本發(fā)明涉及以無接觸(non-contact)方式支撐待支撐物體的靜壓氣體軸承裝置，并尤其涉及適于以無接觸方式支撐大尺寸物體的靜壓氣體軸承裝置。

背景技術(shù)：
專利文獻(xiàn)1披露了一種靜壓軸承墊類型的旋轉(zhuǎn)裝置。用在該靜壓軸承墊類型的旋轉(zhuǎn)裝置中的靜壓氣體軸承裝置包括：多個(gè)靜壓氣體軸承墊(徑向墊)，該多個(gè)靜壓氣體軸承墊沿徑向方向以無接觸方式支撐旋轉(zhuǎn)體(待支撐物體)，使得該旋轉(zhuǎn)體可以繞其軸線旋轉(zhuǎn)；和支架(靜止體)，該支架用來固定這些靜壓氣體軸承墊。球頭螺栓支撐構(gòu)件附接至支架，并且靜壓氣體軸承墊經(jīng)由被分別擰入球頭螺栓支撐構(gòu)件中的球頭螺栓而固定至該支架。引用清單專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本未審查專利申請(qǐng)公開號(hào)2010-124565

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
技術(shù)問題根據(jù)專利文獻(xiàn)1中描述的靜壓氣體軸承裝置，當(dāng)作為待支撐物體的旋轉(zhuǎn)體變大時(shí)，需要增加沿旋轉(zhuǎn)體的周向方向(徑向方向)或者沿旋轉(zhuǎn)體的軸向方向(推力方向)放置的靜壓氣體軸承墊數(shù)量。然而，當(dāng)靜壓氣體軸承墊的數(shù)量變多時(shí)，以下問題出現(xiàn)在專利文獻(xiàn)1中描述的靜壓氣體軸承裝置中。如上所述，在專利文獻(xiàn)1中描述的靜壓氣體軸承裝置中，靜壓氣體軸承墊通過相應(yīng)的球頭螺栓固定到支架，并且因此，每一個(gè)靜壓氣體軸承墊相對(duì)于支架的安裝角度得以自動(dòng)地調(diào)節(jié)。然而，每一個(gè)靜壓氣體軸承墊在徑向方向上的定位通過精細(xì)調(diào)節(jié)每一個(gè)球頭螺栓在球頭螺栓支撐構(gòu)件中的擰緊程度來實(shí)現(xiàn)。當(dāng)作為待支撐物體的旋轉(zhuǎn)體更大時(shí)，要經(jīng)受麻煩的精細(xì)調(diào)節(jié)的靜壓氣體軸承墊數(shù)量增加，而這增加了對(duì)作為待支撐物體的旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行居中對(duì)準(zhǔn)的工作量。因此，在靜壓氣體軸承裝置中，對(duì)布置在裝置中的多個(gè)靜壓氣體軸承墊進(jìn)行定位是非常復(fù)雜的，并且該裝置不適合于待支撐的大尺寸物體。已經(jīng)考慮上述情況作出本發(fā)明。本發(fā)明的目標(biāo)在于提供一種靜壓氣體軸承裝置，在該靜壓氣體軸承裝置中，待支撐物體的居中對(duì)準(zhǔn)是容易的，而無關(guān)該物體的尺寸。解決問題的方案為了解決上述問題，在本發(fā)明的靜壓氣體軸承裝置中，在外殼的內(nèi)周邊表面上安裝有多個(gè)分段的靜壓氣體軸承，使得靜壓氣體軸承的支撐表面沿待支撐物體的軸向方向或沿周向方向布置。例如，本發(fā)明提供一種以無接觸方式支撐待支撐物體的靜壓氣體軸承裝置，其中：所述靜壓氣體軸承裝置包括：多個(gè)靜壓氣體軸承，所述多個(gè)靜壓氣體軸承具有相應(yīng)的支撐表面，所述支撐表面用來以無接觸方式支撐所述待支撐物體；和外殼，所述外殼保持所述多個(gè)靜壓氣體軸承；并且所述多個(gè)靜壓氣體軸承沿所述待支撐物體的軸向方向或周向方向布置并安裝在所述外殼的內(nèi)周邊表面上，使得所述支撐表面相對(duì)于所述外殼的內(nèi)周邊表面的位置被固定。本發(fā)明的有利效果根據(jù)本發(fā)明，多個(gè)分段的靜壓氣體軸承沿待支撐物體的周向方向或軸向方向布置并安裝在外殼的內(nèi)周邊表面上，使得支撐表面相對(duì)于外殼內(nèi)周邊表面的位置被固定。因此，靜壓氣體軸承的支撐表面可以一起經(jīng)受機(jī)加工以便被精確地精加工。因此，靜壓氣體軸承和待支撐物體可以被容易地對(duì)準(zhǔn)，而不用執(zhí)行對(duì)每一單個(gè)靜壓氣體軸承的麻煩的精細(xì)調(diào)節(jié)。由此，可以提供一種靜壓氣體軸承裝置，該靜壓氣體軸承裝置容易與待支撐物體對(duì)準(zhǔn)，而無關(guān)待支撐物體的尺寸。附圖說明圖1(A)是示出根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的靜壓氣體軸承裝置1的外部視圖，圖1(B)是圖1(A)所示靜壓氣體軸承裝置1的橫截面視圖；圖2(A)、圖2(B)和圖2(C)是靜壓氣體軸承墊2的主視圖、右視圖和仰視圖，圖2(D)是圖2(C)的A-A剖視圖；圖3(A)和圖3(B)是外殼3的主視圖和右側(cè)視圖，圖3(C)是圖3(A)的B-B剖面圖；圖4(A)是支架4的主視圖，圖4(B)是圖4(A)的C-C剖視圖；并且圖5是放大視圖，示出圖1(A)所示靜壓氣體軸承裝置的部分D。具體實(shí)施方式下文將參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。圖1(A)是示出根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的靜壓氣體軸承裝置1的外部視圖，圖1(B)是圖1(A)所示靜壓氣體軸承裝置1的剖視圖。本實(shí)施例的靜壓氣體軸承裝置1通過多個(gè)分段的靜壓氣體軸承墊以非接觸方式支撐待支撐的柱形物體(未示出)，諸如大尺寸的軸。如圖中所示，靜壓氣體軸承裝置1包括：多個(gè)靜壓氣體軸承墊2，每一個(gè)靜壓氣體軸承墊具有支撐表面20，該支撐表面以非接觸方式支撐待支撐物體；柱形的外殼3，該外殼保持靜壓氣體軸承墊2；一對(duì)支架4，該一對(duì)支架支撐外殼3；和支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5，該支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)被布置到相應(yīng)的支架4并調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的位置(沿豎直方向(方向Z)的高度)。這里，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2沿待支撐物體的軸向方向β和周向方向α布置，并附接到外殼3的內(nèi)周邊表面30，使得在外殼3的內(nèi)周邊表面30上，靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20沿待支撐物體的外周邊表面布置。在本實(shí)施例中，三個(gè)靜壓氣體軸承墊2沿待支撐物體的周向方向α被布置，并且沿待支撐物體的軸向方向β布置有兩排這種靜壓氣體軸承墊2的組(共計(jì)六個(gè)靜壓氣體軸承墊2)。然而，本發(fā)明不限于此。例如，靜壓氣體軸承墊2(該靜壓氣體軸承墊的數(shù)量取決于待支撐物體的尺寸、重量等等)可以沿周向方向α和軸向方向β中的至少一者布置。圖2(A)、圖2(B)和圖2(C)是靜壓氣體軸承墊2的主視圖、右側(cè)視圖和仰視圖，并且圖2(D)是圖2(C)的A-A剖視圖。每一個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20形成為具有弧形形狀，該弧形形狀的直徑略微大于待支撐物體的外直徑，使得在待支撐物體的外直徑與支撐表面20之間形成有厚度均勻的氣體層。如圖中所示，每一個(gè)靜壓氣體軸承墊2包括：弧形的背襯金屬21；和多孔燒結(jié)層22，該多孔燒結(jié)層形成在背襯金屬21的內(nèi)周邊表面23(在支撐表面20一側(cè)上的表面)上。背襯金屬21具有與外殼3的內(nèi)直徑尺寸近似相同的外直徑，使得外周邊表面24(在與支撐表面20相對(duì)一側(cè)上的表面)沿外殼3的內(nèi)周邊表面30延伸。在外周邊表面24中形成有用于擰入螺栓(未示出)的螺紋孔25，以便將靜壓氣體軸承墊2固定到外殼3。在背襯金屬21的內(nèi)周邊表面23中，例如沿周向方向形成有一個(gè)或更多個(gè)凹槽26A。在背襯金屬21的內(nèi)部中形成有將壓縮氣體供應(yīng)給這些凹槽26A的氣體通道26。并且，在背襯金屬21的一個(gè)側(cè)表面27(當(dāng)靜壓氣體軸承墊2組裝到外殼3的內(nèi)周邊表面30時(shí)從外殼3的開口面向外側(cè)的表面)中形成有氣體供應(yīng)開口28，用來將壓縮氣體供應(yīng)泵(未示出)的氣體供應(yīng)管道鏈接至氣體通道26。此外，在背襯金屬21的一個(gè)側(cè)表面27中形成有用來插入螺栓的螺栓孔29，該螺栓孔用來在對(duì)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20進(jìn)行機(jī)加工(諸如切割、研磨等)時(shí)將靜壓氣體軸承墊2固定到固定夾具(未示出)。當(dāng)由壓縮氣體供應(yīng)泵開始?xì)怏w供應(yīng)時(shí)，來自壓縮氣體供應(yīng)泵的壓縮氣體通過與氣體供應(yīng)開口28和氣體通道26鏈接的氣體供應(yīng)管道而供應(yīng)給在多孔燒結(jié)層22的背側(cè)上的凹槽26A。由此，來自壓縮氣體供應(yīng)泵的壓縮氣體流經(jīng)多孔燒結(jié)層22中的細(xì)孔，并且從多孔燒結(jié)層22的表面20(該表面用作支撐表面20)排出。圖3(A)和圖3(B)是外殼3的主視圖和右側(cè)視圖，并且圖3(C)是圖3(A)的B-B剖視圖。如圖中所示，外殼3具有臺(tái)階式柱形形狀，其中小直徑部分33形成在外周邊表面的兩個(gè)端部上。具體而言，外殼3包括：柱形形狀的外殼主體31；和插入部分33，該插入部分與外殼主體31一體地形成在外殼主體31的兩個(gè)端部32上，并且每一個(gè)插入部分的具有直徑小于外殼主體31的外直徑的柱形形狀。插入部分33分別插入到下文描述的支架4中的插入孔40內(nèi)。在外殼主體31的外周邊表面34中，螺栓孔35形成為在對(duì)應(yīng)于靜壓氣體軸承墊2(其布置在外殼3的內(nèi)周邊表面30上的預(yù)定的位置處)的螺紋孔25的位置處穿過到外殼3的內(nèi)周邊表面30。通過從外周邊表面34那一側(cè)上插入螺栓(未示出)到這些螺栓孔35中并通過將螺栓擰入外殼3中的靜壓氣體軸承墊2的螺紋孔25內(nèi)，靜壓氣體軸承墊2被固定在外殼3的內(nèi)周邊表面30上的預(yù)定的位置處。此外，在外殼主體31的兩個(gè)端表面32上形成有螺紋孔36，用于將外殼3固定到支架4的螺栓39(見圖1)擰入到該螺紋孔36中。此外，在外殼主體31的外周邊表面34中、在兩個(gè)端表面32附近的上部位置處沿Z方向形成螺紋孔37，下文描述的支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5的定位調(diào)節(jié)螺栓50擰入到該螺紋孔37中。在另一方面，插入部分33的軸線和內(nèi)直徑與外殼主體31的軸線和內(nèi)直徑相同。插入部分33的外直徑r1小于外殼主體31的外直徑r2。這些插入部分33分別插入到置于外殼3兩側(cè)上的兩個(gè)支架4(在下文描述)的插入孔40(在下文描述)中直至外殼主體31的兩個(gè)端表面32接觸相關(guān)支架4的一個(gè)側(cè)表面。圖4(A)是支架4的主視圖，圖4(B)是圖4(A)的C-C剖視圖。如圖中所示，每一個(gè)支架4包括：板形的支架主體41；基座42，該基座與支架主體41一體地形成在支架主體41的下端部分處以便防止支架主體41側(cè)向跌落；和保持部分43，該保持部分形成在支架主體41的上端部分以便保持支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5。在支架主體41中，插入孔40形成為穿過支架主體41的兩個(gè)側(cè)表面44和45。外殼3的插入部分33插入到插入孔40中。為了允許支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的位置，在支架4的插入孔40與外殼3的插入部分33之間存在有預(yù)定的間隙。例如，插入孔40與外殼3的插入部分33之間的配合是松的間隙配合，該間隙配合具有作為外殼3在插入孔40的內(nèi)周邊表面與外殼3的插入部分33的外周邊表面之間的定位余量的間隙。就是說，其插入部分33插在支架4的插入孔40中的外殼3可以以對(duì)應(yīng)于外殼3的定位余量的距離沿著支架4的插入孔的徑向方向運(yùn)動(dòng)。在這里，插入孔40的孔直徑r3形成為小于外殼3的外殼主體31的外直徑r2，使得當(dāng)外殼3的插入部分33插入到插入孔40中時(shí)，外殼主體31的側(cè)表面32抵靠支架主體41的一個(gè)側(cè)表面44。此外，在支架主體41的插入孔40的外側(cè)上(即，在支架主體41和基座42中)、在對(duì)應(yīng)于外殼3(其插入部分33插入該插入孔40中)的外殼主體31的端表面32的螺紋孔36的位置處形成有螺栓孔46。在外殼3的插入部分33從支架4的一個(gè)側(cè)表面44那一側(cè)插在插入孔40中的狀態(tài)中，螺栓39(見圖1)從支架主體41的另一側(cè)表面45插入相應(yīng)的螺栓孔46中并擰入到外殼3中的螺紋孔36內(nèi)，從而將外殼3固定到支架4。為了使得可以借助于支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5來調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的定位，各螺栓孔46形成為具有一尺寸，該尺寸至少允許插入的螺栓39以外殼3的定位余量沿Z方向運(yùn)動(dòng)。為了防止支架主體41的側(cè)向跌落，基座42至少在支架主體41的下端部分處從支架主體41的側(cè)表面懸垂，并且形成寬于支架主體41的板厚度的底表面49。在本實(shí)施例中，基座42形成為具有在與外殼3相對(duì)一側(cè)上從支架主體41的另一側(cè)表面45伸出的形狀。保持部分43在支架主體41的上端部分處從支架主體41的另一側(cè)表面45懸垂。并且，用于保持支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5的凹入部分47形成在保持部分43的上表面43A中。在凹入部分47的底表面48中形成有螺紋孔(未示出)，用于固定支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5的固定螺栓擰入到該螺紋孔中。如下面描述地，當(dāng)外殼3的插入部分33插入到支架主體41的插入孔40中時(shí)，凹部部分47的底表面48處于比外殼主體31的外周邊表面34高的位置處(見圖5)。圖5是放大視圖，示出圖1(A)所示靜壓氣體軸承裝置1的部分D。如圖中所示，每一個(gè)支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5包括：定位調(diào)節(jié)螺栓50；和板51，該板由固定螺栓(未示出)固定到支架4的保持部分43的凹入部分47。在該板中、在對(duì)應(yīng)于支架4的保持部分43的凹入部分47的底表面48中的螺紋孔的位置處形成有螺栓孔(未示出)。通過將固定螺栓插入到螺栓孔中并通過將固定螺栓擰入到支架4的保持部分43的凹入部分47的底表面48中的螺紋孔內(nèi)，板51被固定到支架4的保持部分43。此外，在板51中、在對(duì)應(yīng)于形成在外殼3(該外殼的插入部分33插在支架4的插入孔40中)的外殼主體31中的螺紋孔37的位置處形成有用來插入定位調(diào)節(jié)螺栓50的螺栓孔。如上所述，當(dāng)外殼3的插入部分33插入支架4的插入孔40時(shí)，由于支架4的插入孔40與外殼的插入部分33之間存在松的間隙配合，在插入部分33的外周邊表面和插入孔40的內(nèi)周邊表面之間形成有至少為外殼3的定位余量的間隙d1。此外，由于形成在支架4的保持部分43中的凹入部分47的底表面48形成為處于比外殼主體31的外周邊表面34高的位置處，在板51的下表面53與外殼主體31的外周邊表面34之間也形成有至少為外殼3的定位余量的間隙d2。因此，通過將定位調(diào)節(jié)螺栓50插入板51的螺栓孔52中，通過將定位調(diào)節(jié)螺栓50擰入到外殼3的螺紋孔37中，并且通過調(diào)節(jié)擰緊程度，外殼3被拉向板51或拉離板51，從而能夠調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的位置。接下來將描述組裝具有上述結(jié)構(gòu)的靜壓氣體軸承裝置1的方法。首先，將靜壓氣體軸承墊2布置在外殼3中；將螺栓插入外殼3中的相應(yīng)螺栓孔35中；以及將螺栓擰入置于外殼3中的靜壓氣體軸承墊2中的螺紋孔25內(nèi)，從而將靜壓氣體軸承墊2固定至外殼3的內(nèi)周邊表面30中的預(yù)定位置。在那時(shí)，靜壓氣體軸承墊2被定位成使得背襯金屬21的其中形成有螺栓孔29的一個(gè)側(cè)表面27與插入部分33的端表面齊平(見圖1)。通過對(duì)所有靜壓氣體軸承墊2執(zhí)行類似的工作，希望數(shù)量的支撐表面20以希望的圖案沿待支撐物體的周向方向α并且沿待支撐物體的軸向方向β布置。接下來，通過使用形成在靜壓氣體軸承墊2的側(cè)表面(背襯金屬21的一個(gè)側(cè)表面27)中的螺栓孔29，固定夾具(未示出)用螺栓固定到被固定在外殼3的內(nèi)周邊表面30上的多個(gè)靜壓氣體軸承墊2。然后，如圖1(A)中所示，被固定在外殼3的內(nèi)周邊表面30上的多個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20一起經(jīng)受機(jī)加工(研磨、切割等)。結(jié)果，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20被精確地精加工而變成同一圓的數(shù)個(gè)圓弧。接下來，外殼3的兩個(gè)插入部分33分別從一對(duì)支架的一個(gè)側(cè)表面插入到該對(duì)支架的插入孔40中。結(jié)果，外殼3由彼此相對(duì)的這對(duì)支架4支撐。然后，定位調(diào)節(jié)螺栓50分別插入到被固定至支架4的板51的螺栓孔52中，并被擰入到形成在外殼3的外殼主體31的外周邊表面34中的螺紋孔37內(nèi)。通過調(diào)節(jié)每一個(gè)定位調(diào)節(jié)螺栓50的擰緊程度，每一個(gè)支架4的外殼位置(高度)得以調(diào)節(jié)，使得待支撐物體(該物體由多個(gè)靜壓氣體軸承3以無接觸方式支撐)的軸線O變得水平。當(dāng)完成對(duì)外殼3的定位時(shí)，螺栓被插入到形成在支架4的插入孔40周圍的螺栓孔46中并被擰入到外殼3的螺紋孔36中，從而將外殼3固定到支架4。由此，完成上述結(jié)構(gòu)的靜壓氣體軸承裝置1。上文已經(jīng)描述了本發(fā)明的實(shí)施例。根據(jù)上述實(shí)施例，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2安裝在外殼3的內(nèi)周邊表面30上，使得靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20沿待支撐物體的周向方向α或軸向方向β布置，并且靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20一起經(jīng)受機(jī)加工。由此，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20可以被精確地精加工，使得支撐表面20變成同一圓的數(shù)個(gè)圓弧。因此，在沒有對(duì)待支撐物體的對(duì)準(zhǔn)的麻煩精細(xì)調(diào)節(jié)的情況下，可以容易地使靜壓氣體軸承墊2的軸線O與待支撐物體的軸線重合。因此，可以提供靜壓氣體軸承裝置1，其中，對(duì)待支撐物體的對(duì)準(zhǔn)得以容易地執(zhí)行。此外，在本實(shí)施例中，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20可以被同時(shí)加工成精確的弧形形狀，該弧形形狀的直徑略微大于待支撐的柱形物體的外周邊表面直徑。因此，例如即使在外殼3的內(nèi)周邊還沒有被精確地精加工的情況下也可以在待支撐物體的外周邊表面和靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20之間形成厚度均勻的氣體層；并且因此，可以以無接觸方式穩(wěn)定地支撐待支撐物體。此外，在本實(shí)施例中，每一個(gè)支架4的插入孔40與外殼3的插入部分33之間的配合是松的間隙配合，并且同時(shí)每一個(gè)支架4的螺栓孔46(其對(duì)應(yīng)于外殼3的螺紋孔37)的內(nèi)直徑形成為比螺栓39的名義直徑至少大外殼3的定位余量。并且，通過調(diào)節(jié)定位調(diào)節(jié)螺栓50(其經(jīng)由被固定到支架4的板51中的螺栓孔52而擰入到外殼中的螺紋孔37內(nèi))的擰緊程度，可以調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的位置。因此，根據(jù)本實(shí)施例，通過調(diào)節(jié)定位調(diào)節(jié)螺栓50的擰緊程度以便調(diào)節(jié)支撐待支撐物體的外殼3的兩個(gè)端部的位置這一簡(jiǎn)單的操作，可以調(diào)節(jié)待支撐物體的傾斜度等。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，并且可以在本發(fā)明的范圍內(nèi)多樣地改變。例如，在上述實(shí)施例中，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2沿待支撐物體的周向方向α布置使得支撐表面20相對(duì)于包括軸線O的水平平面不對(duì)稱地布置。具體而言，在沿外殼3的內(nèi)周邊表面30的圓圈中，一個(gè)靜壓氣體軸承墊2位于包括軸線O的水平平面上方，而兩個(gè)靜壓氣體軸承墊3位于該水平平面下方。通過這種布置，從位于上方的一個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20排出的壓縮氣體壓力和待支撐物體的自身重量與從位于下方的兩個(gè)靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20排出的壓縮氣體壓力平衡。然而，本發(fā)明不限于此。例如，在待支撐物體被支撐成該物體的軸線O變得豎直的情況中，多個(gè)靜壓氣體軸承墊2可以沿該物體的外周邊表面布置成使得它們的支撐表面20以幾乎規(guī)則的角間隔圍繞該軸線O定位。此外，在上述實(shí)施例中，靜壓氣體軸承墊2的支撐表面20形成為具有與待支撐的柱形物體的外周邊表面一致的弧形形狀。然而，本發(fā)明不限于此。每一個(gè)支撐表面20形成為在待支撐物體的以無接觸方式面對(duì)支撐表面20的區(qū)域處具有與待支撐物體形狀相同的形狀便足矣。此外，在上述實(shí)施例中，每一個(gè)支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5包括：板51，該板固定到支架4的保持部分43；和定位調(diào)節(jié)螺栓50，該定位調(diào)節(jié)螺栓經(jīng)板51中的螺栓孔52擰入到外殼3中的螺紋孔37內(nèi)。然而，可以使用任何結(jié)構(gòu)的支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5，只要該結(jié)構(gòu)可以調(diào)節(jié)外殼3相對(duì)于支架4的位置。此外，在上述實(shí)施例中，支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5安裝在支架4的上部分上。然而，其它支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5可以在面對(duì)外殼3的外周邊表面的側(cè)表面處安裝在支架4上。此外，在上述實(shí)施例中，外殼的形狀是柱形的。然而，外殼的形狀不限于此。該外殼可以具有另一形狀，只要那個(gè)形狀可以保持住被分離成多個(gè)段的靜壓氣體軸承并且可以防止不必要的氣體泄漏等。此外，在上述實(shí)施例中，用作每一個(gè)靜壓氣體軸承墊2，使用了其支撐表面20由多孔燒結(jié)層制成的靜壓氣體軸承墊。然而，本發(fā)明不限于此。所使用的靜壓氣體軸承墊的支撐表面20中可以形成固有約束類型、孔口約束類型、表面約束類型等的壓縮空氣排出孔。此外，在上述實(shí)施例中，外殼3具有柱形形狀。然而，外殼3具有管狀形狀便足矣。此外，在上述實(shí)施例中，一對(duì)支架4保持外殼3的兩個(gè)端部。然而，外殼3可以由至少一個(gè)支架4保持。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明可以應(yīng)用于對(duì)待支撐在靜壓氣體軸承裝置中的物體的對(duì)準(zhǔn)加以簡(jiǎn)化的廣泛用途，其中該靜壓氣體軸承裝置以無接觸方式支撐該物體。附圖標(biāo)記清單1:靜壓氣體軸承裝置；2:靜壓氣體軸承墊；3:外殼；4:支架；5:支撐位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；20:支撐表面；21:背襯金屬；22:多孔燒結(jié)層；23:背襯金屬的內(nèi)周邊表面；24:背襯金屬的外周邊表面；25:背襯金屬的螺紋孔；26:背襯金屬的氣體通道；26A:背襯金屬的凹槽；27:背襯金屬的側(cè)表面；28:背襯金屬的氣體供應(yīng)開口；29:背襯金屬的螺栓孔；30:外殼的內(nèi)周邊表面；31:外殼主體；32:外殼主體的端表面；33:插入部分；34:外殼主體的外周邊表面；35:外殼的螺栓孔；36、37:外殼主體的螺紋孔；39:螺栓；40:支架的插入孔；41:支架主體；42:基座；43:保持部分；43A:保持部分的上表面；44,45:支架主體的側(cè)表面；46:支架4的螺栓孔；47:保持部分的凹入部分；48:凹入部分的底表面；49:支架4的底表面；50:定位調(diào)節(jié)螺栓；51:板；52:板的螺栓孔；和53:板的下表面。