專利名稱：一種真空閥門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空設(shè)備，特別是一種用于鍍膜真空室上的真空閥門。
背景技術(shù)：
在真空裝置上使用的閥門，不僅要密封性能好，緊密，不"內(nèi)漏"，還要使用方便， 轉(zhuǎn)換靈活，因為在工作過程中閥門得承受內(nèi)、外氣壓壓強差，所經(jīng)受的總壓力是相當大的。 目前，使用的多是氣缸一閥蓋式或稱擋板式的閥門，即由氣缸的活塞帶動閥蓋，蓋住或打 開閥口、即通氣通道。例如，專利號ZL200620062404.4 "雙通高真空閥門裝置"(公告號 CN200940713Y)所公開的閥門，由工作室、閥體、氣缸組成，在閥體上裝有氣缸、閥體內(nèi)的閥 蓋通過支桿，而連接上氣缸的活塞，由活塞帶動閥蓋移動。從而與閥體接觸并密封，形成一 個密封環(huán)境。對于鍍膜真空室而言，由于工件玻璃較大，進入真空室所經(jīng)的入口，其尺寸也 必然要較大?，F(xiàn)通常采用一種翻板閥來控制密封此入口。現(xiàn)有的翻板閥，通過氣缸直接帶 動較長的轉(zhuǎn)軸，直接轉(zhuǎn)動一塊長條形的翻板門，由翻板門整個地封蓋住真空室的玻璃板的 出入口。這就有可能出現(xiàn)密封力度不夠、或兩端密封不平衡的問題，從而影響其密封性能。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于避免上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，而提供一種傳動穩(wěn)定，密 封緊貼，使用方便的，在鍍膜真空室上使用的真空翻板閥門。
本實用新型的目的可通過如下的措施來達到 —種真空閥門，是安裝在真空室上的翻板閥門，包括有相互連接的氣缸，轉(zhuǎn)軸，連 桿和翻板門，由翻板門蓋上并密封住真空室上的工件入口 ，其特征在于，所述的氣缸是一臺 安置在真空室外面的氣缸，該氣缸的活塞桿與一根齒條連接，該齒條與一個齒輪嚙合；在一 根轉(zhuǎn)軸上面，固定連接有一個上述的齒輪，在該根轉(zhuǎn)軸的兩頭，還分別連結(jié)有各一根主動轉(zhuǎn) 臂，上述兩根主動轉(zhuǎn)臂，通過各自的連桿的連結(jié)，而連結(jié)到各自的一根從動轉(zhuǎn)臂上面；該兩 根從動轉(zhuǎn)臂，均分別連接在一個矩形的翻板門的背面上，翻板門的底面是與真空室的外壁 吻合的，并蓋住其上的工件入口 ；在翻板門與外壁之間的密封面上設(shè)有一個密封圈。 在上述方案的基礎(chǔ)上，所述的氣缸是兩臺安置在真空室外面的氣缸，該兩臺氣缸 的活塞桿各自與一根齒條連接，該兩根齒條各自與一個齒輪嚙合；在一根轉(zhuǎn)軸的兩頭，分別 固定連接有上述的各一個齒輪，在該根轉(zhuǎn)軸上面，還分別連結(jié)有4根均勻分布的主動轉(zhuǎn)臂， 上述的4根主動轉(zhuǎn)臂，通過各自的一根連桿的連結(jié)，而連結(jié)到各自的一根從動轉(zhuǎn)臂上面；該 4根從動轉(zhuǎn)臂，均分別連接在一個矩形的翻板門的背面上。 上述的齒輪與轉(zhuǎn)軸的固定連接，是由一個或兩個齒輪的中心傳動軸，被支承在軸 承座里，而連接到一個或兩個萬向聯(lián)軸器，再連接到所述的轉(zhuǎn)軸上。 在上述的兩根或4根從動轉(zhuǎn)臂與翻板門的連接部位之間，各自安裝有一塊調(diào)整條 塊。 上述的各根主動轉(zhuǎn)臂和從動轉(zhuǎn)臂，均以一端安裝在固定在真空室上的固定座上面。 上述的通過連桿連結(jié)主動轉(zhuǎn)臂與從動轉(zhuǎn)臂，是由穿過兩根或4根主動轉(zhuǎn)臂的銷 釘，與穿過兩根或4根從動轉(zhuǎn)臂的銷釘來連結(jié)的；而各根從動轉(zhuǎn)臂的另一端，則以銷釘而連 結(jié)在一個固定座上。 本實用新型的真空閥門，具有如下優(yōu)點 1.傳動穩(wěn)定，密封性能好。氣缸的傳動軸，經(jīng)過一系列的力傳遞，特別是通過主、從
動轉(zhuǎn)臂的有效而且具有彈性的傳遞，使關(guān)上翻板門的扭矩力，平衡地落到翻板門的兩頭，再
加上每塊調(diào)整條塊的設(shè)置，使得翻板門又穩(wěn)定又準確地蓋住長條形的工件入口 ；密封面的
受壓狀況良好，密封性能優(yōu)越，密封圈的設(shè)置進一步保證閥門的密封性。 2.適用于對真空室上較長條形的進出口的密封。本實用新型真空閥門，使用一塊
較長條形的矩形的翻板門，正適合對大塊玻璃進出口密封的需要。在真空室入口特別寬闊
的情況下，采用兩邊各一個氣缸共同帶動一根轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上設(shè)置4套主、從動轉(zhuǎn)臂結(jié)構(gòu)，使
傳動更為有力和更為平穩(wěn)、穩(wěn)定。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的非限定性的敘述。
圖1是本實用新型真空閥門的主視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實用新型真空閥門的側(cè)視(部分)結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本實用新型真空閥門的側(cè)向剖視(部分)結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是該真空閥門的轉(zhuǎn)臂傳動部分的主視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是該真空閥門的轉(zhuǎn)臂傳動部分的俯視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是本實用新型真空閥門的另一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7是一種初級技術(shù)的真空翻板閥門的正面縱剖視參考圖； 圖8是一種初級技術(shù)的真空翻板閥門的側(cè)向剖視參考圖； 各圖之中，1代表真空室，11是真空室外壁，12是固定座，13是真空室頂蓋板，14是 工件入口，2，2'是氣缸，3，3'是齒條，4，4'是齒輪，41是轉(zhuǎn)軸，42，42'是軸承座，43，43'是萬 向聯(lián)軸器，44， 44'， 44"， 44'"是主動轉(zhuǎn)臂，441， 441'， 441"， 441'"是銷釘，45， 45'， 45"， 45'" 是連桿，451，451，，451"，451，"；是銷釘，46，46，，46"，46，"是從動轉(zhuǎn)臂，461，461'，461"， 461'"是銷釘，5是翻板門，51 ， 51' ， 51 "， 51'"是調(diào)整條塊，52是密封圈。
具體實施方式實施例1 :如附圖所示，在真空室1的外壁11上，安裝上固定座12，在真空室1的 另一面，安裝上軸承座42，在該軸承座42里，裝上一根轉(zhuǎn)軸41，該根轉(zhuǎn)軸41的一端，通過一 個萬向聯(lián)軸器43，連接到一個齒輪4的中心上、并與該齒輪固定在一起，轉(zhuǎn)軸41較長的另一 端，分別裝上主動轉(zhuǎn)臂44，和44'。上述的齒輪4是與一根齒條3嚙合的，齒條3由一臺氣 缸2的活塞桿帶動，氣缸的活塞桿移動，帶動齒條3，經(jīng)齒條/齒輪對的傳遞，改變方向傳動 到轉(zhuǎn)軸41，轉(zhuǎn)軸41的緩慢轉(zhuǎn)動，帶動安裝于其上的兩根主動轉(zhuǎn)臂44,44'轉(zhuǎn)動。該兩根轉(zhuǎn) 臂通過銷釘441， 441'的連結(jié)，連結(jié)上連桿45， 45'，連桿45， 45'的另一端，也通過銷釘451， 451'的連結(jié)，連接上從動轉(zhuǎn)臂46 ， 46'，兩根從動轉(zhuǎn)臂46 ， 46'的另 一端，則以銷釘461 ， 461'連結(jié)在固定座12上。這樣，從動轉(zhuǎn)臂46,46'即可以461,461'為支點，在主動轉(zhuǎn)臂44，44' 的帶動下，翻起或翻落；并以螺釘與一塊長條形的翻板門5的背面安裝在一起，從而帶動該 翻板門5、翻起或翻落蓋上真空室外壁(1)上的工件入口 14 ;在翻板門5的底面，置有一圈 密封圈52，在裝配翻板門時，在從動轉(zhuǎn)臂46， 46'與翻板門5的背部之間，還可以放置一塊調(diào) 整條塊51 ， 51'，以便于調(diào)整兩邊從動轉(zhuǎn)臂的準確位置，平衡受壓面上的壓力。本實用新型真 空閥門的傳動穩(wěn)定；密封性能好。特別適合于對真空室上較長條形真空進出口的密封。 實施例2 :同實施例l，只是，在轉(zhuǎn)軸41的兩邊，分別與兩套齒輪傳動機構(gòu)固定連 接，即轉(zhuǎn)軸41的兩端、分別通過聯(lián)軸器43， 43'，而與齒輪4， 4'連接，它們分別支承在軸承座 42,42'里面；該齒輪4，4'，分別與齒條3，3'嚙合，齒條3，3'又各自與一臺氣缸2或2'的 活塞桿相連接。在上述轉(zhuǎn)軸41的上面，均勻分布地固定有4根主動轉(zhuǎn)臂44，44'，44"，44'"， 它們通過各自的連桿45， 45， ， 45"， 45，"，連結(jié)到4根從動轉(zhuǎn)臂46， 46， ， 46"， 46，"上，4根從 動轉(zhuǎn)臂的底面，均與實施例1上所述的翻板門5連接，從而更穩(wěn)健而準確地將翻板門緊貼于 上述較長條形的進口處。
權(quán)利要求一種真空閥門，是安裝在真空室(1)上的翻板閥門，包括有相互連接的氣缸，轉(zhuǎn)軸，連桿和翻板門，由翻板門蓋上并密封住真空室(1)上的工件入口(14)，其特征在于，所述的氣缸是一臺安置在真空室(1)外面的氣缸(2)，該氣缸(2)的活塞桿與一根齒條(3)連接，該齒條(3)與一個齒輪(4)嚙合；在一根轉(zhuǎn)軸(41)上面，固定連接有一個上述的齒輪(4)，在該根轉(zhuǎn)軸(41)的兩邊，還分別連結(jié)有各一根主動轉(zhuǎn)臂(44，44’)，該兩根主動轉(zhuǎn)臂(44，44’)，通過各自的連桿(45，45’)的連結(jié)，而連結(jié)到各自的一根從動轉(zhuǎn)臂(46，46’)上面；該兩根從動轉(zhuǎn)臂(46，46’)，均分別連接在一個矩形的翻板門(5)的背面上，翻板門(5)的底面是與真空室(1)的外壁(11)吻合的，并蓋住其上的工件入口(14)；在翻板門(5)與外壁(11)之間的密封面上設(shè)有一個密封圈(52)。
2. —種真空閥門，是安裝在真空室(1)上的翻板閥門，包括有相互連接的氣缸，轉(zhuǎn)軸， 連桿和翻板門，由翻板門蓋上并密封住真空室(1)上的工件入口 (14)，其特征在于，所述的 氣缸是兩臺安置在真空室(1)外面的氣缸(2.2')，該兩臺氣缸(2.2')的活塞桿各自與一 根齒條(3. 3')連接，該兩根齒條(3. 3')各自與一個齒輪(4. 4')嚙合；在一根轉(zhuǎn)軸(41) 的兩邊，固定連接有各一個上述的齒輪(4.4')，在該根轉(zhuǎn)軸(41)上面，還分別連結(jié)有4根 均勻分布的主動轉(zhuǎn)臂(44，44' .44". 44"')，上述的4根主動轉(zhuǎn)臂(44，44' .44". 44"')， 通過各自的一根連桿(45，45' .45". 45"')的連結(jié)，而連結(jié)到各自的一根從動轉(zhuǎn)臂(46， 46' 46". 46"')上面；該4根從動轉(zhuǎn)臂(46，46' .46". 46，")，均分別連接在一個矩形的翻 板門(5)的背面上，翻板門(5)的底面是與真空室(1)的外壁(11)吻合的，并蓋住其上的 工件入口 (14);在翻板門(5)與外壁(11)之間的密封面上設(shè)有一個密封圈(52)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種真空閥門，其特征在于，所述的齒輪(4.4')與轉(zhuǎn)軸 (41)的固定連接，是由固定在齒輪(4.4')中心的傳動軸，被支承在軸承座(42)或支承在 各自的軸承座(42. 42')里，而連接到萬向聯(lián)軸器(43)或各自的萬向聯(lián)軸器(43. 43')，再 連接到所述的轉(zhuǎn)軸(41)上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種真空閥門，其特征在于，在所述的2根從動轉(zhuǎn)臂(46， 46')或4根從動轉(zhuǎn)臂(46，46' .46". 46"，)與翻板門(5)的連接部位之間，各自安裝有一 塊調(diào)整條塊(51， 51' .51".51'")。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空閥門，其特征在于，在所述的2根從動轉(zhuǎn)臂(46， 46')或4根從動轉(zhuǎn)臂(46，46' .46". 46"')與翻板門(5)的連接部位之間，各自安裝有一 塊調(diào)整條塊(51， 51' .51".51'")。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種真空閥門；其特征在于，所述的主動轉(zhuǎn)臂(44， 44' .44". 44"')和從動轉(zhuǎn)臂(46，46' . 46" . 46"')，均以一端安裝并固定在真空室(1)上 的固定座(12)上面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空閥門；其特征在于，所述的主動轉(zhuǎn)臂(44， 44' .44".44"')和從動轉(zhuǎn)臂(46，46' .46".46"')，均以一端安裝并固定在真空室(1)上 的固定座(12)上面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種真空閥門，其特征在于，所述通過連桿(45， 45'.45".45"')連結(jié)主動轉(zhuǎn)臂(44，44'.44".4"')與從動轉(zhuǎn)臂(46， 46， 4". 4"，)，是由穿 過主動轉(zhuǎn)臂(44，44' .44". 44"')的銷釘(441,441' . 441". 441"')，與穿過從動轉(zhuǎn)臂(46， 46，46". 46"')的銷釘(451 ，451'. 451". 451"')來連結(jié)的；而從動轉(zhuǎn)臂(46，46'. 46". 46"')的另一端，則以銷釘(461,461， .461". 461，")連結(jié)在固定座(12)上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空閥門，其特征在于，所述的通過連桿(45， 45， .45". 45"，)連結(jié)主動轉(zhuǎn)臂(44,44， .44" .44"，)與從動轉(zhuǎn)臂(46， 46' .46". 46"，)， 是由穿過主動轉(zhuǎn)臂(44，44' .44". 44"')的銷釘(441,441' .441". 441"')，與穿過從動 轉(zhuǎn)臂(46，46' 46". 46，")的銷釘(451,451， .451". 451"，)來連結(jié)的；而從動轉(zhuǎn)臂(46， 46' .46". 46"，)的另一端，則以銷釘(461,461， .461". 461，")連結(jié)在固定座(12)上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空閥門，其特征在于，所述的通過連桿(45， 45， .45". 45"，)連結(jié)主動轉(zhuǎn)臂(44,44， .44" .44"，)與從動轉(zhuǎn)臂(46， 46' .46". 46"，)， 是由穿過主動轉(zhuǎn)臂(44，44' .44".44"')的銷釘(441,441' . 441" . 441"')，與穿過從動 轉(zhuǎn)臂(46，46' .46". 46"，)的銷釘(451,451， .451". 451"，)來連結(jié)的；而從動轉(zhuǎn)臂(46， 46' .46". 46"，)的另一端，則以銷釘(461,461， .461". 461"')連結(jié)在固定座(12)上。
專利摘要一種真空閥門，安裝在真空室1上，由氣缸2帶動齒條3，聯(lián)動與其嚙合的齒輪4，從而帶動裝在齒輪4中心的轉(zhuǎn)軸41轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸41上安裝有一對主動轉(zhuǎn)臂；或由2臺氣缸通過齒條和齒輪，連動一根主軸41，在主軸上連結(jié)4根主動轉(zhuǎn)臂，主動轉(zhuǎn)臂通過各自連桿的傳動，連動各自的從動轉(zhuǎn)臂，在從動轉(zhuǎn)臂下面，安裝上翻板門5，用以密封真空室的工件入口14，由轉(zhuǎn)軸的傳動，翻起或翻落翻板門，以打開或關(guān)上入口。這種真空閥門，傳動穩(wěn)定，密封性能好，特別適于對真空室上較長條形工件入口的密封。
文檔編號F16K31/124GK201487243SQ200920061669
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月3日
發(fā)明者鐘肇蘭 申請人:鐘肇蘭