流量調(diào)節(jié)器具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供便宜的流量調(diào)節(jié)器具，其能夠容易地調(diào)節(jié)在管中流動(dòng)的流體的流量。所述流量調(diào)節(jié)器具調(diào)節(jié)在管中流動(dòng)的流體的流量，所述流量調(diào)節(jié)器具具備管連結(jié)器和內(nèi)套，所述管連接器具備：連結(jié)器主體，其具備用于連接管的連接孔；和卡定構(gòu)件，其安裝于連結(jié)器主體的連接孔的內(nèi)周面并具備將插入到連接孔中的管的外周面卡住的卡定爪，所述內(nèi)套具有與管的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套嵌入到管的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于使該卡定構(gòu)件的卡定爪的卡定力增大，內(nèi)套與流經(jīng)的流體的流量對(duì)應(yīng)地形成各種內(nèi)徑。
【專利說明】流量調(diào)節(jié)器具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于調(diào)節(jié)在管中流動(dòng)的流體的流量的流量調(diào)節(jié)器具。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體器件制造工序中，在大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的正面由呈格子狀排列 的被稱作間隔道的分割預(yù)定線劃分出多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域形成IC、LSI等器件。對(duì) 于這樣構(gòu)成的半導(dǎo)體晶片，在利用磨削裝置對(duì)背面進(jìn)行磨削而形成規(guī)定的厚度之后，利用 切削裝置或激光加工裝置等沿間隔道分割成一個(gè)個(gè)器件。
[0003] 對(duì)半導(dǎo)體晶片等晶片的背面進(jìn)行磨削的磨削裝置具備以下等部分：卡盤工作臺(tái)， 其抽吸保持晶片；磨削構(gòu)件，其具備安裝于旋轉(zhuǎn)主軸的磨削輪，該磨削輪對(duì)保持于該卡盤工 作臺(tái)的晶片進(jìn)行磨削；以及清洗構(gòu)件，其對(duì)被該磨削構(gòu)件磨削的晶片進(jìn)行清洗(例如，專利 文獻(xiàn)1)。
[0004] 并且，將晶片分割成一個(gè)個(gè)器件的切削裝置具備以下等部分：卡盤工作臺(tái)，其抽吸 保持晶片；切削構(gòu)件，其具備安裝于旋轉(zhuǎn)主軸的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持于該卡盤工作 臺(tái)的晶片進(jìn)行切削；以及清洗構(gòu)件，其對(duì)被該切削構(gòu)件切削過的晶片進(jìn)行清洗(例如，專利 文獻(xiàn)2)。
[0005] 在上述磨削裝置和切削裝置等加工裝置中，包括卡盤工作臺(tái)的多個(gè)構(gòu)件經(jīng)由管而 與抽吸源連結(jié)，并且包括主軸單元的多個(gè)構(gòu)件經(jīng)由管而與高壓空氣源連結(jié)。
[0006] 如上所述，在抽吸源或高壓空氣源，需要根據(jù)功能將經(jīng)由管向各個(gè)構(gòu)件供給的空 氣調(diào)節(jié)成需要的流量，因此經(jīng)由適當(dāng)?shù)墓?jié)氣閥而與抽吸源或高壓空氣源連接。
[0007] 專利文件1 :日本特開2005-153090號(hào)公報(bào)
[0008] 專利文件2 :日本特開2001-7058號(hào)公報(bào)
[0009] 而且，在與抽吸源或高壓空氣源連接的流體路徑分別配置節(jié)氣閥，需要備齊各種 比較昂貴的節(jié)氣閥來構(gòu)成加工裝置，因此存在成本增高的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的，其主要的技術(shù)課題在于提供便宜的流量調(diào)節(jié) 器具，其能夠容易地調(diào)節(jié)在管中流動(dòng)的流體的流量。
[0011] 為了解決上述主要技術(shù)課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種流量調(diào)節(jié)器具，其調(diào)節(jié)在管中 流動(dòng)的流體的流量，所述流量調(diào)節(jié)器具的特征在于，
[0012] 其具備管連結(jié)器和內(nèi)套，
[0013] 所述管連接器具備：連結(jié)器主體，其具備用于連接該管的連接孔；和卡定構(gòu)件，其 安裝于該連結(jié)器主體的連接孔的內(nèi)周面并具備將插入到連接孔中的該管的外周面卡住的 卡定爪，
[0014] 所述內(nèi)套具有與該管的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套嵌入該管的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于 使該卡定構(gòu)件的卡定爪的卡定力增大，
[0015] 該內(nèi)套與流經(jīng)的流體的流量對(duì)應(yīng)地形成各種內(nèi)徑。
[0016] 優(yōu)選上述內(nèi)套按照內(nèi)徑用顏色區(qū)分開。
[0017] 在本發(fā)明的流量調(diào)節(jié)器具中，內(nèi)套具有與管的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套嵌入到 管的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于使卡定構(gòu)件的卡定爪的卡定力增大，所述內(nèi)套與流經(jīng)的流體的流量 對(duì)應(yīng)地形成各種內(nèi)徑，因此，不必備齊各種節(jié)氣閥來構(gòu)成加工裝置，從而能夠?qū)崿F(xiàn)加工裝置 的成本降低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 圖1是將按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的結(jié)構(gòu)部件分解示出的立體圖。
[0019] 圖2是構(gòu)成按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的管連結(jié)器的剖視圖。
[0020] 圖3是按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的剖視圖。
[0021] 標(biāo)號(hào)說明
[0022] 2a、2b、2c :管；
[0023] 3 :管連結(jié)器；
[0024] 31 :連結(jié)器主體；
[0025] 311a、311b、311c :連接孔；
[0026] 32a、32b、32c :卡定構(gòu)件；
[0027] 321 :卡定爪；
[0028] 33a、33b、33c :釋放襯套；
[0029] 4a、4b、4c:內(nèi)套。

【具體實(shí)施方式】
[0030] 以下，參照附圖進(jìn)一步詳細(xì)地說明按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的優(yōu)選的實(shí)施 方式。
[0031] 在圖1中示出了將按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的結(jié)構(gòu)部件分解示出的立體 圖。在圖2中示出了構(gòu)成按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的管連結(jié)器的剖視圖。在圖3中 示出了按照本發(fā)明構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具的剖視圖。
[0032] 圖示的實(shí)施方式中的流量調(diào)節(jié)器具具備用于連結(jié)管2a、2b和2c的管連結(jié)器3。該 管連結(jié)器3具備連結(jié)器主體31，所述連結(jié)器主體31由適當(dāng)?shù)暮铣蓸渲纬刹⒕邆?個(gè)連 接孔311 &、31113、311(：，3個(gè)連接孔311&、31113、311(3在圖示的實(shí)施方式中形成為內(nèi)徑相同并 且彼此連通。在形成于連結(jié)器主體31的3個(gè)連接孔311a、311b、311c的內(nèi)周面分別配置有 卡定構(gòu)件328、3213、32〇，所述卡定構(gòu)件323、3213、32〇在管23、213、2〇被插入的狀態(tài)下卡住管 2a、2b、2c的外周面。該卡定構(gòu)件32a、32b、32c分別由與管2a、2b、2c的外周面卡合的多個(gè) 卡定爪321、和將該卡定爪321保持在連接孔311a、311b、311c的內(nèi)周面的爪按壓部322構(gòu) 成。
[0033] 在設(shè)于構(gòu)成上述管連結(jié)器3的連結(jié)器主體31的3個(gè)連接孔311a、311b、311c的 端部，分別以能夠沿軸向滑動(dòng)的方式配置有筒狀的釋放襯套（release bushing) 33a、33b、 33c，所述釋放襯套33a、33b、33c用于解除上述卡定爪321與管2a、2b、2c的外周面的卡合。 在該釋放襯套33a、33b、33c的外周面分別設(shè)有卡定部331，該卡定部331通過與防脫部312 抵接來進(jìn)行防脫，所述防脫部312形成于在連結(jié)器主體31設(shè)置的3個(gè)連接孔311a、311b、 311c的端部。另外，上述的連結(jié)器主體31、由卡定爪321和爪按壓部322構(gòu)成的卡定構(gòu)件 32&、3213、32(：、和釋放襯套33 &、3313、33(3的結(jié)構(gòu)可以是以往公知的結(jié)構(gòu)，從而省略了更詳細(xì) 的說明。
[0034] 參照?qǐng)D1和圖3繼續(xù)進(jìn)行說明，圖示的實(shí)施方式中的流量調(diào)節(jié)器具具備內(nèi)套4a、 4b、4c，所述內(nèi)套4a、4b、4c具有與上述管2a、2b、2c的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套4a、4b、4c 嵌入到管2a、2b、2c的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于使上述卡定構(gòu)件32a、32b、32c的卡定爪321的卡定 力增大。該內(nèi)套4a、4b、4c分別由嵌入到管2a、2b、2c的末端部?jī)?nèi)側(cè)的管保持部41、和在該 管保持部41的一端沿徑向形成的凸緣部42構(gòu)成。這樣形成的內(nèi)套4a、4b、4c與流經(jīng)的流 體的流量對(duì)應(yīng)地形成各種內(nèi)徑。在圖示的實(shí)施方式中，內(nèi)套4a的內(nèi)徑設(shè)定為 (pSmm，內(nèi)套 4b的內(nèi)徑設(shè)定為q>6mm，內(nèi)套4c的內(nèi)徑設(shè)定為φ4_。另外，內(nèi)套4a、4b、4c可以由鋁合金 或不銹鋼等金屬材料或適當(dāng)?shù)暮铣蓸渲纬伞２⑶遥瑑?yōu)選內(nèi)套4a、4b、4c分別按照內(nèi)徑用顏 色區(qū)分開。
[0035] 圖示的實(shí)施方式中的管連結(jié)器3如上那樣構(gòu)成，為了連結(jié)管2&、213、2(：，將內(nèi)套4 &、 4b、4c的管保持部41分別嵌入于管2a、2b、2c的末端部。此時(shí)，如果內(nèi)套4a、4b、4c按照內(nèi) 徑用顏色區(qū)分開，則能夠無誤且可靠地嵌入于規(guī)定的管2a、2b、2c中。接下來，如圖3所示， 使嵌入有內(nèi)套4a、4b、4c的管保持部41的管2a、2b、2c的末端部分別通過釋放襯套33a、 33b、33c插入到連接孔311a、311b、311c中，由此各個(gè)卡定構(gòu)件32a、32b、32c的卡定爪321 與管2a、2b、2c的外周面卡合。通過該卡定爪321與管2a、2b、2c的外周面卡合，來防止管 2a、2b、2c的脫出。
[0036] 在如上那樣構(gòu)成的流量調(diào)節(jié)器具中，從流體源被導(dǎo)入到管2a中的流體通過內(nèi)套 4a而被導(dǎo)入，并通過內(nèi)套4b、4c而從管2b、2c導(dǎo)入到規(guī)定的裝置。在圖示的實(shí)施方式中， 內(nèi)套4a的內(nèi)徑設(shè)定為φ8_，內(nèi)套4b的內(nèi)徑設(shè)定為φ6_，內(nèi)套4c的內(nèi)徑設(shè)定為q>4mm，因 此，若向管2a供給32. 5升/分的空氣并通過內(nèi)套4a進(jìn)行導(dǎo)入，則通過內(nèi)套4b向管2b導(dǎo) 入22. 5升/分的空氣，通過內(nèi)套4c向管2c導(dǎo)入10. 0升/分的空氣。
[0037] 另外，在從連結(jié)器主體31拔出管2a、2b、2c時(shí)，分別使釋放襯套33a、33b、33c向卡 定爪321側(cè)滑動(dòng)來解除卡定爪321與管2a、2b、2c的外周面的卡合，由此能夠容易地拔出管 2a、2b、2c〇
[0038] 如上所述，在圖示的實(shí)施方式的流量調(diào)節(jié)器具中，內(nèi)套4a、4b、4c具有與管2a、2b、 2c的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套4a、4b、4c嵌入到管2a、2b、2c的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于使上述卡 定構(gòu)件32a、32b、32c的卡定爪321的卡定力增大，內(nèi)套4a、4b、4c與流經(jīng)的流體的流量對(duì)應(yīng) 地形成各種內(nèi)徑，因此，不必備齊各種節(jié)氣閥來構(gòu)成加工裝置，從而能夠?qū)崿F(xiàn)加工裝置的成 本降低。
[0039] 以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不僅限定于實(shí)施方式， 可以在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。例如，在上述實(shí)施方式中，示出了應(yīng)用于對(duì)空 氣的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)的流量調(diào)節(jié)器具的例子，但本發(fā)明的流量調(diào)節(jié)器具也可以應(yīng)用于水或油 等其他流體的流量調(diào)節(jié)。
【權(quán)利要求】
1. 一種流量調(diào)節(jié)器具，其調(diào)節(jié)在管中流動(dòng)的流體的流量，所述流量調(diào)節(jié)器具的特征在 于， 其具備管連結(jié)器和內(nèi)套， 所述管連接器具備：連結(jié)器主體，其具備用于連接該管的連接孔；和卡定構(gòu)件，其安裝 于該連結(jié)器主體的連接孔的內(nèi)周面并具備將插入到連接孔中的該管的外周面卡住的卡定 爪， 所述內(nèi)套具有與該管的內(nèi)徑對(duì)應(yīng)的外徑，所述內(nèi)套嵌入到該管的末端部?jī)?nèi)側(cè)，用于使 該卡定構(gòu)件的卡定爪的卡定力增大， 該內(nèi)套與流經(jīng)的流體的流量對(duì)應(yīng)地形成各種內(nèi)徑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量調(diào)節(jié)器具，其特征在于， 該內(nèi)套按照內(nèi)徑用顏色區(qū)分開。
【文檔編號(hào)】F16L41/02GK104251358SQ201410214595
【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月28日
【發(fā)明者】砂川武司 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科