高精度真空無磁傳輸器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，具體地說是一種高精度真空無磁傳輸器。
【背景技術(shù)】
[0002]真空技術(shù)是制備與測試新材料，模擬空間實(shí)驗(yàn)環(huán)境的關(guān)鍵技術(shù)。在真空環(huán)境中往往需要精密傳輸樣品，同時(shí)要保證不會(huì)破壞真空環(huán)境，尤其是在測試磁敏感材料時(shí)，需要完全杜絕外界磁場干擾。因此必須要求能通過大氣一側(cè)傳輸器的操作，實(shí)現(xiàn)對真空一側(cè)對象高精度控制，且滿足無磁要求。
[0003]現(xiàn)有的真空傳輸裝置，如中國實(shí)用新型專利CN201155323Y公開的“超高真空直線導(dǎo)入推進(jìn)器”，包括刀口法蘭，波紋管，導(dǎo)入棒、外部推動(dòng)桿和定位螺絲。通過推動(dòng)大氣側(cè)外部推動(dòng)桿，驅(qū)動(dòng)波紋管內(nèi)的導(dǎo)入棒活動(dòng)，達(dá)到目標(biāo)位置手?jǐn)Q緊定位螺絲。雖然導(dǎo)入棒可以在真空系統(tǒng)內(nèi)自由直線運(yùn)動(dòng)，但是由于缺乏起穩(wěn)定作用的精密螺桿，在外部大氣壓作用下，每次改變位置，必須先擰松定位螺絲，再手用力扶持外部推動(dòng)桿推拉到目標(biāo)位置，然后再擰緊定位螺絲，如此操作繁瑣，而且擰緊定位螺絲瞬間會(huì)產(chǎn)生微小偏移，難于精確定位。
[0004]另一項(xiàng)中國實(shí)用新型專利CN201409102Y公開的“超高真空二維磁結(jié)合驅(qū)動(dòng)器”，包括外管磁力把手、內(nèi)管磁力把手、二連桿和直線軸承。通過磁結(jié)合，在外側(cè)推動(dòng)外管磁力把手，進(jìn)而帶動(dòng)內(nèi)管磁力把手，進(jìn)而帶動(dòng)與內(nèi)管磁力把手連接的二連桿直線運(yùn)動(dòng)。因其引入了磁場，無法滿足無磁環(huán)境要求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種高精度真空無磁傳輸器，在真空無磁環(huán)境中實(shí)現(xiàn)直線傳輸樣品操作，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。
[0006]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0007]高精度真空無磁傳輸器，包括刀口法蘭，刀口法蘭下部安裝波紋管和外套筒，波紋管在外套筒內(nèi)，波紋管下端固定安裝螺母，波紋管內(nèi)套裝內(nèi)桿，內(nèi)桿中下部為中空，內(nèi)桿下端與波紋管固定連接，螺母內(nèi)配合安裝精密絲杠，精密絲桿上端插入至內(nèi)桿，精密絲杠的下端安裝軸承，軸承的外圈通過頂絲連接外套筒，外套筒的底端套裝手輪，手輪的底部設(shè)置手輪螺絲，手輪螺絲穿過手輪與精密絲桿連接，手輪與精密絲桿能夠同步轉(zhuǎn)動(dòng)；外套筒側(cè)部開設(shè)豎向的導(dǎo)向槽，螺母側(cè)部安裝導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿與導(dǎo)向槽配合。
[0008]如上所述的高精度真空無磁傳輸器，所述的手輪上端外周設(shè)置環(huán)形的刻度線，夕卜套筒下端接近手輪的位置設(shè)置指示箭頭。
[0009]如上所述的高精度真空無磁傳輸器，所述的導(dǎo)向槽外側(cè)的外套筒上設(shè)置豎直排列的刻度線。
[0010]如上所述的高精度真空無磁傳輸器，所述的精密絲桿的導(dǎo)程為1mm。
[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型通過旋轉(zhuǎn)手輪，帶動(dòng)精密絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)內(nèi)螺母，進(jìn)而帶動(dòng)波紋管與內(nèi)桿作直線運(yùn)動(dòng)。到達(dá)目標(biāo)位置后，無需其它操作，即可穩(wěn)定在目標(biāo)位置。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1是本實(shí)用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型半剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]附圖標(biāo)記:1手輪2精密絲杠3導(dǎo)向桿4波紋管5外套筒6刀口法蘭7內(nèi)桿8螺母9軸承10頂絲11導(dǎo)向槽12手輪螺絲。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0016]高精度真空無磁傳輸器，如圖1和圖2所示，包括刀口法蘭6，刀口法蘭6下部安裝波紋管4和外套筒5，波紋管4在外套筒5內(nèi)，波紋管4下端固定安裝螺母8，波紋管4內(nèi)套裝內(nèi)桿7，內(nèi)桿7中下部為中空，內(nèi)桿7下端與波紋管4固定連接，螺母8內(nèi)配合安裝精密絲杠2，精密絲桿2上端插入至內(nèi)桿7，精密絲杠2的下端安裝軸承9，軸承9的外圈通過頂絲10連接外套筒5，外套筒5的底端套裝手輪1，手輪I的底部設(shè)置手輪螺絲12，手輪螺絲12穿過手輪I與精密絲桿2連接，手輪I與精密絲桿2能夠同步轉(zhuǎn)動(dòng)；外套筒5側(cè)部開設(shè)豎向的導(dǎo)向槽11，螺母8側(cè)部安裝導(dǎo)向桿3，導(dǎo)向桿3與導(dǎo)向槽11配合，導(dǎo)向桿3可以起到指示位置的作用。
[0017]具體而言，本實(shí)施例所述的手輪I上端外周設(shè)置環(huán)形的刻度線，外套筒5下端接近手輪I的位置設(shè)置指示箭頭。
[0018]具體的，本實(shí)施例所述的導(dǎo)向槽11外側(cè)的外套筒5上設(shè)置豎直排列的刻度線。
[0019]進(jìn)一步的，本實(shí)施例所述的精密絲桿2的導(dǎo)程為1mm，可使精度達(dá)到0.02mm。
[0020]最后應(yīng)說明的是:以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.高精度真空無磁傳輸器，其特征在于:包括刀口法蘭(6)，刀口法蘭(6)下部安裝波紋管(4)和外套筒(5)，波紋管(4)在外套筒(5)內(nèi)，波紋管(4)下端固定安裝螺母(8)，波紋管(4)內(nèi)套裝內(nèi)桿(7)，內(nèi)桿(7)中下部為中空，內(nèi)桿(7)下端與波紋管(4)固定連接，螺母(8)內(nèi)配合安裝精密絲杠(2)，精密絲桿(2)上端插入至內(nèi)桿(7)，精密絲杠(2)的下端安裝軸承(9)，軸承(9)的外圈通過頂絲(10)連接外套筒(5)，外套筒(5)的底端套裝手輪(1)，手輪(I)的底部設(shè)置手輪螺絲(12)，手輪螺絲(12)穿過手輪(I)與精密絲桿(2 )連接，手輪(I)與精密絲桿(2)能夠同步轉(zhuǎn)動(dòng)；外套筒(5)側(cè)部開設(shè)豎向的導(dǎo)向槽(11)，螺母(8)側(cè)部安裝導(dǎo)向桿(3)，導(dǎo)向桿(3)與導(dǎo)向槽(11)配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度真空無磁傳輸器，其特征在于:所述的手輪(I)上端外周設(shè)置環(huán)形的刻度線，外套筒(5)下端接近手輪(I)的位置設(shè)置指示箭頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度真空無磁傳輸器，其特征在于:所述的導(dǎo)向槽(11)外側(cè)的外套筒(5)上設(shè)置豎直排列的刻度線。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度真空無磁傳輸器，其特征在于:所述的精密絲桿(2)的導(dǎo)程為Imm0
【專利摘要】高精度真空無磁傳輸器，包括刀口法蘭,刀口法蘭下部安裝波紋管和外套筒，波紋管在外套筒內(nèi)，波紋管下端固定安裝螺母，波紋管內(nèi)套裝內(nèi)桿，內(nèi)桿中下部為中空，內(nèi)桿下端與波紋管固定連接，螺母內(nèi)配合安裝精密絲杠，精密絲桿上端插入至內(nèi)桿，精密絲杠的下端安裝軸承，軸承的外圈通過頂絲連接外套筒，外套筒的底端套裝手輪，手輪的底部設(shè)置手輪螺絲，手輪螺絲穿過手輪與精密絲桿連接，手輪與精密絲桿能夠同步轉(zhuǎn)動(dòng)；外套筒側(cè)部開設(shè)豎向的導(dǎo)向槽，螺母側(cè)部安裝導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿與導(dǎo)向槽配合。本實(shí)用新型通過旋轉(zhuǎn)手輪，帶動(dòng)精密絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)內(nèi)螺母，進(jìn)而帶動(dòng)波紋管與內(nèi)桿作直線運(yùn)動(dòng)。到達(dá)目標(biāo)位置后，無需其它操作，即可穩(wěn)定在目標(biāo)位置。
【IPC分類】F16H25-20, F16H25-24
【公開號】CN204387239
【申請?zhí)枴緾N201420842296
【發(fā)明人】劉海云
【申請人】劉海云
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月28日