專利名稱：真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及熱處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體熱處理用的真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
熱處理真空爐熱場(chǎng)內(nèi)通常設(shè)有加熱器及保溫層等，保溫層起隔熱作用，以保護(hù)真空爐熱場(chǎng)的熱量不易散失，并保護(hù)真空爐爐體不被高溫融化?，F(xiàn)有的熱處理真空爐在加熱過程中，爐內(nèi)溫度高達(dá)900攝氏度，在開爐時(shí)，爐內(nèi)溫度也將近200攝氏度，因此，開爐時(shí)，保溫層在高溫下易被氧化，不僅嚴(yán)重影響真空爐熱場(chǎng)的保溫效果，降低了熱場(chǎng)使用壽命，而且需要頻繁的更換保溫材料，增加了成本，影響了生產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，旨在提高真空爐熱場(chǎng)內(nèi)的保溫效果及延長(zhǎng)熱場(chǎng)使用壽命。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，包括位于真空爐內(nèi)的熱場(chǎng)箱，所述熱場(chǎng)箱包括箱體及箱蓋，所述箱體與箱蓋均為保溫碳?xì)植牧希?箱體的一側(cè)開口，用于與箱蓋扣合；所述箱體的開口邊緣包裹有用于防氧化的碳碳復(fù)合材料層。優(yōu)選地，所述碳碳復(fù)合材料層橫截面為U型。優(yōu)選地，所述碳碳復(fù)合材料層通過鉬螺絲與箱體固定連接。優(yōu)選地，所述箱體的內(nèi)表面噴涂有耐高溫涂料層。優(yōu)選地，所述箱體的開口邊緣噴涂有耐高溫涂料層，所述開口邊緣的耐高溫涂料層包裹于所述碳碳復(fù)合材料層內(nèi)。優(yōu)選地，所述箱蓋表面噴涂有耐高溫涂料層。優(yōu)選地，所述箱體的側(cè)壁和/或頂部設(shè)有用于觀察及通風(fēng)通氣的風(fēng)窗。優(yōu)選地，所述風(fēng)窗的窗口邊緣噴涂有耐高溫涂料層。優(yōu)選地，所述風(fēng)窗的窗口邊緣的耐高溫涂料層外包裹有碳碳復(fù)合材料層，該碳碳復(fù)合材料層通過鉬螺絲與箱體固定連接。優(yōu)選地，所述真空爐包括爐蓋，所述箱蓋固定在所述真空爐的爐蓋上。本實(shí)用新型提出的一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，通過在熱場(chǎng)箱的內(nèi)壁的保溫碳?xì)直砻鎳娡磕透邷赝苛?，并在箱體出口的邊緣和風(fēng)窗處除了噴涂耐高溫涂料外，還包裹一層U型的碳碳復(fù)合材料，從而增強(qiáng)了熱場(chǎng)箱的防氧化效果，增加了其使用壽命，同時(shí)提高了保溫效果，減少了能耗，降低了成本。

[0016]圖1是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例中箱體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例中箱體主視圖；圖4是圖3中A-A方向剖視圖；圖5是圖3中B-B方向剖視圖；圖6是圖4中C處放大示意圖。為了使本實(shí)用新型的技術(shù)方案更加清楚、明了，下面將結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳述。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型技術(shù)方案總體思路是通過在熱場(chǎng)箱的內(nèi)壁的保溫碳?xì)直砻鎳娡磕透邷赝苛?，并在箱體出口的邊緣及風(fēng)窗處除了噴涂耐高溫涂料外，還包裹一層U型的碳碳復(fù)合材料，以增強(qiáng)熱場(chǎng)箱的防氧化效果，增加其使用壽命。以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)實(shí)現(xiàn)實(shí)用新型目的的技術(shù)方案作詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。請(qǐng)一并參照?qǐng)D1、圖2、圖3、圖4、圖5及圖6所示，圖1是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例中箱體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)一實(shí)施例中箱體主視圖；圖4是圖3中A-A方向剖視圖；圖5是圖3中B-B方向剖視圖； 圖6是圖4中C處放大示意圖。本實(shí)用新型一實(shí)施例提出的一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，包括位于真空爐或高溫?zé)Y(jié)爐等熱處理爐內(nèi)的熱場(chǎng)箱1，熱場(chǎng)箱1包括箱體11及箱蓋12，箱體11與箱蓋 12均為保溫碳?xì)植牧?，箱體11的一側(cè)設(shè)有開口 111，用于與箱蓋12扣合；箱體11的開口邊緣1111包裹有碳碳復(fù)合材料層113，碳碳復(fù)合材料由碳纖維編制層壓而成，其抗氧化能力極強(qiáng)，在箱體11的開口邊緣1111包裹碳碳復(fù)合材料層113可以防止箱體11的開口 111處在高溫下氧化，提高箱體11的保溫效果。其中，碳碳復(fù)合材料層113橫截面可以為U型，或者與箱體11的開口截面形狀貼近為宜。碳碳復(fù)合材料層113通過鉬螺絲114與箱體11固定連接，如圖6所示，圖6是圖 4中C處放大示意圖。此外，箱體11的側(cè)壁及頂部還設(shè)有用于觀察及通風(fēng)通氣的風(fēng)窗112。進(jìn)一步的，在本實(shí)施例中，為了防止制成箱體11的保溫碳?xì)植牧弦蜷_爐時(shí)氧化， 影響其保溫效果，還可以在箱體11的內(nèi)表面、開口邊緣1111、風(fēng)窗112以及箱蓋12的表面噴涂耐高溫涂料層，其可以降低噴涂表面的灰分率。若在箱體11的開口邊緣1111噴涂耐高溫涂料層，該開口邊緣1111的耐高溫涂料層包裹于碳碳復(fù)合材料層113內(nèi)，即先在箱體11的開口邊緣1111噴涂耐高溫涂料層，然后，在箱體11的開口邊緣1111的耐高溫涂料層外包裹一層碳碳復(fù)合材料，以防止箱體11 的開口 111處在高溫下氧化，更進(jìn)一步的提高箱體11的保溫效果。更進(jìn)一步的，還可以在風(fēng)窗112的窗口邊緣以及箱蓋12的耐高溫涂料層外包裹碳碳復(fù)合材料層，通過鉬螺絲將碳碳復(fù)合材料層與箱體11固定連接，以防止風(fēng)窗112處的保溫碳?xì)直谎趸?。?dāng)然，根據(jù)需要，也可以選擇性的對(duì)箱體11的內(nèi)表面、開口邊緣1111、箱蓋12、風(fēng)窗112噴涂耐高溫涂料層或碳碳復(fù)合材料層。本實(shí)施例中熱場(chǎng)箱的內(nèi)部結(jié)構(gòu)具體為熱場(chǎng)箱1內(nèi)設(shè)置有爐床2、裝載臺(tái)3及加熱器4。熱場(chǎng)箱1的箱蓋12固定在真空爐的爐蓋上。箱體11具有五個(gè)面，箱體11的一側(cè)開設(shè)的出口 111與箱蓋12配合，本實(shí)施例中箱體11與箱蓋12均為保溫碳?xì)植牧希潴w11與箱蓋12形成具有保溫效果的熱場(chǎng)箱1。在熱場(chǎng)內(nèi)高溫環(huán)境下，保護(hù)熱場(chǎng)內(nèi)的熱量不散失，同時(shí)保護(hù)爐體不被高溫融化。爐床2為一平板，設(shè)置在熱場(chǎng)箱1的底部，用于放置裝載臺(tái)3。裝載臺(tái)3放置在爐床2上，其包括兩側(cè)壁31，側(cè)壁31上橫向平行設(shè)有若干用于放置工件的凹槽32。本實(shí)施例中加熱器4在裝載臺(tái)3的上方及下方各設(shè)置一個(gè)，采用高純石墨材料制成，因?yàn)楦呒兪牧系碾娮杪实?，加熱效果好。加熱?包括連接架42、放置在連接架42上的若干加熱棒43以及設(shè)置在連接架42的一端并與外部電極連接的兩電極41。其中，連接架42包括相互平行的兩側(cè)桿421，加熱棒43并排設(shè)置在連接架42的兩側(cè)桿421之間。對(duì)于設(shè)置在裝載臺(tái)3上方的加熱器4，其連接架42位于裝載臺(tái)3的上方，并通過螺絲固定在箱體11的頂部保溫碳?xì)稚希粚?duì)于設(shè)置在裝載臺(tái)3下方的加熱器4，其連接架42位于裝載臺(tái)3的下方，并具體位于裝載臺(tái)3下方的爐床2的下方，通過螺絲固定在箱體11的兩側(cè)保溫碳?xì)稚稀呻姌O41設(shè)置在連接架42的一端的兩側(cè)桿421上，穿過箱體11與外部電極連接， 并通過連接架42與加熱棒43電連接，以便為加熱棒43通電對(duì)其進(jìn)行加熱。此種上下加熱器4的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠?qū)ρb載臺(tái)3上的工件進(jìn)行均衡加熱，從而縮短了加熱時(shí)間，降低了能耗。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，加熱器4也可以只設(shè)置在裝載臺(tái)3的上方或下方。相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型實(shí)施例通過在熱場(chǎng)箱的內(nèi)壁的保溫碳?xì)直砻鎳娡磕透邷赝苛?，并在箱體開口的邊緣及風(fēng)窗處除了噴涂耐高溫涂料外，還包裹一層U型的碳碳復(fù)合材料，增強(qiáng)了熱場(chǎng)箱的防氧化效果，增加了其使用壽命，同時(shí)提高了保溫效果，熱場(chǎng)內(nèi)更容易達(dá)到要求的溫度，因此能耗降低；另外，加熱器可以在裝載臺(tái)上下設(shè)置，加熱器中并排設(shè)置的加熱棒對(duì)裝載臺(tái)上的待熱處理工件進(jìn)行均衡加熱，不僅縮短了加熱時(shí)間，而且提高了熱處理效果，進(jìn)一步減少了能耗，降低了成本。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍， 凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，包括位于真空爐內(nèi)的熱場(chǎng)箱，所述熱場(chǎng)箱包括箱體及箱蓋，其特征在于，所述箱體與箱蓋均為保溫碳?xì)植牧?，箱體的一側(cè)開口，用于與箱蓋扣合；所述箱體的開口邊緣包裹有用于防氧化的碳碳復(fù)合材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碳碳復(fù)合材料層橫截面為U型。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碳碳復(fù)合材料層通過鉬螺絲與箱體固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述箱體的內(nèi)表面噴涂有耐高溫涂料層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述箱體的開口邊緣噴涂有耐高溫涂料層，所述開口邊緣的耐高溫涂料層包裹于所述碳碳復(fù)合材料層內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述箱蓋表面噴涂有耐高溫涂料層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述箱體的側(cè)壁和/或頂部設(shè)有用于觀察及通風(fēng)通氣的風(fēng)窗。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述風(fēng)窗的窗口邊緣噴涂有耐高溫涂料層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述風(fēng)窗的窗口邊緣的耐高溫涂料層外包裹有碳碳復(fù)合材料層，該碳碳復(fù)合材料層通過鉬螺絲與箱體固定連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防氧化處理結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述真空爐包括爐蓋，所述箱蓋固定在所述真空爐的爐蓋上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空爐保溫系統(tǒng)防氧化處理結(jié)構(gòu)，包括位于真空爐內(nèi)的熱場(chǎng)箱，熱場(chǎng)箱包括箱體及箱蓋，箱體與箱蓋均為保溫碳?xì)植牧?，箱體的一側(cè)開口，用于與箱蓋扣合；箱體的開口邊緣包裹有用于防氧化的碳碳復(fù)合材料層。本實(shí)用新型通過在熱場(chǎng)箱的內(nèi)壁的保溫碳?xì)直砻鎳娡磕透邷赝苛?，并在箱體出口的邊緣及風(fēng)窗處除了噴涂耐高溫涂料外，還包裹一層碳碳復(fù)合材料，增強(qiáng)了熱場(chǎng)箱的防氧化效果，增加了其使用壽命，提高了保溫效果，并降低了成本。
文檔編號(hào)F16L59/00GK202094095SQ201120126400
公開日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月26日
發(fā)明者韓伶俐 申請(qǐng)人:石金精密科技(深圳)有限公司