本發(fā)明屬于流量閥領(lǐng)域，尤其涉及一種微小流量調(diào)節(jié)閥。

背景技術(shù)：

在醫(yī)療、化工藥劑輸送和精密液壓控制等技術(shù)領(lǐng)域，經(jīng)常需要微小流量的精確控制。

目前的微小流量控制技術(shù)存在著很多缺點(diǎn)，例如：對于小結(jié)構(gòu)閥芯的調(diào)節(jié)閥，一旦小結(jié)構(gòu)閥芯被磨損后，其流量控制精度將會大大降低；對于一些流量閥的流量與縫隙的關(guān)系則存在著較大的非線性特性，在流量閥初始開度時(shí)流量變化不明顯，當(dāng)增大到一定開度后，流量將迅速增加；還有一些調(diào)節(jié)閥則結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工難度較大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種微小流量調(diào)節(jié)閥，包括閥體、閥芯，所述閥芯為軸狀并匹配插入所述閥體的內(nèi)腔，在所述閥芯和所述閥體之間沿閥芯軸向間隔設(shè)有第一密封構(gòu)件和第二密封構(gòu)件用以密封所述閥芯與所述閥體之間的縫隙，兩個(gè)密封構(gòu)件其一與所述閥芯固定，另一與所述閥體固定，在所述閥體上且位于內(nèi)腔軸向中部設(shè)有與內(nèi)腔相通的進(jìn)液口和出液口，通過所述閥芯在所述閥體內(nèi)腔中的軸向運(yùn)動來改變兩密封構(gòu)件之間的間距進(jìn)而改變液體流動通道的大小。

進(jìn)一步地，所述閥芯為t型一體式軸，所述閥芯包括小徑軸和大徑軸，其中：所述第一密封構(gòu)件包括：第一定位導(dǎo)向套、第一軸向壓塊、密封圈支撐片、第一定位槽口、第一導(dǎo)向環(huán)及外滑動密封圈，自小徑軸的端部起依次設(shè)置有所述第一定位導(dǎo)向套、第一軸向壓塊、密封圈支撐片，所述第一定位導(dǎo)向套與所述閥體之間存在間隙，所述第一定位導(dǎo)向套的徑向外側(cè)開設(shè)有所述第一定位槽口，所述第一定位槽口中設(shè)置有所述第一導(dǎo)向環(huán)，所述第一導(dǎo)向環(huán)與所述閥體內(nèi)表面緊密接觸，所述密封圈支撐片與所述小徑軸之間設(shè)有沿閥芯徑向伸縮的支撐片彈簧，多個(gè)支撐片彈簧沿小徑軸周向均勻分布形成支撐片彈簧組，沿小徑軸軸向設(shè)置有多組支撐片彈簧組，所述密封圈支撐片與所述閥體內(nèi)表面之間還設(shè)置有所述外滑動密封圈；所述第一軸向壓塊沿閥芯軸向分別抵頂所述第一定位導(dǎo)向套及所述外滑動密封圈，所述第二密封構(gòu)件固定于閥體容腔內(nèi)，保證所述第二密封構(gòu)件在所述閥體內(nèi)無軸向方向的運(yùn)動，所述第二密封構(gòu)件包括：第二定位導(dǎo)向套、第二軸向壓塊、密封圈壓緊片、密封圈外套件、第二定位槽口及內(nèi)滑動密封圈，自大徑軸的端部起依次設(shè)置有所述第二定位導(dǎo)向套、第二軸向壓塊、密封圈壓緊片，所述第二定位導(dǎo)向套與所述閥芯之間存在間隙，所述第二定位導(dǎo)向套的徑向內(nèi)側(cè)開設(shè)有所述第二定位槽口，所述第二定位槽口中設(shè)置有所述第二導(dǎo)向環(huán)，所述第二導(dǎo)向環(huán)與所述閥芯外表面緊密接觸，所述密封圈壓緊片與所述大徑軸之間設(shè)置有內(nèi)滑動密封圈，所述密封圈壓緊片與所述閥體內(nèi)表面之間設(shè)置所述密封圈外套件，所述密封圈壓緊片與所述密封圈外套件之間設(shè)有沿閥芯徑向伸縮的壓緊片彈簧，多個(gè)壓緊片彈簧沿大徑軸周向均勻分布形成壓緊片彈簧組，沿大徑軸軸向設(shè)置有多組壓緊片彈簧組，所述第二軸向壓塊沿閥芯軸向分別抵頂所述第二定位導(dǎo)向套及所述內(nèi)滑動密封圈。

進(jìn)一步地，位于所述外滑動密封圈與所述內(nèi)滑動密封圈之間的閥芯，與所述閥體之間存在縫隙。

優(yōu)選地，四片密封圈支撐片在所述小徑軸的周向均布設(shè)置形成密封圈支撐片組，所述密封圈支撐片和所述閥芯之間對應(yīng)開設(shè)有支撐片彈簧凹槽，所述支撐片彈簧凹槽內(nèi)的預(yù)壓縮的支撐片彈簧使所述密封圈支撐片在徑向方向上獲得背離閥芯運(yùn)動的趨勢；

四片密封圈壓緊片在所述大徑軸的周向均布設(shè)置形成密封圈壓緊片組，所述密封圈壓緊片和所述密封圈外套件之間對應(yīng)開設(shè)有壓緊片彈簧凹槽，所述壓緊片彈簧凹槽內(nèi)的預(yù)壓縮的壓緊片彈簧使所述密封圈壓緊片在徑向方向上獲得朝向閥芯運(yùn)動的趨勢。

進(jìn)一步地，所述第一定位導(dǎo)向套的軸向端部開設(shè)有第一凹槽，所述凹槽內(nèi)放置有第一壓塊彈簧，所述第一壓塊彈簧兩端沿閥芯軸向分別抵頂?shù)谝话疾奂八龅谝惠S向壓塊。

進(jìn)一步地，所述第二定位導(dǎo)向套的軸向端部開設(shè)有第二凹槽，所述凹槽內(nèi)放置有第二壓塊彈簧，所述第二壓塊彈簧兩端沿閥芯軸向分別抵頂?shù)诙疾奂八龅诙S向壓塊。

優(yōu)選地，所述密封圈支撐片的兩端的第一軸向凹槽內(nèi)均安裝有第一端面滾珠，所述第一端面滾珠在所述密封圈支撐片的徑向方向的數(shù)量為4個(gè)。

進(jìn)一步地，所述密封圈壓緊片的兩端的第二軸向凹槽內(nèi)均安裝有第二端面滾珠，所述第二端面滾珠在所述密封圈壓緊片的徑向方向的數(shù)量為4個(gè)。

進(jìn)一步地，所述第一定位導(dǎo)向套與所述閥體之間設(shè)置有第一密封圈，所述第一定位導(dǎo)向套通過固定螺母與所述小徑軸固定連接；

所述第二定位導(dǎo)向套與所述閥芯之間設(shè)置有第二密封圈，所述第二定位導(dǎo)向套通過固定板固定于所述閥體上；

所述第二導(dǎo)向定位套與所述密封圈外套件之間還設(shè)置有密封墊片。

進(jìn)一步地，所述小徑軸的端部安裝氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和智能定位器，所述氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)與儀表氣源連接。

本發(fā)明的一種微小流量調(diào)節(jié)閥的優(yōu)點(diǎn)在于：

1.本發(fā)明設(shè)計(jì)的一種微小流量調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥的流量與縫隙寬度之間存在著線性關(guān)系，使得流量控制更加簡單。

2.本發(fā)明設(shè)計(jì)的一種微小流量調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥的閥芯和閥體之間的縫隙寬度較大，從而很好地降低了對執(zhí)行機(jī)構(gòu)的要求。

3.本發(fā)明設(shè)計(jì)的一種微小流量調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥的閥體和閥芯之間設(shè)置的滑動密封圈可以自動補(bǔ)償磨損量，保證了液壓油不泄露。

4.本發(fā)明設(shè)計(jì)的一種微小流量調(diào)節(jié)閥，通過閥芯相對閥體的移動，從而改變內(nèi)滑動密封圈和外滑動密封圈之間的距離，從而改變兩者之間的縫隙長度，實(shí)現(xiàn)了液壓油流量的控制。

附圖說明

圖1是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥a-a向的局部剖視圖。

圖3是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥i處局部放大圖。

圖4是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥ii處局部放大圖。

圖5是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥基本原理示意圖。

圖6是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥中閥體、進(jìn)液口、出液口、閥芯之間的徑向位置關(guān)系示意圖。

圖7是本發(fā)明微小流量調(diào)節(jié)閥中閥體、進(jìn)液口、出液口、閥芯之間的軸向位置關(guān)系示意圖。

其中，1-閥體、2-閥芯、3-固定螺母、4-第一定位導(dǎo)向套、5-第一導(dǎo)向環(huán)、6-第一密封圈、7-第一壓塊彈簧、8-第一軸向壓塊、9-第一端面滾珠、10-密封圈支撐片、11-支撐片彈簧、12-外滑動密封圈、13-內(nèi)滑動密封圈、14-密封圈壓緊片、15-密封圈外套件、16-壓緊片彈簧、17-密封墊片、18-第二端面滾珠、19-第二軸向壓塊、20-第二壓塊彈簧、21-第二密封圈、22-第二定位導(dǎo)向套、23-第二導(dǎo)向環(huán)、24-固定板、25-進(jìn)液口、26-出液口；

t-閥體與閥芯之間的縫隙寬度；

b-進(jìn)液口與出液口在軸向方向的寬度；

q-液體流量。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖，對本發(fā)明的一種微小流量調(diào)節(jié)閥進(jìn)行進(jìn)一步地詳細(xì)說明。

根據(jù)本發(fā)明圖1所示的微小流量調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明的流量調(diào)節(jié)閥主體結(jié)構(gòu)是閥體1和閥芯2，所述閥芯2為t型一體式軸，所述閥體1內(nèi)部設(shè)置有與所述閥芯2匹配的內(nèi)腔，所述閥芯2包括小徑軸和大徑軸，所述小徑軸與所述大徑軸為一體式無縫連接。所述閥體1與閥芯2之間存在著縫隙，所述閥體1與所述閥芯2之間還設(shè)置有相應(yīng)地密封構(gòu)件，所述密封構(gòu)件包括與小徑軸相配合的第一密封構(gòu)件，與大徑軸相配合的第二密封構(gòu)件，其中，所述第一密封構(gòu)件包括：第一定位導(dǎo)向套4、第一軸向壓塊8、密封圈支撐片10、第一定位槽口、第一導(dǎo)向環(huán)5及外滑動密封圈12，自小徑軸的端部起依次設(shè)置有所述第一定位導(dǎo)向套4、第一軸向壓塊8、密封圈支撐片10，所述第一定位導(dǎo)向套4與所述閥體1之間存在間隙，所述第一定位導(dǎo)向套4的徑向外側(cè)開設(shè)有所述第一定位槽口，所述第一定位槽口中設(shè)置有所述第一導(dǎo)向環(huán)23，所述第一導(dǎo)向環(huán)23與所述閥體1內(nèi)表面緊密接觸，所述密封圈支撐片10與所述小徑軸之間設(shè)有沿閥芯2徑向伸縮的支撐片彈簧11，多個(gè)支撐片彈簧11沿小徑軸周向均勻分布形成支撐片彈簧組，沿小徑軸軸向設(shè)置有多組支撐片彈簧組，所述密封圈支撐片10與所述閥體1內(nèi)表面之間還設(shè)置有所述外滑動密封圈12；所述第一軸向壓塊8沿閥芯軸向分別抵頂所述第一定位導(dǎo)向套4及所述外滑動密封圈12。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第二密封構(gòu)件固定于閥體1容腔內(nèi)，保證所述第二密封構(gòu)件在所述閥體1內(nèi)無軸向方向的運(yùn)動，所述第二密封構(gòu)件包括：第二定位導(dǎo)向套22、第二軸向壓塊19、密封圈壓緊片14、密封圈外套件15、第二定位槽口及內(nèi)滑動密封圈13，自大徑軸的端部起依次設(shè)置有所述第二定位導(dǎo)向套22、第二軸向壓塊19、密封圈壓緊片14，所述第二定位導(dǎo)向套22與所述閥芯2之間存在間隙，所述第二定位導(dǎo)向套22的徑向內(nèi)側(cè)開設(shè)有所述第二定位槽口，所述第二定位槽口中設(shè)置有所述第二導(dǎo)向環(huán)23，所述第二導(dǎo)向環(huán)23與所述閥芯2外表面緊密接觸，所述密封圈壓緊片14與所述大徑軸之間設(shè)置有內(nèi)滑動密封圈13，所述密封圈壓緊片14與所述閥體1內(nèi)表面之間設(shè)置所述密封圈外套件15，所述密封圈壓緊片14與所述密封圈外套件15之間設(shè)有沿閥芯2徑向伸縮的壓緊片彈簧16，多個(gè)壓緊片彈簧16沿大徑軸周向均勻分布形成壓緊片彈簧組，沿大徑軸軸向設(shè)置有多組壓緊片彈簧組，所述第二軸向壓塊19沿閥芯2軸向分別抵頂所述第二定位導(dǎo)向套22及所述內(nèi)滑動密封圈13。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，在所述閥體1上且位于內(nèi)腔軸向中部設(shè)有與內(nèi)腔相通的進(jìn)液口25和出液口26，通過所述閥芯2在所述閥體1內(nèi)腔中的軸向運(yùn)動來改變兩密封構(gòu)件之間的間距進(jìn)而改變液體流動通道的大小。即所述閥體1的徑向方向上對應(yīng)設(shè)置進(jìn)液口25和出液口26，所述出液口26與所述進(jìn)液口25在徑向方向呈直線布置，所述進(jìn)液口25與所述出液口26連通，通過所述閥芯2在閥體1內(nèi)部軸向方向的運(yùn)動，從而改變進(jìn)液口25與出液口26之間的所述縫隙的寬度，進(jìn)而改變流量的大小。

本發(fā)明的微小流量調(diào)節(jié)閥，可用于調(diào)節(jié)任何液體的流量大小。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第一定位導(dǎo)向套4與所述閥體1之間存在間隙，所述第一定位導(dǎo)向套4的徑向外側(cè)開設(shè)有第一定位槽口，所述定位槽口中安裝設(shè)置有第一導(dǎo)向環(huán)5，所述第一導(dǎo)向環(huán)5與所述閥體1內(nèi)表面緊密接觸，所述密封圈支撐片10與所述小徑軸的軸向方向設(shè)置有多組支撐片彈簧組，所述密封圈支撐片10與所述閥體1內(nèi)表面之間還設(shè)置有外滑動密封圈12。所述外滑動密封圈12用于密封所述閥體1與所述閥芯2之間的縫隙。所述密封圈支撐片10通過閥芯2上的軸向凸臺導(dǎo)向，保證所述閥芯2無軸向方向的轉(zhuǎn)動，所述軸向凸臺為大徑軸與小徑軸的連接位置處，因大徑軸的直徑大于小徑軸的直徑，因此，在閥芯2上形成了軸向的凸臺。且密封圈支撐片10和閥芯2之間有支撐片彈簧11被壓縮，使密封圈支撐片10在徑向上有一個(gè)向外的運(yùn)動趨勢，保證外滑動密封圈12與閥體1內(nèi)表面良好接觸，液壓油不泄漏。所述密封圈支撐片10兩個(gè)端面凹槽里分別設(shè)置有4個(gè)第一端面滾珠9，保證了密封圈支撐片10在軸向上無相對運(yùn)動的同時(shí)，不影響徑向運(yùn)動以自動補(bǔ)給外滑動密封圈12的磨損量。所述第一軸向壓塊8以第一壓塊彈簧7的彈簧力壓緊外滑動密封圈12，使之相對閥芯2無軸向移動。所述第一壓塊彈簧7放置在所述第一定位導(dǎo)向套4的凹槽內(nèi)。所述第一定位導(dǎo)向套4上安裝有第一導(dǎo)向環(huán)5和第一密封圈6。所述第一導(dǎo)向環(huán)5和所述第一密封圈6的設(shè)置不僅對所述閥芯2起到很好的導(dǎo)向作用，而且對密封圈支撐片10進(jìn)行了軸向的定位。所述第一定位導(dǎo)向套4被固定螺母3固定在閥芯2上。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述第二密封構(gòu)件自大徑軸的端部起依次設(shè)置有第二定位導(dǎo)向套22、第二軸向壓塊19、內(nèi)滑動密封圈13，所述第二定位導(dǎo)向套22與所述閥芯1之間存在間隙，所述第二定位導(dǎo)向套22的徑向內(nèi)側(cè)開設(shè)有第二定位槽口，所述定位槽口中設(shè)置有第二導(dǎo)向環(huán)23，所述第二導(dǎo)向環(huán)23與所述閥芯1外表面緊密接觸，所述內(nèi)滑動密封圈13與所述閥體1之間沿徑向方向從內(nèi)到外依次設(shè)置有密封圈壓緊片14和密封圈外套件15，所述密封圈壓緊片14與所述密封圈外套件15之間還設(shè)置有多組壓緊片彈簧組。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所述閥體1主體類似一個(gè)套筒，其上的內(nèi)滑動密封圈13通過被壓緊片彈簧16的彈簧力作用的4片密封圈壓緊片14，壓緊在閥芯2上，保證液壓油不泄漏。密封圈外套件15內(nèi)圓上的軸向凹槽與密封圈壓緊片14外圓上的軸向凸臺結(jié)合，保證密封圈壓緊片14無軸向轉(zhuǎn)動。所述密封圈外套件15兩端面的密封墊片17保證了液壓油不泄漏。密封圈壓緊片14兩個(gè)端面凹槽里分別有4個(gè)第二端面滾珠18，保證密封圈壓緊片14在軸向上無相對運(yùn)動的同時(shí)，不影響徑向運(yùn)動以自動補(bǔ)給內(nèi)滑動密封圈13的磨損量。所述第二軸向壓塊19以第二壓塊彈簧20的彈簧力壓緊內(nèi)滑動密封圈13，使之相對閥體1無軸向移動。所述第二壓塊彈簧20放置在所述第二定位導(dǎo)向套22凹槽內(nèi)。所述第二定位導(dǎo)向套22上安裝有第二導(dǎo)向環(huán)23和第二密封圈21，對閥芯2起到導(dǎo)向作用，同時(shí)對密封圈壓緊片14進(jìn)行軸向定位。所述第二定位導(dǎo)向套22被固定板24固定在閥體1上。密封圈外套件15、密封圈壓緊片14及內(nèi)滑動密封圈13被第二導(dǎo)向環(huán)23和閥體內(nèi)腔臺階面軸向夾持。

根據(jù)本發(fā)明中圖2所示的微小流量調(diào)節(jié)閥a-a向的局部剖視圖，所述密封圈支撐片組包括四片密封圈支撐片10，所述四片密封圈支撐片10在所述小徑軸的徑向方向均布設(shè)置；所述密封圈支撐片10和所述閥芯2之間對應(yīng)開設(shè)有支撐片彈簧凹槽，通過壓縮所述支撐片彈簧凹槽內(nèi)的支撐片彈簧11使所述密封圈支撐片10在徑向方向上獲得向外運(yùn)動的趨勢，并且保證了所述外滑動密封圈12與所述閥體1內(nèi)表面的良好接觸。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例所述密封圈壓緊片組包括四片密封圈壓緊片14，所述四片密封圈壓緊片14在所述大徑軸的徑向方向均布設(shè)置，所述密封圈壓緊片14和所述密封圈外套件15之間對應(yīng)開設(shè)有壓緊片彈簧凹槽，通過壓縮所述壓緊片彈簧凹槽內(nèi)的壓緊片彈簧16使所述密封圈壓緊片14在徑向方向上獲得向外運(yùn)動的趨勢。

以上，所列出的所述密封圈支撐片10、支撐片彈簧11、密封圈壓緊片14、壓緊片彈簧16的個(gè)數(shù)優(yōu)選為4個(gè)，在實(shí)際生產(chǎn)及應(yīng)用過程中，可以對所述密封圈支撐片10、支撐片彈簧11、密封圈壓緊片14、壓緊片彈簧16的個(gè)數(shù)進(jìn)行相應(yīng)地調(diào)整。

根據(jù)本發(fā)明中圖3所示的微小流量調(diào)節(jié)閥i處局部放大圖以及圖4所示的微小流量調(diào)節(jié)閥ii處局部放大圖。所述閥體1與閥芯2之間存在著較大的縫隙寬度，從而很好地降低了對執(zhí)行機(jī)構(gòu)的要求。

根據(jù)本發(fā)明中圖5所示的微小流量調(diào)節(jié)閥基本原理示意圖，其中，b為進(jìn)液口與出液口在軸向方向的寬度，t為閥體與閥芯之間的縫隙寬度，q為液體流量，通過閥芯2相對閥體1在軸向方向的運(yùn)動，從而改變內(nèi)滑動密封圈13與外滑動密封圈12之間的距離，進(jìn)而使得進(jìn)液口25與出液口26軸向方向能夠通過液體的寬度減小，從而實(shí)現(xiàn)了流量的控制。而本發(fā)明中的外滑動密封圈12與內(nèi)滑動密封圈13則保證了閥體1與閥芯2之間縫隙的有效密封。

根據(jù)本發(fā)明中圖6所示的微小流量調(diào)節(jié)閥中閥體、進(jìn)液口、出液口、閥芯之間的徑向位置關(guān)系示意圖，所述出液口26與所述進(jìn)液口25相對設(shè)置于同一直線上，所述閥體1與閥芯2之間存在著較大的縫隙寬度，從進(jìn)液口25進(jìn)入的液體通過閥體1與閥芯2之間的縫隙寬度到達(dá)所述出液口26，并有出液口26將液體排出。

根據(jù)本發(fā)明中圖7所示的微小流量調(diào)節(jié)閥中閥體、進(jìn)液口、出液口、閥芯之間的軸向位置關(guān)系示意圖，所述閥芯2向右運(yùn)動，即所述外滑動密封圈12靠近所述內(nèi)滑動密封圈13，虛線部分表示被外滑動密封圈12密封后的縫隙，虛線部分的縫隙將不能進(jìn)、出液體，而實(shí)線部分則表示未被外滑動密封圈12密封的縫隙，實(shí)線部分的縫隙可以進(jìn)、出液體，隨著外滑動密封圈12越靠近所述內(nèi)滑動密封圈13，進(jìn)出液體的縫隙也會相應(yīng)地變小，此時(shí)，液體流量的大小與軸向縫隙寬度的大小成線性關(guān)系。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，本發(fā)明的微小流量調(diào)節(jié)閥的安裝使用方法如下：根據(jù)所在微小流量控制管道的接口結(jié)構(gòu)和尺寸大小，配做調(diào)節(jié)閥進(jìn)液口和出液口接口，并安裝閥體1。所述閥芯2有固定螺母3的一端安裝氣動執(zhí)行器和智能定位器。氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)與儀表氣源連接，智能定位器閥位給定和反饋線接入plc系統(tǒng)，并在監(jiān)控畫面設(shè)計(jì)閥位給定輸入框和閥位反饋顯示框。根據(jù)流量調(diào)節(jié)要求，手動給定閥位位置信號，控制微小流量。也可以通過pid等其他智能控制方法，手動輸入期望流量，智能控制閥門開度。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必針對的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。