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靜壓氣體軸承裝置的制作方法

文檔序號:12005801閱讀:來源:國知局
靜壓氣體軸承裝置的制作方法

技術(shù)特征:
1.一種用于以無接觸方式支撐待支撐物體的靜壓氣體軸承裝置,包括:多個靜壓氣體軸承,所述多個靜壓氣體軸承中的每一個靜壓氣體軸承具有:支撐表面,所述支撐表面用來以無接觸方式支撐所述待支撐物體;氣體通道,所述氣體通道用于引導從氣體供應開口提供至所述支撐表面的氣體;以及螺紋孔;外殼,所述外殼具有用于保持所述多個靜壓氣體軸承的內(nèi)表面;以及多個螺栓,其中:所述多個靜壓氣體軸承沿著圍繞所述待支撐物體的軸線的方向布置,從而所述支撐表面以相對于包括所述待支撐物體的軸線的水平平面不對稱的方式布置,并且所述多個靜壓氣體軸承被安裝在所述外殼的內(nèi)表面上,從而固定所述支撐表面相對于所述外殼的內(nèi)表面的位置;所述外殼具有穿過所述外殼的內(nèi)表面的多個螺紋孔;并且所述多個螺栓通過所述外殼的所述多個螺紋孔擰入所述靜壓氣體軸承的螺紋孔中,以便將所述靜壓氣體軸承固定至所述外殼。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜壓氣體軸承裝置,其中:所述支撐表面被加工成沿著所述待支撐物體的面對所述支撐表面的相應區(qū)域成形。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜壓氣體軸承裝置,其中:所述待支撐物體具有柱形形狀;并且所述支撐表面分別被加工成具有弧形形狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項權(quán)利要求所述的靜壓氣體軸承裝置,其中:所述靜壓氣體軸承裝置還包括支撐所述外殼的至少一個支架;并且所述支架設(shè)有支撐位置調(diào)節(jié)機構(gòu),所述支撐位置調(diào)節(jié)機構(gòu)用來調(diào)節(jié)所述外殼相對于所述支架的位置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜壓氣體軸承裝置,其中:所述支架具有通孔,所述外殼插入到所述通孔中,從而在所述外殼和所述支架之間留出預定間隙;所述外殼還具有沿著所述支架的通孔的徑向方向形成的螺紋孔;并且所述支撐位置調(diào)節(jié)機構(gòu)包括螺栓,所述支撐位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的所述螺栓被擰入到沿著所述支架的通孔的徑向方向形成的所述螺紋孔內(nèi),并且所述支撐位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的所述螺栓使所述外殼沿著所述通孔的徑向方向相對于所述支架運動達所述預定間隙的距離。
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