本發(fā)明涉及矩形閘真空閥、其工作方法及具有其的半導(dǎo)體制造裝置，更具體地涉及如下的矩形閘真空閥及其工作方法及具有其的半導(dǎo)體制造裝置：可在相同的空間內(nèi)實現(xiàn)對兩側(cè)閘的密封(sealing)工作，因此可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行兩側(cè)閘的密封的半導(dǎo)體工序。

背景技術(shù)：

由于半導(dǎo)體需要高精度，因此在具有高清潔度的潔凈室(clean room)中通過特殊的制造技術(shù)來進行制造。

當(dāng)制造半導(dǎo)體時，由于真空作業(yè)區(qū)域和大氣區(qū)域的密封技術(shù)也對半導(dǎo)體的品質(zhì)帶來多的影響，因此，通常在可最完全阻隔與包含于空氣中的異物相接觸的真空狀態(tài)下制造。

因此，在半導(dǎo)體制造設(shè)備中廣泛使用作為用于選擇性地造成腔室的真空環(huán)境的機構(gòu)的閘閥(gate valve)。

眾所周知，公知有多種閘閥，但是一般主要利用矩形閘真空閥。

理所當(dāng)然地，除了用于制造半導(dǎo)體的腔室之外，還可使用用于液晶顯示器(LCD)蒸鍍的蒸鍍腔室，例如，在處理腔室和料腔室或料腔室和負載鎖定腔室之間也可使用真空閥。

真空閥可分類為單向閥和雙向閥兩種，這些閥可根據(jù)相應(yīng)工序的特性來進行選擇并適用。

這種矩形閘真空閥具有盤(disk)對開口的矩形閘進行開閉的方式。

簡單觀察工作，處于打開狀態(tài)(open mode)的盤和與其相連接的軸(main shaft)的上升一同進入閘框架內(nèi)(關(guān)閉模式，close mode)，結(jié)束進入之后，一邊產(chǎn)生略微的角度位移，一邊關(guān)閉在閘框架呈開口狀態(tài)的閘并進行密封(推動模式，pushmode)。

之后，再次與軸的下降一同盤下降，并開閘，以適合于工序的狀況的方式反復(fù)進行這種工序，并形成真空或解除真空。

最終，矩形閘真空閥可稱為一同適用直線運動機制和上死點中的旋轉(zhuǎn)運動機制的閥，當(dāng)前正廣發(fā)使用這種方式。

但是，在當(dāng)前正使用的矩形閘真空閥的情況下，由于具有僅用于開閉一側(cè)的閘的結(jié)構(gòu)，因此存在有可能或多或少降低閘的利用度的問題。

例如，無法實現(xiàn)在相同的空間內(nèi)對兩側(cè)閘的密封(sealing)工作，因此無法對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行兩側(cè)閘的密封的半導(dǎo)體工序的問題，當(dāng)考慮到這一點時，就需要對此的技術(shù)開發(fā)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻：

韓國專利廳申請?zhí)柕?0-1987-0011712號

韓國專利廳申請?zhí)柕?0-1998-0040974號

韓國專利廳申請?zhí)柕?0-2007-0114829號

韓國專利廳申請?zhí)柕?0-2012-7028963號

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的在于，提供矩形閘真空閥、其工作方法及具有其的半導(dǎo)體制造裝置，可在相同的空間內(nèi)實現(xiàn)對兩側(cè)閘的密封(sealing)工作，因此可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行兩側(cè)閘的密封的半導(dǎo)體工序。

(二)技術(shù)方案

上述目的通過矩形閘真空閥實現(xiàn)，上述矩形閘真空閥的特征在于，包括：閘框架，在相向的兩側(cè)面形成有第一閘和第二閘；第一閥單元，以可通過上述閘框架的下部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第一閘；以及第二閥單元，以可通過上述閘框架的上部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第二閘。

上述第一閥單元可包括：第一開閉用盤，用于選擇性地開閉上述第一閘；第一單元軸，與上述第一開閉用盤相連接，用于使上述第一開閉用盤直線移動；以及第一旋轉(zhuǎn)部，與上述第一單元軸相結(jié)合，來使上述第一單元軸旋轉(zhuǎn)。

上述第二閥單元包括：第二開閉用盤，用于選擇性地開閉上述第二閘；第二單元軸，與上述第一開閉用盤相連接，用于使上述第一開閉用盤直線移動；以及第二旋轉(zhuǎn)部，與上述第二單元軸相結(jié)合，來使上述第二單元軸旋轉(zhuǎn)。

在上述第一開閉用盤及第二開閉用盤可設(shè)置有密封用壓接環(huán)。

上述第一閘和上述第二閘的大小可相同或不同。

本發(fā)明還可包括：信號發(fā)生器，用于產(chǎn)生上述第一閘和上述第二閘的開閉信號；以及控制器，基于來自上述信號發(fā)生器的輸入信息，對上述第一閥單元和上述第二閥單元的工作進行控制。

另一方面，上述目的還通過矩形閘真空閥的工作方法實現(xiàn)，上述矩形閘真空閥的工作方法的特征在于，包括：第一閥單元進入步驟，借助第一單元軸的工作，第一閥單元的第一開閉用盤通過閘框架的下部開口以傾斜地向上述閘框架內(nèi)進行直線移動的方式進入；第一閥單元旋轉(zhuǎn)步驟，由第一旋轉(zhuǎn)部，上述第一閥單元產(chǎn)生相當(dāng)于預(yù)先確定的角度的位移并進行旋轉(zhuǎn)；以及第一閘密封步驟，利用上述第一閘加壓上述第一開閉用盤，來使上述第一開閉用盤的第一密封用壓接環(huán)壓接于上述第一閘的周邊面，并通過關(guān)閉上述第一閘來進行密封。

本發(fā)明還包括：第一閥單元回歸原位步驟，上述第一閥單元向原位回歸；第二閥單元進入步驟，借助第二單元軸的工作，第二閥單元的第二開閉用盤通過閘框架的上部開口以傾斜地向上述閘框架內(nèi)進行直線移動的方式進入；第二閥單元旋轉(zhuǎn)步驟，由第二旋轉(zhuǎn)部上述第二閥單元產(chǎn)生相當(dāng)于預(yù)先確定的角度的位移并進行旋轉(zhuǎn)；以及第二閘密封步驟，利用上述第二閘加壓上述第二開閉用盤，來使上述第二開閉用盤的第一密封用壓接環(huán)壓接于上述第二閘的周邊面，并通過關(guān)閉上述第二閘來進行密封，上述第一閘密封步驟和上述第二閘密封步驟可反復(fù)進行。

另一方面，上述目的還通過矩形閘真空閥的工作方法實現(xiàn)，上述矩形閘真空閥的工作方法的特征在于，包括：第一閥單元進入步驟，借助第一單元軸的工作，第一閥單元的第一開閉用盤通過閘框架的下部開口以向上述閘框架內(nèi)進行垂直移動的方式進入；以及第一閘密封步驟，已進入的上述第一閥單元進行水平移動，并利用上述第一閘加壓上述第一開閉用盤，接著使上述第一開閉用盤的第一密封用壓接環(huán)壓接于上述第一閘的周邊面，并通過關(guān)閉上述第一閘來進行密封。

另一方面，上述目的還通過具有矩形閘真空閥的半導(dǎo)體制造裝置來實現(xiàn)，上述具有矩形閘真空閥的半導(dǎo)體制造裝置的特征在于，包括：第一真空腔室及第二真空腔室，以相互隔開的方式配置，并形成用于制造半導(dǎo)體的工序；以及矩形閘真空閥，連接在第一真空腔室及第二真空腔室之間，用于選擇性地開閉向上述第一真空腔室及第二真空腔室側(cè)的第一閘及第二閘，上述矩形閘真空閥包括：閘框架，以與上述第一真空腔室及第二真空腔室相對應(yīng)的方式形成有上述第一閘和第二閘；第一閥單元，以可通過上述閘框架的下部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第一閘；以及第二閥單元，以可通過上述閘框架的上部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第二閘。

上述第一閥單元包括：第一開閉用盤，用于選擇性地開閉上述第一閘；第一單元軸，與上述第一開閉用盤相連接，來使上述第一開閉用盤進行直線移動；以及第一旋轉(zhuǎn)部，與上述第一單元軸相連接，來使上述第一單元軸進行旋轉(zhuǎn)，上述第二閥單元包括：第二開閉用盤，用于選擇性地開閉上述第二閘；第二單元軸，與上述第一開閉用盤相連接，使上述第一開閉用盤進行直線移動；以及第二旋轉(zhuǎn)部，與上述第二單元軸相連接，使上述第二單元軸進行旋轉(zhuǎn)，在上述第一開閉用盤及第二開閉用盤設(shè)置有密封用壓接環(huán)。

(三)發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，可在相同的空間內(nèi)實現(xiàn)對兩側(cè)閘的密封工作，因此具有可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行兩側(cè)閘的密封的半導(dǎo)體工序的效果。

附圖說明

圖1作為本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖，是第一閥處于關(guān)閉狀態(tài)的圖。

圖2作為本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖，是第二閥處于關(guān)閉狀態(tài)的圖。

圖3為本發(fā)明一實施例的矩形閘真空閥的簡要結(jié)構(gòu)圖。

圖4至圖7分別為階段性地示出矩形閘真空閥的工作的圖。

圖8為矩形閘真空閥的控制框圖。

圖9為本發(fā)明一實施例的矩形閘真空閥的工作方法的順序圖。

圖10至圖13分別為矩形閘真空閥的變形例。

具體實施方式

本發(fā)明包括：閘框架，在相向的兩側(cè)面形成有第一閘和第二閘；第一閥單元，以可通過上述閘框架的下部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第一閘；以及第二閥單元，以可通過上述閘框架的上部開口向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，用于選擇性地開閉上述第二閘。

以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施例，以便本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可容易實施。

但是，對本發(fā)明的說明僅僅為用于結(jié)構(gòu)性說明至功能性說明的實施例，因此本發(fā)明的發(fā)明要求保護范圍不應(yīng)解釋為只限于在本文中進行說明的實施例。

例如，多個實施例可進行多種變形，并且可具有多種形態(tài)，因此本發(fā)明的發(fā)明要求保護范圍應(yīng)理解為包含可實現(xiàn)技術(shù)思想的等同物。

并且，在本發(fā)明中所提出的目的或效果并不是特定實施例應(yīng)全部包含所提出的目的或效果或應(yīng)僅包含這種效果，因此不應(yīng)理解為本發(fā)明的發(fā)明要求范圍由此受到限制。

在本說明書中，本實施例只用于使本發(fā)明的公開更加完整，并為了向本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員完整地告知本發(fā)明的范疇而提供。并且本發(fā)明僅由發(fā)明要求保護范圍進行定義。

因此，為了避免模糊地解釋本發(fā)明，在一些實施例中，對眾所周知的結(jié)構(gòu)要素、工作及技術(shù)不進行具體說明。

另一方面，在本發(fā)明中敘述的術(shù)語的意義應(yīng)不局限于詞典上的意義，并應(yīng)理解為如下。

當(dāng)提及到一個結(jié)構(gòu)要素與其他結(jié)構(gòu)要素“相連接”時，應(yīng)理解為可直接地與其他結(jié)構(gòu)要素相連接，但是在中間還可存在其他結(jié)構(gòu)要素。相反，當(dāng)提及到一個結(jié)構(gòu)要素與其他結(jié)構(gòu)要素“直接相連接”時，應(yīng)理解為在中間不存在其他結(jié)構(gòu)要素。另一方面，說明結(jié)構(gòu)要素之間的關(guān)系的其他表達，即“～之間”和“正～之間”或“與～相鄰”和“與～直接相鄰”等也應(yīng)相同地解釋。

在文脈上未明確地且不同地定義的情況下，單數(shù)的表達就可包括復(fù)數(shù)的表達，“包括”或“具有”等的術(shù)語用于指定存在實施的特征、數(shù)字、步驟、工作、結(jié)構(gòu)要素、部品或?qū)λ鼈冞M行的組合，不應(yīng)理解為預(yù)先排除一個或其以上的另外特征或數(shù)字、工作、結(jié)構(gòu)要素、部品或?qū)λ鼈冞M行組合的存在或附加可能性。

其中所使用的全部術(shù)語在不另外定義的情況下，具有與由本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的含義相同的意義。

通常，在使用的詞典上定義的術(shù)語應(yīng)解釋為在相關(guān)技術(shù)的文脈上具有的意義一致，只要未在本發(fā)明中明確定義，就不應(yīng)解釋成理想狀態(tài)的含義或過分形式化的含義。

以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細說明。在實施例的說明中，對相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的附圖標(biāo)記，根據(jù)情況省略對相同的附圖標(biāo)記的說明。

圖1作為本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖，是第一閥處于關(guān)閉狀態(tài)的圖，圖2作為本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖，是第二閥處于關(guān)閉狀態(tài)的圖。

參照這些圖，本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體制造裝置可包括：第一真空腔室101及第二真空腔室102，以相互隔開的方式配置，并形成用于制造半導(dǎo)體的工序；以及矩形閘真空閥100，連接在第一真空腔室101及第二真空腔室102之間，用于選擇性地開閉向上述第一真空腔室101及第二真空腔室102側(cè)的第一閘121及第二閘122。

此時，第一真空腔室101及第二真空腔室102的作用可相同或不同。

例如，第一真空腔室101及第二真空腔室102可以為蒸鍍腔室、處理腔室、料腔室或負載鎖定腔室。當(dāng)然，顯示器裝備的多個腔室也在于相同的范圍，因此應(yīng)屬于本發(fā)明的發(fā)明要求保護范圍。

矩形閘真空閥100用于選擇性地開閉向第一真空腔室101及第二真空腔室102側(cè)的第一閘121及第二閘122。

此時，矩形閘真空閥100在相同的空間，即可實現(xiàn)在限定的空間內(nèi)對兩側(cè)的第一閘121及第二閘122的密封工作，因此可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行第一閘121及第二閘122的密封的半導(dǎo)體工序。

參照圖3至圖9對執(zhí)行這種作用的矩形閘真空閥100進行詳細說明。

圖3為本發(fā)明一實施例的矩形閘真空閥的簡要結(jié)構(gòu)圖，圖4至圖7分別為階段性地示出矩形閘真空閥的工作的圖，圖8為矩形閘真空閥的控制框圖，以及圖9為本發(fā)明一實施例的矩形閘真空閥的工作方法的順序圖。

參照這些圖，本實施例的矩形閘真空閥100可實現(xiàn)在相同的空間內(nèi)對兩側(cè)的第一閘121及第二閘122的密封工作，因此可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行第一閘121及第二閘122的密封的半導(dǎo)體工序，本實施例的矩形閘真空閥100可包括閘框架120、第一閥單元130、第二閥單元140、信號發(fā)生器150及控制器160。

首先，閘框架120形成根據(jù)本實施例的矩形閘真空閥100的外框架。

在這種閘框架120的兩側(cè)面形成有第一閘121和第二閘122。從平面上進行觀察時，第一閘121和第二閘122可呈矩形形狀。

此時，在本實施例的情況下，第一閘121和上述第二閘122的尺寸相同。

但是，第一閘121和上述第二閘122的尺寸還可互不相同。

其次，如圖3及圖5所示，第一閥單元130以可通過上述閘框架120的下部開口向上述閘框架120內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，起到選擇性地開閉上述第一閘121的作用。

這種第一閥單元130包括：第一開閉用盤131，用于選擇性地開閉上述第一閘121；第一單元軸132，與上述第一開閉用盤相連接，用于使上述第一開閉用盤131進行直線移動；以及第一旋轉(zhuǎn)部133，與上述第一單元軸132相結(jié)合，來使上述第一單元軸132旋轉(zhuǎn)。

由于第一閘121為矩形形狀，因此第一開閉用盤131也呈尺寸大于第一閘121的矩形形狀。

在這種第一開閉用盤131的周邊面設(shè)置有第一密封用壓接環(huán)134，如圖5所示，壓接于第一閘121的周邊面，從而使真空不產(chǎn)生泄漏。

第一單元軸132起到使第一開閉用盤131進行直線移動的作用，第一旋轉(zhuǎn)部133起到使第一開閉用盤131進行旋轉(zhuǎn)的作用。在第一單元軸132的下部區(qū)域可設(shè)置有用于使第一開閉用盤131進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動部，但是對此進行省略。

接著，如圖3、圖6及圖7所示，第二閥單元140以可通過上述閘框架120的上部開口120b向上述閘框架內(nèi)進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的方式配置，起到選擇性地開閉上述第二閘122的作用。第二閥單元140可具有與第一閥單元130相同的結(jié)構(gòu)。

這種第二閥單元140包括：第二開閉用盤141，用于選擇性地開閉上述第二閘122；第二單元軸142，與上述第二開閉用盤相連接，用于使上述第二開閉用盤141進行直線移動；以及第二旋轉(zhuǎn)部143，與上述第二單元軸142相結(jié)合，來使上述第二單元軸142進行旋轉(zhuǎn)。

由于第二閘122為矩形形狀，因此第二開閉用盤141也呈尺寸大于第二閘122的矩形形狀。

在這種第二開閉用盤141的周邊面設(shè)置有第二密封用壓接環(huán)144，如圖7所示，壓接于第一閘121的周邊面，從而使真空不產(chǎn)生泄漏。

第二單元軸142起到使第二開閉用盤141進行直線移動的作用，第二旋轉(zhuǎn)部143起到使第二開閉用盤141進行旋轉(zhuǎn)的作用。當(dāng)然，在第一單元軸132的上部區(qū)域可設(shè)置有用于使第二開閉用盤141進行直線移動或旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動部，但是對此進行省略。

接著，信號發(fā)生器150用于產(chǎn)生第一閘121和第二閘122的開閉信號。即，產(chǎn)生如圖5所示的使第一閘121關(guān)閉的信號或如圖7所示的使第二閘122關(guān)閉的信號。產(chǎn)生的信號向控制器160傳輸。

最后，控制器160基于來自上述信號發(fā)生器的輸入信息，來對上述第一閥單元130和上述第二閥單元140的工作進行控制。即，基于來自信號發(fā)生器150的輸入信息，以如圖5所示的使第一閘121關(guān)閉或如圖7所示的使第二閘122關(guān)閉的方式，對第一閥單元130和第二閥單元140的工作進行控制。

這種控制器160可包括中央處理器161(CPU)、存儲器162(MEMORY)、輔助電路163(SUPPORT CIRCUIT)。

為了在本實施例中基于來自信號發(fā)生器150的輸入信息，來控制第一閥單元130和第二閥單元140的工作，中央處理器161可以為在產(chǎn)業(yè)上適用的多種計算機處理器中的之一。

存儲器162與中央處理器161相連接。存儲器162作為計算機可讀記錄介質(zhì)可設(shè)置于本地或遠程位置，例如，可以如隨機存取存儲器(RAM)，只讀存儲器(ROM)、硬盤或任一數(shù)字存儲形式，容易利用的至少一種存儲器。

輔助電路163(SUPPORT CIRCUIT)與中央處理器161相連接，用于輔助處理器的典型的工作。這種支持電路163可包括高速緩存、電源、時鐘電路、輸入/輸出電路、子系統(tǒng)等。

在本實施例中，控制器160基于來自信號發(fā)生器150的輸入信息對第一閥單元130和第二閥單元140的工作進行控制。此時，控制器160基于來自傳感部180的信息，可在存儲器162存儲用于控制通過船體阻力降低模塊140的是否發(fā)生氣泡或氣泡發(fā)生量等的一系列的工序。典型地，軟件程序可存儲于存儲器162。軟件程序還可借助其他中央處理器(未圖示)來進行存儲或執(zhí)行。

本發(fā)明的工序被說明為由軟件程序執(zhí)行，但是在本發(fā)明的工序中至少一部分還可由硬件程序執(zhí)行。像這樣，本發(fā)明的工序?qū)崿F(xiàn)為在計算機系統(tǒng)上執(zhí)行的軟件或?qū)崿F(xiàn)為集成電路等硬件，或者可通過軟件和硬件的組合來實現(xiàn)。

以下，參照圖9對本發(fā)明實施例的矩形閘真空閥110的工作方法進行說明。

首先，借助第一單元軸132的工作，第一閥單元130的第一開閉用盤131通過閘框架120以傾斜地向上述閘框架內(nèi)進行直線移動的方式進入(S11)。

接著，以傾斜地向閘框架120進行直線移動的方式進入的第一閥單元130由第一旋轉(zhuǎn)部產(chǎn)生相當(dāng)于預(yù)先確定的角度的位移并進行旋轉(zhuǎn)(S12)。

其次，利用上述第一閘121加壓上述第一開閉用盤131，使上述第一開閉用盤131的第一密封用壓接環(huán)134壓接于上述第一閘121的周邊面，并通過關(guān)閉上述第一閘121來進行密封(S13，參照圖5)。

接著，第一閥單元130回歸原位(S14)，之后第二閥單元140進行工作。

即，借助第二單元軸142的工作，第二閥單元140的第二開閉用盤141通過閘框架120的上部開口120b以傾斜地向上述閘框架120內(nèi)進行直線移動的方式進入(S15)。

接著，以傾斜地向閘框架120內(nèi)進行直線移動的方式進入的第二閥單元140由第二旋轉(zhuǎn)部143來產(chǎn)生相當(dāng)于預(yù)先設(shè)定的角度的位移并進行旋轉(zhuǎn)(S16)。

接著，利用上述第二閘122加壓上述第二開閉用盤141，來使第二開閉用盤141的第二密封用壓接環(huán)144壓接于第二閘122的周邊面，并通過關(guān)閉第二閘122來進行密封(S17，參照圖7)。

可反復(fù)進行這種過程，即，圖5的第一閘121密封步驟和圖7的第二閘122密封步驟。當(dāng)然，還可根據(jù)信號發(fā)生器150選擇性地進行。

根據(jù)具有如上所述的結(jié)構(gòu)和作用的本實施例，可實現(xiàn)在相同的空間內(nèi)對兩側(cè)的第一閘121及第二閘122的密封工作，因此可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行第一閘121及第二閘122的密封的工序。

圖10至圖13分別是矩形閘真空閥的變形例。

參照圖10，在如圖10所示的矩形閘真空閥210的情況下，在設(shè)置于第一閥單元230及第二閥單元240的第一開閉用盤231及第二開閉用盤241上分別設(shè)置有多對密封用壓接環(huán)234、244。

像這樣，在第一開閉用盤231及第二開閉用盤241上分別設(shè)置有多對密封用壓接環(huán)234、244的情況下，使對于第一閘121及第二閘122的密封的效率提高，從而可防止真空任意泄漏的現(xiàn)象。

參照圖11至圖13，在示出于這些附圖中的矩形閘真空閥310的情況下，包括：第一開閉用盤331a及第二開閉用盤331b，用于選擇性地開閉第一閘121及第二閘122；單元共用軸332，以共用的方式與第一開閉用盤331a及第二開閉用盤331b相連接，來使第一開閉用盤331a及第二開閉用盤331b進行直線移動；以及共用旋轉(zhuǎn)部333，與單元共用軸332相結(jié)合，來使單元共用軸332進行旋轉(zhuǎn)。

在本實施例的情況下，如圖12及圖3所示，在一個單元共用軸332的兩側(cè)設(shè)置有第一開閉用盤331a及第二開閉用盤331b，來借助單元共用軸332及共用旋轉(zhuǎn)部333的作用，選擇性地開閉第一閘121及第二閘122。在具有這種結(jié)構(gòu)的情況下，存在可謀求簡化結(jié)構(gòu)的優(yōu)點。

即使適用圖10至圖13的實施例，也可實現(xiàn)在相同的空間內(nèi)對兩側(cè)第一閘121及第二閘122的密封工作，因此，可有效地對應(yīng)于需要在限定的空間內(nèi)進行第一閘121及第二閘122的密封的半導(dǎo)體工序。

以上，參照附圖對本發(fā)明進行了詳細說明，但是本發(fā)明并不局限于此。

在如上所述的實施例中進行說明的第一閥單元和第二閥單元可同時移動，但是當(dāng)考慮碰撞危險時，可優(yōu)選地，使第一閥單元和第二閥單元一個個輪流移動。

如上所述，本發(fā)明并不局限于記載的實施例，在不脫離本發(fā)明的思想及范圍的情況下可進行多種修改及變形，這是對本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說是顯而易見的。因此，那種修改例或變形例應(yīng)屬于本發(fā)明的發(fā)明要求范圍。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

在本發(fā)明的半導(dǎo)體制造設(shè)備中可適用作為用于選擇性地造成腔室的真空環(huán)境的機構(gòu)的閘閥。