一種真空設備隔絕閥門裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種真空設備隔絕閥門裝置，包括：閥門板(1)，以及連接在所述閥門板(1)上的多個閥門臂(2)，所述閥門板(1)和閥門臂(2)之間通過螺旋形彈簧(3)相連接，所述螺旋形彈簧(3)與閥門臂(2)之間以螺栓(4)相連接。本實用新型所述裝置有效提高了氣密度，且運作過程中更順暢，易于調整，并且所述裝置結構簡單，維修方便。
【專利說明】一種真空設備隔絕閥門裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種閥門裝置，具體為一種真空設備隔絕閥門裝置。

【背景技術】
[0002]為了使連續(xù)的制程中有不同的真空條件，在現有技術中，是通過在一個真空設備中設置多數個串聯(lián)的真空區(qū)域，兩個相鄰真空區(qū)域之間分別安裝一個閥門，當工件在其中一個真空區(qū)域中加工時，其兩側需以閥門關閉做為阻隔，以獨立的控制此真空區(qū)域內的真空條件，以滿足作業(yè)需求，而加工完成后，需要重新開啟出口側閘門，以允許加工件送往下一個真空區(qū)域，進行下一個加工作業(yè)，依此類推，以達到連續(xù)加工的目的。
[0003]現有技術的缺點為:盤型彈簧安裝不方便，且彈力無法達到要求，并且在閘門關閉時，氣密度不佳。
實用新型內容
[0004]針對上述技術問題，本實用新型公開一種真空設備隔絕閥門裝置，包括:閥門板1，以及連接在所述閥門板I上的多個閥門臂2，所述閥門板I和閥門臂2之間通過螺旋形彈簧3相連接，所述螺旋形彈簧3與閥門臂2之間以螺栓4相連接。
[0005]本實用新型的有益效果是通過改變閥門板與閥門臂之間的連接彈簧以及連接方式，有效提高了氣密度，在運作過程中更順暢，易于調整，并且所述裝置結構簡單，維修方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實用新型所述真空設備隔絕閥門裝置的側視結構示意圖；
[0007]圖2是本實用新型所述真空設備隔絕閥門裝置的正面結構示意圖。

【具體實施方式】
[0008]下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。
[0009]如圖1、圖2所示，本實用新型公開一種真空設備隔絕閥門裝置，包括:閥門板1，以及連接在所述閥門板I上的多個閥門臂2，所述閥門板I和閥門臂2之間通過螺旋形彈簧3相連接，所述螺旋形彈簧3與閥門臂2之間以螺栓4相連接。各個螺旋形彈簧3上下排列，設置在下方的螺旋形彈簧3的長度要大于設置在上方的螺旋形彈簧3，以更好的提高氣密性，運作過程更順暢。
[0010]盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【權利要求】
1.一種真空設備隔絕閥門裝置，其特征在于，包括:閥門板(I)，以及連接在所述閥門板⑴上的多個閥門臂(2)，所述閥門板⑴和閥門臂(2)之間通過螺旋形彈簧(3)相連接，所述螺旋形彈簧(3)與閥門臂(2)之間以螺栓(4)相連接。
【文檔編號】F16K3/30GK204114190SQ201420360096
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月2日 優(yōu)先權日:2014年7月2日
【發(fā)明者】霍凱, 陳宥廷, 李玉, 徐全獻 申請人:蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司