專利名稱：冷凝管的固定基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種冷凝管的固定基座。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體器件集成度的提高，元件之間或金屬互連線之間的空間或淺溝隔離 STI的寬度變得更狹窄，即間隙的長(zhǎng)寬比日益增大，這給無(wú)空隙地填充間隙帶來(lái)困難。近年來(lái)，業(yè)界引入高密度等離子體技術(shù)，用絕緣材料無(wú)空隙地填充高長(zhǎng)寬比的間隙。高密度等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備中的冷凝管用于淀積腔室的降溫，該冷凝管利用11個(gè)固定基座固定在機(jī)臺(tái)上。如圖1所示，所述固定基座10呈L字形，所述冷凝管20 焊接在所述固定基座10上，所述固定基座10上設(shè)有安裝孔11，使用螺釘12，通過(guò)該安裝孔 11就能將所述冷凝管20固定在機(jī)臺(tái)上。由于冷凝管是焊接到固定基座上的，在焊接過(guò)程中必然會(huì)損耗冷凝管，也就是說(shuō)， 冷凝管的焊接點(diǎn)處在焊接過(guò)程中被損耗掉部分，該處的厚度小于其他位置的厚度；另外，冷凝過(guò)程中，冷凝管內(nèi)會(huì)通入75度的乙二醇，75度的乙二醇對(duì)銅質(zhì)冷凝管有腐蝕作用，因此， 冷凝管的焊接點(diǎn)處容易出現(xiàn)漏水現(xiàn)象?，F(xiàn)有技術(shù)中，為解決冷凝管的焊接點(diǎn)處漏水的問(wèn)題，采取的措施是增加冷凝管的厚度，但是，這種解決方法仍存在焊接點(diǎn)，其效果并不理想。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種冷凝管的固定基座，避開(kāi)焊接方式連接冷凝管， 能有效防止冷凝管漏水。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種冷凝管的固定基座，用于夾持冷凝管， 包括第一夾持部和第二夾持部，所述第一夾持部與第二夾持部連接夾住冷凝管，所述第一夾持部和第二夾持部上設(shè)有與外部連接的安裝部件。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夾持部的一端面設(shè)有半圓形孔，所述第二夾持部的一端面設(shè)有半圓形孔，所述第一夾持部的半圓形孔與所述第二夾持部的半圓形孔形成一圓孔，所述冷凝管放置在該圓孔內(nèi)。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夾持部的半圓形孔和所述第二夾持部的半圓形孔的半徑等于所述冷凝管的外徑。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夾持部與第二夾持部通過(guò)螺絲連接。上述冷凝管的固定基座，其中，所述安裝部件包括螺釘、設(shè)置在所述第一夾持部?jī)?nèi)的安裝孔、以及設(shè)置在所述第二夾持部?jī)?nèi)的安裝孔；所述第一夾持部的安裝孔與所述第二夾持部的安裝孔相通，且與所述螺釘相匹配。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夾持部設(shè)有半圓形孔的端面呈臺(tái)階狀，所述第二夾持部設(shè)有半圓形孔的端面呈臺(tái)階狀，所述第一夾持部的臺(tái)階狀端面與所述第二夾持部的臺(tái)階狀端面相匹配。[0013]本實(shí)用新型冷凝管的固定基座采用第一夾持部和第二夾持部夾住冷凝管，再利用第一夾持部和第二夾持部上的安裝部件與機(jī)臺(tái)連接，連接冷凝管時(shí)，冷凝管沒(méi)有焊接點(diǎn)，不損耗冷凝管，能有效解決冷凝管漏水問(wèn)題；本實(shí)用新型冷凝管的固定基座中第一夾持部設(shè)有半圓形孔的端面和第二夾持部設(shè)有半圓形孔的端面呈臺(tái)階狀，可增大固定基座的受力能力。

本實(shí)用新型的冷凝管的固定基座由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中冷凝管的固定基座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型冷凝管的固定基座的分解示意圖。圖3是本實(shí)用新型冷凝管的固定基座夾持冷凝管的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖2 圖3對(duì)本實(shí)用新型的冷凝管的固定基座作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本實(shí)用新型冷凝管的固定基座包括第一夾持部和第二夾持部，所述第一夾持部和第二夾持部配合使用夾住冷凝管，所述第一夾持部和第二夾持部上設(shè)有與外部連接的安裝部件。本實(shí)用新型冷凝管的固定基座采用第一夾持部和第二夾持部夾住冷凝管，再利用第一夾持部和第二夾持部上的安裝部件與機(jī)臺(tái)連接，連接冷凝管時(shí)，冷凝管沒(méi)有焊接點(diǎn)，不損耗冷凝管，能有效解決冷凝管漏水問(wèn)題?，F(xiàn)以一具體實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型冷凝管的固定基座參見(jiàn)圖2和圖3，本實(shí)施例冷凝管的固定基座包括第一夾持部310和第二夾持部 320 ；所述第一夾持部310的一端面設(shè)有半圓形孔311，該半圓形孔311的半徑等于冷凝管20的外半徑；所述第一夾持部310設(shè)有安裝孔312 ；所述第二夾持部320的一端面設(shè)有半圓形孔321，該半圓形孔321的半徑等于冷凝管20的外半徑；所述第二夾持部320設(shè)有安裝孔322 ；所述第一夾持部310與所述第二夾持部320配合使用時(shí)，所述第一夾持部310設(shè)有半圓形孔311的端面與所述第二夾持部320設(shè)有半圓形孔321的端面接觸，所述第一夾持部310的半圓形孔311與所述第二夾持部320的半圓形孔321形成一圓孔，所述冷凝管 20放置在該圓孔內(nèi)，所述第一夾持部310的安裝孔312與所述第二夾持部320的安裝孔322 相通；所述第一夾持部310與所述第二夾持部320通過(guò)螺絲330擰緊固定在一起，所述螺絲330與安裝孔分設(shè)在所述圓孔的兩側(cè)。使用螺釘340連接固定基座與機(jī)臺(tái)，所述第一夾持部310的安裝孔312與所述第二夾持部320的安裝孔322組合形成與所述螺釘340相匹配的安裝孔； 所述螺釘340包括螺帽341和螺桿342，所述螺桿342的外表面上設(shè)有外螺紋343，所述螺釘340的螺桿342從所述第一夾持部310插入所述第二夾持部320，所述第一夾持部 310的安裝孔312與所述第二夾持部320的安裝孔322的內(nèi)壁上設(shè)有與所述外螺紋343相匹配的內(nèi)螺紋(圖2中未示)，所述第一夾持部310的安裝孔312呈T字形，與呈T字形的螺釘340相匹配；所述第一夾持部310設(shè)有半圓形孔311的端面呈臺(tái)階狀，所述第一夾持部310設(shè)有安裝孔312的區(qū)域的厚度Hl比其它區(qū)域的厚度大；所述第二夾持部320設(shè)有半圓形孔321的端面呈臺(tái)階狀，所述第二夾持部320設(shè)有安裝孔322的區(qū)域的厚度H2比其它區(qū)域的厚度?。凰龅谝粖A持部310的臺(tái)階狀端面與所述第二夾持部320的臺(tái)階狀端面相匹配；所述第一夾持部310設(shè)有安裝孔312的區(qū)域的厚度Hl比其它區(qū)域的厚度大，可增大所述第一夾持部310的受力能力。本實(shí)施例冷凝管的固定基座采用第一夾持部和第二夾持部夾住冷凝管，再利用安裝孔和螺釘組成的安裝部件與機(jī)臺(tái)連接，連接冷凝管時(shí)不損耗冷凝管，能有效解決冷凝管漏水問(wèn)題。
權(quán)利要求1.一種冷凝管的固定基座，用于夾持冷凝管，其特征在于，包括第一夾持部和第二夾持部，所述第一夾持部與第二夾持部連接夾住冷凝管，所述第一夾持部和第二夾持部上設(shè)有與外部連接的安裝部件。
2.如權(quán)利要求1所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夾持部的一端面設(shè)有半圓形孔，所述第二夾持部的一端面設(shè)有半圓形孔，所述第一夾持部的半圓形孔與所述第二夾持部的半圓形孔形成一圓孔，所述冷凝管放置在該圓孔內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夾持部的半圓形孔和所述第二夾持部的半圓形孔的半徑等于所述冷凝管的外徑。
4.如權(quán)利要求1所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夾持部與第二夾持部通過(guò)螺絲連接。
5.如權(quán)利要求1或2所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述安裝部件包括螺釘、設(shè)置在所述第一夾持部?jī)?nèi)的安裝孔、以及設(shè)置在所述第二夾持部?jī)?nèi)的安裝孔；所述第一夾持部的安裝孔與所述第二夾持部的安裝孔相通，且與所述螺釘相匹配。
6.如權(quán)利要求5所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夾持部設(shè)有半圓形孔的端面呈臺(tái)階狀，所述第二夾持部設(shè)有半圓形孔的端面呈臺(tái)階狀，所述第一夾持部的臺(tái)階狀端面與所述第二夾持部的臺(tái)階狀端面相匹配。
專利摘要本實(shí)用新型的冷凝管的固定基座用于夾持冷凝管，冷凝管的固定基座避開(kāi)焊接方式連接，能有效防止冷凝管從焊接點(diǎn)漏水。本實(shí)用新型的冷凝管的固定基座包括第一夾持部和第二夾持部，通過(guò)第一夾持部與第二夾持部連接夾住冷凝管。
文檔編號(hào)F16L3/10GK201964033SQ201020679259
公開(kāi)日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者奚曉明, 李剛, 鄧義彬 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司