專利名稱：用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種密封裝置，特別是涉及一種用于可旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)的運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置。
技術(shù)背景 目前，在多種設(shè)備中需要安裝既可以旋轉(zhuǎn)又可以滑動(dòng)的運(yùn)動(dòng)管件，如用于硅片清洗的清洗設(shè)備工藝腔室中的噴淋臂。根據(jù)不同工藝的要求，運(yùn)動(dòng)管件在工作時(shí)可相對(duì)其固定平板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)，因而運(yùn)動(dòng)管件與固定平板之間需留有一定的間隙來保證順利運(yùn)動(dòng)。然而，管件中噴出的液體經(jīng)常會(huì)有部分通過運(yùn)動(dòng)管件與固定平板之間的間隙進(jìn)入到其它的腔室中，影響其它腔室的正常運(yùn)行。因此，對(duì)運(yùn)動(dòng)管件和固定平板的連接處進(jìn)行有效密封是非常必要的，但現(xiàn)有的設(shè)備中未設(shè)置密封裝置來防止該類連接處的液體滲漏。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何提供一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，以克服運(yùn)動(dòng)管件中噴出的液體從該連接處進(jìn)入其它腔室導(dǎo)致影響其他腔室正常運(yùn)行的弊端。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，所述運(yùn)動(dòng)管件可相對(duì)固定平板旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)，所述密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運(yùn)動(dòng)管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內(nèi)部；上軸套上端與所述運(yùn)動(dòng)管件連接。其中，所述下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，所述邊沿與固定平板連接。其中，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內(nèi)壁之間設(shè)有間隙。其中，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內(nèi)壁之間的間隙中設(shè)有滾珠固定架，所述滾珠固定架內(nèi)設(shè)有滾珠。其中，所述滾珠固定架設(shè)于所述下軸套上部的外壁上。其中，所述滾珠固定架在所述下軸套上部的外壁周向上設(shè)有設(shè)為多個(gè)，多個(gè)所述滾珠固定架分布在所述下軸套上部的外壁周向上。其中，所述滾珠固定架設(shè)為三個(gè)。其中，所述上軸套上端與所述運(yùn)動(dòng)管件的連接處設(shè)有密封圈。其中，所述密封圈設(shè)為多個(gè)。其中，所述上軸套上端由可拆卸的左、右部分組成。(三)有益效果上述技術(shù)方案所提供的一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，采用上軸套和下軸套對(duì)運(yùn)動(dòng)管件和固定平板的連接處進(jìn)行封閉，下軸套下端與固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內(nèi)部，上軸套上端與運(yùn)動(dòng)管件連接，一方面避免運(yùn)動(dòng)管件中噴出的液體從該連接處進(jìn)入其它腔室，另一方面保證運(yùn)動(dòng)管件的順利運(yùn)動(dòng)；進(jìn)一步地，下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接，可確保下軸套與固定平板的密封性，以防止運(yùn)動(dòng)管件中的液體從下軸套與固定平板連接處的間隙中泄露；進(jìn)一步地，在上軸套和下軸套的間隙中增加滾珠，使得在維持運(yùn)動(dòng)管件正常旋轉(zhuǎn)和/或正常上下滑動(dòng)的同時(shí)，可有效保證運(yùn)動(dòng)管件與固定平板的垂直度并產(chǎn)生少量的粉塵顆粒。

圖I是本實(shí)用新型一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置的剖面圖；圖2是本實(shí)用新型一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置的外觀圖；圖3是本實(shí)用新型中下軸套的俯視圖；·[0021]圖4是本實(shí)用新型中上軸套的裝配圖。其中，I、運(yùn)動(dòng)管件；2、固定平板；3、上軸套；31、上軸套上端；32、上軸套下部；311、左部分；312、右部分；4、下軸套；41、下軸套上部；42、下軸套下端；5、滾珠固定架；6、密封圈。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。如圖I和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，該運(yùn)動(dòng)管件I可相對(duì)固定平板2旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)，該密封裝置包括上軸套3和下軸套4，該上軸套3和下軸套4分別套在運(yùn)動(dòng)管件I的管壁上；下軸套下端42與固定平板2連接，下軸套上部41位于上軸套下部32的內(nèi)部；上軸套上端31與運(yùn)動(dòng)管件I連接。本實(shí)用新型采用上軸套3和下軸套4對(duì)運(yùn)動(dòng)管件I和固定平板2的連接處進(jìn)行封閉，一方面避免運(yùn)動(dòng)管件I中噴出的液體從該連接處進(jìn)入其它腔室，另一方面保證運(yùn)動(dòng)管件I的順利運(yùn)動(dòng)。為了確保下軸套4與固定平板2的密封性，以防止運(yùn)動(dòng)管件I中的液體從下軸套4與固定平板2連接處的間隙中泄露，下軸套下端42帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接。為了使得從運(yùn)動(dòng)管體I上噴出的液體更加地遠(yuǎn)離運(yùn)動(dòng)管體I與固定平板2的連接處，以達(dá)到更佳的密封效果，上軸套下部32較上軸套上端31的直徑要大，使得從運(yùn)動(dòng)管件I上噴出的液體沿較寬的下部31甩出。下軸套上部41的外壁與上軸套下部32的內(nèi)壁之間設(shè)有間隙，該間隙可減少運(yùn)動(dòng)管件I在旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)時(shí)所受到的阻力。進(jìn)一步地，為了在維持運(yùn)動(dòng)管件I正常旋轉(zhuǎn)和/或正常上下滑動(dòng)的同時(shí)，有效保證運(yùn)動(dòng)管件I與固定平板2的垂直度并產(chǎn)生少量的粉塵顆粒，該少量的粉塵顆粒不會(huì)對(duì)運(yùn)動(dòng)管件I的運(yùn)動(dòng)造成不利影響，如圖I和圖3，本實(shí)施例在下軸套上部41的外壁與上軸套下部32的內(nèi)壁之間的間隙中設(shè)有滾珠固定架5，該滾珠固定架5內(nèi)設(shè)有滾珠。優(yōu)選地，滾珠固定架5設(shè)于下軸套上部41的外壁上，以便于加工。滾珠固定架5在下軸套4的上部41外壁周向上設(shè)有多個(gè)，可均勻分布或非均勻分布，優(yōu)選為均勻分布，以提高運(yùn)動(dòng)管件I運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。更優(yōu)地，該滾珠固定架5在下軸套上部41的外壁周向上設(shè)有三個(gè)。另外，該滾珠固定架5還可沿上軸套3的上部外壁周向上環(huán)形設(shè)置，然后再在該環(huán)形滾珠固定架5中設(shè)置多個(gè)固定格用于安裝滾珠。為了提高上軸套3與運(yùn)動(dòng)管件I連接處的密封性，本實(shí)施例在上軸套3與運(yùn)動(dòng)管件I的連接處設(shè)有密封圈6。該密封圈6可設(shè)為多個(gè)。優(yōu)選地，密封圈6設(shè)為三個(gè)。如圖4所示，上軸套上端31由可拆卸的左、右部分311、312組成，并由螺釘進(jìn)行連接，其目的是為了提高密封圈6的的壓緊力并方便密封圈6的安裝和更換。上述技術(shù)方案所提供的一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置所產(chǎn)生的主要效果為I、采用上軸套和下軸套對(duì)運(yùn)動(dòng)管件和固定平板的連接處進(jìn)行封閉，下軸套下端與固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內(nèi)部，上軸套上端與運(yùn)動(dòng)管件連接，一方面避免運(yùn)動(dòng)管件中噴出的液體從該連接處進(jìn)入其它腔室，另一方面保證運(yùn)動(dòng)管件的順利運(yùn)動(dòng)； 2、下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接，可確保下軸套與固定平板的密封性，以防止運(yùn)動(dòng)管件中的液體從下軸套與固定平板連接處的間隙中泄露；3、在上軸套和下軸套的間隙中增加滾珠，使得在維持運(yùn)動(dòng)管件正常旋轉(zhuǎn)和/或正常上下滑動(dòng)的同時(shí)，可有效保證運(yùn)動(dòng)管件與固定平板的垂直度并產(chǎn)生少量的粉塵顆粒，該少量的粉塵顆粒不會(huì)對(duì)運(yùn)動(dòng)管件的運(yùn)動(dòng)造成不利影響。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，所述運(yùn)動(dòng)管件可相對(duì)固定平板旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)，其特征在于，所述密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運(yùn)動(dòng)管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內(nèi)部；上軸套上端與所述運(yùn)動(dòng)管件連接。
2.如權(quán)利要求I所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，所述邊沿與固定平板連接。
3.如權(quán)利要求I所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內(nèi)壁之間設(shè)有間隙。
4.如權(quán)利要求3所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內(nèi)壁之間的間隙中設(shè)有滾珠固定架，所述滾珠固定架內(nèi)設(shè)有滾珠。
5.如權(quán)利要求4所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述滾珠固定架設(shè)于所述下軸套上部的外壁上。
6.如權(quán)利要求4所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述滾珠固定架設(shè)為多個(gè)，多個(gè)所述滾珠固定架分布在所述下軸套上部的外壁周向上。
7.如權(quán)利要求6所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述滾珠固定架設(shè)為三個(gè)。
8.如權(quán)利要求I所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述上軸套上端與所述運(yùn)動(dòng)管件的連接處設(shè)有密封圈。
9.如權(quán)利要求8所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述密封圈設(shè)為多個(gè)。
10.如權(quán)利要求I所述的用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述上軸套上端由可拆卸的左、右部分組成。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種密封裝置，公開了一種用于運(yùn)動(dòng)管件和固定平板連接處的密封裝置。所述運(yùn)動(dòng)管件可相對(duì)固定平板旋轉(zhuǎn)和/或上下滑動(dòng)，該密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運(yùn)動(dòng)管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內(nèi)部；上軸套上端與所述運(yùn)動(dòng)管件連接。本實(shí)用新型采用上軸套和下軸套對(duì)運(yùn)動(dòng)管件和固定平板的連接處進(jìn)行封閉，一方面避免運(yùn)動(dòng)管件中噴出的液體從該連接處進(jìn)入其它腔室，另一方面保證運(yùn)動(dòng)管件的順利運(yùn)動(dòng)；進(jìn)一步地，在上軸套上部的內(nèi)壁和下軸套下部的外壁之間的間隙中設(shè)有滾珠固定架和滾珠，可有效保證運(yùn)動(dòng)管件與固定平板的垂直度。
文檔編號(hào)F16L27/00GK202791046SQ20122039481
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者王浩, 姬丹丹, 王銳廷 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司