開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置制造方法
【專利摘要】本專利公開了一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置，該裝置由手柄、壓緊螺母、閥芯、壓環(huán)、上密封件、閥體、檔位螺母、防松螺釘、下密封件和真空接頭組成。所發(fā)明裝置設(shè)置于制冷機(jī)冷端的真空室和負(fù)壓排氣的真空泵之間，控制真空室內(nèi)死真空與活真空環(huán)境的轉(zhuǎn)換。本專利裝置部件少、操作方便、易于維護(hù)，可實(shí)現(xiàn)安全可靠而又無油污染的動密封效果，采用本專利的裝置將有效解決低溫制冷機(jī)在實(shí)際應(yīng)用中其真空室所需的頻繁開閉和同時保持高氣密性之間的矛盾，對于低溫制冷機(jī)的實(shí)際應(yīng)用具有十分積極的作用。
【專利說明】開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本專利涉及一種真空閥門，特別涉及一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門
>J-U ρ?α裝直。

【背景技術(shù)】
[0002]高真空的獲取和維持對于低溫領(lǐng)域有著特殊意義。例如，獲得廣泛實(shí)際應(yīng)用的低溫制冷機(jī)，其低溫端與室溫之間的溫差一般都在180Κ以上，有時這一溫差甚至接近270Κ。如此巨大的溫差，如果不使用真空隔絕，由氣流的傳導(dǎo)和對流帶來的熱損失將使得低溫制冷機(jī)變得毫無意義。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，低溫制冷機(jī)的冷端一般都被放置于真空室中。
[0003]光學(xué)傳感器件(如紅外傳感器等)以及超導(dǎo)電子器件需要十分穩(wěn)定的工作環(huán)境，這其中包括很重要的溫度的穩(wěn)定性。由于溫度不穩(wěn)定常常會帶來器件的圖像失真或者信噪比的嚴(yán)重降低。真空室的真空度對于低溫制冷機(jī)冷端的溫度穩(wěn)定性有著很大的影響，因而實(shí)際應(yīng)用中對真空室的真空度要求很高，考慮到長壽命工作的航天及軍事應(yīng)用等場合有時甚至?xí)髢?yōu)于lX10_7Pa的真空度。
[0004]在地面試驗(yàn)環(huán)境中，由于考慮到頻繁的重復(fù)試驗(yàn)以及器件更換，真空室不能制作成一次性的死真空環(huán)境。在試驗(yàn)開始前，通常需要使用真空泵在真空室中實(shí)現(xiàn)活真空環(huán)境；而在試驗(yàn)開始后，為模擬最終應(yīng)用狀態(tài)，往往又需要切斷真空泵，獲得一個暫時的死真空；此后，如果涉及到器件調(diào)整或者更換新的試驗(yàn)方案，暫時的死真空環(huán)境又要被打開；再之后，最終狀態(tài)的死真空環(huán)境又要被重新模擬?？紤]到上述實(shí)際試驗(yàn)的需要，就有必要在真空室上設(shè)置一個真空閥門裝置，它既要能夠開閉自由，以實(shí)現(xiàn)真空室中活真空和死真空的方便轉(zhuǎn)換；同時，又要能實(shí)現(xiàn)高氣密性，以便在真空室內(nèi)處于死真空環(huán)境時，不從該閥門裝置中發(fā)生微小泄漏而惡化真空室中的真空環(huán)境。同時，針對航空航天有特殊應(yīng)用的環(huán)境，無油密封以杜絕油污染也是一個很關(guān)鍵的要求。對于機(jī)械裝置而言，開閉自由和保持高氣密性本身就是一對矛盾，對于頻繁開閉的閥門裝置而言，這一要求更是一個很大的挑戰(zhàn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本專利提出一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
[0006]本專利的目的在于，發(fā)明一種真空閥門，設(shè)置于在制冷機(jī)冷端的真空室和負(fù)壓排氣的真空泵之間，控制真空室內(nèi)死真空與活真空環(huán)境的轉(zhuǎn)換，該閥門采用無油動密封，實(shí)現(xiàn)開閉自由且能保持高氣密性，滿足低溫制冷機(jī)實(shí)際應(yīng)用的迫切需要。
[0007]如圖1所示，所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置包括手柄1、壓緊螺母2、閥芯3、壓環(huán)4、上密封件5、閥體6、檔位螺母7、防松螺釘8、下密封件31和真空接頭9，其特征在于:
[0008]閥體6為中空柱狀體，其內(nèi)孔最上端為閥體壓緊螺紋17，緊接閥體壓緊螺紋17的內(nèi)圓面和臺階面分別為閥體密封內(nèi)圓面15和閥體密封平面16，閥體6的一側(cè)沉孔結(jié)構(gòu)為閥體側(cè)面接口 18，閥體6的內(nèi)孔中部制作有與閥體導(dǎo)氣槽20相接的閥體錐形面19，閥體導(dǎo)氣槽20的下端加工出閥體內(nèi)螺紋21，閥體6的最下端結(jié)構(gòu)是閥體真空接口 22，制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空室的接口連接；真空接頭9的一端制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空泵的接口連接，另一端插入閥體6的閥體側(cè)面接口 18并與閥體6焊接成整體；閥芯3為軸類零件，其上端外圓加工出閥芯上端側(cè)平面23，中間制作成閥芯外圓密封面24，下端結(jié)構(gòu)依次加工出閥芯臺階面25、閥芯密封槽26、閥芯T型通道27、閥芯下端外螺紋28和閥芯檔位外螺紋29 ;手柄I安裝在閥芯3的上端，利用防松螺釘8固定在閥芯上端側(cè)平面23上；壓緊螺母2安裝在閥體6的上端，利用壓緊螺母外螺紋13將壓緊螺母2固定在閥體壓緊螺紋17內(nèi)，擰緊壓緊螺母2，即能擠壓下層的壓環(huán)4以及上密封件5 ;閥芯密封槽26內(nèi)安裝下密封件31，利用閥芯下端外螺紋28與閥體6相連；手柄外圓10與壓緊螺母外圓12皆作滾花處理以防滑；轉(zhuǎn)動手柄1，帶動閥芯3旋轉(zhuǎn)，依靠閥體內(nèi)螺紋21的作用，實(shí)現(xiàn)上、下方向的位移，當(dāng)閥芯臺階面25與閥體內(nèi)臺階面30相接觸時，下密封件31被壓緊，實(shí)現(xiàn)密封；在閥體密封內(nèi)圓面15和閥芯外圓密封面24之間放置雙層疊加的上密封件5和壓環(huán)4,轉(zhuǎn)動壓緊螺母2，使密封件5完全擠壓在閥體密封內(nèi)圓面15和閥芯外圓密封面24上，并在閥芯3旋轉(zhuǎn)過程中，保證密封性能，實(shí)現(xiàn)動態(tài)密封的效果；閥芯3最下端設(shè)有閥芯檔位外螺紋29，在閥芯3安裝到閥體6上之后，將檔位螺母7安裝到閥芯3下端的閥芯檔位外螺紋29上，使閥芯3在旋轉(zhuǎn)并相對閥體6移動的過程中，不會與閥體6脫離；從而共同組成一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
[0009]下面結(jié)合附圖對所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置的制造方法介紹如下:
[0010]圖2和圖3分別為閥體6和閥芯3的剖面圖；閥體6和閥芯3均采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬棒料整體加工而成，先由數(shù)控機(jī)床加工出基本輪廓，再使用高精密車床修整成型；
[0011]閥體6為整段棒料制成的中空柱狀體，其中和閥體密封平面16和閥體內(nèi)臺階面30均采用精密機(jī)床修整，保證其平面度均優(yōu)于1.0 μ m，且二者的平行度優(yōu)于2.0 μ m，閥體密封內(nèi)圓面15采用高精密磨床研磨，保證其光潔度均優(yōu)于2.0 μ m，以確保動密封效果，閥體錐形面19采用精密機(jī)床修整，保證其角度處于55°?75°之間，然后采用高精度的珩磨機(jī)研磨，確保其光潔度優(yōu)于2.0 μ m，閥體壓緊螺紋17與壓緊螺母外螺紋13配合加工，閥體內(nèi)螺紋21與閥芯下端外螺紋28配合加工；采用精密機(jī)床將閥體真空接口 22制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空室的接口連接；
[0012]閥芯3為整段棒料制作而成，其中閥芯臺階面25采用精密機(jī)床修整保證其平面度優(yōu)于1.0 μ m，閥芯臺階面25和閥芯密封槽26分別采用高精度的研磨機(jī)研磨，保證其表面光潔度均優(yōu)于2.0 μ m，閥芯T型通道27采用精密機(jī)床保證其尺寸公差優(yōu)于3.0 μ m ;閥芯外圓密封面24應(yīng)與壓緊螺母2的內(nèi)徑、壓環(huán)4的內(nèi)徑以及上密封件5的內(nèi)徑配合加工；
[0013]圖4為手柄I的剖視圖；手柄I采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工成型，其中手柄螺紋孔11與防松螺釘8配合加工；
[0014]圖5為壓緊螺母2的剖視圖；壓緊螺母2采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工成型，使用精密車床保證壓緊螺母下端面14的平面度優(yōu)于1.0 μ m ;壓緊螺母2的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0015]壓環(huán)4采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工而成，其上下表面均采用精密車床修整并使用精密磨床研磨使得平整度均優(yōu)于1.0 μ m，且上下表面的平行度亦優(yōu)于Ι.ομπι，壓環(huán)4的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0016]上密封件5和下密封件31的材料可以選用優(yōu)質(zhì)的非金屬材料，也可以選用延展性好的金屬材料，其中上密封件5的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0017]真空接頭9的一端制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空泵接口連接，另一端插入閥體6的閥體側(cè)面接口 18并采用激光焊接的方式與閥體6密封焊接成整體；
[0018]上述工序全部完成后，將各部件按照圖1所示組裝，即形成所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
[0019]本專利的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)如下:
[0020]I)本專利裝置安裝在制冷機(jī)冷端的真空室和負(fù)壓排氣的真空泵之間，起到控制真空室內(nèi)死真空與活真空環(huán)境的轉(zhuǎn)換作用，閥體和閥芯的上下兩端分別依靠動、靜密封結(jié)構(gòu)來保證密封性，閥體和閥芯利用螺紋旋轉(zhuǎn)連接并確定相對位置，真空接頭焊接在閥體上，手柄則安裝在閥芯上，旋轉(zhuǎn)手柄，使閥芯上移，就使真空接頭與閥體的真空接口相通，反向旋轉(zhuǎn)使閥芯壓緊在閥體內(nèi)，就隔斷了內(nèi)部通道的連接，檔位螺母使閥芯不會與閥體脫離，防松螺釘保證手柄與閥芯連成一體，雙層密封件和壓環(huán)增加的動密封的性能，減少泄露的可能性；
[0021]2)本專利裝置采用動密封的技術(shù)來密封閥芯和閥體的上端，使閥芯在做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動和上下移動的同時保持高密封性，雙層密封圈和壓環(huán)的密封結(jié)構(gòu)，在壓緊螺母壓緊之后，密封性能更可靠；
[0022]3)本專利裝置的閥芯的下端將四種結(jié)構(gòu)要素包括與錐形面進(jìn)行密封的密封槽、T形通道、與閥座連接固定的外螺紋以及檔位外螺紋整合成一體，實(shí)現(xiàn)了真空閥門結(jié)構(gòu)中最關(guān)鍵的功能，即利用閥芯的螺紋旋轉(zhuǎn)控制密封槽的上下位置、密封槽相對于錐形面的位置決定了閥體的開閉、T形通道將閥座的導(dǎo)氣槽和下端出口相連、閥芯的外螺紋起到閥芯上下位置定位和固定的作用、檔位外螺紋限制了閥芯向上移動的最大高度；
[0023]4)本專利裝置的兩個位于閥體和真空接頭上的連接口都為標(biāo)準(zhǔn)通用接口，拆裝方便；利用激光焊接將閥體和真空接頭連接成整體，結(jié)構(gòu)牢固；在長期使用后，取下閥芯尾端的檔位螺母，將閥芯從閥體中取出，及時對密封件進(jìn)行更新維護(hù)，就能保證良好的使用性能，易于維護(hù)。
[0024]所發(fā)明開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置設(shè)置于制冷機(jī)冷端的真空室和負(fù)壓排氣的真空泵之間，控制真空室內(nèi)死真空與活真空環(huán)境的轉(zhuǎn)換。本專利裝置部件少、操作方便、易于維護(hù)，可實(shí)現(xiàn)安全可靠而又無油污染的動密封效果，采用本專利的裝置將有效解決低溫制冷機(jī)在實(shí)際應(yīng)用中其真空室所需的頻繁開閉和同時保持高氣密性之間的矛盾，對于低溫制冷機(jī)的實(shí)際應(yīng)用具有十分積極的作用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置的整體剖視圖；
[0026]圖2為閥體6的剖視圖；
[0027]圖3為閥芯3的剖視圖；
[0028]圖4為手柄I的剖視圖；
[0029]圖5為壓緊螺母2的剖視圖；
[0030]圖6為所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置的三維視圖。
[0031]其中I為手柄；2為壓緊螺母；3為閥芯；4為壓環(huán)；5為密封件；6為閥體；7為檔位螺母；8為防松螺釘；9為真空接頭；10為手柄外圓；11為手柄螺紋孔；12為壓緊螺母外圓；13為壓緊螺母外螺紋；14為壓緊螺母下端面；15為閥體密封內(nèi)圓面；16為閥體密封平面；17為閥體壓緊螺紋；18為閥體側(cè)面接口 ；19為閥體錐形面；20為閥體導(dǎo)氣槽；21為閥體內(nèi)螺紋；22為閥體真空接口 ；23為閥芯上端側(cè)平面；24為閥芯外圓密封面；25為閥芯臺階面；26為閥芯密封槽；27為閥芯T型通道；28為閥芯下端外螺紋；29為閥芯檔位外螺紋；30為閥體內(nèi)臺階面；31為下密封件。

【具體實(shí)施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本專利的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明:
[0033]如圖1所示，所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置由手柄1、壓緊螺母2、閥芯3、壓環(huán)4、上密封件5、閥體6、檔位螺母7、防松螺釘8、下密封件31和真空接頭9組成，其特征在于，閥體6為中空柱狀體，其內(nèi)孔最上端為閥體壓緊螺紋17，緊接閥體壓緊螺紋17的內(nèi)圓面和臺階面分別為閥體密封內(nèi)圓面15和閥體密封平面16，閥體6的一側(cè)沉孔結(jié)構(gòu)為閥體側(cè)面接口 18，閥體6的內(nèi)孔中部制作有與閥體導(dǎo)氣槽20相接的閥體錐形面19，閥體導(dǎo)氣槽20的下端加工出閥體內(nèi)螺紋21，閥體6的最下端結(jié)構(gòu)是閥體真空接口 22，制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空室的接口連接；真空接頭9的一端制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空泵的接口連接，另一端插入閥體6的閥體側(cè)面接口 18并與閥體6焊接成整體；閥芯3為軸類零件，其上端外圓加工出閥芯上端側(cè)平面23，中間制作成閥芯外圓密封面24，下端結(jié)構(gòu)依次加工出閥芯臺階面25、閥芯密封槽26、閥芯T型通道27、閥芯下端外螺紋28和閥芯檔位外螺紋29 ;手柄I安裝在閥芯3的上端，利用防松螺釘8固定在閥芯上端側(cè)平面23上；壓緊螺母2安裝在閥體6的上端，利用壓緊螺母外螺紋13將壓緊螺母2固定在閥體壓緊螺紋17內(nèi)，擰緊壓緊螺母2，即能擠壓下層的壓環(huán)4以及上密封件5 ;閥芯密封槽26內(nèi)安裝下密封件31，利用閥芯下端外螺紋28與閥體6相連；手柄外圓10與壓緊螺母外圓12皆作滾花處理以防滑；轉(zhuǎn)動手柄1，帶動閥芯3旋轉(zhuǎn)，依靠閥體內(nèi)螺紋21的作用，實(shí)現(xiàn)上、下方向的位移，當(dāng)閥芯臺階面25與閥體內(nèi)臺階面30相接觸時，下密封件31被壓緊，實(shí)現(xiàn)密封；在閥體密封內(nèi)圓面15和閥芯外圓密封面24之間放置雙層疊加的上密封件5和壓環(huán)4，轉(zhuǎn)動壓緊螺母2，使密封件5完全擠壓在閥體密封內(nèi)圓面15和閥芯外圓密封面24上，并在閥芯3旋轉(zhuǎn)過程中，保證密封性能，實(shí)現(xiàn)動態(tài)密封的效果；閥芯3最下端設(shè)有閥芯檔位外螺紋29，在閥芯3安裝到閥體6上之后，將檔位螺母7安裝到閥芯3下端的閥芯檔位外螺紋29上，使閥芯3在旋轉(zhuǎn)并相對閥體6移動的過程中，不會與閥體6脫離；從而共同組成一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
[0034]所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置的制造方法如下:
[0035]圖2和圖3分別為閥體6和閥芯3的剖面圖；閥體6和閥芯3均采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬棒料整體加工而成，先由數(shù)控機(jī)床加工出基本輪廓，再使用高精密車床修整成型；
[0036]閥體6為整段棒料制成的中空柱狀體，其中和閥體密封平面16和閥體內(nèi)臺階面30均采用精密機(jī)床修整，保證其平面度均為0.9 μ m，且二者的平行度為1.5 μ m，閥體密封內(nèi)圓面15采用高精密磨床研磨，保證其光潔度均為1.5 μ m，以確保動密封效果，閥體錐形面19采用精密機(jī)床修整，保證其角度為65°，然后采用高精度的珩磨機(jī)研磨，確保其光潔度為1.5 μ m,閥體壓緊螺紋17與壓緊螺母外螺紋13配合加工，閥體內(nèi)螺紋21與閥芯下端外螺紋28配合加工；采用精密機(jī)床將閥體真空接口 22制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空室的接口連接；
[0037]閥芯3為整段棒料制作而成，其中閥芯臺階面25采用精密機(jī)床修整保證其平面度為0.9μπι，閥芯臺階面25和閥芯密封槽26分別采用高精度的研磨機(jī)研磨，保證其表面光潔度均為1.5 μ m，閥芯T型通道27采用精密機(jī)床保證其尺寸公差為2.5 μ m ;閥芯外圓密封面24應(yīng)與壓緊螺母2的內(nèi)徑、壓環(huán)4的內(nèi)徑以及上密封件5的內(nèi)徑配合加工；
[0038]圖4為手柄I的剖視圖；手柄I采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工成型，其中手柄螺紋孔11與防松螺釘8配合加工；
[0039]圖5為壓緊螺母2的剖視圖；壓緊螺母2采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工成型，使用精密車床保證壓緊螺母下端面14的平面度為0.9 μ m ;壓緊螺母2的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0040]壓環(huán)4采用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料整體加工而成，其上下表面均采用精密車床修整并使用精密磨床研磨使得平整度均為0.9 μ m，且上下表面的平行度亦為0.9 μ m，壓環(huán)4的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0041]上密封件5和下密封件31的材料可以選用優(yōu)質(zhì)的非金屬材料，也可以選用延展性好的金屬材料，其中上密封件5的內(nèi)徑與閥芯外圓密封面24配合加工；
[0042]真空接頭9的一端制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空泵接口連接，另一端插入閥體6的閥體側(cè)面接口 18并采用激光焊接的方式與閥體6密封焊接成整體；
[0043]上述工序全部完成后，將各部件按照圖1所示組裝，即形成所發(fā)明的開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置，它包括手柄(I)、壓緊螺母(2)、閥芯(3)、壓環(huán)⑷、上密封件(5)、閥體(6)、檔位螺母(7)、防松螺釘⑶、下密封件(31)和真空接頭(9)，其特征在于: 所述的閥體￠)為中空柱狀體，其內(nèi)孔最上端為閥體壓緊螺紋(17)，緊接閥體壓緊螺紋(17)的內(nèi)圓面和臺階面分別為閥體密封內(nèi)圓面(15)和閥體密封平面(16)，閥體(6)的一側(cè)沉孔結(jié)構(gòu)為閥體側(cè)面接口(18)，閥體(6)的內(nèi)孔中部制作有與閥體導(dǎo)氣槽(20)相接的閥體錐形面(19)，閥體導(dǎo)氣槽(20)的下端加工出閥體內(nèi)螺紋(21)，閥體(6)的最下端結(jié)構(gòu)是閥體真空接口(22)，制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空室的接口連接； 所述的真空接頭(9)的一端制作成通用標(biāo)準(zhǔn)連接結(jié)構(gòu)以方便與真空泵的接口連接，另一端插入閥體￠)的閥體側(cè)面接口(18)并與閥體(6)焊接成整體； 所述的閥芯(3)為軸類零件，其上端外圓加工出閥芯上端側(cè)平面(23)，中間制作成閥芯外圓密封面(24)，下端結(jié)構(gòu)依次加工出閥芯臺階面(25)、閥芯密封槽(26)、閥芯T型通道(27)、閥芯下端外螺紋(28)和閥芯檔位外螺紋(29)； 手柄(I)安裝在閥芯(3)的上端，利用防松螺釘(8)固定在閥芯上端側(cè)平面(23)上；壓緊螺母(2)安裝在閥體(6)的上端，利用壓緊螺母外螺紋(13)將壓緊螺母(2)固定在閥體壓緊螺紋(17)內(nèi)，擰緊壓緊螺母(2)，即能擠壓下層的壓環(huán)(4)以及上密封件(5);閥芯密封槽(26)內(nèi)安裝下密封件(31)，利用閥芯下端外螺紋(28)與閥體(6)相連；手柄外圓(10)與壓緊螺母外圓(12)皆作滾花處理以防滑；轉(zhuǎn)動手柄(I)，帶動閥芯(3)旋轉(zhuǎn)，依靠閥體內(nèi)螺紋(21)的作用，實(shí)現(xiàn)上、下方向的位移，當(dāng)閥芯臺階面(25)與閥體內(nèi)臺階面(30)相接觸時，下密封件(31)被壓緊，實(shí)現(xiàn)密封；在閥體密封內(nèi)圓面(15)和閥芯外圓密封面(24)之間放置雙層疊加的上密封件(5)和壓環(huán)(4)，轉(zhuǎn)動壓緊螺母(2)，使密封件(5)完全擠壓在閥體密封內(nèi)圓面(15)和閥芯外圓密封面(24)上，并在閥芯(3)旋轉(zhuǎn)過程中，保證密封性能，實(shí)現(xiàn)動態(tài)密封的效果；閥芯(3)最下端設(shè)有閥芯檔位外螺紋(29)，在閥芯(3)安裝到閥體(6)上之后，將檔位螺母(7)安裝到閥芯(3)下端的閥芯檔位外螺紋(29)上，使閥芯(3)在旋轉(zhuǎn)并相對閥體(6)移動的過程中，不會與閥體(6)脫離；從而共同組成一種開閉自由且能實(shí)現(xiàn)高氣密性的真空閥門裝置。
【文檔編號】F16K1/00GK204226662SQ201420597491
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】黨海政 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所