技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種閥門機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其用于開啟或封閉腔室的閥口，包括閥板以及用于驅(qū)動(dòng)該閥板上升或下降的驅(qū)動(dòng)裝置，其中，閥板設(shè)置在腔室的內(nèi)部，且閥板與閥口分別具有傾斜的對(duì)接面，閥板的對(duì)接面與閥口的對(duì)接面相互平行。閥板通過(guò)上升或下降使其對(duì)接面與閥口的對(duì)接面相接觸或相分離，以實(shí)現(xiàn)閥口的開啟或封閉。本發(fā)明提供的閥門機(jī)構(gòu)，其可以在腔室體積不變的前提下，減小半導(dǎo)體加工設(shè)備的整體體積，同時(shí)使腔室布局更為緊湊。

技術(shù)研發(fā)人員：王桐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510778471
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.13
技術(shù)公布日：2017.05.24