同于中間X射線濾波器40衰減的X射線的預(yù)定波段即能量。
對(duì)應(yīng)于最上的傳感器模塊2a處未轉(zhuǎn)換為可視光的X射線的剩余部分，在中間傳感器模塊2c處改變輻射性質(zhì)。
另外，對(duì)應(yīng)于最上的傳感器模塊2a和中間傳感器模塊2c處未轉(zhuǎn)換為可視光的X射線的剩余部分，在最下傳感器模塊2b處改變輻射性質(zhì)。
根據(jù)該方法，各傳感器模塊2a、2b和2c處接收的X射線的輻射性質(zhì)都不同。
根據(jù)該方法，在本發(fā)明中，通過(guò)提供垂直的兩級(jí)或多級(jí)的傳感器模塊并使每個(gè)傳感器模塊2a、2b和2c處X射線的輻射性質(zhì)不同，可因此強(qiáng)調(diào)并檢測(cè)出不同種類的雜質(zhì)G。
另外，在本發(fā)明中，位置距最下傳感器模塊越遠(yuǎn)，則傳感器模塊接收到的X射線能量衰減得越多。這樣，即使雜質(zhì)G是軟材料，也可被強(qiáng)調(diào)并被檢測(cè)出。
值得注意的是，即使提供兩級(jí)或多級(jí)的傳感器模塊，這些傳感器模塊也都接收單個(gè)X射線束。這樣，因?yàn)榭偸峭瑫r(shí)檢測(cè)出傳送部分3傳送的被檢測(cè)對(duì)象W的相同點(diǎn)，所以控制裝置(未圖示)可容易執(zhí)行圖像處理。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置中，因?yàn)檠貑蝹€(gè)X射線束的照射方向垂直設(shè)置多個(gè)傳感器模塊并在期望的傳感器模塊處提供X射線濾波器，所以各傳感器模塊可同時(shí)接收具有不同輻射性質(zhì)的X射線，并可通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)精確地檢測(cè)出被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)。
此時(shí)，因?yàn)楦鱾鞲衅髂K總輸出對(duì)應(yīng)于相同點(diǎn)的X射線傳輸數(shù)據(jù)，所以在相同的檢測(cè)時(shí)間檢測(cè)出被檢測(cè)對(duì)象的相同點(diǎn)，可容易執(zhí)行使用擴(kuò)展后圖像數(shù)據(jù)的圖像處理，例如疊加、差等，并可容易提高檢測(cè)雜質(zhì)的精度。
另外，因?yàn)楦鱾鞲衅髂K可檢測(cè)出混入被檢測(cè)對(duì)象中的各雜質(zhì)，例如容易穿過(guò)X射線的雜質(zhì)，難以穿過(guò)X射線的雜質(zhì)等，所以不限制被檢測(cè)的雜質(zhì)，可執(zhí)行精確的雜質(zhì)檢測(cè)。
另外，由于如下結(jié)構(gòu)，其中，在模塊中提供一光反射器，將一光接收元件設(shè)置成遠(yuǎn)離X射線的照射方向，所以可提高光接收元件的壽命。
另外，由于如下結(jié)構(gòu)，其中，傳感器模塊分別具有具備不同光轉(zhuǎn)換特性的閃爍器，所以可不提供X射線濾波器來(lái)檢測(cè)不同雜質(zhì)。
另外，根據(jù)本發(fā)明的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，通過(guò)使用如下結(jié)構(gòu)，其中，在傳送部分順序傳送被檢測(cè)對(duì)象的生產(chǎn)線等上檢測(cè)不同種類的雜質(zhì)，在改變輻射性質(zhì)的同時(shí)，可在不同傳感器模塊處同時(shí)執(zhí)行雜質(zhì)檢測(cè)。這樣，可執(zhí)行實(shí)時(shí)和高精度的雜質(zhì)檢測(cè)，并可獲得提高整個(gè)裝置性能的效果。
對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，其它優(yōu)點(diǎn)和變更是顯而易見(jiàn)的。因此，本發(fā)明在更寬的方面不限于這里所示和所述的特定細(xì)節(jié)和代表性的實(shí)施例。因此，在不脫離下面權(quán)利要求及其等同表達(dá)所定義的一般發(fā)明概念的精神或范圍下，可進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于包括一個(gè)X射線生成部分(1)，照射X射線；一個(gè)傳送部分(3)，傳送被檢測(cè)對(duì)象，以穿過(guò)X射線生成部分(1)照射出的X射線；一個(gè)第一傳感器模塊(2a)，沿穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的傳輸方向設(shè)置，接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；和一個(gè)第二傳感器模塊(2b)，接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，輸出對(duì)應(yīng)于不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、從第一和第二傳感器模塊(2a、2b)輸出的對(duì)于相同被檢測(cè)對(duì)象的分別對(duì)應(yīng)于第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，至少第一和第二傳感器模塊(2a、2b)之一具有一個(gè)X射線濾波器(30)，通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分或剩余部分，使第一X射線能量與第二X射線能量彼此不同，相差一預(yù)定幅值。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，第一傳感器模塊(2a)具有一個(gè)第一傳感器設(shè)備(23)，將該設(shè)備設(shè)置在垂直于被檢測(cè)對(duì)象傳送方向的預(yù)定位置上，該設(shè)備通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分來(lái)輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)，和沿著X射線的傳輸方向，將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分引導(dǎo)到第二傳感器模塊上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，第二傳感器模塊(2b)具有一個(gè)X射線濾波器(30)，該X射線濾波器(30)設(shè)置在對(duì)應(yīng)于設(shè)置第一傳感器模塊(2a)的預(yù)定位置的位置上，該濾波器通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，使第二X射線能量與第一X射線能量相差一預(yù)定幅值，將剩余部分從第一傳感器模塊(2a)引導(dǎo)到第二傳感器模塊(2b)上，和具有一個(gè)第二傳感器設(shè)備(33)，該傳感器設(shè)備(33)輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，第一傳感器模塊(2a)具有一個(gè)第一閃爍器(21)，和一個(gè)第一光接收元件(23)，該閃爍器將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分轉(zhuǎn)換為第一光，該光接收元件接收第一閃爍器(21)轉(zhuǎn)換的第一光，并輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)，和沿著X射線的傳輸方向，將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分引導(dǎo)到第二傳感器模塊上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，第一傳感器模塊(2a)具有一個(gè)光反射器(22)，將第一閃爍器(21)轉(zhuǎn)換的第一光引導(dǎo)到光接收元件(23)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置，其特征在于，第二傳感器模塊(2b)具有一個(gè)X射線濾波器(30)，該X射線濾波器(30)通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，使第二X射線能量與第一X射線能量相差一預(yù)定幅值，將剩余部分從第一傳感器模塊引導(dǎo)到第二傳感器模塊上，一個(gè)第二閃爍器(31)，將第二X射線能量轉(zhuǎn)換成第二光，通過(guò)X射線濾波器(30)使第二X射線能量與第一X射線能量相差預(yù)定幅值，和一個(gè)第二光接收元件(33)，接收第二閃爍器(31)轉(zhuǎn)換的第二光，并輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)。
8.一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，其特征在于包括照射X射線；傳送被檢測(cè)對(duì)象，以穿過(guò)X射線；由沿穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線傳輸方向設(shè)置的第一傳感器模塊(2a)來(lái)接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的該一部分X射線，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；和由第二傳感器模塊(2b)接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，并通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，輸出對(duì)應(yīng)于不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、從第一和第二傳感器模塊輸出的對(duì)于相同被檢測(cè)對(duì)象的分別對(duì)應(yīng)于第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，其特征在于，進(jìn)一步包括通過(guò)位于第一和第二傳感器模塊至少之一處的一個(gè)X射線濾波器，通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的一部分或剩余部分，使第一X射線能量與第二X射線能量彼此不同，相差一預(yù)定幅值。
10.一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)方法，其特征在于包括照射X射線；傳送被檢測(cè)對(duì)象，以穿過(guò)X射線；將穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線轉(zhuǎn)換成第一光；接收第一光，輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)；通過(guò)使用穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分，獲得具有與第一X射線能量相差預(yù)定幅值的第二X射線能量的X射線；將具有第二X射線能量的X射線轉(zhuǎn)換成第二光；和接收第二光，并輸出對(duì)應(yīng)于第二X射線能量的第二電信號(hào)，其中，根據(jù)在基本相同的檢測(cè)時(shí)間、對(duì)于相同被檢測(cè)對(duì)象輸出的分別對(duì)應(yīng)于第一X射線能量和不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第一電信號(hào)和第二電信號(hào)，檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
全文摘要
一種X射線雜質(zhì)檢測(cè)裝置及方法,其中傳送部分(3)傳送被檢測(cè)對(duì)象,以穿過(guò)X射線生成部分(1)照射出的X射線。沿穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的傳輸方向設(shè)置第一傳感器模塊(2a),接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的部分X射線,并輸出對(duì)應(yīng)于第一X射線能量的第一電信號(hào)。第二傳感器模塊(2b)接收穿過(guò)被檢測(cè)對(duì)象的X射線的剩余部分,并輸出對(duì)應(yīng)于不同于第一X射線能量的第二X射線能量的第二電信號(hào)。根據(jù)在基本相同的檢測(cè)時(shí)間從第一和第二傳感器模塊(2a、2b)輸出的第一電信號(hào)和第二電信號(hào),可檢測(cè)混入被檢測(cè)對(duì)象中的雜質(zhì)的存在/不存在。
文檔編號(hào)G01T1/00GK1389724SQ0212227
公開日2003年1月8日 申請(qǐng)日期2002年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月4日
發(fā)明者大槻智保 申請(qǐng)人:安立股份有限公司