專利名稱：滑動(dòng)載物臺及xy方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及印刷基板、半導(dǎo)體、液晶、太陽電池面板、生物相關(guān)領(lǐng)域中的使用了空 氣軸承和直線馬達(dá)、位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)的精密定位用的滑動(dòng)載物臺及XY方向可動(dòng) 滑動(dòng)載物臺。
背景技術(shù)：
組合了空氣軸承和直線馬達(dá)的滑動(dòng)載物臺為完全非接觸，而具有不會因移動(dòng)而產(chǎn) 生摩擦熱、因空氣軸承的均勻化效果而使姿勢精度非常穩(wěn)定、能夠?qū)崿F(xiàn)精密定位(亞微米) 的優(yōu)點(diǎn)，相反也具有必須以微米單位來加工形成軸承的配件、材料也限于高價(jià)品的缺點(diǎn)。在現(xiàn)有的使用空氣軸承的載物臺中具有圖47所示的重量平衡型載物臺。圖47是 現(xiàn)有的重量平衡型載物臺的剖視圖，在圖47中，1’是平臺，2’是導(dǎo)軌，3是空氣墊，4’是滑 動(dòng)器，5是空心直線馬達(dá)。通過空氣壓力使來自上方的重量和向下的空氣噴出取得平衡，橫 向通過空氣壓力之間的相斥而被中央約束，搭載不受磁力影響的空心直線馬達(dá)5，取得重量 平衡。然而，圖47所示的現(xiàn)有的重量平衡型載物臺雖然因結(jié)構(gòu)簡單而具有能夠低價(jià)制 作的優(yōu)點(diǎn)，但由于在上下方向不受約束，因此上下方向的移動(dòng)精度(縱向平直度、俯仰等)差。此外，因加速/減速時(shí)的姿勢變動(dòng)而產(chǎn)生軸承部的接觸等，因此存在無法縮短加 速/減速時(shí)間、移動(dòng)節(jié)拍延長的問題。在實(shí)際使用的事例中，使用作為不易產(chǎn)生這種問題的 大型平面、重心低、重量重的滑動(dòng)器，引導(dǎo)部通過常用品的空氣墊而在橫向受到約束。該方式尤其是在液晶制造裝置等中使用，但存在難以進(jìn)行小型化下的實(shí)用化、在 可變荷重下無法動(dòng)作的問題，還存在無法急加速/減速的問題。由于在縱向的滑動(dòng)高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間產(chǎn)生距離，因此在加速/減速時(shí)產(chǎn)生力 矩，對俯仰方向存在影響，不僅反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)(lostmotion)變差，還會產(chǎn)生縱向側(cè)的空氣 墊與平臺干涉等事故。在布局上，從空氣軸承受到磁性吸引力的不良影響這一點(diǎn)來說存在以下問題必 須使用為無電磁吸引力的雙面磁鐵且高價(jià)的空心直線馬達(dá)，位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)的 設(shè)置場所在導(dǎo)軌、滑動(dòng)器的外側(cè)、下側(cè)等，容易產(chǎn)生阿貝誤差(檢測位置和精度必要位置的 差異誤差)的影響，定位精度、反復(fù)精度差。此外，圖47(b)是用放大圖表示圖47(a)的空氣墊附近，如該圖所示，空氣墊3被 按壓并通過螺釘4p與滑動(dòng)器4’結(jié)合，因此空氣墊3被按壓而在螺釘4p的球面的頭3q按 壓空氣墊3的部分存在松動(dòng)、剛性下降等問題，優(yōu)選不使用空氣墊3的方式。此外，在現(xiàn)有的使用空氣軸承的載物臺中，還公知有圖48 圖50所示的空氣約束 型載物臺。圖48 圖50是現(xiàn)有裝置的各種空氣約束型載物臺各自的剖視圖，在圖48 圖50中，1’是平臺，2’是導(dǎo)軌，4’是滑動(dòng)器，5是空心直線馬達(dá)，6是空氣噴出部。任一個(gè) 均不使用空氣墊，而在滑動(dòng)器4’上開有成為空氣通路的孔，從滑動(dòng)器直接向引導(dǎo)面噴出空氣。此外，上下橫方向通過空氣壓力之間的相斥而受到中央約束，搭載不受磁力影響的空心 直線馬達(dá)，進(jìn)行空氣約束。圖48 圖50所示的現(xiàn)有的空氣約束型載物臺，由于上下及橫向受到約束，因此基 本不會發(fā)生移動(dòng)時(shí)及加速/減速時(shí)的姿勢變動(dòng)，移動(dòng)精度高，還可以縮短移動(dòng)節(jié)拍，可以小 型化(100mm平方左右)。但是存在以下問題由于需要以微米單位(數(shù)微米)來管理空氣 間隙，因此需要使導(dǎo)軌部和滑動(dòng)器部的尺寸關(guān)系精度以微米單位來進(jìn)行組合加工(需要使 4方向的組合精度為數(shù)微米單位)，配件單價(jià)高，無法同時(shí)大量生產(chǎn)相同物品。此外，在圖48的載物臺中，由于在縱向的滑動(dòng)器高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間產(chǎn)生距 離，因此在加速/減速時(shí)產(chǎn)生力矩，對俯仰方向存在影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)差，而且還產(chǎn)生縱 向側(cè)的滑動(dòng)器與縱向側(cè)的導(dǎo)軌干涉等事故。此外，在圖49及圖50的載物臺中，由于在橫向的滑動(dòng)器位置和傳送驅(qū)動(dòng)位置間產(chǎn) 生距離，因此在加速/減速時(shí)產(chǎn)生力矩，對偏轉(zhuǎn)方向存在影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)差，而且還產(chǎn) 生橫向側(cè)的滑動(dòng)器與橫向側(cè)的導(dǎo)軌干涉等事故。在布局上，從空氣軸承受到磁性吸引力的 不良影響這一點(diǎn)來說存在以下問題必須使用為無電磁吸引力的雙面磁鐵且高價(jià)的空心直 線馬達(dá)，位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)的設(shè)置場所在外側(cè)、下側(cè)等，容易產(chǎn)生阿貝誤差(檢測 位置和精度必要位置的差異誤差)的影響，定位精度、反復(fù)精度差。此外，現(xiàn)有的混合型載物臺公知圖51所示的載物臺(參照專利文獻(xiàn)1)。圖51是 現(xiàn)有的混合型載物臺的俯視圖，在圖51中，1’是平臺，2’是導(dǎo)軌，4’是滑動(dòng)器，6是空氣噴 出部，7是直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)，8是直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)。上下方向通過馬達(dá) 線圈部的馬達(dá)芯(未圖示)和馬達(dá)磁鐵之間作用的電磁吸引力和空氣壓力的平衡而受到約 束，橫向通過空氣壓力之間的相斥而受到中央約束。專利文獻(xiàn)1 JP實(shí)開平7-44457號公報(bào)圖51所示的混合型載物臺可以稍微解決上述2種方式的問題，但需要一體地高 精度加工用于在橫向約束的滑軌及縱向的滑軌，尤其需要使橫向的滑軌兩側(cè)面的平行度為 5 μ m以下來進(jìn)行加工，因此滑軌的制作費(fèi)用非常高價(jià)，而且難以應(yīng)對長行程(Im以上)、長 寬度(5OOmm以上)等。雖然可以降低在1軸的高度，但通常不是單體使用，而是必須固定到平臺等上。此 時(shí)，該部分高度變高，或者在XY組合時(shí)就需要2倍的高度，在實(shí)務(wù)上并無優(yōu)點(diǎn)。圖52是圖51的經(jīng)過滑動(dòng)器4’中央的寬度方向的線的E-E向剖視圖。在該圖中， 1’是平臺，2’是導(dǎo)軌，4’是滑動(dòng)器，6是氣管，6u是下面空氣噴出部，6s是橫面空氣噴出部， 7是直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)，7a是磁鐵，8是直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部，帶芯或帶軛)， 9是直線標(biāo)尺(9H是頭部，9S是標(biāo)尺)。滑動(dòng)器4，由上部平坦部4f和腳部4k兩個(gè)部件形 成，用螺釘4c將兩者結(jié)合起來。該滑動(dòng)載物臺在磁鐵7a和直線馬達(dá)線圈部8之間產(chǎn)生電磁吸引力(圖52中箭頭 方向)。在滑動(dòng)器4’上，從下面空氣噴出部6u和側(cè)面空氣噴出部6s分別噴出空氣，該下面 空氣噴出部6u從上部平坦部4f向下面噴出空氣，該側(cè)面空氣噴出部6s從腳部4k向?qū)к?2’噴出橫面空氣。通過自下面空氣噴出部6u的空氣噴出而產(chǎn)生抬起滑動(dòng)器4’的浮力，浮 在該浮力與滑動(dòng)器4’的重力及電磁吸引力的和均衡的垂直方向上的位置。此外，通過自滑 動(dòng)器4’的腳部4k的兩個(gè)空氣噴出部6s的空氣噴出，而分別在離開導(dǎo)軌2’的方向上產(chǎn)生力，因此滑動(dòng)器4’位于這兩個(gè)力均衡的水平方向上的位置。這樣，該電磁吸引力沿箭頭F3的方向施加在圖53的滑動(dòng)器4’的上部平坦部的中 央。此外，通過自滑動(dòng)器4’的兩個(gè)空氣噴出部6s的空氣噴出，而分別在離開導(dǎo)軌2’的方 向上產(chǎn)生力，因此該力沿箭頭Fl、F2的方向施加在圖53的滑動(dòng)器4’的腳部4k。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題通過研究圖52所示的滑動(dòng)載物臺，注意到以下的問題1 5。< 問題 1>滑動(dòng)器4’通過加工性好且強(qiáng)韌的花崗巖、陶瓷制作而成，但花崗巖、陶瓷雖然對壓 縮的耐受性強(qiáng)，但存在在彎曲方向上弱的缺點(diǎn)。因此，在腳部4k上，一方由螺釘固定，向另 一方作用力F2，因此在腳部4k上產(chǎn)生彎曲力，圖53所示的X部(接合部和螺釘擰緊部) B存在破裂的可能性。此外，通過電磁吸引力和空氣相斥的平衡來進(jìn)行上下方向的約束，因 此圖53所示的變形及應(yīng)力總是對滑動(dòng)器施加負(fù)擔(dān)，存在有損精度的再現(xiàn)性或載物臺自身 破裂的危險(xiǎn)。因此，為了防止產(chǎn)生這種狀態(tài)，需要進(jìn)行強(qiáng)度增強(qiáng)，這樣一來會與要進(jìn)行小型化的 方向背道而馳，也就是說載物臺自身會變大。< 問題 2>在寬度方向?yàn)閁字形的導(dǎo)軌2’中，使U字形腳部的上面為上下方向的滑動(dòng)面，因 此該腳部上面和U字形底面(安裝面)的平行度和腳部上面的平面度均需要高精度地進(jìn)行 精加工。此外，使U字形腳部的側(cè)面為橫向的滑動(dòng)面，因此對于U字形導(dǎo)軌的腳部間的平行 度也需要高精度地進(jìn)行精加工。U字形的導(dǎo)軌2’由花崗巖、陶瓷制作，由于其加工精度高(精加工到誤差5μπι左 右)，因此具有對長的長條物(Im以上的物品)以誤差5 μ m左右進(jìn)行精加工需要時(shí)間和成 本的缺點(diǎn)。< 問題 3>在急速的加速/減速時(shí)產(chǎn)生了縱向側(cè)的滑動(dòng)器與縱向側(cè)的導(dǎo)軌干涉/接觸等事 故。因此，為了防止產(chǎn)生干涉/接觸事故而不進(jìn)行急速的加速/減速控制，具有成為無法進(jìn) 行急速的加速/減速控制的滑動(dòng)載物臺的缺點(diǎn)?！磫栴}4>此外，具有位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)檢測出的信號的定位精度、反復(fù)精度差的問 題。< 問題 5>從兩側(cè)的滑動(dòng)器的腳部4k的橫面空氣噴出部6s噴出的空氣的壓力以向內(nèi)側(cè)彎曲 的方式作用到U字形的導(dǎo)軌的腳部，因此存在U字形的腳部向內(nèi)側(cè)變形的問題。若腳部變 形，則導(dǎo)軌的橫面間的平行度惡化，滑動(dòng)器的腳部和導(dǎo)軌的腳部接觸，而損傷引導(dǎo)面。用于解決問題的手段為了解決上述問題，本發(fā)明如下構(gòu)成。技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺的發(fā)明對應(yīng)于圖1，其包括平臺；鋪設(shè)在上述平臺上的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述直線馬達(dá)磁鐵部彼此平行地固定在上述平臺上； 滑動(dòng)器，放置在上述直線馬達(dá)磁鐵部的上方和上述2根導(dǎo)軌之間的空間中，在與行進(jìn)方向 垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U字形的開口內(nèi)隔著空隙與上 述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，所述滑動(dòng)載物臺的特征在于，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字 形的側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴 出部，通過由從上述空氣噴出部向下面噴出的空氣產(chǎn)生的浮力、和上述直線馬達(dá)磁鐵部與 上述直線馬達(dá)線圈部間的電磁吸引力及重力，而取得平衡并浮起，由上述直線馬達(dá)磁鐵部 及上述直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。技術(shù)方案2的發(fā)明對應(yīng)于圖3，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在于，包 括挖掘有長槽的平臺；鋪設(shè)在上述長槽內(nèi)的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述長槽彼 此平行地固定在上述平臺上；滑動(dòng)器，放置在上述長槽的上方和上述2根導(dǎo)軌之間的空間 中，在與行進(jìn)方向垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U字形的開 口內(nèi)隔著空隙與上述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，其中，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的 側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴出部， 通過由從上述空氣噴出部向下面噴出的空氣產(chǎn)生的浮力、和上述直線馬達(dá)磁鐵部與上述直 線馬達(dá)線圈部間的電磁吸引力及重力，而取得平衡并浮起，由上述直線馬達(dá)磁鐵部及上述 直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。技術(shù)方案3所述的發(fā)明對應(yīng)于圖3，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在 于，包括挖掘有長槽的平臺；鋪設(shè)在上述長槽內(nèi)的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述長 槽彼此平行地固定在上述平臺上；滑動(dòng)器，放置在上述長槽的上方和上述2根導(dǎo)軌之間的 空間中，在與行進(jìn)方向垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U字形 的開口內(nèi)隔著空隙與上述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，其中，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字 形的側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴 出部，并使浮起面與由上述直線馬達(dá)磁鐵部及上述直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng) 面一致，在所述浮起面上通過由從上述空氣噴出部向下面噴出的空氣產(chǎn)生的浮力、和上述 直線馬達(dá)磁鐵部與上述直線馬達(dá)線圈部間的電磁吸引力及重力而取得平衡。技術(shù)方案4所述的發(fā)明對應(yīng)于圖4，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在 于，在上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向前端側(cè)及后端側(cè)連接了構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁之間。技術(shù)方案5所述的發(fā)明對應(yīng)于圖2，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在 于，在構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁的上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向上設(shè)置有多處上述空氣噴出部。技術(shù)方案6所述的發(fā)明對應(yīng)于圖6，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在 于，在上述滑動(dòng)器的角部的外側(cè)及內(nèi)側(cè)形成有倒角。技術(shù)方案7所述的發(fā)明對應(yīng)于圖7，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于， 在構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁的與上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向垂直的方向上設(shè)置有多處上述空氣 噴出部。技術(shù)方案8所述的發(fā)明對應(yīng)于圖8和圖9，在技術(shù)方案2所述的滑動(dòng)載物臺中，其 特征在于，在上述平臺上彼此平行地挖掘多列上述長槽，在各長槽內(nèi)分別鋪設(shè)上述直線馬 達(dá)磁鐵部，在滑動(dòng)器的上述U字形開口內(nèi)保持分別隔開間隔與各直線馬達(dá)磁鐵部相對配置 的各直線馬達(dá)線圈部，且在上述滑動(dòng)器的各直線馬達(dá)線圈部之間設(shè)置有上述下面的空氣噴
8出部。技術(shù)方案9所述的發(fā)明對應(yīng)于圖9，在技術(shù)方案8所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征在 于，上述長槽的多列為2列或3列。技術(shù)方案10所述的發(fā)明對應(yīng)于圖10，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，取代上述滑動(dòng)器，使用如下由金屬板構(gòu)成的滑動(dòng)器該滑動(dòng)器在下方安裝有上述直線 馬達(dá)線圈部和構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的側(cè)壁部。技術(shù)方案11所述的發(fā)明對應(yīng)于圖10，在技術(shù)方案10所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，在上述金屬板上設(shè)置有冷卻介質(zhì)用孔。技術(shù)方案12所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺的發(fā)明對應(yīng)于圖13，其特征在于，使用 技術(shù)方案8所述的第一滑動(dòng)載物臺和技術(shù)方案10所述的第二滑動(dòng)載物臺，將上述第一載物 臺的滑動(dòng)器作為上述第二滑動(dòng)載物臺的平臺，且以使上述第一滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器的移動(dòng) 方向和上述第二滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器的移動(dòng)方向正交的方式，將上述第二滑動(dòng)載物臺載置 到上述第一滑動(dòng)載物臺上。技術(shù)方案13所述的發(fā)明對應(yīng)于圖14，在技術(shù)方案12所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物 臺中，其特征在于，使上述第二滑動(dòng)載物臺為雙驅(qū)動(dòng)。技術(shù)方案14所述的發(fā)明對應(yīng)于圖15，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，從上述滑動(dòng)器離開地固定設(shè)于上述滑動(dòng)器之上的頂部基部，在上述頂部基部和上述 滑動(dòng)器之間的空間內(nèi)且在上述滑動(dòng)器之上的上述直線馬達(dá)線圈部的正上方部位設(shè)置直線 標(biāo)尺頭部，另外在上述頂部基部和上述滑動(dòng)器之間的空間內(nèi)，從上述直線標(biāo)尺頭部及其他 移動(dòng)的部件浮起地固定直線標(biāo)尺刻度部。技術(shù)方案15所述的發(fā)明對應(yīng)于圖15，在技術(shù)方案14所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，在上述頂部基部和上述滑動(dòng)器之間的空間內(nèi)安裝有限制開關(guān)。技術(shù)方案16所述的發(fā)明對應(yīng)于圖17，在技術(shù)方案14所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，將用于安裝上述直線標(biāo)尺刻度部的安裝基部在寬度方向剖面下形成為U字形。技術(shù)方案17所述的發(fā)明對應(yīng)于圖18，在技術(shù)方案13所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物 臺中，其特征在于，在上述第二滑動(dòng)載物臺的平臺上挖掘向上述第二滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器 的移動(dòng)方向延伸的長孔，在上述長孔內(nèi)收納平面二維直線標(biāo)尺頭部并將上述平面二維直線 標(biāo)尺頭部的端部固定到上述滑動(dòng)器，在上述第一滑動(dòng)載物臺的平臺上配置有平面二維直線 標(biāo)尺。技術(shù)方案18所述的發(fā)明對應(yīng)于圖20，在技術(shù)方案17所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物 臺中，其特征在于，將上述平面二維直線標(biāo)尺頭部配置在2個(gè)正方形的對角位置，且在上述 第一滑動(dòng)載物臺的平臺上平面狀地配置有多個(gè)上述平面二維直線標(biāo)尺。技術(shù)方案19所述的發(fā)明對應(yīng)于圖21，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，在上述滑動(dòng)器和上述2列導(dǎo)軌之間、以及上述滑動(dòng)器和上述平臺之間，分別在上述滑 動(dòng)器側(cè)、上述導(dǎo)軌側(cè)和上述平臺側(cè)粘貼低摩擦系數(shù)且堅(jiān)固的材質(zhì)的物體，上述低摩擦系數(shù) 的材質(zhì)的物體之間能夠接觸。技術(shù)方案20所述的發(fā)明對應(yīng)于圖21，在技術(shù)方案19所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，上述低摩擦系數(shù)的材質(zhì)的物體為碳纖維、陶瓷、石英、瑪瑙的任一個(gè)。技術(shù)方案21所述的發(fā)明對應(yīng)于圖22，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征
9在于，將上述平臺和上述2根導(dǎo)軌一體地形成，且在上述平臺的下面配置有水平調(diào)整螺栓、 在上述平臺的側(cè)面配置有位置限制螺栓。技術(shù)方案22所述的滑動(dòng)載物臺的發(fā)明對應(yīng)于圖25，其特征在于，在板金加工架臺 上平行地排列多臺技術(shù)方案21所述的滑動(dòng)載物臺，在上述滑動(dòng)載物臺的上部設(shè)置工件吸 附基部，能夠通過上述水平調(diào)整螺栓進(jìn)行水平調(diào)整。技術(shù)方案23所述的門架型的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺的發(fā)明對應(yīng)于圖28，其特征 在于，在板金加工架臺上的兩端彼此平行地排列2式技術(shù)方案21所述的滑動(dòng)載物臺，并在 上部橫向設(shè)置有上述滑動(dòng)載物臺。技術(shù)方案24所述的發(fā)明對應(yīng)于圖31，在技術(shù)方案1所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，使上述導(dǎo)軌在與行進(jìn)方向垂直的剖面下看呈羅馬字的“I”字形，在上述導(dǎo)軌的上面中 央具有用于設(shè)置上述直線馬達(dá)磁鐵部的槽，上述滑動(dòng)器從上述下面空氣噴出部噴出空氣并 通過與上述直線馬達(dá)磁鐵部和上述直線馬達(dá)線圈部的電磁吸引的平衡，而在上述槽的兩個(gè) 上面行走，以包圍上述導(dǎo)軌上側(cè)兩側(cè)面的方式上述滑動(dòng)器從上述橫面空氣噴出部噴出空氣 的同時(shí)行走。 技術(shù)方案25所述的發(fā)明對應(yīng)于圖42，在技術(shù)方案24所述的滑動(dòng)載物臺中，其特征 在于，在上述導(dǎo)軌的端部下端的凸緣部固定陰螺紋襯套，上述水平調(diào)整螺栓由與上述陰螺 紋襯套螺合的螺栓固定式水平調(diào)整螺栓、以及固定螺栓構(gòu)成，該固定螺栓穿通了通過該螺 栓固定式水平調(diào)整螺栓上形成的中心軸并貫通的貫通孔。發(fā)明效果根據(jù)技術(shù)方案1所述的發(fā)明，本發(fā)明的出發(fā)點(diǎn)是將目前為止只起到載置部件的載 置臺的作用的平臺的上面直接有效利用為滑動(dòng)面。因此，導(dǎo)軌不再是現(xiàn)有的圖52的導(dǎo)軌2’ 的U字形那樣的復(fù)雜形狀，只要簡單地固定長條的棒即可，在制作時(shí)只要是能正確得到與 平臺和滑動(dòng)器相對的面的垂直度的加工即可。與之相對，圖52的導(dǎo)軌2’將U字形腳部的 上面作為滑動(dòng)面，因此除了該滑動(dòng)面的平面度之外，對于U字形腳部間的平行度也要求表 面精度。因此，導(dǎo)軌2’為了維持表面精度最多只能制作Im左右的長度的長條物，但本發(fā)明 的導(dǎo)軌為簡單的形狀，因此能夠獲得長達(dá)6m 7m長的高精度的長條物，因此可以應(yīng)用于大 的液晶面板的制造裝置。此外，可以省略圖52的導(dǎo)軌2’的厚度部分D，因此可以降低高度。根據(jù)技術(shù)方案2所述的發(fā)明，除了技術(shù)方案1的效果之外，還可以進(jìn)一步降低直線 馬達(dá)磁鐵部的高度部分。根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明，由于馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)面和載物臺的浮起(滑動(dòng))面基本 一致，因此沒有偏移距離，可以防止滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器和下部滑動(dòng)面接觸，即使增大加速 /減速也沒有載物臺和滑動(dòng)面摩擦的擔(dān)憂，可以提供能夠高加速/減速的滑動(dòng)載物臺。此外，可以降低導(dǎo)軌2’的U字形的上下方向的厚度部分，因此利于小型化。進(jìn)而，導(dǎo)軌2只要簡單地固定長條的棒即可，因此在制作時(shí)只要是能正確得到與 平臺1和滑動(dòng)器4相對的面的垂直度的加工即可，可以省略得到圖52的導(dǎo)軌2’的U字形 的精度的加工，因此易于加工。此外，由于為挖掘(凹坑)結(jié)構(gòu)，因此電磁吸引力的應(yīng)力對滑動(dòng)器4無直接影響， 因此滑動(dòng)器主體不會變形，精度的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性好。
根據(jù)技術(shù)方案4所述的發(fā)明，滑動(dòng)器無需橫跨在導(dǎo)軌之上，從而滑動(dòng)器只要在中 央部挖出用于收納直線馬達(dá)線圈部的長方體部分即可，可以設(shè)置將兩腳部連接起來的、連 接行進(jìn)方向的前端的左右兩腳部之間的連接部分以及同樣地連接行進(jìn)方向的后端的左右 兩腳部之間的連接部分，因此滑動(dòng)器的兩側(cè)的腳部不會變形。此外，為了安裝同樣大小的直線馬達(dá)線圈，由于并不橫跨導(dǎo)軌因此較為小型，從而 只要較少的材料即可，通過將剩余的材料的一部分用于加厚滑動(dòng)器的上部的厚度，即使在 滑動(dòng)器的上部作用力，厚度也足夠，因此不會向下側(cè)較大地凹陷。根據(jù)技術(shù)方案5所述的發(fā)明，能夠獲得穩(wěn)定的浮力。根據(jù)技術(shù)方案6所述的發(fā)明，通過這樣在角部的內(nèi)側(cè)和外側(cè)進(jìn)行倒角，應(yīng)力不會 集中在角上，因此對應(yīng)力的耐受性強(qiáng)，滑動(dòng)器的角部更加難以破裂。根據(jù)技術(shù)方案7所述的發(fā)明，可以簡單地實(shí)現(xiàn)寬幅、大面積的滑動(dòng)載物臺。根據(jù)權(quán)利要求8所述的發(fā)明，通過設(shè)置多個(gè)直線馬達(dá)，可以制作任意的驅(qū)動(dòng)力的 滑動(dòng)載物臺，進(jìn)而，通過彼此隔開間隔設(shè)置2個(gè)直線馬達(dá)，而可以進(jìn)行兩側(cè)驅(qū)動(dòng)，因此相對 于偏轉(zhuǎn)方向的耐受性增強(qiáng)，通過由兩側(cè)的直線馬達(dá)、直線標(biāo)尺進(jìn)行同步控制，可以進(jìn)一步提 高偏轉(zhuǎn)、橫向平直度的精度。根據(jù)技術(shù)方案9所述的發(fā)明，不會因兩個(gè)直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)而引起偏轉(zhuǎn)，此外，在非正 常停止時(shí)若僅對中央的直線馬達(dá)施加動(dòng)力制動(dòng)，則施加制動(dòng)的是中央部，因此滑動(dòng)器可以 不左右振動(dòng)地停止。根據(jù)技術(shù)方案10所述的發(fā)明，這樣一來，由于金屬板對彎曲的耐受性強(qiáng)，因此金 屬板即使僅中央部變形也不會破裂，此外，電磁吸引力的影響僅作用到上面的連接基部，因 此僅對滑動(dòng)器(石制)施加了壓縮方向的力，由于石頭對壓縮的耐受性很強(qiáng)，因此石頭并不 變形，精度的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性好。通過使用金屬板，不僅實(shí)現(xiàn)了精度提高，而且載物臺的高度也進(jìn)一步降低了去掉 滑動(dòng)器上部厚壁部位的部分。根據(jù)技術(shù)方案11所述的發(fā)明，可以在連接的金屬基部上簡單地形成冷氣介質(zhì)用 孔，因此通過使水、空氣流過其中，可以隔斷直線馬達(dá)線圈部的發(fā)熱。根據(jù)技術(shù)方案12所述的發(fā)明，由此得到可以降低堆疊的高度的XY載物臺。根據(jù)技術(shù)方案13所述的發(fā)明，由此可以降低高度，且對于X軸和Y軸均進(jìn)行雙驅(qū) 動(dòng)，因此在兩側(cè)提高了移動(dòng)精度，從而可以提高橫向的移動(dòng)精度(偏轉(zhuǎn)、橫向平直度)，所以 在X軸和Y軸均可進(jìn)行高精度的移動(dòng)。根據(jù)技術(shù)方案14所述的發(fā)明，將檢測頭部相對于作為測定物的滑動(dòng)器無偏移地 配置在同一軸線上，因此滑動(dòng)器即使產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，中央部也不受偏轉(zhuǎn)的影響，因此測定精度提
尚ο根據(jù)技術(shù)方案15所述的發(fā)明，可以有效利用滑動(dòng)器和頂部基部之間的空間而在 此安裝用于防止超程等的限制開關(guān)，因此不會向裝置的外部突出，無破損等的擔(dān)憂。根據(jù)技術(shù)方案16所述的發(fā)明，由于直線標(biāo)尺安裝基部為細(xì)長的長條狀且向下方 安裝，因此容易受到重力的影響而變形，但由于為剖面U字形，因此對變形的耐受性變強(qiáng)。根據(jù)技術(shù)方案17所述的發(fā)明，使X軸滑動(dòng)器向X方向移動(dòng)時(shí)，二維直線標(biāo)尺頭部 在凹坑內(nèi)移動(dòng)，在X方向讀取平面二維直線標(biāo)尺。此外，使Y軸滑動(dòng)器移動(dòng)時(shí)，X軸滑動(dòng)器也移動(dòng)，因此安裝于X軸滑動(dòng)器的下方的二維直線標(biāo)尺頭部移動(dòng)，從而可以在Y方向讀取平 面二維直線標(biāo)尺。其結(jié)果，二維直線標(biāo)尺頭部可以在XY方向讀取平面二維直線標(biāo)尺。根據(jù)技術(shù)方案18所述的發(fā)明，2個(gè)二維直線標(biāo)尺頭部中必定有某一個(gè)頭部讀出二 維直線標(biāo)尺，即使在X方向和Y方向設(shè)置任意長度的二維直線標(biāo)尺，也可以切實(shí)地由二維直 線標(biāo)尺頭部讀出標(biāo)尺。根據(jù)技術(shù)方案19所述的發(fā)明，滑動(dòng)器可以在平臺的表面基本以零間隙移動(dòng)，因此 可以進(jìn)行精密的控制。根據(jù)技術(shù)方案20所述的發(fā)明，得到低摩擦系數(shù)且堅(jiān)固的材質(zhì)的物體，因此耐久性 良好，此外滑動(dòng)器可以在平臺的表面基本以零間隙移動(dòng)，因此可以進(jìn)行精密的控制。根據(jù)技術(shù)方案21所述的發(fā)明，是使平臺和導(dǎo)軌一體化組合的結(jié)構(gòu)，在平臺軌道的 下面配置水平調(diào)整螺栓，在側(cè)面配置位置限制螺栓，因此，相對于因平臺軌道的自重及負(fù)荷 荷重引起的縱向的彎曲等，通過調(diào)整在下面設(shè)置的水平調(diào)整螺栓，即使下面不是具有平面 度的石制平臺等而是無精度的板金加工架臺等的情況下也可以設(shè)置，行走的平直度也可以 調(diào)整為3 IOym左右，同樣地，橫向的精度也可以通過位置限制螺栓調(diào)整平臺軌道，將行 走的平直度調(diào)整為3 IOym左右。根據(jù)技術(shù)方案22所述的發(fā)明，在平臺上平行地排列多臺滑動(dòng)載物臺，在上部設(shè)置 有工件吸附基部，因此可以進(jìn)行大型平板顯示器(FPD)工件的傳送。根據(jù)技術(shù)方案23所述的發(fā)明，在板金加工架臺上的兩端平行地排列2式滑動(dòng)載物 臺，能夠進(jìn)行水平調(diào)整，因此通過在上部同樣地橫向設(shè)置本實(shí)施例的滑動(dòng)載物臺，能夠構(gòu)成 與大型FPD工件對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺。根據(jù)技術(shù)方案24所述的發(fā)明，為使平臺和導(dǎo)軌成為一體型的呈羅馬字“I”字形的 形狀的導(dǎo)軌，因此主體的剛性也強(qiáng)，在下部配置了螺栓固定式水平調(diào)整螺栓，因此相對于因 導(dǎo)軌的自重及負(fù)荷荷重引起的縱向的彎曲等，通過調(diào)整在下面設(shè)置的水平調(diào)整螺栓，即使 下面不是具有平面度的石制平臺等而是無精度的板金加工架臺等的情況下也可以設(shè)置，行 走的平直度也可以調(diào)整為3 10 μ m左右，同樣地，橫向的精度也可以通過位置限制螺栓調(diào) 整平臺軌道，將行走的平直度調(diào)整為3 10 μ m左右。根據(jù)技術(shù)方案25所述的發(fā)明，用與導(dǎo)軌接合固定的陰螺紋襯套推拉調(diào)整設(shè)置的 作為陽螺紋的螺栓固定式水平調(diào)整螺栓，而確定了高度，并用固定螺栓固定到機(jī)械材料上， 從而即使下面不是具有平面度的石制平臺等而是無精度的板金加工架臺等的情況下也可 以設(shè)置，行走的平直度也可以調(diào)整為3 10 μ m左右。因此，即使在作為基準(zhǔn)的下部為板金 加工架臺等精度差的情況下，IOm以上的長條物也可以進(jìn)行高精度的傳送定位。此外，通過與現(xiàn)有裝置的對比來說，通過上述結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生以下的效果。相對于現(xiàn)有的重量平衡型的問題，由于上下方向被約束，因此上下方向的移動(dòng)精 度(縱向平直度、俯仰等)變好。由于加速/減速時(shí)的姿勢變動(dòng)少，因此不產(chǎn)生軸承部的接觸等，可以縮短加速/減 速時(shí)間，可以延長移動(dòng)節(jié)拍?？梢赃M(jìn)行小型化下的實(shí)用化，即使在可變荷重下也可以動(dòng)作，此外也可以急加速/ 急減速。在縱向的滑動(dòng)高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間不產(chǎn)生距離，因此加速/減速時(shí)不產(chǎn)生力
12矩，對俯仰方向沒有影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)變好，不會產(chǎn)生縱向側(cè)的滑動(dòng)器與平臺干涉。無需使用為雙面磁鐵而高價(jià)的空心直線馬達(dá)，而使用單面磁鐵的直線馬達(dá)，因此 可以降低成本。位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)的設(shè)置場所不是在外側(cè)或下側(cè)等，而使設(shè)置在后述的 圖14、圖17的位置，從而消除了阿貝誤差(檢測位置和精度需要位置的差異誤差)的影響， 定位精度、反復(fù)精度變好。對于現(xiàn)有的空氣約束型的問題，由于無需以微米單位管理空氣間隙，因此無需以 微米單位組合加工導(dǎo)軌部和滑動(dòng)器部的尺寸關(guān)系精度，部件單價(jià)變得便宜，可以同時(shí)大量 生產(chǎn)相同物體。由于在縱向的滑動(dòng)器高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間不產(chǎn)生距離，因此在加速/減速時(shí)不 產(chǎn)生力矩，對俯仰方向沒有影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)變好，縱向側(cè)的滑動(dòng)器不會與縱向側(cè)的導(dǎo) 軌干涉。由于在橫向的滑動(dòng)器位置和傳送驅(qū)動(dòng)位置間不產(chǎn)生距離，因此在加速/減速時(shí)不 產(chǎn)生力矩，對偏轉(zhuǎn)方向沒有影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)變好，橫向側(cè)的滑動(dòng)器不會與橫向側(cè)的導(dǎo) 軌干涉。無需使用為雙面磁鐵而高價(jià)的空心直線馬達(dá)，而使用單面磁鐵的直線馬達(dá)，因此 可以降低成本。此外，與JP實(shí)開平7-44457號公報(bào)記載的“滑動(dòng)裝置”進(jìn)行對比，相對于混合型的 問題，由于下面使用平臺本身，因此不需要特別的加工，用于橫向約束的導(dǎo)軌為1體而無需 高精度地加工，無需將對應(yīng)的兩側(cè)面的平行度加工為5 μ m以下，只要得到平面度即可，因 此導(dǎo)軌的制作費(fèi)用低，而且可以應(yīng)對長行程(3m以上)、長寬度(2m以上)等。進(jìn)一步可以降低1軸下的高度，由于使用平臺上面而可以進(jìn)一步降低。此外，在XY組合時(shí)并不是單純變?yōu)?倍的高度，作為組合的高度可以進(jìn)一步降低， 具有實(shí)務(wù)性的優(yōu)點(diǎn)。由于在縱向的滑動(dòng)器高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間不產(chǎn)生距離，因此在加速/減速時(shí)不 產(chǎn)生力矩，對俯仰方向沒有影響，反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)變好，縱向側(cè)的滑動(dòng)器不會與縱向側(cè)的導(dǎo) 軌干涉。通過磁性的吸引和空氣相斥的平衡進(jìn)行上下方向的約束，不會對滑動(dòng)器施加變形 及應(yīng)力的負(fù)擔(dān)，沒有精度的再現(xiàn)性受損或載物臺自身破裂的危險(xiǎn)性。此外，無需進(jìn)行強(qiáng)度增強(qiáng)以防止這種狀態(tài)產(chǎn)生，因此可以小型化。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖2是向圖3的B-B剖面向視方向看實(shí)施例2的滑動(dòng)載物臺的橫剖面的圖。圖3是向圖2的A-A剖面向視方向看實(shí)施例2的滑動(dòng)載物臺的縱剖面的圖。圖4是說明本發(fā)明實(shí)施例3的滑動(dòng)器的圖，圖4(a)是其示意透視圖，(b)是為了 說明滑動(dòng)器的肋材而將滑動(dòng)器上下顛倒的透視圖。圖5是圖4(a)的滑動(dòng)器的C-C向剖視圖。圖6是實(shí)施例4的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。
圖7是實(shí)施例5的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖8是實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖9是實(shí)施例7的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖10是說明實(shí)施例8的滑動(dòng)載物臺的圖，是滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖11是實(shí)施例8的滑動(dòng)器的示意透視圖。圖12是圖11的滑動(dòng)器的B-B向剖視圖。圖13是實(shí)施例9的滑動(dòng)載物臺的3面圖。圖14是實(shí)施例10的滑動(dòng)載物臺的3面圖。圖15是實(shí)施例11的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖16是實(shí)施例11的直線標(biāo)尺9附近的局部剖面透視圖。圖17是實(shí)施例12的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖18是實(shí)施例13的滑動(dòng)載物臺的3面圖。圖19是實(shí)施例13中使用的平面XY直線標(biāo)尺的俯視圖。圖20是實(shí)施例14的平面XY直線標(biāo)尺的俯視圖。圖21是實(shí)施例15的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖22是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖23是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺的變形例(帶冷卻板)的縱剖視圖。圖24是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺的3面圖。圖25是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(1)的縱剖視圖。圖26是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(2)的縱剖視圖。圖27是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(3)的縱剖視圖。圖28是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(4)的縱剖視圖。圖29是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(5)的縱剖視圖。圖30是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(6)的俯視圖。圖31是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖32是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的3面圖。圖33是在平臺軌道的上面中央部分安裝有直線馬達(dá)磁鐵部的實(shí)施例。圖34是與實(shí)施例2 (圖2、圖3)同樣地具有用于在平臺軌道的上面中央部設(shè)置直 線馬達(dá)磁鐵部的槽的實(shí)施例。圖35是在平臺軌道的引導(dǎo)面上面安裝有直線標(biāo)尺部的帶狀標(biāo)尺的實(shí)施例的側(cè)視 圖。圖36是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(1)的縱剖視圖。圖37是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(2)的縱剖視圖。圖38是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(3)的縱剖視圖。圖39是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(4)的縱剖視圖。圖40是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(5)的縱剖視圖。圖41是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺應(yīng)用例(6)的縱剖視圖。圖42是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的圖31的A部的放大詳細(xì)圖，(a)表示使 載物臺上升的途中的狀態(tài)，(b)表示上升到最大的狀態(tài)，(c)表示固定的狀態(tài)。
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圖43表示在圖42的上下方向調(diào)整機(jī)構(gòu)上進(jìn)一步追加了平臺軌道的橫向調(diào)整機(jī)構(gòu) 和荷重分擔(dān)機(jī)構(gòu)的剖視圖。圖44是通過朝下設(shè)置本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺而構(gòu)成了與大型FPD工件對應(yīng)的 門架(gantry)結(jié)構(gòu)的載物臺的實(shí)施例。圖45是能夠?qū)⑵脚_軌道彎曲的狀態(tài)通過螺栓固定式水平調(diào)整螺栓使縱向的平直 度強(qiáng)制為平直的說明用的側(cè)視圖。圖46是能夠?qū)⑵脚_軌道彎曲的狀態(tài)通過位置限制螺栓使橫向的平直度強(qiáng)制為平 直的說明用的俯視圖。圖47是現(xiàn)有的重量平衡型載物臺的剖視圖，(a)是整體圖，(b)是空氣墊附近的放 大圖。圖48是現(xiàn)有的空氣約束型載物臺1的剖視圖。圖49是現(xiàn)有的空氣約束型載物臺2的剖視圖。圖50是現(xiàn)有的空氣約束型載物臺3的剖視圖。圖51是現(xiàn)有的混合型載物臺的俯視圖。圖52是現(xiàn)有的混合型載物臺的剖視圖。圖53是現(xiàn)有的混合型載物臺的滑動(dòng)器變形圖。標(biāo)號說明1…平臺Ia…長槽2···導(dǎo)軌3…空氣墊4…滑動(dòng)器如…滑動(dòng)器側(cè)壁5…空心直線馬達(dá)6…氣管6k···開口部6r…肋材6s…橫面空氣噴出部6u…下面空氣噴出部7…直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)7a…磁鐵8…直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)9…直線標(biāo)尺部9B…安裝基部9H…直線標(biāo)尺頭部9S…直線標(biāo)尺(刻度部)10…連接基部11…冷卻介質(zhì)用孔(水冷或空冷)12…Y軸導(dǎo)軌0187]13. Y軸滑動(dòng)器0188]14. Y軸直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)0189]15. Y軸直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)0190]16. Y軸直線標(biāo)尺0191]17. X軸導(dǎo)軌0192]18. X軸滑動(dòng)器0193]19. X軸直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)0194]20. X軸直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)0195]21. X軸直線標(biāo)尺0196]22. 玻璃制直線標(biāo)尺安裝基部0197]22H…安裝基部安裝部件0198]23. 空間基部0199]24. 頂部基部0200]25. 限制傳感器0201]26. 電纜架0202]27. 平面二維直線標(biāo)尺0203]28. 平面二維直線標(biāo)尺玻璃0204]29. 平面二維直線標(biāo)尺頭部0205]30. 平面二維直線標(biāo)尺頭部2頭部0206]31. 固定螺釘0207]32. 接觸導(dǎo)軌0208]33. 接觸滑動(dòng)器0209]34. 平臺軌道0210]35. 板金加工架臺0211]36. 水平調(diào)整螺栓0212]37、37a…位置限制螺栓0213]38. 工件吸附基部0214]39. 平臺軌道0215]40. 螺栓固定式水平調(diào)整螺栓0216]41. 支柱0217]42. 固定螺栓0218]43. 陰螺紋襯套(與39接合固定)0219]44. 螺紋孔0220]81. 冷卻板
具體實(shí)施例方式
以下參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。實(shí)施例1圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。
在圖1中，1是平臺，2是導(dǎo)軌，4是滑動(dòng)器，6是空氣噴出部，7是直線馬達(dá)磁鐵部 (固定部)，7a(圖1)是磁鐵，8是直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部帶芯或帶軛)，9(圖1)是直線 標(biāo)尺部(9H是直線標(biāo)尺頭部，9S是直線標(biāo)尺(刻度部))。比較實(shí)施例1 (圖1)的導(dǎo)軌2和公知例(圖52)的導(dǎo)軌2’，公知例(圖52)的導(dǎo) 軌2’形狀復(fù)雜，為了得到平坦度5μπι的高精度，最多只能制作長度Im左右的長條物(因 此限于半導(dǎo)體制造裝置的用途)，與之相對，實(shí)施例1的導(dǎo)軌2形狀簡單，因此能夠獲得長達(dá) 6m 7m長的高精度的長條物(因此可以應(yīng)用于大的液晶面板的制造裝置)。是將由2根 長條棒構(gòu)成的導(dǎo)軌2、2以彼此平行的方式通過螺釘31固定到平臺1上的簡單的結(jié)構(gòu)。平臺1的面本來進(jìn)行了精磨從而成為平滑面，為與導(dǎo)軌2’的U字形的腳部上面相 同程度的平面度(平滑面)，因此使用平臺1的面沒有問題。在平臺1的上方和2列導(dǎo)軌2、2之間的空間中放置滑動(dòng)器4。該滑動(dòng)器4在與行 進(jìn)方向垂直的剖面下看為上下顛倒的U字形，在該倒U字形的開口內(nèi)具備直線馬達(dá)線圈部 8。直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8彼此隔著空隙相對配置，通過直線馬達(dá)線圈部8 的內(nèi)部(未圖示)的芯(鐵心)而在直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8之間產(chǎn)生電磁 吸引力。在構(gòu)成滑動(dòng)器4的倒U字形的兩側(cè)壁4s、4s上設(shè)置有氣管6，該氣管6具有朝向下 面噴出空氣的下面空氣噴出部6u和朝向橫向的外側(cè)向滑動(dòng)器4外側(cè)噴出空氣的橫面空氣 噴出部6s。從下面空氣噴出部6u朝向下面噴出的空氣撞到平臺1而對滑動(dòng)器4產(chǎn)生浮力。在 通過直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8間的電磁吸引力及重力和上述浮力而取得了平 衡的位置上，滑動(dòng)器4浮起。在實(shí)施例1中，在距平臺面5μπι 十幾ym的距離上成為浮 起面。此外，從橫面空氣噴出部6s向橫面的外側(cè)噴出的空氣撞到兩側(cè)的導(dǎo)軌2，結(jié)果在 中央保持平衡。此外，通過從側(cè)壁向橫向外周噴出的空氣的壓力，產(chǎn)生從導(dǎo)軌2向內(nèi)側(cè)推壓側(cè)壁 的力。與圖53中說明的情況同樣地通過電磁吸引力而產(chǎn)生向外側(cè)打開滑動(dòng)器的側(cè)壁的力， 如上所述從橫面空氣噴出部噴出的空氣的壓力成為使側(cè)壁向內(nèi)側(cè)返回的力，因此具有通過 調(diào)整壓力來減少側(cè)壁的變形的效果。不調(diào)整空氣壓力時(shí)，如后述圖4 (a)所示在滑動(dòng)器4的U字形的開口部的側(cè)壁上附 加成為肋材的部分即可。此外，如后述圖4(b)所示，在滑動(dòng)器4的側(cè)壁上殘留成為肋材6r的部分而加工開 口部6k時(shí)，具有以下效果即使由電磁吸引力施加了向外打開側(cè)壁的力，也會通過肋材6r 抑制側(cè)壁的變形(圖53的變形)。此外，在直線馬達(dá)磁鐵部7及直線馬達(dá)線圈部8之間產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力，通過該驅(qū)動(dòng)力沿 行走方向驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)器4。直線馬達(dá)線圈部8的下端成為驅(qū)動(dòng)面。此外，可以降低導(dǎo)軌2’(圖52)的U字形的上下方向的厚度D，因此利于小型化。進(jìn)而，實(shí)施例1的導(dǎo)軌2只要簡單地固定長條的棒即可，因此在制作時(shí)只要是正確 得出與平臺1和滑動(dòng)器4相對的面的垂直度的加工即可，可以省略得出圖52的導(dǎo)軌2’的 U字形的精度的加工，因此易于加工。
此外，若增大設(shè)計(jì)實(shí)施例1的導(dǎo)軌2的寬度，則通過從滑動(dòng)器側(cè)壁的橫面空氣噴出 部噴出的空氣的壓力可以減少導(dǎo)軌變形的量，因此可以解決現(xiàn)有技術(shù)(圖52)的問題5。因此，導(dǎo)軌2在長達(dá)6m 7m的長度上也可以獲得高精度的長條物，可以應(yīng)用于大 的液晶面板的制造裝置。由導(dǎo)軌約束滑動(dòng)器的橫向的位置，由平臺約束滑動(dòng)器的縱向的位置，因此具有可 以獨(dú)立調(diào)整橫向的行走精度和縱向的行走精度的效果。實(shí)施例2圖2及圖3是說明本發(fā)明的實(shí)施例2的滑動(dòng)載物臺的圖，圖2是向圖3的B-B剖 面向視方向看滑動(dòng)載物臺的橫剖面的圖，圖3是向圖2的A-A剖面向視方向看滑動(dòng)載物臺 的縱剖面的圖。在圖2及圖3中，對于與圖1相同的標(biāo)號省略說明。在實(shí)施例2的平臺1上挖掘長槽la(圖3)，在該長槽Ia內(nèi)鋪設(shè)上部具有磁鐵7a 的直線馬達(dá)磁鐵部7。此時(shí)，磁鐵7a的上面與平臺1的表面基本在同一平面內(nèi)。平臺1的 面本來進(jìn)行了精磨從而為平滑面，成為與導(dǎo)軌2’的U字形的腳部上面相同程度的平面度 (平滑面)，因此使用平臺1的面沒有問題。此外，2根導(dǎo)軌2、2被固定成彼此夾著長槽Ia而平行。若增大設(shè)計(jì)導(dǎo)軌2的寬度，則通過從滑動(dòng)器側(cè)壁的橫面空氣噴出部噴出的空氣的 壓力可以減少導(dǎo)軌變形的量，因此可以解決現(xiàn)有技術(shù)(圖52)的問題5。在該長槽Ia的上方和2列導(dǎo)軌2、2之間的空間中放置滑動(dòng)器4。該滑動(dòng)器4在與 行進(jìn)方向垂直的剖面下看為倒U字形，在該倒U字形的開口內(nèi)具備直線馬達(dá)線圈部8。直 線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8彼此隔著空隙相對配置，通過直線馬達(dá)線圈部8的內(nèi) 部(未圖示)的芯(鐵心)而在直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8之間產(chǎn)生電磁吸引 力。此外，在滑動(dòng)器4上與實(shí)施例同樣地在側(cè)壁上殘留成為肋材6r的部分而加工開口 部6k時(shí)，獲得以下效果即使由電磁吸引力施加了向外打開側(cè)壁的力，也會通過肋材6ι 抑 制側(cè)壁的變形(圖53的變形)。這樣一來，在實(shí)施例2中，直線馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)面(直線馬達(dá)線圈8的下端)和載物臺 的浮起(滑動(dòng))面(從平臺面1向上十幾Pm)基本一致，因此沒有偏移距離，沒有在圖52 的滑動(dòng)載物臺中產(chǎn)生的滑動(dòng)器4’和導(dǎo)軌2’的接觸。在此，基于本申請人得出的理由，對沒有偏移距離則沒有滑動(dòng)器和導(dǎo)軌的接觸的 理由進(jìn)行說明。返回到作為公知例的圖52。在圖52中距離t表示的是滑動(dòng)器4’的驅(qū)動(dòng)面Ll和 滑動(dòng)器4’的滑動(dòng)面L2之間的偏移距離。該距離t越是增加，則由于在加速/減速時(shí)在滑 動(dòng)器4’的上部支撐的狀態(tài)下(浮起)在滑動(dòng)器4’的下部施加向前加速(或減速)的力矩， 滑動(dòng)器4’的行進(jìn)方向的前端和后端在上下方向較大地?fù)u動(dòng)(俯仰)，其結(jié)果導(dǎo)致滑動(dòng)器4’ 的行進(jìn)方向前端和后端可能與導(dǎo)軌2’的上部接觸等。然而，該距離t若為0(圖3)，則滑動(dòng) 器4的驅(qū)動(dòng)面和浮起(滑動(dòng))面一致，因此在施加滑動(dòng)器4的加速(或減速)的力的面內(nèi) 浮起/滑動(dòng)/移動(dòng)，因此滑動(dòng)器4的行進(jìn)方向前端和后端不在上下方向搖動(dòng)，其結(jié)果沒有滑 動(dòng)器4的行進(jìn)方向前端和后端與平臺1接觸等擔(dān)憂。
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這樣，存在圖52所示的偏移距離t，在縱向的滑動(dòng)器高度和傳送驅(qū)動(dòng)高度間存在 距離，因此在加速/減速時(shí)產(chǎn)生力矩，對俯仰方向有影響，不僅反復(fù)精度、空轉(zhuǎn)差，而且在急 速的加速/減速時(shí)還產(chǎn)生縱向側(cè)的滑動(dòng)器與縱向側(cè)的導(dǎo)軌干涉/接觸等事故。因此，反之 為了不引起干涉/接觸事故就無法進(jìn)行急速的加速/減速控制，具有成為無法進(jìn)行急速的 加速/減速控制的滑動(dòng)載物臺的缺點(diǎn)，但通過實(shí)施例2可以解決該缺點(diǎn)。因此，根據(jù)實(shí)施例 2，即使增大加速/減速也沒有載物臺和滑動(dòng)面摩擦的擔(dān)憂，可以提供能夠高加速/減速的 滑動(dòng)載物臺。此外，由于為挖掘(凹坑)結(jié)構(gòu)，因此電磁吸引力的應(yīng)力對滑動(dòng)器4無直接影響， 因此滑動(dòng)器主體不會變形，精度的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性好。實(shí)施例3圖4是說明本發(fā)明的實(shí)施例3的滑動(dòng)器的圖，圖4(a)是其示意透視圖，(b)是將 滑動(dòng)器上下顛倒的透視圖。圖5是圖4(a)的滑動(dòng)器的C-C向剖視圖?，F(xiàn)有的滑動(dòng)器4’是用于圖52的滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器，是橫跨在導(dǎo)軌2’上行進(jìn)的 類型。在結(jié)構(gòu)上滑動(dòng)器4’的兩腳部4k、4k的行進(jìn)方向的前端之間以及后端之間無法關(guān)閉 而開口。因此，若在滑動(dòng)器4’上沿箭頭方向作用因空氣噴出而產(chǎn)生的斥力F1、F2，則如圖 53所示產(chǎn)生要使滑動(dòng)器4’的兩側(cè)的腳部4k、4k向外側(cè)打開的力，而打開。為了防止這一情 況需要將壁厚加厚，與小型化/低成本化/輕量化的需求背道而馳。此外，如圖53所示沿箭頭方向F3作用電磁吸引力時(shí)，若滑動(dòng)器4’上部的厚度不 夠則如圖53所示向下側(cè)凹陷。為了防止這一情況同樣需要將壁厚加厚，與小型化/低成本 化/輕量化的需求背道而馳。與之相對，圖4 (a)的滑動(dòng)器4是由圖2及圖3的滑動(dòng)器在2根導(dǎo)軌2之間行進(jìn)的 類型，因此滑動(dòng)器4無需橫跨在導(dǎo)軌2之上，從而滑動(dòng)器4只要在中央部挖出用于收納直線 馬達(dá)線圈部8的長方體部分即可，可以如陰影線4x所示設(shè)置將兩腳部連接起來的、連接行 進(jìn)方向的前端的左右兩腳部之間的連接部分以及同樣地連接行進(jìn)方向的后端的左右兩腳 部之間的連接部分，從而即使在滑動(dòng)器4上產(chǎn)生箭頭方向的電磁吸引力F1、F2，也會通過行 進(jìn)方向的前端的連接部分及后端的連接部分來阻止兩側(cè)的腳部要打開這一情況，因此如圖 5所示滑動(dòng)器4的兩側(cè)的腳部不會彎曲。圖4(b)是將滑動(dòng)器上下顛倒的圖。圖中為向上拆下了直線馬達(dá)線圈部8的狀態(tài)， 在側(cè)壁殘留成為肋材6r的部分而加工了開口部6k。具有即使由電磁吸引力施加向外打開 側(cè)壁的力也會通過肋材6r來抑制側(cè)壁的變形(圖53的變形)的效果。此外，為了安裝同樣大小的直線馬達(dá)線圈8，圖52的滑動(dòng)器4’由于橫跨在導(dǎo)軌2’ 之上而變得大型，因此材料也需要較多，但圖2的滑動(dòng)器4由于并不橫跨導(dǎo)軌因此較為小 型，從而只要較少的材料即可，通過將剩余的材料的一部分用于加厚滑動(dòng)器4的上部的厚 度，即使沿箭頭方向F3作用電磁吸引力，滑動(dòng)器4的上部的厚度也足夠，因此如圖5所示不 會向下側(cè)較大地凹陷。實(shí)施例4圖6是實(shí)施例4的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖6與實(shí)施例2(圖3)不同的是滑動(dòng)器的形狀。圖6中的滑動(dòng)器41與圖3的滑 動(dòng)器4同樣地成倒U字形，但圖3的滑動(dòng)器4的倒U字形的角無論內(nèi)側(cè)還是外側(cè)均為直角，
19而圖6的滑動(dòng)器41的U字形的角則是外側(cè)和內(nèi)側(cè)均為避免應(yīng)力的倒角(R)形狀，在這一點(diǎn) 上二者不同。通過這樣在角部的內(nèi)側(cè)和外側(cè)進(jìn)行倒角，應(yīng)力不會集中在角上，因此對應(yīng)力的 耐受性強(qiáng)，滑動(dòng)器41的角部更加難以破裂。實(shí)施例5圖7是實(shí)施例5的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。實(shí)施例2 (圖3)的滑動(dòng)載物臺是在平臺1上的兩側(cè)螺釘固定2根長條棒的導(dǎo)軌2 的結(jié)構(gòu)，因此可以簡單地應(yīng)對寬幅、大面積的滑動(dòng)器的需求，而實(shí)施例5也可以應(yīng)對更大面 積的滑動(dòng)器的需求。圖7的滑動(dòng)載物臺應(yīng)對了該需求，其通過在中央設(shè)置直線馬達(dá)(直線 馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8)，在兩側(cè)設(shè)置導(dǎo)軌2、2，為了增加浮力而在滑動(dòng)器42的U 字形兩端下面設(shè)置多個(gè)空氣噴出口 61、62，而能夠簡單地實(shí)現(xiàn)寬幅、大面積的滑動(dòng)載物臺。與圖3相同的標(biāo)號是相同功能的部件，因此省略說明。實(shí)施例6圖8是實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。根據(jù)實(shí)施例5 (圖7)，可以簡單地制作寬幅、進(jìn)深長的滑動(dòng)載物臺，而實(shí)施例6的滑 動(dòng)載物臺與實(shí)施例5的滑動(dòng)載物臺相比驅(qū)動(dòng)力加倍。實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺如圖8所示， 通過設(shè)置多個(gè)直線馬達(dá)51、52，可以制作任意的驅(qū)動(dòng)力的滑動(dòng)載物臺。在圖8中，在滑動(dòng)器43和平臺1的兩側(cè)設(shè)置了 2個(gè)直線馬達(dá)51、52，從而可以使驅(qū) 動(dòng)力成為2倍。進(jìn)而，為實(shí)施例5(圖7)所示的在中央由1個(gè)直線馬達(dá)進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)時(shí)，容易相對 于行進(jìn)方向向左右旋轉(zhuǎn)(偏轉(zhuǎn))，但通過彼此隔開間隔地設(shè)置2個(gè)直線馬達(dá)51、52，此外將 兩側(cè)的直線標(biāo)尺例如安裝在導(dǎo)軌2、2的側(cè)面部或上面，可以進(jìn)行兩側(cè)驅(qū)動(dòng)，因此相對于偏 轉(zhuǎn)方向的耐受性增強(qiáng)，通過由兩側(cè)的直線馬達(dá)、直線標(biāo)尺進(jìn)行同步控制，可以進(jìn)一步提高偏 轉(zhuǎn)、橫向平直度的精度，可以使通常為3秒、3 μ m的變?yōu)?秒以下、1 μ m以下。實(shí)施例7圖9是實(shí)施例7的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。圖9的滑動(dòng)載物臺可以說是將圖3的滑動(dòng)載物臺和圖8的滑動(dòng)載物臺組合而成 的，得到增加了驅(qū)動(dòng)力的滑動(dòng)載物臺。但是效果并不只是如此，而獲得了預(yù)料之外的效果。 即，通過實(shí)施例7可以克服圖3的滑動(dòng)載物臺和圖8的滑動(dòng)載物臺所分別具有的弱點(diǎn)。圖3的滑動(dòng)載物臺的弱點(diǎn)是偏轉(zhuǎn)，而如圖8所示通過兩個(gè)直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可以解決 該弱點(diǎn)。此外，圖8的兩個(gè)直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)具有的弱點(diǎn)是，在非正常停止時(shí)要對兩個(gè)直線馬 達(dá)施加制動(dòng)，但實(shí)際上很難使兩個(gè)直線馬達(dá)的制動(dòng)奏效的方法完全相同，因此在兩個(gè)直線 馬達(dá)的制動(dòng)的奏效方法不同時(shí)，滑動(dòng)器會左右振動(dòng)。其理由為，在非正常停止馬達(dá)時(shí)，通常 施加動(dòng)力制動(dòng)，但動(dòng)力制動(dòng)只是通過電阻使馬達(dá)繞線短路，因此由于各個(gè)馬達(dá)的電阻的偏 差，馬達(dá)停止的時(shí)間也會出現(xiàn)偏差。然而，當(dāng)在圖9的滑動(dòng)載物臺施加非正常停止時(shí)，若使兩側(cè)的直線馬達(dá)處于自由 運(yùn)行(馬達(dá)移動(dòng)時(shí)因摩擦阻力而自然停止)狀態(tài)，而僅對中央的直線馬達(dá)施加動(dòng)力制動(dòng)，則 施加制動(dòng)的是中央部，因此滑動(dòng)器44可以不左右振動(dòng)地停止。此外，也可以設(shè)置超過3個(gè)的直線馬達(dá)，從而可以產(chǎn)生需要的大推力。
實(shí)施例8圖10 圖12是說明實(shí)施例8的滑動(dòng)載物臺的圖，圖10是滑動(dòng)載物臺的剖視圖， 圖11是實(shí)施例8的滑動(dòng)器的示意透視圖，圖12是圖11的滑動(dòng)器的B-B向剖視圖。在圖10 圖12中，實(shí)施例8的滑動(dòng)器45在原理上是與實(shí)施例2 (圖3)的滑動(dòng)載 物臺的滑動(dòng)器4相同的結(jié)構(gòu)，但實(shí)施例8的滑動(dòng)器45的特征在于，將圖3的滑動(dòng)器4的直線 馬達(dá)線圈部8進(jìn)入的部分的上部的厚壁部位完全挖出，而成為僅殘留了用于收納空氣噴出 部6的兩腳部的結(jié)構(gòu)。并且，在左右兩滑動(dòng)器45、45的上部設(shè)置由金屬板(鋼、不銹鋼等) 構(gòu)成的連接基部10，在此設(shè)置直線馬達(dá)線圈部8。進(jìn)而，可以有效利用連接基部10為金屬板的優(yōu)勢，在連接基部10的內(nèi)部簡單地形 成冷卻介質(zhì)用孔11，從而可以通過冷卻介質(zhì)用孔11去除來自線圈的熱，因此完全隔斷了向 上部的熱影響。由此，即使圖12所示的電磁吸引力對金屬板10作用，由于金屬板10對彎曲的耐 受性強(qiáng)，因此金屬板10如圖所示即使僅中央部變形也不會破裂(與之相對，圖5的石制滑 動(dòng)器4的中央部對彎曲的耐受性稍弱，因此如上所述要加厚一些)。此外，電磁吸引力的影 響僅作用到上面的連接基部10，因此僅對滑動(dòng)器45 (石制)施加了壓縮方向的力，由于石頭 對壓縮的耐受性很強(qiáng)，因此石頭并不變形，精度的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性好。這樣，通過使用由金屬板構(gòu)成的連接基部10，不僅可以實(shí)現(xiàn)精度的提高，而且載物 臺高度也能夠進(jìn)一步降低去掉圖3的滑動(dòng)器4上部厚壁部位的部分。即，由于連接基部10 為金屬板，因此不需要圖5中需要的石制的滑動(dòng)器4的厚度，可以進(jìn)一步降低滑動(dòng)載物臺的 高度，在本實(shí)施例中自平臺的高度為50mm。而圖3的滑動(dòng)載物臺自平臺的高度為70mm。與 之相對，現(xiàn)有例的圖52的滑動(dòng)載物臺高達(dá)100mm。此外，通過使水、空氣流過連接基部10的冷卻介質(zhì)用孔11，可以冷卻直線馬達(dá)線 圈部8的發(fā)熱，同時(shí)隔斷向其他部分的熱傳導(dǎo)。實(shí)施例9圖13是實(shí)施例9的滑動(dòng)載物臺的3面圖。實(shí)施例9的滑動(dòng)載物臺的結(jié)構(gòu)為，在實(shí)施例6的雙驅(qū)動(dòng)的滑動(dòng)載物臺8上放置實(shí) 施例8(圖10)的金屬板滑動(dòng)載物臺，而構(gòu)成可在X-Y方向移動(dòng)的XY載物臺。圖中，1為平臺，6為空氣噴出部，10為連接基部，12為Y軸導(dǎo)軌，13為Y軸滑動(dòng)器， 14為Y軸直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)，15為Y軸直線馬達(dá)線圈部，16為Y軸直線標(biāo)尺，17為 X軸導(dǎo)軌，18為X軸滑動(dòng)器，19為X軸直線馬達(dá)磁鐵部(固定部)，20為X軸直線馬達(dá)線圈 部，21為X軸直線標(biāo)尺，31為固定螺釘。在該實(shí)施例9中，在實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺上，并不是簡單地堆疊實(shí)施例8的滑動(dòng) 載物臺，其特征在于共用實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器43 (圖8)和實(shí)施例8的滑動(dòng)載物 臺的平臺1 (圖10)，在實(shí)施例6的滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器43的上部挖掘槽并重疊，由此得到 與堆疊的高度相比可以降低高度的XY載物臺。另外，在圖13中，在X軸或Y軸的導(dǎo)軌上如圖46(后述)所示安裝使用了止動(dòng)螺 釘?shù)奈恢孟拗坡菟?7a，從而可以降低導(dǎo)軌的形變，可以提高X軸或Y軸的行走精度。Y軸滑動(dòng)器13若與實(shí)施例1同樣地在側(cè)壁殘留成為肋材6r的部分而加工開口部 6k，則會獲得以下效果即使由電磁吸引力施加向外打開側(cè)壁的力，也會通過肋材6r抑制側(cè)壁的變形(圖53所示的變形)。X軸滑動(dòng)器18也可以使用實(shí)施例1的滑動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)，此時(shí)，若與實(shí)施例1同樣地在 側(cè)壁殘留成為肋材6r的部分，則側(cè)壁的變形得到抑制。實(shí)施例10圖14是實(shí)施例10的滑動(dòng)載物臺的3面圖。實(shí)施例10的載物臺的構(gòu)成為，在實(shí)施例6的雙驅(qū)動(dòng)的滑動(dòng)載物臺(圖8)上放置 實(shí)施例8(圖10)的金屬板滑動(dòng)載物臺，進(jìn)而添加了實(shí)施例6的雙驅(qū)動(dòng)的特征。由此，與實(shí)施例9同樣地可以降低高度，且對X軸及Y軸均進(jìn)行雙驅(qū)動(dòng)，因此在兩 側(cè)提高移動(dòng)精度，從而可以提高橫向的移動(dòng)精度(偏轉(zhuǎn)，橫向平直度)，所以在X軸及Y軸均 可進(jìn)行高精度的移動(dòng)。另外，在圖14中，在X軸或Y軸的導(dǎo)軌上如圖46 (后述)所示安裝使用了止動(dòng)螺 釘?shù)奈恢孟拗坡菟?7a，從而可以降低導(dǎo)軌的形變，可以提高X軸或Y軸的行走精度。實(shí)施例11圖15是實(shí)施例11的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。在圖中，1為平臺，40為導(dǎo)軌，4為滑動(dòng)器，6為空氣噴出部，8為直線馬達(dá)線圈部，9 為直線標(biāo)尺部，9B為安裝基部，9H為直線標(biāo)尺頭部，9S為直線標(biāo)尺(刻度部)。22為用于安 裝玻璃制直線標(biāo)尺的安裝基部，23為空間基部，24為頂部基部，25為限制傳感器，26為電纜 架，31為固定螺釘。驅(qū)動(dòng)部分基本為與實(shí)施例2(圖3)相同的結(jié)構(gòu)，不同的是位置檢測裝置(直線標(biāo) 尺)的配置位置。在實(shí)施例2中，滑動(dòng)器4在行進(jìn)方向左右振動(dòng)(偏轉(zhuǎn))時(shí)，位置檢測裝置 (直線標(biāo)尺)的輸出產(chǎn)生了檢測誤差，其原因查明為由于將直線標(biāo)尺9安裝在滑動(dòng)器4的 一個(gè)側(cè)面上。即，滑動(dòng)器4在行進(jìn)方向左右振動(dòng)(偏轉(zhuǎn))時(shí)，位置檢測裝置和滑動(dòng)器的位置 不一致，因此產(chǎn)生了檢測誤差。所以，在實(shí)施例11中通過將位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)9配 置在滑動(dòng)器4的中央，而消除了該誤差。作為具體的配置結(jié)構(gòu)，為了確保將直線標(biāo)尺9配置 在滑動(dòng)器4的中央的空間，在滑動(dòng)器4上在從中央部彼此離開的位置固定2個(gè)空間基部23、 23，并在其上安裝頂部基部24。此外，直線標(biāo)尺安裝基部22在滑動(dòng)器4、2個(gè)空間基部23和頂部基部24之間的中 央空間內(nèi)配置直線標(biāo)尺。圖16是實(shí)施例11的直線標(biāo)尺9附近的局部剖面透視圖。如圖16所示，用于安裝直線標(biāo)尺(刻度部)9S的直線標(biāo)尺安裝基部22，為具有達(dá) 到作為滑動(dòng)器4移動(dòng)范圍的行進(jìn)方向兩端部的長度的長條狀的棒狀體，該直線標(biāo)尺安裝基 部22貫通滑動(dòng)器4、2個(gè)空間基部23和頂部基部24之間的中央空間內(nèi)，并固定到在行進(jìn)方 向兩端部立設(shè)的安裝部件22H之上。并且，直線標(biāo)尺(刻度部)9S通過雙面膠帶、粘結(jié)劑、 螺釘?shù)裙潭ǖ街本€標(biāo)尺安裝基部22的下面。由此，即使滑動(dòng)器4在移動(dòng)范圍內(nèi)縱橫移動(dòng)， 直線標(biāo)尺(刻度部)9S也是與滑動(dòng)器4非接觸的狀態(tài)且不動(dòng)。另一方面，為了讀出該直線標(biāo)尺9S的刻度，直線標(biāo)尺頭部9H在頭部安裝基部9B 的正上方并靠近直線標(biāo)尺9S的下方而由螺釘固定。由此，若滑動(dòng)器4在移動(dòng)范圍內(nèi)縱橫移 動(dòng)，則直線標(biāo)尺頭部9H也與滑動(dòng)器4 一起移動(dòng)，因此直線標(biāo)尺頭部9H可以讀出不動(dòng)的直線 標(biāo)尺9S的刻度。將檢測頭部9H相對于作為測定物的滑動(dòng)器4無偏移地配置在同一軸線上，
22因此滑動(dòng)器4即使產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，中央部也不受偏轉(zhuǎn)的影響，因此測定精度提高(阿貝原理)。 根據(jù)實(shí)施例11，由于為考慮了阿貝原理的位置檢測裝置，因此載物臺的姿勢誤差下的定位 精度及反復(fù)定位精度最好。此外，從直線標(biāo)尺頭部9H到頂部基部24的距離近，因此俯仰方 向的誤差也變少，從而測定精度也提高。另外，用于防止超程等的限制開關(guān)25以往向裝置的橫側(cè)突出地設(shè)置，但在實(shí)施例 11中，可以有效利用滑動(dòng)器4、空間基部23的外側(cè)和頂部基部24之間的空間而安裝在此， 因此不會向裝置的外部突出，無破損等擔(dān)憂。由此，即使滑動(dòng)器4在移動(dòng)范圍內(nèi)縱橫移動(dòng)，直線標(biāo)尺(刻度部)9S也是與滑動(dòng)器 4非接觸的狀態(tài)且不動(dòng)。進(jìn)而，直線標(biāo)尺(刻度部)9S被固定在直線標(biāo)尺安裝基部22的下面，因此直線標(biāo) 尺安裝基部22起到蓋子的作用，從而直線標(biāo)尺(刻度部)9S上不易附著從上方落下的塵土 /灰塵/垃圾等。實(shí)施例12圖17是實(shí)施例12的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。在圖中，22’為用于安裝玻璃制直線標(biāo)尺的安裝基部，其他與圖15相同。實(shí)施例 12的滑動(dòng)載物臺與實(shí)施例11的滑動(dòng)載物臺不同的是用于安裝玻璃制直線標(biāo)尺的安裝基部 22’的形狀這一點(diǎn)。直線標(biāo)尺安裝基部22 (圖15)為細(xì)長的長條狀且朝向下方安裝，因此容 易受到重力的影響而變形，而在直線標(biāo)尺安裝基部22’中，從寬度方向兩端向下方形成突出 部，成為截面U字形，因此對變形的耐受性強(qiáng)。此外，基本為與上述實(shí)施例12相同的結(jié)構(gòu)，但縮小了平臺1而使之緊湊，因此可以 匯總為模塊。進(jìn)而，直線標(biāo)尺(刻度部)9S被直線標(biāo)尺安裝基部22’覆蓋，因此從上方落下的塵 土 /灰塵/垃圾等更加難以附著到直線標(biāo)尺(刻度部)9S上。此外，標(biāo)尺頭部9H也在直線 標(biāo)尺安裝基部22’之下行走，因此塵土 /灰塵/垃圾等也難以附著到標(biāo)尺頭部9H上。實(shí)施例13圖18是實(shí)施例13的滑動(dòng)載物臺的3面圖。該滑動(dòng)載物臺在載物臺部分方面與圖 14的實(shí)施例10相同，不同點(diǎn)為將平面二維直線標(biāo)尺27配置在下部。如圖18所示，通過雙 驅(qū)動(dòng)可以增大寬度、延長進(jìn)深，可以構(gòu)成XY載物臺，因此可以在中央的空出的空間內(nèi)設(shè)置 平面二維直線標(biāo)尺27。從而，在實(shí)施例5的XY載物臺的構(gòu)成中，在中央在空出的空間(平 臺1的面)中設(shè)置可以在平面XY方向進(jìn)行檢測的平面二維直線標(biāo)尺27，另一方面，在Y軸 滑動(dòng)器13上設(shè)置凹坑13H，在將平面二維直線標(biāo)尺頭部29插入到該凹坑13H內(nèi)的狀態(tài)下安 裝在X軸滑動(dòng)器18的下方。圖19是實(shí)施例13中使用的平面XY直線標(biāo)尺的俯視圖。在圖中，27為平面二維直 線標(biāo)尺，28為承載平面二維直線標(biāo)尺27的平面二維直線標(biāo)尺玻璃，29為讀取平面二維直線 標(biāo)尺27的平面二維直線標(biāo)尺頭部。因此，使X軸滑動(dòng)器18向X方向移動(dòng)時(shí)，平面二維直線標(biāo)尺頭部29在凹坑13H內(nèi) 移動(dòng)，在X方向讀取平面二維直線標(biāo)尺27。此外，使Y軸滑動(dòng)器13在圖中在上下方向移動(dòng) 時(shí)，X軸滑動(dòng)器18也移動(dòng)，因此安裝于X軸滑動(dòng)器18的下方的平面二維直線標(biāo)尺頭部28也 在上下方向移動(dòng)，從而在Y方向讀取平面二維直線標(biāo)尺27。其結(jié)果，平面二維直線標(biāo)尺頭部29可以在XY方向讀取平面二維直線標(biāo)尺27。實(shí)施例14圖20是實(shí)施例14的平面XY直線標(biāo)尺的俯視圖。市場上銷售的平面XY直線標(biāo)尺 的有效行程如圖19所示為68mm平方，因此在想要檢測更大范圍時(shí)，如實(shí)施例14 (圖20)所 示，在上下左右方向彼此隔開預(yù)定間隔t而配置有多個(gè)(在圖中為4個(gè))平面二維直線標(biāo) 尺27。另一方面，為了讀出隔開間隔t在平面上排列的多個(gè)平面二維直線標(biāo)尺27，配置 如下平面二維直線標(biāo)尺頭部2頭部30 在正方形的對角線方向斜向排列2個(gè)平面二維直線 標(biāo)尺頭部29，可以通過對這兩者進(jìn)行切換而進(jìn)行位置檢測。該平面二維直線標(biāo)尺頭部2頭 部30可以在圖20中正方形30R所示的范圍內(nèi)移動(dòng)。并且，預(yù)定間隔t，相鄰的平面二維直 線標(biāo)尺27、27的端部之間比在上述對角線方向斜向排列了 2個(gè)的平面二維直線標(biāo)尺頭部 29、29間的X方向、Y方向的間隔稍短，平面二維直線標(biāo)尺頭部29、29從平面二維直線標(biāo)尺 27向相鄰的平面二維直線標(biāo)尺27轉(zhuǎn)移時(shí)，平面二維直線標(biāo)尺頭部29、29必然交疊。由此，平面二維直線標(biāo)尺頭部2頭部30在正方形30R內(nèi)移動(dòng)時(shí)，2個(gè)平面二維直線 標(biāo)尺頭部29、29中必定有某一個(gè)頭部讀出平面二維直線標(biāo)尺28，因此只要總是切換為正常 讀出平面二維直線標(biāo)尺28的頭部即可?？偸乔袚Q為2個(gè)二維直線標(biāo)尺頭部29中進(jìn)行正常 的檢測的頭部，可以通過分別在X方向、Y方向應(yīng)用一維方向配置的2個(gè)直線標(biāo)尺頭部中的 公知的切換技術(shù)，而簡單地實(shí)現(xiàn)。另外，作為公知的切換技術(shù)，例如在JP特開2005-308592 號公報(bào)中有記載，因此只要使用該技術(shù)即可。實(shí)施例15圖21是實(shí)施例15的滑動(dòng)載物臺的剖視圖。在圖中，下部為平臺1，在兩側(cè)將2根導(dǎo)軌2均螺釘固定，其間具有滑動(dòng)器4。在平 臺1的上面和兩側(cè)的導(dǎo)軌2的內(nèi)面，通過實(shí)施例15粘貼接觸導(dǎo)軌32，在其相對的面的滑動(dòng) 器面上同樣地通過實(shí)施例15設(shè)置有接觸滑動(dòng)器33。其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例4(圖6)相同，因此 省略說明。實(shí)施例2 13中使用的滑動(dòng)器4為石頭或陶瓷制的，因此若與導(dǎo)軌2接觸則有可 能產(chǎn)生粉塵。因此，為了防止產(chǎn)生粉塵，在實(shí)施例2 13中從平臺1的上面和兩側(cè)的導(dǎo)軌 2彼此分離了 5μπι左右。但是，若使滑動(dòng)器4從上面浮起，則在上下方向和移動(dòng)方向產(chǎn)生了微振動(dòng)。在圖48 圖50的現(xiàn)有裝置中，通常空氣軸承通過向上方的空氣壓力和向下方的 空氣壓力平衡而浮起，此外，在圖52的現(xiàn)有裝置和本發(fā)明的滑動(dòng)載物臺中，通過電磁吸引 力和空氣壓力平衡而浮起，但實(shí)際上通過空氣壓力的脈動(dòng)而產(chǎn)生了約0. 1 μ m 0. 3 μ m左 右的上下振動(dòng)。因此，載物臺主體也在上下方向不經(jīng)意地振動(dòng)。然而，通過實(shí)施例15，由于可以實(shí)現(xiàn)零浮起量(微觀看時(shí)表面凹凸，因此凸和凸接 觸，除此以外的部分為通過空氣而浮起的狀態(tài))，通過使之微小地接觸而消除上下微振動(dòng)。此外，關(guān)于移動(dòng)方向，通過接觸也具有抑制現(xiàn)有的20 30nm的振動(dòng)的效果。假定作為接觸導(dǎo)軌32粘貼碳纖維等低摩擦系數(shù)且堅(jiān)固材質(zhì)的物體，此外作為接 觸滑動(dòng)器33粘貼薄的石英、瑪瑙等同樣低摩擦系數(shù)且堅(jiān)固材質(zhì)的物體，“微小地接觸”是指 碳纖維的表面為絨毛狀，在該絨毛之間包含的空氣層中為接觸瑪瑙或不接觸瑪瑙的狀態(tài)，在該狀態(tài)下接觸滑動(dòng)器33沿著接觸導(dǎo)軌32移動(dòng)。如上，根據(jù)本發(fā)明，可以通過簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)際解決全部的公知的滑動(dòng)載物臺所具 有的四個(gè)問題。(1)滑動(dòng)器容易變形，具有精度的再現(xiàn)性受損或載物臺自身破裂的危險(xiǎn)性。(2)寬度方向剖面為U字形的導(dǎo)軌的加工精度較高(精加工到誤差5μπι左右)， 因此需要時(shí)間和成本。(3)在急速的加速/減速時(shí)產(chǎn)生滑動(dòng)器與導(dǎo)軌干涉/接觸等事故。因此，為了不發(fā)生干涉/接觸事故，而成為無法進(jìn)行急速的加速/減速控制的滑動(dòng)載物臺。(4)位置檢測裝置(直線標(biāo)尺)檢測出的信號的定位精度、反復(fù)精度差。實(shí)施例16圖22是本發(fā)明實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖，圖23是本發(fā)明實(shí)施例16的 滑動(dòng)載物臺的變形例的縱剖視圖，圖24是圖22的滑動(dòng)載物臺的3面圖，(a)是俯視圖，(b) 是側(cè)視圖，(c)是主視圖。在圖22及圖24中，35為板金加工架臺，36為水平調(diào)整螺栓，37為位置限制螺栓， 34為平臺軌道，4為滑動(dòng)器，6s為橫面空氣噴出部，6u為下面空氣噴出部，7為直線馬達(dá)磁鐵 部(固定部)，8為直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)，9為直線標(biāo)尺部，24為頂部基部，26為電纜 架。作為平臺軌道34的材料，一般使用尺寸變化少、在接觸時(shí)不產(chǎn)生反彈的黑崗巖或陶瓷 材料、碳纖維等，驅(qū)動(dòng)部及導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。此外，在滑動(dòng)器4上若與實(shí)施例1同樣地在側(cè)壁上殘留成為肋材6r的部分而加工 開口部6k，則會獲得以下效果即使由電磁吸引力施加向外打開側(cè)壁的力，也會通過肋材 6r抑制側(cè)壁的變形(圖53的變形)。在平臺軌道上方的導(dǎo)軌部分的外側(cè)的缺口部分安裝直線標(biāo)尺部9，通過頭部安裝 零件9k將直線標(biāo)尺的頭部與滑動(dòng)器4的側(cè)面結(jié)合(圖22)。因此，具有可以將直線標(biāo)尺收 納在平臺軌道34的橫向?qū)挾葍?nèi)的效果。此外，在平臺軌道34的導(dǎo)軌部分的上面在與頂部基部24的下面之間的空間中，可 以安裝帶式的直線標(biāo)尺9aS (圖23)。在平臺軌道34的導(dǎo)軌部分的上面安裝直線標(biāo)尺部的帶 狀標(biāo)尺9aS(圖23)，在頂部基部的下面通過頭部安裝零件9k安裝直線標(biāo)尺的頭部9aH(圖 23)。直線標(biāo)尺部的頭部9aH到滑動(dòng)器4的上面的高度，與直線標(biāo)尺9的情況相比較短， 因此具有俯仰方向的測定精度提高(阿貝原理)的效果(圖22)。實(shí)施例16 (圖22、圖24)的平臺軌道34，為將實(shí)施例1中的平臺1和導(dǎo)軌2 —體化 組合的結(jié)構(gòu)，其特征在于在平臺軌道34的下面配置有水平調(diào)整螺栓36，在側(cè)面配置有位置 限制螺栓37。比較實(shí)施例16和公知例(圖52)，在公知例(圖52)的U字形的導(dǎo)軌部的結(jié) 構(gòu)的情況下，在將其設(shè)置在裝置等上時(shí)，導(dǎo)軌保持其加工精度而使用，因此最多只能制作Im 左右的長度，其設(shè)置場所也只能設(shè)置在上面平面度為IOym以下的石制平臺等上使用(若 固定在平面度差的面上，則主體扭轉(zhuǎn)而成為無法使用的狀態(tài)。因此，限于比液晶用途小行程 的半導(dǎo)體制造裝置的用途。)。與之相對，本發(fā)明在實(shí)施例16的使平臺和導(dǎo)軌一體型的平臺軌道34的下面配置 水平調(diào)整螺栓36，在側(cè)面配置位置限制螺栓37，從而本發(fā)明將平臺和導(dǎo)軌一體化，因此與公知例(圖52)相比，導(dǎo)軌的變形少。此外，相對于因自重及負(fù)荷荷重引起的縱向的彎曲等， 通過調(diào)整在下面設(shè)置的水平調(diào)整螺栓36，即使下面不是具有平面度的石制平臺等而是無精 度的板金加工架臺35等的情況下，也可以設(shè)置滑動(dòng)器載物臺，行走的平直度也可以調(diào)整為 3 10 μ m左右，同樣地，橫向的精度也可以通過位置限制螺栓37調(diào)整平臺軌道34，將行走 的平直度調(diào)整為3 10 μ m左右。這是平臺和導(dǎo)軌一體化而引起的效果。由于成為一體，因此通過螺栓微調(diào)整平臺 時(shí)導(dǎo)軌部分也可以變化。此外，可以在直線馬達(dá)線圈部的上面部分(磁鐵面的相反方向)夾著冷卻板81安 裝到滑動(dòng)器(圖23)。在冷卻板81中開有孔，可以容易地實(shí)現(xiàn)水冷或空冷。
如上，即使在作為基準(zhǔn)的下部為板金加工架臺等精度差的情況下，也可以通過IOm 以上的長條物進(jìn)行高精度的傳送定位。并且，公知例(圖52)在作為驅(qū)動(dòng)動(dòng)力產(chǎn)生位置的直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá) 線圈部8之間以及滑動(dòng)器4的行走引導(dǎo)面上產(chǎn)生了偏移距離，與之相對，實(shí)施例16 (圖22) 中，作為驅(qū)動(dòng)動(dòng)力產(chǎn)生位置的直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8之間以及滑動(dòng)器4的 行走引導(dǎo)面一致，偏移距離基本為零，因此不產(chǎn)生俯仰方向的力矩，加減速時(shí)的俯仰誤差變 少，可以更快地進(jìn)行加減速，可以進(jìn)行高精度、高速傳送。此外，實(shí)施例16也可以進(jìn)行以下的應(yīng)用，因此可以充分用于大型化推進(jìn)的FPD (平 板顯示器)用或太陽電池面板用的制造、檢查裝置，可以進(jìn)行滑動(dòng)載物臺的標(biāo)準(zhǔn)化，且實(shí)現(xiàn) 了成本降低。(1)如圖25所示，在平臺1上平行排列多臺本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺，在上部設(shè) 置工件吸附基部38，從而可以進(jìn)行大型FPD工件、太陽電池面板的傳送。(2)如圖26所示，在板金加工架臺35上平行排列多臺本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺， 進(jìn)行水平調(diào)整，并且在上部設(shè)置工件吸附基部38，從而可以進(jìn)行大型FPD工件、太陽電池面 板的傳送。這種結(jié)構(gòu)在公知例(圖52)中無法實(shí)現(xiàn)。在公知例中，若為長行程，則U字形的導(dǎo)軌在歪斜的狀態(tài)下固定到板金加工架臺 上，因此滑動(dòng)器的行走精度差，在此狀態(tài)下用多個(gè)滑動(dòng)器結(jié)合驅(qū)動(dòng)工件吸附基部。各個(gè)滑動(dòng) 器的行走誤差通過工件吸附基部而在各個(gè)直線馬達(dá)間互相作用，從而馬達(dá)動(dòng)作異常。在本發(fā)明中，通過位置限制螺栓和水平調(diào)整螺栓校正平臺軌道的歪斜，可以提高 滑動(dòng)器的行走精度，因此可以降低滑動(dòng)器間的行走誤差，可以使各直線馬達(dá)正常動(dòng)作。(3)如圖27所示，在平臺1上的兩端平行地排列2式本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺， 并在上部同樣地橫向或朝下(圖44)設(shè)置本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺，從而可以構(gòu)成與大型 FPD工件對應(yīng)的門架(gantry)結(jié)構(gòu)的載物臺。在本發(fā)明中，與空氣浮力平衡的馬達(dá)的電磁吸引力與滑動(dòng)器的荷重相比足夠大 (例如大10倍左右)，因此即使朝下安裝滑動(dòng)載物臺也不會出現(xiàn)滑動(dòng)器落下等問題。(4)如圖28所示，在板金加工架臺35上的兩端平行地排列2式本實(shí)施例16的滑 動(dòng)載物臺，進(jìn)行水平調(diào)整，在上部同樣地橫向或朝下(圖44)設(shè)置本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物 臺，從而可以構(gòu)成與大型FPD工件、太陽電池面板對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺。這種結(jié)構(gòu)在公 知例(圖52)中無法實(shí)現(xiàn)。(5)如圖29所示，在圖28中設(shè)置多個(gè)同樣地橫向設(shè)置了本實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺的與大型FPD工件、太陽電池面板對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺的可動(dòng)的滑動(dòng)器4，從而能夠 同時(shí)進(jìn)行多個(gè)工作。(6)如圖30所示，因上部的荷重、產(chǎn)生推力的關(guān)系而產(chǎn)生不足時(shí)等、想要對上部 的傳送物施加平均的荷重時(shí)，在作為行進(jìn)方向的相同的導(dǎo)軌2上拿起多個(gè)直線馬達(dá)線圈部 (可動(dòng)元件)8及滑動(dòng)器、頂部基部24，進(jìn)行同步運(yùn)轉(zhuǎn)，從而可以進(jìn)行因荷重、產(chǎn)生推力的關(guān) 系而產(chǎn)生不足時(shí)、想要對上部的傳送物施加平均的荷重時(shí)的應(yīng)對。這種結(jié)構(gòu)在公知例(圖 52)中無法實(shí)現(xiàn)。另外，圖24、圖27、圖28、圖29、圖30中的直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)元件)8、頂部基 部24實(shí)際應(yīng)在附圖中隱藏，但為了明示本發(fā)明的特征而進(jìn)行了圖示。實(shí)施例17 圖31是本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的縱剖視圖。圖32是本發(fā)明實(shí)施例17的 滑動(dòng)載物臺的3面圖。在圖31及圖32中，35為板金加工架臺，40為螺栓固定式水平調(diào)整螺栓，39為平臺 軌道，4為滑動(dòng)器，6s為橫面空氣噴出部，6u為下面空氣噴出部，7為直線馬達(dá)磁鐵部(固定 部)，8為直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)部)，9為直線標(biāo)尺部，26為電纜架。作為平臺軌道39的材 料，一般使用尺寸變化少、在接觸時(shí)不產(chǎn)生反彈的黑崗巖或陶瓷材料、碳纖維等，驅(qū)動(dòng)部的 結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。實(shí)施例17 (圖31、圖32)的平臺軌道39是在平臺的上方的兩側(cè)面分別一體化地組 合了實(shí)施例1(圖1)所示的導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)，平臺軌道的上方的兩側(cè)面為引導(dǎo)面。平臺軌道39 在與行進(jìn)方向垂直的剖面下看呈羅馬字“I”字形的形狀，增加了兩側(cè)面的寬度方向和上下 方向的厚度，因此即使是IOm左右的長條物，也可以將兩側(cè)面的引導(dǎo)面間的平行度研磨加 工成5μπι左右的精度。此外，與實(shí)施例1 (圖1)同樣地在平臺軌道39的上面中央部分安裝直線馬達(dá)磁鐵 部7(圖33)?；蛘?，與實(shí)施例2(圖2、圖3)同樣地在平臺軌道39的上面中央部具有用于 設(shè)置直線馬達(dá)磁鐵部7的槽，并安裝直線馬達(dá)磁鐵部7 (圖34)?；瑒?dòng)器4與實(shí)施例1 (圖1)、實(shí)施例2(圖2、圖3)同樣地，在與行進(jìn)方向垂直的剖 面下看呈倒υ字形，在該倒U字形的開口內(nèi)具備直線馬達(dá)線圈部8 (圖33、圖34)。此外，在滑動(dòng)器4上若與實(shí)施例1同樣地在側(cè)壁上殘留成為肋材6r的部分而加工 開口部6k，則會獲得以下效果即使由電磁吸引力施加向外打開側(cè)壁的力，也會通過肋材 6r抑制側(cè)壁的變形(圖53的變形)。使滑動(dòng)器4的橫向?qū)挾却笥谄脚_軌道39的導(dǎo)軌部的橫向?qū)挾?，在兩?cè)面的下部通 過螺栓分別連接橫滑動(dòng)器4a，并緊密配置到平臺軌道39的上方。圖31的滑動(dòng)器4與橫滑 動(dòng)器一體，與之相對在圖33和圖34中分開構(gòu)成橫滑動(dòng)器4a并安裝。滑動(dòng)器4構(gòu)成為，通過從下面空氣噴出部6u(圖31、圖32、圖34)噴出空氣并與馬 達(dá)磁鐵部7及直線馬達(dá)線圈部8的電磁吸引取得平衡而行走，以包圍平臺軌道39的上側(cè)兩 側(cè)面的方式，從橫滑動(dòng)器4a的橫面空氣噴出部6s (圖31、圖32、圖34)噴出空氣的同時(shí)行 走。此外，通過從橫滑動(dòng)器4a的橫面空氣噴出部6s噴出的空氣，對平臺導(dǎo)軌39的上 側(cè)兩側(cè)面沿從兩側(cè)向內(nèi)側(cè)壓縮的方向施力。由圖(圖31、33、34)可知，平臺軌道具有充足的厚度，花崗巖等相對于壓縮力變形較少，因此具有上側(cè)兩側(cè)面的引導(dǎo)面幾乎不變形的效果。這通過如上所述在平臺的上側(cè)兩側(cè)面構(gòu)成約束滑動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌而可以 實(shí)現(xiàn)。在圖52的現(xiàn)有技術(shù)中，雖然與本發(fā)明同樣地向內(nèi)側(cè)噴出橫面空氣，但存在U字形的 導(dǎo)軌向內(nèi)側(cè)變形的問題(問題5)，因此與本發(fā)明相比在考慮方式上有本質(zhì)性區(qū)別。平臺 軌道39為I字形的形狀，因此為主體的彎曲少的高剛性的結(jié)構(gòu)，其特征為在 平臺軌道39的下部配置有螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40。比較實(shí)施例17和公知例(圖52)， 在公知例(圖52)的U字形的導(dǎo)軌部的結(jié)構(gòu)的情況下，在將其設(shè)置在裝置等上時(shí)，導(dǎo)軌保持 其加工精度而使用，因此最多只能制作Im左右的長度，其設(shè)置場所也只能設(shè)置在上面平面 度為10 μ m以下的石制平臺等上使用(若固定在平面度差的面上，則主體扭轉(zhuǎn)而成為無法 使用的狀態(tài)。因此，限于比液晶用途小行程的半導(dǎo)體制造裝置的用途。)。與之相對，本發(fā)明如作為詳細(xì)圖的圖43所示，為實(shí)施例17的使平臺和導(dǎo)軌成為 一體型且在與行進(jìn)方向垂直的剖面下看為“I”字形的結(jié)構(gòu)的平臺軌道39，因此主體的剛性 強(qiáng)，在下部配置螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40和水平調(diào)整螺栓36，在側(cè)面配置使用了止動(dòng)螺 釘?shù)奈恢孟拗坡菟?7a，因此相對于因自重及負(fù)荷荷重引起的縱向的彎曲等，為高剛性。進(jìn) 而，用與平臺軌道39接合固定的陰螺紋襯套43(圖42)推拉調(diào)整下部設(shè)置的作為陽螺紋的 螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40，而確定了高度，并用固定螺栓42(圖42)固定到機(jī)械材料上， 從而即使下面不是具有平面度的石制平臺等而是無精度的板金加工架臺35等的情況下， 也可以設(shè)置滑動(dòng)器載物臺，行走的平直度也可以調(diào)整為3 10 μ m左右。同樣地，橫向的精度也可以通過平臺軌道39的下部的位置限制螺栓37a調(diào)整，將 行走的平直度調(diào)整為3 10 μ m左右(圖43)。此外，與圖23中所說明的同樣，可以在圖31 圖34的直線馬達(dá)線圈部的上面部 分(磁鐵面的相反方向)夾著冷卻板安裝到滑動(dòng)器。在冷卻板中開有孔，可以容易地實(shí)現(xiàn) 水冷或空冷。如上，即使在作為基準(zhǔn)的下部為板金加工架臺等精度差的情況下，也可以通過IOm 以上的長條物進(jìn)行高精度的傳送定位。另外，載置到滑動(dòng)器4上的負(fù)荷荷重大、僅通過螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40無法 支撐時(shí)，在板金加工架臺35上安裝水平調(diào)整螺栓36 (圖33、圖34)，通過推上平臺軌道的下 部而可以分擔(dān)施加到螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40的荷重，可以增加負(fù)荷荷重。并且，公知例(圖52)在作為驅(qū)動(dòng)動(dòng)力產(chǎn)生位置的直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá) 線圈部8之間以及滑動(dòng)器4的行走引導(dǎo)面上產(chǎn)生了偏移距離，與之相對，實(shí)施例17 (圖31) 中，作為驅(qū)動(dòng)動(dòng)力產(chǎn)生位置的直線馬達(dá)磁鐵部7和直線馬達(dá)線圈部8之間以及滑動(dòng)器4的 行走引導(dǎo)面一致，偏移距離基本為零(圖31、33、34)，因此不產(chǎn)生俯仰方向的力矩，加減速 時(shí)的俯仰誤差變少，可以更快地進(jìn)行加減速，可以進(jìn)行高精度、高速傳送。在橫滑動(dòng)器4a(圖33、圖34)的上方、在面向平臺軌道39 (圖35)的引導(dǎo)面的橫 滑動(dòng)器4a的部位制作缺口空間，可以安裝帶式的直線標(biāo)尺9a。在此，如作為側(cè)視圖的圖35 所示，在平臺軌道39的引導(dǎo)面上面安裝直線標(biāo)尺部的帶狀標(biāo)尺9aS，在滑動(dòng)器4a的側(cè)面中 央部的缺口部中通過頭部安裝零件來安裝直線標(biāo)尺的頭部9aH。直線標(biāo)尺部的頭部9aH到滑動(dòng)器4a的上面的高度，與直線標(biāo)尺9的情況相比較 短，因此具有俯仰方向的測定精度提高(阿貝原理)的效果(圖33、圖34)。
此外，實(shí)施例17也可以進(jìn)行以下的應(yīng)用，因此可以充分用于大型化推進(jìn)的FPD用 或太陽電池面板用的制造、檢查裝置，可以進(jìn)行滑動(dòng)載物臺的標(biāo)準(zhǔn)化，且實(shí)現(xiàn)了成本降低。(1)如圖36所示，在平臺1上平行排列多臺本實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺，在上部設(shè) 置工件吸附基部38，從而可以進(jìn)行大型FPD工件的傳送。(2)如圖37所示，在板金加工架臺35上平行排列多臺本實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺， 進(jìn)行水平調(diào)整，并且在上部設(shè)置工件吸附基部38，從而可以進(jìn)行大型FPD工件、太陽電池面 板的傳送。這種結(jié)構(gòu)在公知例(圖52)中無法實(shí)現(xiàn)。在本發(fā)明中，通過位置限制螺栓、螺栓固定式水平調(diào)整螺栓校正平臺軌道的歪斜， 可以提高滑動(dòng)器的行走精度，因此可以降低滑動(dòng)器間的行走誤差，可以使各直線馬達(dá)正常 動(dòng)作。 (3)如圖38所示，在平臺1上的兩端平行地排列2式本實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺， 并在上部橫向或朝下(圖44)設(shè)置前實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺，從而可以構(gòu)成與大型FPD工 件對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺。(4)如圖39所示，在板金加工架臺35上的兩端平行地排列2式本實(shí)施例17的滑 動(dòng)載物臺，進(jìn)行水平調(diào)整，在上部橫向或朝下(圖44)設(shè)置前實(shí)施例16的滑動(dòng)載物臺，從而 可以構(gòu)成與大型FPD工件對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺。這種結(jié)構(gòu)在公知例(圖52)中無法實(shí) 現(xiàn)。(5)如圖40所示，在上述(4)的圖39的上部設(shè)置多個(gè)同樣地橫向或朝下(圖44) 設(shè)置了本實(shí)施例26的滑動(dòng)載物臺的、與大型FPD工件對應(yīng)的門架結(jié)構(gòu)的載物臺的可動(dòng)的滑 動(dòng)器4(在圖40中示出了頂部基部24)，從而能夠同時(shí)進(jìn)行多個(gè)工作。(6)如圖41所示，橫向設(shè)置本實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的平臺軌道39，用支柱41 支撐其中央，橫向地在兩側(cè)設(shè)置滑動(dòng)器4，任一個(gè)滑動(dòng)器4均可以獨(dú)立動(dòng)作，僅通過1個(gè)平臺 軌道39就可以雙面使用。此外，在上述(5)的多個(gè)滑動(dòng)器的情況下，可以配置其2倍的數(shù) 量的滑動(dòng)器4。(7)與上述實(shí)施例16的(6)同樣地，如圖30所示，因上部的荷重、產(chǎn)生推力的關(guān)系 而產(chǎn)生不足時(shí)等、想要對上部的傳送物施加平均的荷重時(shí)，在作為行進(jìn)方向的相同的導(dǎo)軌2 上拿起多個(gè)直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)元件)8及滑動(dòng)器4、頂部基部24，進(jìn)行同步運(yùn)轉(zhuǎn)，從而可 以進(jìn)行因荷重、產(chǎn)生推力的關(guān)系而產(chǎn)生不足時(shí)、想要對上部的傳送物施加平均的荷重時(shí)的 應(yīng)對。這種結(jié)構(gòu)在公知例(圖52)中無法實(shí)現(xiàn)。另外，圖32、圖38、圖39、圖40中的直線馬達(dá)線圈部(可動(dòng)元件)8實(shí)際應(yīng)在附圖 中隱藏，但為了明示本發(fā)明的特征而進(jìn)行了圖示。<平臺軌道的上下方向調(diào)整機(jī)構(gòu)>圖42是能夠在上下方向調(diào)整平臺軌道的本發(fā)明實(shí)施例17的滑動(dòng)載物臺的圖31 的A部的放大詳細(xì)圖，(a)表示使載物臺上升的途中的狀態(tài)，(b)表示上升到最大的狀態(tài)， (c)表示固定的狀態(tài)。在圖中，35為板金加工架臺，39為平臺軌道，40為螺栓固定式水平調(diào)整螺栓，42為 固定螺栓，43為與平臺軌道接合固定的陰螺紋襯套，44為螺紋孔。在平臺軌道39的端部下 端的凸緣部上接合固定有陰螺紋襯套43。此外，在將平臺軌道39置于板金加工架臺35上 時(shí)的陰螺紋襯套43所處的板金加工架臺35上的部位形成有螺紋孔44。從而，在使螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40與陰螺紋襯套43螺合的狀態(tài)下將平臺軌道39置于板金加工架臺35 上，使固定螺栓42在螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40中貫通，與板金加工架臺35的螺紋孔44 位置對齊后，使固定螺栓42立設(shè)于螺紋孔44。<平臺軌道的上下方向調(diào)整操作>接下來利用圖42對調(diào)整這種狀態(tài)的平臺軌道39的上下方向的高度的操作進(jìn)行說 明。將陰螺紋襯套43接合固定到平臺軌道39的端部下端的凸緣部。首先，在還沒有進(jìn)行平臺軌道39的高度調(diào)節(jié)的狀態(tài)的圖(a)中，通過扳手等使螺 栓固定式水平調(diào)整螺栓正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，將平臺軌道39的高度調(diào)節(jié)為希望的高度。圖(b)示出 了將平臺軌道39調(diào)節(jié)到最高的情況。調(diào)節(jié)為預(yù)定的高度后，將固定螺栓42嵌入到螺栓固 定式水平調(diào)整螺栓40及螺紋孔44中，通過固定螺栓42緊固螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40， 從而使螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40固定。
由此完成平臺軌道39的高度調(diào)節(jié)操作。<平臺軌道的橫向調(diào)整機(jī)構(gòu)和荷重分擔(dān)機(jī)構(gòu)>參照圖43，除了圖42中說明的上下方向調(diào)整機(jī)構(gòu)(40、42)之外，還具備能夠在橫 向(圖中左右方向)調(diào)整平臺軌道的橫向調(diào)整機(jī)構(gòu)。橫向調(diào)整機(jī)構(gòu)具體地說，在導(dǎo)軌上安 裝使用了止動(dòng)螺釘?shù)奈恢孟薅菟?7a，用位置限制螺栓37a推壓導(dǎo)軌，從而校正導(dǎo)軌的歪 斜(參照圖46)。此外，并不僅通過螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40來負(fù)擔(dān)平臺軌道的荷重，將圖22中 使用的水平調(diào)整螺栓36用于板金加工架臺35，使水平調(diào)整螺栓36也分擔(dān)平臺軌道的荷重 (圖 33、34、43)。圖45是能夠使本發(fā)明的縱向的平直度強(qiáng)制為平直的說明用的側(cè)視圖，能夠?qū)⑵?臺軌道39彎曲的狀態(tài)(圖a)，通過螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40(40c、40s)，在圖中調(diào)整中 央的螺栓固定式水平調(diào)整螺栓40c而使平臺軌道39傷生，調(diào)整兩端的螺栓固定式水平調(diào)整 螺栓40s而使平臺軌道39下降，最終將縱向的平直度強(qiáng)制為平直(圖b)。此外，圖46是能夠使本發(fā)明的橫向的平直度強(qiáng)制為平直的說明用的俯視圖，能夠 將平臺軌道39彎曲的狀態(tài)(圖a)，通過位置限制螺栓37a如圖所示進(jìn)行調(diào)整而使平臺軌道 39移位，最終將橫向的平直度強(qiáng)制為平直(圖b)。
權(quán)利要求
一種滑動(dòng)載物臺，包括平臺；鋪設(shè)在上述平臺上的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述直線馬達(dá)磁鐵部而彼此平行地固定在上述平臺上；滑動(dòng)器，放置在上述直線馬達(dá)磁鐵部的上方和上述2根導(dǎo)軌之間的空間中，在與行進(jìn)方向垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U字形的開口內(nèi)隔著空隙與上述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，所述滑動(dòng)載物臺的特征在于，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴出部，通過由從上述空氣噴出部向下面噴出的空氣產(chǎn)生的浮力、和上述直線馬達(dá)磁鐵部與上述直線馬達(dá)線圈部間的電磁吸引力及重力，而取得平衡并浮起，由上述直線馬達(dá)磁鐵部及上述直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，包括挖掘有長槽的平臺；鋪設(shè)在上述長槽內(nèi)的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述 長槽而彼此平行地固定在上述平臺上；滑動(dòng)器，放置在上述長槽的上方和上述2根導(dǎo)軌之 間的空間中，在與行進(jìn)方向垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U 字形的開口內(nèi)隔著空隙與上述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，其中，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接 噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴出部，通過由從上述空氣噴出部向下面噴出的空氣 產(chǎn)生的浮力、和上述直線馬達(dá)磁鐵部與上述直線馬達(dá)線圈部間的電磁吸引力及重力，而取 得平衡并浮起，由上述直線馬達(dá)磁鐵部及上述直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，包括挖掘有長槽的平臺；鋪設(shè)在上述長槽內(nèi)的直線馬達(dá)磁鐵部；2根導(dǎo)軌，夾著上述 長槽而彼此平行地固定在上述平臺上；滑動(dòng)器，放置在上述長槽的上方和上述2根導(dǎo)軌之 間的空間中，在與行進(jìn)方向垂直的剖面下呈U字形；和直線馬達(dá)線圈部，在上述滑動(dòng)器的U 字形的開口內(nèi)隔著空隙與上述直線馬達(dá)磁鐵部相對配置，其中，在構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的側(cè)壁上設(shè)置從該側(cè)壁向下面的上述平臺直接 噴出空氣以及向橫面噴出空氣的空氣噴出部，并使浮起面與由上述直線馬達(dá)磁鐵部及上述 直線馬達(dá)線圈部間的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)面一致，在所述浮起面上通過由從上述空氣噴出部 向下面噴出的空氣產(chǎn)生的浮力、和上述直線馬達(dá)磁鐵部與上述直線馬達(dá)線圈部間的電磁吸 引力及重力而取得平衡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向前端側(cè)及后端側(cè)連接了構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁的上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向上設(shè)置有多處上述空氣噴出部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述滑動(dòng)器的角部的外側(cè)及內(nèi)側(cè)形成有倒角。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在構(gòu)成上述U字形的側(cè)壁的與上述滑動(dòng)器的行進(jìn)方向垂直的方向上設(shè)置有多處上述 空氣噴出部。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述平臺上彼此平行地挖掘多列上述長槽，在上述各長槽內(nèi)分別鋪設(shè)上述直線馬達(dá)磁鐵部，在滑動(dòng)器的上述U字形開口內(nèi)保持分別隔開間隔與上述各直線馬達(dá)磁鐵部相對配 置的各直線馬達(dá)線圈部，且在上述滑動(dòng)器的各直線馬達(dá)線圈部之間設(shè)置有上述下面的空氣 噴出部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，上述長槽的多列為2列或3列。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，取代上述滑動(dòng)器，使用如下由金屬板構(gòu)成的滑動(dòng)器該滑動(dòng)器在下方安裝有上述直線 馬達(dá)線圈部和構(gòu)成上述滑動(dòng)器的上述U字形的側(cè)壁部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述金屬板上設(shè)置有冷卻介質(zhì)用孔。
12.—種XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其特征在于，使用權(quán)利要求8所述的第一滑動(dòng)載物臺和權(quán)利要求10所述的第二滑動(dòng)載物臺，將上述 第一載物臺的滑動(dòng)器作為上述第二滑動(dòng)載物臺的平臺，且以使上述第一滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng) 器的移動(dòng)方向和上述第二滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器的移動(dòng)方向正交的方式，將上述第二滑動(dòng)載 物臺載置到上述第一滑動(dòng)載物臺上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其特征在于，使上述第二滑動(dòng)載 物臺為雙驅(qū)動(dòng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，從上述滑動(dòng)器離開地固定設(shè)于上述滑動(dòng)器之上的頂部基部，在上述頂部基部和上述滑 動(dòng)器之間的空間內(nèi)且在上述滑動(dòng)器之上的上述直線馬達(dá)線圈部的正上方部位設(shè)置直線標(biāo) 尺頭部，另外在上述頂部基部和上述滑動(dòng)器之間的空間內(nèi)，從上述直線標(biāo)尺頭部及其他移 動(dòng)的部件浮起地固定直線標(biāo)尺刻度部。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述頂部基部和上述滑動(dòng)器之間的空間內(nèi)安裝有限制開關(guān)。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，將用于安裝上述直線標(biāo)尺刻度部的安裝基部在寬度方向剖面下形成為U字形。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述第二滑動(dòng)載 物臺的平臺上挖掘向上述第二滑動(dòng)載物臺的滑動(dòng)器的移動(dòng)方向延伸的長孔，在上述長孔內(nèi) 收納平面二維直線標(biāo)尺頭部并將上述平面二維直線標(biāo)尺頭部的端部固定到上述滑動(dòng)器，在 上述第一滑動(dòng)載物臺的平臺上配置有平面二維直線標(biāo)尺。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其特征在于，將上述平面二維直 線標(biāo)尺頭部配置在2個(gè)正方形的對角位置，且在上述第一滑動(dòng)載物臺的平臺上平面狀地配 置有多個(gè)上述平面二維直線標(biāo)尺。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述滑動(dòng)器和上述2列導(dǎo)軌之間、以及上述滑動(dòng)器和上述平臺之間，分別在上述滑 動(dòng)器側(cè)、上述導(dǎo)軌側(cè)和上述平臺側(cè)粘貼低摩擦系數(shù)且堅(jiān)固的材質(zhì)的物體，上述低摩擦系數(shù) 的材質(zhì)的物體之間能夠接觸。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，上述低摩擦系數(shù)的材質(zhì)的物體為碳纖維、陶瓷、石英、瑪瑙的任一個(gè)。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，將上述平臺和上述2根導(dǎo)軌一體地形成，且在上述平臺的下面配置有水平調(diào)整螺栓、 在上述平臺的側(cè)面配置有位置限制螺栓。
22.—種滑動(dòng)載物臺，其特征在于，該滑動(dòng)載物臺將平臺和2根導(dǎo)軌一體地形成，且在上述平臺的下面配置有水平調(diào)整螺 栓、在上述平臺的側(cè)面配置有位置限制螺栓，在板金加工架臺上平行地排列多臺上述滑動(dòng) 載物臺，在上述滑動(dòng)載物臺的上部設(shè)置工件吸附基部，能夠通過上述水平調(diào)整螺栓進(jìn)行水 平調(diào)整。
23.一種門架型的XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在板金加工架臺上的兩端彼此平行地排列2式權(quán)利要求21所述的滑動(dòng)載物臺，并在上 部橫向設(shè)置有上述滑動(dòng)載物臺。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，使上述導(dǎo)軌在與行進(jìn)方向垂直的剖面下看呈羅馬字的“I”字形，在上述導(dǎo)軌的上面中 央具有用于設(shè)置上述直線馬達(dá)磁鐵部的槽，上述滑動(dòng)器從上述下面空氣噴出部噴出空氣并 通過與上述直線馬達(dá)磁鐵部和上述直線馬達(dá)線圈部的電磁吸引的平衡，而在上述槽的兩個(gè) 上面行走，以包圍上述導(dǎo)軌上側(cè)兩側(cè)面的方式上述滑動(dòng)器從上述橫面空氣噴出部噴出空氣 的同時(shí)行走。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的滑動(dòng)載物臺，其特征在于，在上述導(dǎo)軌的端部下端的凸緣部固定陰螺紋襯套，上述水平調(diào)整螺栓由與上述陰螺紋襯套螺合的螺栓固定式水平調(diào)整螺栓、以及固定螺 栓構(gòu)成，該固定螺栓穿通了通過該螺栓固定式水平調(diào)整螺栓上形成的中心軸并貫通的貫通 孔。
全文摘要
提供一種滑動(dòng)載物臺及XY方向可動(dòng)滑動(dòng)載物臺，其可以降低載物臺高度且緊湊化，并且傳送順利、得到高速/高精度，并可低成本地制作。挖掘平臺(1)及滑動(dòng)器(4)，組合向下方的平臺(1)面噴出空氣的滑動(dòng)器(4)和具有電磁吸引力的直線馬達(dá)(7、8)，上下方向的引導(dǎo)由空氣和電磁吸引力的相斥約束，橫向僅由空氣的相斥約束，使引導(dǎo)基準(zhǔn)面和驅(qū)動(dòng)推力產(chǎn)生面一致且考慮了阿貝誤差的位置檢測裝置(9)被設(shè)置在滑動(dòng)載物臺的中央部上方。
文檔編號F16C32/06GK101874339SQ20088011781
公開日2010年10月27日 申請日期2008年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月30日
發(fā)明者加來靖彥, 小池晴彥 申請人:株式會社安川電機(jī)