技術(shù)特征：

1.一種耐高溫、高可靠性的閥門，其特征在于：包括和坩堝底部通口相連的閥體，閥體配合有閥芯，閥體和閥芯的材質(zhì)為氮化硅或碳化硅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐高溫、高可靠性的閥門，其特征在于：所述閥體由碳化硅材質(zhì)制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐高溫、高可靠性的閥門，其特征在于：所述閥芯由氮化硅材質(zhì)制成。