1.一種波紋管密封的高壓氣動(dòng)比例減壓閥，其特征在于，包括閥體、安裝在閥體內(nèi)的上閥芯組件和下閥芯組件、進(jìn)氣開關(guān)閥(16)、排氣開關(guān)閥(17)、控制器(27)等；
所述上閥芯組件由第一安裝螺母(11)、第一波紋管(1)、第一導(dǎo)向軸(5)、第二波紋管(2)、第二導(dǎo)向軸(6)從上至下依次焊接而成；所述第二波紋管(2)和第二導(dǎo)向軸(6)中穿設(shè)有閥芯(28)，閥芯(28)的一端固定在第一導(dǎo)向軸(5)上，閥芯(28)的外壁從上至下具有第一凸臺(tái)(29)和第二凸臺(tái)(30)，第一凸臺(tái)(29)位于第二導(dǎo)向軸(6)的下端部；閥芯(28)中沿軸線開有第一通氣孔(23)，閥芯(28)的側(cè)壁開有第二通氣孔(24)和第三通氣孔(25)，第二通氣孔(24)和第三通氣孔(25)分別與第一通氣孔(23)相通；第二通氣孔(24)與第二波紋管(2)相通；
所述下閥芯組件包括法蘭端蓋(13)、第四波紋管(4)、第三導(dǎo)向軸(7)、第三波紋管(3)、第二安裝螺母(12)，所述法蘭端蓋(13)、第四波紋管(4)、第三導(dǎo)向軸(7)依次焊接，所述第三波紋管(3)和第二安裝螺母(12)均套在第三導(dǎo)向軸(7)上，第三波紋管(3)的一端與第三導(dǎo)向軸(7)焊接，第三波紋管(3)的另一端與第二安裝螺母(12)焊接，第二安裝螺母(12)旋接在閥體內(nèi)；
在上閥芯組件和下閥芯組件連接處安裝有閥座(21)，所述閥座(21)為中空?qǐng)A柱體，圓柱體側(cè)壁上開有貫通孔；所述第二導(dǎo)向軸(6)和第三導(dǎo)向軸(7)為空心軸；所述第一安裝螺母(11)固定連接在閥體上端，所述法蘭端蓋(13)固定連接在閥體下端，第一安裝螺母(11)上開有相交的第一通道和第二通道；
所述閥體上開有進(jìn)氣口(14)、出氣口(15)和溢流口(22)，所述進(jìn)氣口(14)與第三波紋管(3)相通，進(jìn)氣開關(guān)閥(16)的進(jìn)氣端與進(jìn)氣口(14)相連通，進(jìn)氣開關(guān)閥(16)的出氣端和第一通道的一端相通，第一通道的另一端與排氣開關(guān)閥(17)的進(jìn)氣口相通，第二通道的一端通過第一壓力傳感器封堵，第二通道的另一端與第一波紋管(1)相通，所述出氣口(15)處安裝有第二壓力傳感器；第三通氣孔(25)與出氣口(15)相通，第一通氣孔(23)與第三導(dǎo)向軸(7)相通；
所述第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、進(jìn)氣開關(guān)閥(16)和排氣開關(guān)閥(17)均與控制器(27)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋管密封的高壓氣動(dòng)比例減壓閥，其特征在于，所述第一導(dǎo)向軸(5)穿設(shè)在第一直線滾珠軸承(8)上，所述第二導(dǎo)向軸(6)穿設(shè)在第二直線滾珠軸承(9)上，所述第三導(dǎo)向軸(7)穿設(shè)在第三直線滾珠軸承(10)上，所述第一直線滾珠軸承(8)、第二直線滾珠軸承(9)和第三直線滾珠軸承(10)均固定安裝在閥體內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋管密封的高壓氣動(dòng)比例減壓閥，其特征在于，所述閥座(21)與閥體過盈配合，閥座(21)的中空?qǐng)A柱體外壁兩端附近具有兩個(gè)安裝橡膠密封圈的溝槽。