專利名稱：用于自動(dòng)在線浴槽分析系統(tǒng)的收集器的制作方法
背景技術(shù)：
本發(fā)明在總體上涉及一種收集器，用于從液體源收集液體樣品。更特別地，本發(fā)明涉及一種收集器，用于從至少一個(gè)半導(dǎo)體片洗滌浴槽中收集液體樣品，以便自動(dòng)分析儀器可以分析樣品污染情況。
適合制造集成電路的半導(dǎo)體片通過(guò)由單晶硅錠切成薄片來(lái)生產(chǎn)。切片之后，硅片經(jīng)受研磨加工(lapping process)，以便使它們具有基本上均勻的厚度。然后將硅片腐蝕，以便除去損傷并產(chǎn)生一平滑的表面。在常規(guī)硅片成形加工中的下一步驟是拋光步驟，以便在硅片的其中至少一個(gè)面上產(chǎn)生一高反射和無(wú)損傷的表面。在此拋光面上進(jìn)行電子器件制造。
在半導(dǎo)體片的表面上存在污染物會(huì)大大降低由半導(dǎo)體片制造的集成電路品質(zhì)和性能。因此，半導(dǎo)體片典型地是在上述半導(dǎo)體片制造步驟的其中某些或全部步驟之后進(jìn)行洗滌，以便有助于減少最終半導(dǎo)體片產(chǎn)品上存在的污染物總量。例如，可以通過(guò)將單晶硅片浸入一系列洗滌浴液其中每一個(gè)，來(lái)從硅片的表面上除去有機(jī)物和其它的微粒污染物。
監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體洗滌浴液中污染物的濃度，達(dá)到幾個(gè)有用的目的。首先，可以使洗滌浴液的使用壽命達(dá)到最大。隨著硅片連續(xù)地通過(guò)特定的洗滌浴槽進(jìn)行處理，洗滌浴液中污染物的濃度一般將升高。最后，洗滌浴液變成使污染物飽和，并且將不再充分地洗滌硅片。通過(guò)監(jiān)測(cè)一特定洗滌浴液中的污染物濃度，可以更準(zhǔn)確地測(cè)定溶液不能使用的這點(diǎn)。
通過(guò)監(jiān)測(cè)洗滌浴液中污染物濃度所獲得的第二個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，可以更準(zhǔn)確地鑒別污染源。用來(lái)配制洗滌浴液的各種試劑可能含有各種雜質(zhì)，它們與洗滌晶片相反，實(shí)際上污染晶片。制備更純的洗滌浴液要求鑒別和消除這些污染源，這些情況通過(guò)監(jiān)測(cè)洗滌浴液中污染物的濃度更容易完成。
由監(jiān)測(cè)洗滌浴槽所得分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度和可靠性對(duì)鑒別污染物源和測(cè)定洗滌浴槽使用壽命二者有很大影響。此外，由于甚至很低含量范圍的某些雜質(zhì)也可能造成晶片表面污染，所以分析方法的靈敏度也很關(guān)鍵。
傳統(tǒng)方法上，已經(jīng)通過(guò)使用人工取樣技術(shù)(通常稱之為“脫線”取樣法)監(jiān)測(cè)了污染物的類型和濃度，其中是操作人員收集洗滌浴液樣品。然后將樣品轉(zhuǎn)移到實(shí)驗(yàn)室供分析用。
這種脫線取樣法的其中一個(gè)缺點(diǎn)是，它容易從外部來(lái)源帶進(jìn)附加的污染物。例如，人體與樣品接觸可能導(dǎo)致帶進(jìn)污染物，如鋁、鐵、鈣、和鈉等。此外，裝樣品的小瓶或容器、及移液管或其它取樣裝置典型地不能充分洗滌，以避免將外部污染物帶進(jìn)樣品。因此，這種脫線法缺少為提供測(cè)試洗滌浴液實(shí)際狀況的有代表性結(jié)果所必需的準(zhǔn)確度和靈敏度。
另外，對(duì)實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō)，可能要花費(fèi)幾個(gè)小時(shí)來(lái)完成樣品分析并將結(jié)果提供給負(fù)責(zé)洗滌硅片的操作人員。在這段時(shí)間范圍內(nèi)，如果硅片洗滌持續(xù)進(jìn)行，則含有高度受污染溶液的浴槽可能產(chǎn)生成百的不合格硅片。這種情況必須收回并重新洗滌這些硅片?？晒┻x擇地，在操作人員等結(jié)果時(shí)，可以停止使用浴槽。在無(wú)論哪種情況下，凈效果(neteffect)是生產(chǎn)成本增加和洗滌處理的總效率降低。
為了避免耗費(fèi)時(shí)間和可能高成本的實(shí)驗(yàn)室分析方法，通常的做法是在一預(yù)定的時(shí)間周期如每12小時(shí)之后，簡(jiǎn)單地棄去洗滌液。然而，決定洗滌浴液使用壽命的許多變數(shù)，其中包括化學(xué)試劑的品質(zhì)、處理水的品質(zhì)、浸泡在溶液中的硅片潔凈度、和為防止被操作人員污染所采取的預(yù)防措施等在這種方法中都沒(méi)有考慮。因此，不利用對(duì)污染物的分析，則可能浪費(fèi)掉其中一部分浴槽的使用壽命。
為了克服上述缺點(diǎn)，可以利用一種“在線”法來(lái)測(cè)定洗滌浴液中各雜質(zhì)的濃度，該“在線”法可供以單一、集成式方法取樣和分析洗滌液用。也就是說(shuō)，樣品機(jī)械式從洗滌浴液中取出，并通過(guò)分析儀器不直接暴露于存在操作人員的環(huán)境中來(lái)自動(dòng)地進(jìn)行分析。這種方法的其中一個(gè)例子是發(fā)明人為L(zhǎng)arry W.Shive和Erik J.Mori的共同轉(zhuǎn)讓的美國(guó)專利申請(qǐng)，其發(fā)明名稱為“用于監(jiān)測(cè)硅片清洗液中金屬雜質(zhì)濃度的方法”，該美國(guó)專利申請(qǐng)與本專利申請(qǐng)同日提交，其內(nèi)容也包含于此，以供參考。
機(jī)械取樣和自動(dòng)分析系統(tǒng)應(yīng)優(yōu)選地制造，以確保由洗滌浴槽得到的樣品是整個(gè)洗滌液的代表。如果所得的樣品不代表洗滌浴液，則不可能得到準(zhǔn)確而可靠的污染情況測(cè)量。為了有助于確保所得的樣品是整個(gè)洗滌浴液的代表，在線系統(tǒng)必須本身不是污染源。例如，如果于在線系統(tǒng)中使用閥來(lái)間歇式收集樣品，則這些閥最終會(huì)磨損并將整個(gè)洗滌液中不存在的污染帶進(jìn)樣品，同時(shí)造成不準(zhǔn)確的污染測(cè)量。
另外，當(dāng)多個(gè)浴槽被取樣時(shí)，從洗滌浴槽自身中機(jī)械式取出樣品可能是不切實(shí)際的，因?yàn)楦髟〔鄣湫偷厥潜舜讼嗑嘁伙@著的距離設(shè)置的。在這種情況下，可能需要收集裝置，以便于自動(dòng)分析。收集裝置可以將每個(gè)浴槽中的其中一部分洗滌浴液保存在各分開(kāi)的容器中，所有容器都彼此非常接近。然后，如果讓收集的這部分洗滌液滯留，則從其中取出的樣品將不是整個(gè)洗滌液的代表，并且將造成不準(zhǔn)確的污染測(cè)量。
因此，概括地說(shuō)，本發(fā)明目的在于一種收集器，該收集器用于從至少一個(gè)液體源中收集液體樣品，供樣品的自動(dòng)分析用，收集器包括至少一個(gè)容器，該容器適合于接收上述至少一個(gè)液體源中的液體并裝入一些得到樣品的液體。每個(gè)容器都具有一個(gè)入口和一個(gè)敞開(kāi)的頂部，該入口用于將相應(yīng)液體源中的液體輸送到容器中，而敞開(kāi)的頂部加工成一定尺寸，以便使樣品收集裝置進(jìn)入該容器。收集器還包括一個(gè)溢流道，該溢流道與容器敞開(kāi)的頂部成流體連通，用于接收溢出容器敞開(kāi)頂部的過(guò)量液體。收集器還包括一個(gè)排出管道，設(shè)置該排出管道用于接收來(lái)自溢流道的液體，供排出收集器中的液體。
本發(fā)明另一目的在于一種樣品收集和分析系統(tǒng)，該系統(tǒng)供監(jiān)測(cè)液體雜質(zhì)含量用，樣品收集和分析系統(tǒng)一般包括一個(gè)排放管道，該排放管道適合于與至少一個(gè)液體源連續(xù)敞開(kāi)式流體連通。一個(gè)收集器與排放管道成連續(xù)敞開(kāi)式流體連通，它包括一個(gè)容器，以便接受上述至少一個(gè)液體源中的液體，并裝入一些用于得到樣品的液體。容器具有一個(gè)入口，用于接收液體從排放管道和敞開(kāi)的頂部流入該容器。排放管道和收集器沒(méi)有能阻礙液體從液體源流到收集器容器的結(jié)構(gòu)。收集和分析系統(tǒng)還包括一個(gè)樣品收集裝置和一個(gè)樣品分析裝置，該樣品收集裝置用于收集容器中的液體樣品，而樣品分析裝置用于接收樣品收集裝置中的液體并自動(dòng)分析液體的雜質(zhì)含量。
本發(fā)明還有另一個(gè)目標(biāo)在于一種方法，它用于收集和分析至少一個(gè)液體源中液體的雜質(zhì)含量，該方法包括將液體連續(xù)地從液體源經(jīng)過(guò)一排出管道排放到收集器的容器中。容器具有一個(gè)入口和一個(gè)敞開(kāi)的頂部，該入口位于容器底部處，用于接收液體流入容器。接著，將液體連續(xù)地從入口輸送到容器中至容器敞開(kāi)的頂部，以便液體連續(xù)地從容器底部流到敞開(kāi)的頂部，并連續(xù)地溢出容器敞開(kāi)的頂部進(jìn)入收集器的溢流道。利用自動(dòng)樣品收集裝置從容器中抽吸出液體樣品，然后從樣品收集裝置放入液體分析裝置中。
本發(fā)明的另一些目的和特點(diǎn)一部分是顯而易見(jiàn)的，而一部分將在下面指出。
圖3是沿著圖2中線段3-3的平面所作的剖視圖；和圖4是沿著圖2中線段4-4的平面所作的剖視圖。
在全部附圖中，相應(yīng)的標(biāo)號(hào)表示相應(yīng)的部件。
收集器1用一合適的排放管道12連接到洗滌浴槽8的循環(huán)管道6上。當(dāng)循環(huán)泵10連續(xù)地使洗滌液循環(huán)通過(guò)洗滌浴槽時(shí)，洗滌浴槽中的其中一小部分排出進(jìn)入排放管道12中，用于輸送到收集器1中。因?yàn)橥ㄟ^(guò)供給管道轉(zhuǎn)移的溶液典型地不返回洗滌浴槽8中，所以最好是使供給管道的直徑減至最小，以防止過(guò)多的消耗洗滌浴槽中的洗滌液。例如，所示實(shí)施例中的排放管道12直徑小于約1/4″，更優(yōu)選的是直徑小于約1/8″，而最優(yōu)選的是直徑小于約1/16″。自動(dòng)分析儀器4緊靠著收集器1設(shè)置，以便于通過(guò)分析儀器利用由收集器收集的樣品。
參看圖2-4，收集器1包括一般是矩形的塊體(block)25，該塊體25由一種材料制成，該材料在充分洗滌之后，不會(huì)將金屬雜質(zhì)浸提到溶液中。例如，所示實(shí)施例的塊體25用Teflon(聚四氟乙烯)制成。
塊體25具有一個(gè)中央廢液槽11和多個(gè)溢流道(OverflowSpillway)7，上述廢液槽11在塊體的上表面內(nèi)部縱向方向上延伸，而溢流道7在塊體的上表面內(nèi)部橫向方向上延伸，它們與該中央廢液槽11連通。廢液槽11和溢流道7一般用它們的標(biāo)號(hào)表示。容器槽7每個(gè)都具有一個(gè)底面27、一個(gè)外端部29和一個(gè)內(nèi)端部31，上述外端部29一般鄰近塊體上表面的橫向邊緣區(qū)設(shè)置，而內(nèi)端部31通到中央廢液槽11。每個(gè)容器槽7的底面27從外端部29向下傾斜到該容器槽的內(nèi)端部31，用于將容器槽中的液體輸送到中央廢液槽11(圖3)。
在塊體中每個(gè)溢流道7的橫向外端部29處，形成若干垂直取向的容器3。各容器3在其上端部處通向溢流道7，以便讓液體從容器溢流排出到中央廢液槽11中。每個(gè)容器的直徑加工成一定尺寸，以便讓自動(dòng)分析儀器4(

圖1)的樣品收集器4向下伸入容器3中，用于收集待分析的樣品。每個(gè)容器3還具有一個(gè)入口17，該入口17一般靠近容器的底部，用于接受流體加入容器中(圖3)。入口17與塊體側(cè)壁中對(duì)應(yīng)的入口孔9連通。入口17的直徑在靠近容器的內(nèi)部處顯著減少，用于控制液體流入容器的流速。入口孔9通過(guò)排放管道12與洗滌浴槽8連通(圖1)，用于接受液體流入收集器1中，以便分析該液體。
特別參考圖4，中央廢液槽11從塊體25的后端朝該塊體的前端向下傾斜，以便使廢液槽11中的液體通向廢液排出管道13。廢液排出管道13具有一出口23，該出口23一般靠近廢液排出管道13的底部，用于排出來(lái)自廢液排出管道13的液體。出口23延伸到塊體25前端中的出口孔15，用于將來(lái)自收集器1的液體排出到一合適的排水系統(tǒng)(未示出)或本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的那種類型下水道中(未示出)。
自動(dòng)分析儀器4(圖1)優(yōu)選地是一種能檢測(cè)液體樣品中痕量雜質(zhì)的常用儀器(比如Hewlett Packard 4500型ICP/MS儀器)。這種儀器包括原子吸收、感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)、毛細(xì)管電泳法、和離子色譜法儀器。
樣品收集裝置40(圖1)優(yōu)選地是一種預(yù)定用于ICP-MS儀器的自動(dòng)取樣器(比如，Cetac 500，它是從Omaha的Cetac購(gòu)買的商品；Gilson 222，它是從England的Gilson購(gòu)買的商品)。典型地，這些裝置包括一個(gè)注射器或其它合適的取樣裝置41，利用一機(jī)器臂(robotic arm)或類似的自動(dòng)化機(jī)構(gòu)，將該取樣裝置41穿過(guò)開(kāi)口5插入容器3中。再通過(guò)自動(dòng)化裝置，注射器從容器3中抽取出洗滌液樣品。然后將注射器從容器中拔出并分析注射器中的雜質(zhì)含量。
在一優(yōu)選實(shí)施例中，收集器1包括一個(gè)以上的容器，以便同時(shí)將多個(gè)洗滌浴槽連接到收集器上。如圖2所示，收集器1具有兩組每組10個(gè)容器3，在中央廢液槽11的每一側(cè)邊上有一組。每一組其中的容器3成串聯(lián)配置，在優(yōu)選實(shí)施例中，它是一行等間距的容器，以便儀器4能按預(yù)定的次序一個(gè)接一個(gè)地逐漸插入容器中。然而，應(yīng)該理解，不脫離本發(fā)明的范圍，收集器1中容器3的配置和數(shù)量可以改變。每個(gè)容器3都連接到它自己的排放管道(未示出)上，以便接收來(lái)自不同洗滌浴槽(未示出)的液體。
在操作時(shí)，循環(huán)泵10從洗滌浴槽8中抽吸洗滌浴液，并將通過(guò)循環(huán)管道6泵送該溶液。循環(huán)泵10在循環(huán)管道6中產(chǎn)生足夠的壓力，以便從循環(huán)管道中連續(xù)地轉(zhuǎn)移其中一部分洗滌浴液，經(jīng)由供給管道12輸送到收集器1。然后溶液經(jīng)由塊體25的入口孔9流入入口17。入口17計(jì)量溶液流入容器3。因?yàn)榻?jīng)由入口17轉(zhuǎn)移的溶液典型地不返回洗滌浴槽8，所以最好是將入口的直徑減至最小，以防過(guò)多的消耗浴槽中的洗滌液。例如，所示實(shí)施例的入口17直徑小于約1/4″，而更優(yōu)選的是直徑小于約1/8″。
容器入口17在容器的底部處將液體輸送到容器3，以便該液體從容器的底部向上流動(dòng)。從底部裝滿容器3防止溶液在容器3中滯流。另外，通過(guò)消除洗滌液的滯流，容器3內(nèi)部的溶液始終保持代表裝在洗滌浴槽8內(nèi)的洗滌液。此外，可能由樣品收集器裝置40的注射器41帶進(jìn)的任何污染物都不會(huì)進(jìn)入洗滌浴槽8。
溶液的持續(xù)流入容器3，使該溶液從容器中溢流進(jìn)入溢流道7。溢流道7的傾斜底面27使溢流的溶液向下流動(dòng)、離開(kāi)容器3并進(jìn)入廢液槽11。廢液槽11接收溢流的溶液，并使廢液流向廢液排出管道13。溢流的溶液經(jīng)由出口23從廢液排出管道中排出，并最終經(jīng)由出口孔15從塊體25排放到合適的排水系統(tǒng)或下水道中。不用閥來(lái)截止從洗滌浴槽8出來(lái)的液流，因而消除了一個(gè)污染源。
利用機(jī)械臂40或類似物將自動(dòng)分析儀器的注射器41或其它取樣裝置選擇性地插入容器3其中之一的上端部。注射器41自動(dòng)地從容器3中抽取洗滌液樣品并從該容器中拔出。然后將注射器41的內(nèi)容物放到自動(dòng)分析儀器4的ICP-MS裝置中。
根據(jù)上面所述，應(yīng)當(dāng)看到，本發(fā)明的幾個(gè)目的已達(dá)到了。本發(fā)明通過(guò)減少對(duì)待分析樣品的潛在污染(如通過(guò)直接的人體接觸或通過(guò)使用受污染的取樣裝置或容器)，有助于得到更準(zhǔn)確可靠的取樣結(jié)果。另外，通過(guò)提供一種收集器，可以在該收集器中保持有代表性的洗滌浴槽樣品，上述收集器具有一容器，該容器適合于使溢流的溶液從收集器流入相應(yīng)的溢流道，由其流入供排放用的廢液槽。這樣，在一規(guī)定時(shí)刻，可以得到進(jìn)入洗滌浴槽的洗滌液中污染物含量范圍的準(zhǔn)確讀數(shù)。連續(xù)供給系統(tǒng)還減少了收集器的復(fù)雜性和機(jī)械故障的危險(xiǎn)。本發(fā)明還不需要閥或其它類似裝置，因而減少了待測(cè)試樣品附加污染的危險(xiǎn)。
和現(xiàn)有的“脫線”法相比，這種收集器有助于減少取樣和分析洗滌浴液所需的時(shí)間，在“脫線”法中，樣品被收集并轉(zhuǎn)移到很遠(yuǎn)的地方用于進(jìn)行分析。通過(guò)利用本發(fā)明的收集器，可以將分析儀器合并為“在線”浴槽分析系統(tǒng)的整體部件。
因?yàn)椴幻撾x的范圍可以在上述收集器中作各種改變，所以打算把上述說(shuō)明中所包括的所有情況都看作是例證性的，并且沒(méi)有限制的意思。
權(quán)利要求
1．收集器，它供在從至少一個(gè)液體源中收集液體樣品用，該收集器用于通過(guò)一自動(dòng)樣品收集裝置收集樣品，收集器包括至少一個(gè)容器，以便接收來(lái)自上述至少一個(gè)液體源中的液體并裝入用于一些得到樣品的液體，該容器具有一個(gè)入口和一個(gè)敞開(kāi)的頂部，上述入口用于接收液體流入容器，而敞開(kāi)的頂部加工成一定尺寸，以便讓樣品收集裝置進(jìn)入容器；一個(gè)溢流道，它與容器敞開(kāi)的頂部成流體連通，用于接收溢出容器敞開(kāi)項(xiàng)部的過(guò)量液體；一個(gè)排出管道，設(shè)置它用于接收從溢流道出來(lái)的液體，該排出管道用于排出收集器中的液體。
2．如權(quán)利要求1所述的收集器，其特征在于，每個(gè)容器制成用于與上述至少一個(gè)液體源連續(xù)敞開(kāi)的流體連通，供連續(xù)從上述至少一個(gè)液體源中進(jìn)入新的液體，因而適合于連續(xù)更新裝在其中的液體。
3．如權(quán)利要求2所述的收集器，其特征在于，該收集器還包括一個(gè)口，用于連接到上述至少一個(gè)液體源上，該孔制成與容器永久敞開(kāi)的流體連通，該收集器不能阻礙從上述至少一個(gè)液體源經(jīng)由孔到容器的流體連通。
4．如權(quán)利要求3所述的收集器，其特征在于，該收集器還包括一個(gè)入口，該入口連接孔和容器，入口加工成一定尺寸，以便控制液體從上述至少一個(gè)液體源流入容器的流速。
5．如權(quán)利要求1所述的收集器，它具有多個(gè)容器和溢流道，用于對(duì)多個(gè)液體源中的液體取樣，每個(gè)溢流道都與一對(duì)應(yīng)的容器相關(guān)聯(lián)。
6．如權(quán)利要求5所述的收集器，具有一個(gè)廢液槽，該廢液槽與溢流道成流體連通，用于運(yùn)走在溢流道下面流動(dòng)的溢流液體。
7．如權(quán)利要求1所述的收集器，其特征在于，各容器配置成以選定的間距間隔開(kāi)的一排，以便于樣品收集裝置的操作。
8．樣品收集和分析系統(tǒng)，它供監(jiān)測(cè)至少一個(gè)液體源中液體的內(nèi)容物用，該系統(tǒng)包括一個(gè)排放管道，它適合于與液體源連續(xù)式敞開(kāi)的流體連通；一個(gè)收集器，它與排放管道成連續(xù)式敞開(kāi)的流體連通，該收集器包括至少一個(gè)容器，以便通過(guò)排放管道接收上述至少一個(gè)液體源中的液體，并裝入一些得到樣品的液體，容器具有一個(gè)入口，該入口用于接收液體從排放管道和敞開(kāi)的頂部進(jìn)入容器；排放管道和收集器設(shè)有能阻礙液體從上述至少一個(gè)液體源流到收集器容器的結(jié)構(gòu)，因而在系統(tǒng)連接到上述至少一個(gè)液體源上時(shí)，液體連續(xù)地流入容器；一個(gè)樣品收集裝置，它用于收集容器中的液體樣品，容器加工成一定尺寸，以便能在其中接受樣品收集裝置；和一個(gè)液體分析裝置，它用于接收樣品收集裝置中的液體，并對(duì)液體雜質(zhì)含量進(jìn)行自動(dòng)分析。
9．如權(quán)利要求8所述的樣品分析和收集器系統(tǒng)，其特征在于，收集器還包括一個(gè)孔，用于與上述至少一個(gè)液體源連接，該孔制成與容器永久敞開(kāi)的流體連通，該收集器不能阻礙從上述至少一個(gè)液體源經(jīng)由孔到容器的流體連通。
10．如權(quán)利要求9所述的樣品分析和收集器系統(tǒng)，其特征在于，收集器還包括一個(gè)連接孔和容器的入口，該入口加工成一定尺寸，以便控制液體從上述至少一個(gè)液體源流入容器的流速。
11．如權(quán)利要求8所述的分析和收集器系統(tǒng)，具有多個(gè)容器和溢流道，該系統(tǒng)用于取樣多個(gè)液體源中的液體，每個(gè)溢流道與一相應(yīng)的容器相關(guān)聯(lián)。
12．如權(quán)利要求11所述的收集器，具有一個(gè)廢液槽，它與溢流道成流體連通，用于運(yùn)走在溢流道下面流動(dòng)的溢流液體。
13．如權(quán)利要求8所述的收集器，其特征在于，各容器配置成一排并以選定的間距間隔開(kāi)，以便于樣品收集裝置操作。
14．如權(quán)利要求8所述的收集器，其特征在于，液體源是半導(dǎo)體片洗滌浴槽，和液體是洗滌溶液。
15．用于收集和分析至少一個(gè)液體源中液體中雜質(zhì)含量的方法，該方法包括將上述至少一個(gè)液體源中的液體經(jīng)由一排放管道連續(xù)地排入收集器的容器中，容器在其底部處有一入口，用于從排放管道和敞開(kāi)的頂部接收液體進(jìn)入容器；將液體連續(xù)地從入口輸送到容器內(nèi)直到容器敞開(kāi)的頂部，以便液體連續(xù)地從容器底部流到敞開(kāi)的頂部，并連續(xù)地溢出容器的頂部，流入收集器的溢流道中；利用自動(dòng)樣品收集裝置從容器中抽吸出液體樣品，將容器加工成一定尺寸，以便能在其中接納樣品收集裝置；將樣品收集裝置中的樣品放入液體分析裝置中；并分析液體的雜質(zhì)含量。
全文摘要
收集器(1)及用于從至少一個(gè)液體源中收集液體樣品的方法,用于樣品的自動(dòng)分析。收集器具有至少一個(gè)容器(3),用于接收液體源中的液體并裝入一些得到樣品的液體。每個(gè)容器(3)都有一個(gè)入口(17)和一個(gè)敞開(kāi)的頂部,上述入口(17)用于輸送相應(yīng)液體源中的液體,而敞開(kāi)的頂部加工成一定尺寸,以便讓樣品收集裝置進(jìn)入容器。收集器還具有一個(gè)溢流道(7),它與容器敞開(kāi)的頂部成流體連通,用于接收溢出容器(3)敞開(kāi)頂部的過(guò)量液體。收集器如此制造,以便液體連續(xù)地流過(guò)收集器。收集器的排出管道(11)接收來(lái)自溢流道的液體,用于排出收集器中的液體。
文檔編號(hào)G01N1/20GK1305584SQ99807176
公開(kāi)日2001年7月25日 申請(qǐng)日期1999年6月4日 優(yōu)先權(quán)日1998年6月8日
發(fā)明者肯尼思·A·魯思, 菲利普·R·施密特 申請(qǐng)人:Memc電子材料有限公司