專利名稱：閉式流體靜壓導(dǎo)軌的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌。
背景技術(shù)：
流體靜壓導(dǎo)軌是一種非接觸型導(dǎo)軌，它利用流體介質(zhì)例如空氣，潤(rùn)滑油，或其它流體通過(guò)節(jié)流作用獲得承載能力。流體靜壓軸承具有精度高、振動(dòng)小、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛地應(yīng)用于精密和超精密加工、檢測(cè)等領(lǐng)域。流體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)應(yīng)遵循結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零部件變形小等原則，以盡可能的提高精度和穩(wěn)定性。流體靜壓導(dǎo)軌一般由固連在基座上的導(dǎo)軌本體，以及通過(guò)流體介質(zhì)懸浮在導(dǎo)軌本體上作直線或曲線運(yùn)動(dòng)的溜板組成，溜板內(nèi)通常還設(shè)置有供流體介質(zhì)流動(dòng)的流道和節(jié)流器，在導(dǎo)軌本體的導(dǎo)向面與相應(yīng)的溜板表面之間存在容納流體介質(zhì)的間隙，流體介質(zhì)通過(guò)溜板內(nèi)設(shè)置的流道和節(jié)流器后，進(jìn)入導(dǎo)軌本體導(dǎo)向面與相應(yīng)的溜板表面之間的間隙，形成可承受載荷的流體膜，流體膜將溜板懸浮在導(dǎo)軌本 體上。圖I示出了一種常規(guī)的T型流體靜壓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)圖，包括溜板I、導(dǎo)軌本體11和基座10，所述的溜板I包括上溜板14、兩個(gè)側(cè)溜板13和兩個(gè)下溜板12，其中兩個(gè)側(cè)溜板13分別固連在上溜板14的兩端、兩個(gè)下溜板12分別與兩個(gè)側(cè)溜板13固連從而組成T型槽15，所述的導(dǎo)軌本體11設(shè)置在T型槽15內(nèi)，導(dǎo)軌本體11通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面Ild與基座10相固連，導(dǎo)軌本體11內(nèi)設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間111。在該流體靜壓導(dǎo)軌中，導(dǎo)軌本體上導(dǎo)向面Ilc、導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面Ila和兩個(gè)導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面Ilb作為承載和導(dǎo)向面，并且與溜板I的相應(yīng)表面形成潤(rùn)滑間隙，具體為導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面Ila與下溜板上表面12a相向形成潤(rùn)滑間隙，導(dǎo)軌本體上導(dǎo)向面Ilc與上溜板下表面14c相向形成潤(rùn)滑間隙，兩個(gè)導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面I Ib分別與兩個(gè)側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面13b相向形成潤(rùn)滑間隙，流體介質(zhì)進(jìn)入潤(rùn)滑間隙形成流體膜(圖中未詳細(xì)地示出流道和節(jié)流器，只是利用每三個(gè)箭頭構(gòu)成一組的箭頭組表示流體介質(zhì)的流動(dòng)方向)，在流體膜壓力的作用下將溜板I非接觸地懸浮在導(dǎo)軌本體11上，構(gòu)成閉式流體靜壓導(dǎo)軌；并且必須保證下溜板下表面12d與基座上表面IOd之間有足夠的距離，以防止下溜板下表面12d與基座上表面IOd發(fā)生摩擦。中國(guó)專利CN101249612公開的就是這種流體靜壓導(dǎo)軌，但是這種常規(guī)的流體靜壓導(dǎo)軌的溜板I的受力力學(xué)特性不是很好，除了側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面13b所受到的流體介質(zhì)壓力會(huì)造成側(cè)溜板13向外的擴(kuò)張變形以外，下溜板上表面12a所受到的流體介質(zhì)壓力也會(huì)進(jìn)一步增加側(cè)溜板13向外的擴(kuò)張變形量，而且下溜板上表面12a所受到的流體介質(zhì)壓力還會(huì)造成下溜板12向下擴(kuò)張變形，從而導(dǎo)致精度的損失和穩(wěn)定性差。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能夠減小側(cè)溜板和下溜板變形、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好、精度高的流體靜壓導(dǎo)軌，用于解決現(xiàn)有的流體靜壓導(dǎo)軌的側(cè)溜板和下溜板容易變形和精度保持性差的問(wèn)題。[0005]本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題采取的一種技術(shù)方案是一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，它包括溜板、導(dǎo)軌本體和基座，所述的溜板包括上溜板、兩個(gè)側(cè)溜板和兩個(gè)下溜板，兩個(gè)側(cè)溜板分別固連在上溜板的兩端、兩個(gè)下溜板分別與兩個(gè)側(cè)溜板固連從而形成T型槽，所述的導(dǎo)軌本體設(shè)置在該T型槽內(nèi)，導(dǎo)軌本體通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面和基座安裝面與基座相固連，導(dǎo)軌本體內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間。本實(shí)用新型利用導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面和導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面以及基座導(dǎo)向面作為承載和導(dǎo)向面，導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與下溜板上表面相向形成潤(rùn)滑間隙，下溜板設(shè)置有節(jié)流器向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面與下溜板下表面相向形成潤(rùn)滑間隙，下溜板設(shè)置有節(jié)流器向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板設(shè)置有節(jié)流器向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，溜板內(nèi)設(shè)置與所述節(jié)流器相連通的流體輸入口和流道，流體介質(zhì)從流體輸入口、流道和節(jié)流器進(jìn)入潤(rùn)滑間隙內(nèi)，形成閉式靜壓流體導(dǎo)軌。所述基座設(shè)置有低于基座導(dǎo)向面的表面。本實(shí)用新型導(dǎo)軌本體上表面不作為承載和導(dǎo)向面，其與上溜板下表面設(shè)置足夠的距離以防止相互接觸。 本實(shí)用新型中，當(dāng)所述導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與所述導(dǎo)軌本體安裝面不共面時(shí)，則導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面高于導(dǎo)軌本體安裝面，且所述基座導(dǎo)向面與所述基座安裝面共面；當(dāng)導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與導(dǎo)軌本體安裝面共面時(shí)，則基座安裝面與基座導(dǎo)向面不共面，且基座安裝面高于基座導(dǎo)向面。本實(shí)用新型所述的節(jié)流器可以為小孔節(jié)流器、狹縫節(jié)流器、多孔質(zhì)節(jié)流器、毛細(xì)節(jié)流器和薄膜反饋節(jié)流器等。本實(shí)用新型所述的潤(rùn)滑間隙一般為2微米以上、100微米以下，根據(jù)節(jié)流方式和潤(rùn)滑介質(zhì)的不同選擇不同的潤(rùn)滑間隙以達(dá)到高承載能力和剛度。本實(shí)用新型所述的流體介質(zhì)可以為氣體或液體，例如空氣、潤(rùn)滑油等，如果潤(rùn)滑介質(zhì)為氣體，可以在節(jié)流器出口處設(shè)置均壓槽；如果潤(rùn)滑介質(zhì)為液體，則在節(jié)流器出口處往往還需設(shè)置油腔，必要時(shí)還需設(shè)置回油槽。本實(shí)用新型利用基座導(dǎo)向面作為一個(gè)承載和導(dǎo)向面，基座導(dǎo)向面與下溜板下表面之間的潤(rùn)滑介質(zhì)壓力，不僅可以承受上下方向的載荷，更重要的是可以平衡導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與下溜板上表面之間的流體介質(zhì)壓力，從而減小由導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與下溜板上表面之間流體介質(zhì)壓力而產(chǎn)生的下溜板向下的擴(kuò)張變形量和側(cè)溜板向外的擴(kuò)張變形量，從而提高精度與穩(wěn)定性。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題采取的另一種技術(shù)方案是一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，包括溜板、導(dǎo)軌本體和基座，所述的溜板包括上溜板、兩個(gè)側(cè)溜板，其中兩個(gè)側(cè)溜板分別固連在上溜板的兩端從而形成V型槽，所述的導(dǎo)軌本體設(shè)置在該V型槽內(nèi)，導(dǎo)軌本體通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面和基座安裝面與基座相固連，導(dǎo)軌本體內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間。導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)導(dǎo)向面與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板設(shè)置有節(jié)流器向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面與側(cè)溜板下表面相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板設(shè)置有節(jié)流器向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，溜板內(nèi)設(shè)置有與所述節(jié)流器相連通的流體輸入口和流道，流體介質(zhì)從流體輸入口、流道和節(jié)流器進(jìn)入所述的潤(rùn)滑間隙，形成閉式流體靜壓導(dǎo)軌。所述基座導(dǎo)向面與所述基座安裝面共面。[0013]所述基座設(shè)置有低于基座導(dǎo)向面的表面。所述節(jié)流器可以為小孔節(jié)流器、狹縫節(jié)流器、多孔質(zhì)節(jié)流器、毛細(xì)節(jié)流器和薄膜反饋節(jié)流器等。本實(shí)用新型利用基座導(dǎo)向面作為一個(gè)承載和導(dǎo)向面，基座導(dǎo)向面與側(cè)溜板下表面之間的潤(rùn)滑介質(zhì)壓力，不僅可以承受上下方向的載荷，更重要的是可以平衡導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)導(dǎo)向面與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面之間的流體介質(zhì)壓力在上下方向的分力，從而減小側(cè)溜板向外和向下的擴(kuò)張變形量，從而提高精度與穩(wěn)定性。本實(shí)用新型可以用于精密超精密加工機(jī)床和檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，也可用于電子制造和封裝領(lǐng)域，但不限于上述領(lǐng)域。

圖I示出了常規(guī)的閉式流體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)圖； 圖2A示出了本實(shí)用新型具體實(shí)施例之一的T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的三維視圖；圖2B示出了根據(jù)本實(shí)用新型的圖2A的K-K截面剖視圖；圖2C示出了本實(shí)用新型具體實(shí)施例之一的T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的另一種實(shí)施方式；圖2D示出了本實(shí)用新型具體實(shí)施例之一的T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的另一種實(shí)施方式；圖3A示出了本實(shí)用新型具體實(shí)施例之一的V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的三維視圖；圖3B示出了根據(jù)本實(shí)用新型的圖3A的S-S截面剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)具體的實(shí)施例并結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。
具體實(shí)施方式
一、圖2A和圖2B示出了基于本實(shí)用新型的T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的一種具體實(shí)施例，包括溜板2、導(dǎo)軌本體21和基座20，所述溜板2包括上溜板24、兩個(gè)側(cè)溜板23和兩個(gè)下溜板22，其中兩個(gè)側(cè)溜板23分別固連在上溜板24的兩端、兩個(gè)下溜板22分別與兩個(gè)側(cè)溜板23固連從而形成T型槽25，所述的導(dǎo)軌本體21設(shè)置在該T型槽25內(nèi)，導(dǎo)軌本體21通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面21h和基座安裝面20h與基座20相固連，導(dǎo)軌本體21內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間211。該實(shí)施例中的T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的特征是利用導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面21a和兩個(gè)導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面21b以及基座導(dǎo)向面20d作為承載和導(dǎo)向面，導(dǎo)軌本體上表面21c不作為承載和導(dǎo)向面，其與上溜板下表面24c設(shè)置足夠的距離以防止相互接觸；導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面21a與下溜板上表面22a相向形成潤(rùn)滑間隙，下溜板(22)設(shè)置有節(jié)流器(222)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面20d與下溜板下表面22d相向形成潤(rùn)滑間隙，下溜板
(22)設(shè)置有節(jié)流器(221)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面21b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面23b相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板(23)設(shè)置有節(jié)流器(231)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)；溜板2內(nèi)設(shè)置有與節(jié)流器221、222和231相連通的流體輸入口 232和流道L，流體介質(zhì)從流體輸入口 232、流道L和節(jié)流器221、222、231進(jìn)入所述的潤(rùn)滑間隙內(nèi)，形成閉式靜壓流體導(dǎo)軌。另外，基座(20)設(shè)置有低于基座導(dǎo)向面(20d)的表面(20e)。[0027]本實(shí)施例中，導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面21a與導(dǎo)軌本體安裝面2Ih不共面，且導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面21a高于導(dǎo)軌本體安裝面21h ;基座導(dǎo)向面20d與基座安裝面20h共面。如果需要，也可以在下溜板側(cè)面22f上設(shè)置節(jié)流器和相應(yīng)的流道、并與流體輸入口 232相連通，使得導(dǎo)軌本體下側(cè)面21f和下溜板側(cè)面22f之間形成潤(rùn)滑間隙。
具體實(shí)施方式
二、結(jié)合圖2C說(shuō)明本實(shí)施方式，在本實(shí)施方式中，L型溜板29為一體化設(shè)計(jì)，其對(duì)應(yīng)于具體實(shí)施方式
一中的側(cè)溜板23和下溜板22，其他的結(jié)構(gòu)與具體實(shí)施方式
一相同。
具體實(shí)施方式
三、結(jié)合圖2D說(shuō)明本實(shí)施方式，在本實(shí)施方式中，基座200對(duì)應(yīng)于具體實(shí)施方式
一中的基座20，導(dǎo)軌本體210對(duì)應(yīng)于具體實(shí)施方式
一中的導(dǎo)軌本體21 ;本實(shí)施方式中，基座導(dǎo)向面200d與基座安裝面200h不共面，且基座安裝面200h高于基座導(dǎo)向面200d，導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面210a與導(dǎo)軌本體安裝面210h共面；其他的結(jié)構(gòu)與具體實(shí)施方式
一相同。
具體實(shí)施方式
四、結(jié)合圖3A和3B說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式是一種V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌，包括溜板3、導(dǎo)軌本體31和基座30，所述的溜板3包括上溜板34和兩個(gè)側(cè)溜板33，其中兩個(gè)側(cè)溜板33分別固連在上溜板34的兩端從而形成V型槽35，所述的導(dǎo)軌本體31設(shè)置在該V型槽35內(nèi)，導(dǎo)軌本體31通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面3Ih和基座安裝面30h與基座30相固連，導(dǎo)軌本體31內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間311。本實(shí)施例中的V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的特征是利用兩個(gè)導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)導(dǎo)向面31b以及基座導(dǎo)向面30d作為承載和導(dǎo)向面,導(dǎo)軌本體上表面31c不作為承載和導(dǎo)向面，其與上溜板下表面34c設(shè)置足夠的距離以防止相互接觸；導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)導(dǎo)向面31b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面33b相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板33設(shè)置有節(jié)流器332向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面30d與側(cè)溜板下表面33d相向形成潤(rùn)滑間隙，側(cè)溜板33設(shè)置有節(jié)流器331向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)；溜板3內(nèi)設(shè)置有與節(jié)流器331和332相連通的流體輸入口 333和流道Q，流體介質(zhì)從流體輸入口 333、流道Q和節(jié)流器331、332進(jìn)入潤(rùn)滑間隙內(nèi)，形成閉式靜壓流體導(dǎo)軌。另外，基座30設(shè)置有低于基座導(dǎo)向面30d的表面30e。本實(shí)施例中，基座導(dǎo)向面30d與基座安裝面30h共面。上述實(shí)施例并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員通過(guò)本實(shí)用新型得出各種實(shí)施方式，例如尺寸變化，外部形狀結(jié)構(gòu)、排布變化、材質(zhì)替換等，均屬于本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于包括溜板(2)、導(dǎo)軌本體(21)和基座(20)，所述溜板(2)包括上溜板(24)、兩個(gè)側(cè)溜板(23)和兩個(gè)下溜板(22)，所述兩個(gè)側(cè)溜板(23)分別固連在所述上溜板(24)的兩端、所述兩個(gè)下溜板(22)分別與所述兩個(gè)側(cè)溜板(23)固連形成T型槽(25)，所述導(dǎo)軌本體(21)設(shè)置在該T型槽(25)內(nèi)，所述導(dǎo)軌本體(21)通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面(2Ih)和基座安裝面(20h)與所述基座(20)相固連； 導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面(21a)與下溜板上表面(22a)相向形成潤(rùn)滑間隙，所述下溜板(22)設(shè)置有節(jié)流器(222)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面(20d)與下溜板下表面(22d)相向形成潤(rùn)滑間隙，所述下溜板(22)設(shè)置有節(jié)流器(221)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面(21b)與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面(23b)相向形成潤(rùn)滑間隙，所述側(cè)溜板(23)設(shè)置有節(jié)流器(231)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，所述溜板(2)內(nèi)設(shè)置有與所述節(jié)流器(221)、(222)和(231)相互連通的流體輸入口 (232)和流道(L)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于，當(dāng)所述導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面(21a)與所述導(dǎo)軌本體安裝面(21h)不共面時(shí)，則導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面(21a)高于導(dǎo)軌本體安裝面(21h)，且所述基座導(dǎo)向面(20d)與所述基座安裝面(20h)共面；當(dāng)導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面(21a)與導(dǎo)軌本體安裝面(21h)共面時(shí)，則基座安裝面(20h)與基座導(dǎo)向面(20d)不共面，且基座安裝面(20h)高于基座導(dǎo)向面(20d)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于，所述基座(20)設(shè)置有低于所述基座導(dǎo)向面(20d)的表面(20e)。
4.一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于包括溜板(3)、導(dǎo)軌本體(31)和基座(30)，所述溜板(3)包括上溜板(34)和兩個(gè)側(cè)溜板(33)，所述兩個(gè)側(cè)溜板(33)分別固連在所述上溜板(34)的兩端從而形成V型槽(35)，所述導(dǎo)軌本體(31)設(shè)置在該V型槽(35)內(nèi)，所述導(dǎo)軌本體(31)通過(guò)導(dǎo)軌本體安裝面(31h)和基座安裝面(30h)與所述基座(30)相固連； 導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)導(dǎo)向面(31b)與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面(33b)相向形成潤(rùn)滑間隙，所述側(cè)溜板(33)設(shè)置有節(jié)流器(332)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，基座導(dǎo)向面(30d)與側(cè)溜板下表面(33d)相向形成潤(rùn)滑間隙，所述側(cè)溜板(33)設(shè)置有節(jié)流器(331)向該潤(rùn)滑間隙提供流體介質(zhì)，所述溜板⑶內(nèi)設(shè)置有與所述節(jié)流器(331)和(332)相連通的流體輸入口(333)和流道(Q)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于，所述基座(30)設(shè)置有低于所述基座導(dǎo)向面(30d)的表面(30e)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I和4所述的閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于，所述的節(jié)流器可以為小孔節(jié)流器、狹縫節(jié)流器、多孔質(zhì)節(jié)流器、毛細(xì)節(jié)流器和薄膜反饋節(jié)流器等。
7.根據(jù)權(quán)利要求I和4所述的閉式流體靜壓導(dǎo)軌，其特征在于，所述的流體介質(zhì)為氣體或液體。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，包括溜板、導(dǎo)軌本體和基座，所述溜板包括上溜板、兩個(gè)側(cè)溜板和兩個(gè)下溜板，其中兩個(gè)側(cè)溜板分別固連在上溜板的兩端、兩個(gè)下溜板分別與兩個(gè)側(cè)溜板固連從而形成T型槽，所述的導(dǎo)軌本體設(shè)置在該T型槽內(nèi)，導(dǎo)軌本體與基座相固連；導(dǎo)軌本體下導(dǎo)向面與下溜板上表面相向形成潤(rùn)滑間隙，基座導(dǎo)向面與下溜板下表面相向形成潤(rùn)滑間隙，兩個(gè)導(dǎo)軌本體側(cè)導(dǎo)向面分別與兩個(gè)側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面相向形成潤(rùn)滑間隙，溜板內(nèi)設(shè)置有節(jié)流器和流體介質(zhì)的流道，流體介質(zhì)通過(guò)流道和節(jié)流器進(jìn)入潤(rùn)滑間隙內(nèi)，形成閉式靜壓流體導(dǎo)軌。
文檔編號(hào)F16N1/00GK202597467SQ20122012306
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月28日
發(fā)明者杜建軍 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)深圳研究生院