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隔膜閥、流體控制裝置、半導(dǎo)體制造裝置以及半導(dǎo)體制造方法與流程

文檔序號:12166434閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
在閥體(2)凹處(2c)底面(14)的平坦部(14b)上以包含流體流出通路(2b)的在凹處(2c)的底面(14)開口的部分的方式設(shè)置有沉頭孔(15)。

技術(shù)研發(fā)人員:渡邊一誠;四方出
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會社富士金
文檔號碼:201580033240
技術(shù)研發(fā)日:2015.06.17
技術(shù)公布日:2017.03.01

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