專利名稱：旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)、基板搬運(yùn)裝置和真空處理裝置的制作方法
旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)、S^g^g和真空M^
駄領(lǐng)域
本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)、 ^^置和真空處理裝置，特別涉及用于 將大氣一側(cè)的旋能動(dòng)傳送到真空中的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)xm構(gòu)、將繊等處:wm物搬 運(yùn)到規(guī)定的，的SMii^g、以及具有該SMig^g的真空處S^g。
背景駄
在半導(dǎo)體元件的制織置中，由于在用來處理作為處W^物的鎌的裝 置內(nèi)需要維持真空,鵬制的氣體氣氛，所以成為氣密的結(jié)構(gòu)。因此，要求 處理裝置內(nèi)^ig作為處Wm物的繊的IK^S具有盡可能地節(jié)省空間，并 且加工處理中的灰塵、^^員粉末、脫氣(氣糊咄)等少的機(jī)構(gòu)。這是由于這 樣的M、 ^^員粉末等或者作為雜質(zhì)附著在處理的 上，或者作為雜質(zhì)MA 到在 表面上形成的薄膜中。而且，從生產(chǎn)工藝過程的方面考慮，由于 i^置、以及延長真空處理，維修周期與 處理片數(shù)的增加有關(guān)系，所 以對(duì)，^^和真空密封部的*延長的要求也逐漸變強(qiáng)。
作為現(xiàn)有的^W^置，例如已知在處理體內(nèi)，不使移換臂進(jìn)行多次 往復(fù)運(yùn)動(dòng)就會(huì)嫩進(jìn)行半導(dǎo)體晶片，板的移換操作的移換裝置(例如參照專利 文獻(xiàn)l)。
專利文獻(xiàn)l:特開平4—30447號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求的范圍)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題在特，4—30447號(hào)中，作為旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Xm構(gòu)，，磁流體密封、油密封、
o形環(huán)等，但是這種磁流體密封價(jià)格高。作為真空^i^a的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)，
除了這樣的密封手段之外，比較簡(jiǎn)便的方式有如圖5所示的威爾遜(々O 乂 Wilson)密封，這種密封機(jī)構(gòu)與其他固體接M^的密封機(jī)構(gòu)相比，有滑動(dòng)阻力 小的優(yōu)點(diǎn)，但是由于存在產(chǎn)生 、發(fā)熱、潤滑絲短等問題，所以還要求清 潔的、a長的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)。在圖5中，61是旋轉(zhuǎn)軸，62是潤滑劑，63是保 持潤滑劑的彈性密封，64是0形環(huán)。
jtW卜，在特肝4—30447號(hào)中公開的SWig^g中，沒有繊升艦構(gòu)，
而且由于分別由一對(duì)臂構(gòu)成的第1平fi^接部件和第2平fi^接部裕皮此^^:，
與兩根驅(qū)動(dòng)軸和兩t^人動(dòng)軸共四根軸相結(jié)合，所以存在皿置的總重量和制作 費(fèi)用增加的問題。而且，由于隔著間隔酉還兩根驅(qū)動(dòng)軸和兩m動(dòng)軸共四根軸， 所以還存在著回轉(zhuǎn)判5變大，不能^g本身帝怖得緊湊的問題。
本發(fā)明的課題在于解決J^現(xiàn)有技術(shù)的問題，劍共一種不需要錢的結(jié)構(gòu)， 滑動(dòng)阻力小，產(chǎn)生的灰塵少、潤滑壽命長的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，同時(shí)提供通過節(jié)省 空間化而使回轉(zhuǎn)半徑變小、裝置的總重量和制作費(fèi)用降低了的鎌^i^S、 以及包,SW^g的真空處理，。
解決問題的手段
為了解決戰(zhàn)問題，技術(shù)方案1的發(fā)明是一種旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)，將設(shè)置在大 氣一頓啲驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳送到真空中，其特征在于，具有由凸出部、潤滑
劑、和潤滑劑保持部件構(gòu)成的真空密封機(jī)構(gòu)，形成凸出部使得戶;M凸出部與旋
轉(zhuǎn)軸的,面積變小。
技術(shù)方案2的發(fā)明是一種旋轉(zhuǎn)導(dǎo)AtL構(gòu)，其特征在于，^^M真空密Wl
構(gòu)中，形成凸出部使得戶;M凸出部與旋辯由接觸的部分的剖面至少，接觸。
技術(shù)方案3的發(fā)明是一種旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)，期寺征在于，戶服真空密封機(jī)構(gòu) 還具有用來將戶，凸出部推壓到旋轉(zhuǎn)軸上的壓緊部4牛。技術(shù)方案4的發(fā)明是一種^ ^8，其特征在于，包括第1連接機(jī)構(gòu) 和第2連接機(jī)構(gòu)，戶;f^第1連接機(jī)構(gòu)包含第1臂和第4臂，戶滿第2連接機(jī)構(gòu) 包含第2臂和第3臂，戶腐第1臂固定安驗(yàn)第1驅(qū)動(dòng)軸上，戶/M第2臂固定
安裝鄉(xiāng)2驅(qū)動(dòng)軸上，戶;^第3臂可旋轉(zhuǎn)地安^^f^第i驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第4
臂可旋糊安驗(yàn)?zāi)牭?驅(qū)動(dòng)軸上。
技術(shù)方案5的發(fā)明是技術(shù)方案4的swg^g，其特征在于，戶;M第1 連接機(jī)構(gòu)由第i平fi^接部件和第3平《瑰接部件構(gòu)成，戶;M第2連接機(jī)構(gòu)由 第2平fi^接部件和第4平《 ^接部件構(gòu)成，戸;m第i平fi^接部件包含第i
臂和第4臂，戶腿第2平，瑰接部件包含第2臂和第3臂。
技術(shù)方案6的發(fā)明是技術(shù)方案4或5的 |^置，其特征在于，為了 i^卜部向殼體的內(nèi)部構(gòu)造物施加的力不f妙腿驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件^^述內(nèi)部 構(gòu)造物變形，而用剛性大的部件作為W戶脫驅(qū)動(dòng)源的W部件，其中所述殼 體的內(nèi)部構(gòu)造物相對(duì)于容納所述基板搬運(yùn)裝置的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不對(duì) 稱。
技術(shù)方案7的發(fā)明是技術(shù)方案4 6中ftf可一個(gè)的SW^g，其特征在 于，包括j妙，第l連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案8的發(fā)明是一種SWig^a，其特征在于，包括第1連接機(jī)構(gòu) 和第2連接機(jī)構(gòu)，戶艦第1連接機(jī)構(gòu)包含第1臂和第4臂，戶腿第2連接機(jī)構(gòu) 包含第2臂和第3臂，戶脫第1臂固定安驗(yàn)第1驅(qū)動(dòng)軸上，戶脫第2臂固定
安^sm 2驅(qū)動(dòng)軸上，戶脫第3臂可旋辯也安^^f^第i驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第4
臂可旋轉(zhuǎn)地安皿戶皿第2驅(qū)動(dòng)軸上，該^W^g設(shè)置了旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Xm構(gòu)， M3i^M第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸將在大氣一側(cè)^S的驅(qū)動(dòng)源的旋^g動(dòng)^^ 到真空中，該旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)具有由凸出部、潤滑劑、和潤滑劑保持部件構(gòu)成的 真空密封機(jī)構(gòu)，形成凸出部使得所述凸出部與旋轉(zhuǎn)軸的接觸面積變小。該真空 密封機(jī)構(gòu)如技術(shù)方案2或3中斷己載的男,，^^脫真空密封機(jī)構(gòu)中，形成凸出部使得所述凸出部與旋轉(zhuǎn)軸接觸的部分的剖面至少是線接觸，而且還可具有 用來將戶，凸出部推壓到旋辯由上的壓緊部〗牛。
技術(shù)方案9的發(fā)明是技術(shù)方案8的si&^g^s，其特征在于，戶;M第i 連接機(jī)構(gòu)由第i平fi^接部件和第3平fi^接部件構(gòu)成，戶;M第2連接機(jī)構(gòu)由
第2平摘接部件和第4平摘接部件構(gòu)成，臓第1平摘接部件包含第1 臂和第4臂，戶腐第2平《瑰接部件包含第2臂和第3臂。
技術(shù)方案10的發(fā)明是技術(shù)方案8或9的SM^置，其特征在于，為了 ^A^卜部向殼體的內(nèi)部構(gòu)造物施加的力不J妙脫驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件^^M內(nèi)部 構(gòu)造物變形，而用剛性大的部件作為保護(hù)所述驅(qū)動(dòng)源的保護(hù)部件，其中所述殼 體的內(nèi)部構(gòu)造物相對(duì)于容納所述基板搬運(yùn)裝置的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不對(duì) 稱。
技術(shù)方案11的發(fā)明是技術(shù)方案8 10中任何一個(gè)的^W^置，賺征 在于，包括4妙;m第1連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī) 構(gòu)。
技術(shù)方案12的發(fā)明是一種SWiS^置，其特征在于，包括由第1平《瑰 接部件和第3平《 ii接部件構(gòu)成的第1連接機(jī)構(gòu)和由第2平^ii接部件和第4 平《T^接部件構(gòu)成的第2連接機(jī)構(gòu)，所述第1平fi^接部件由第1臂和第4臂 構(gòu)成，戶;M第2平《瑰接部件由第2臂和第3臂構(gòu)成，戶;M第1臂固定安驗(yàn)
第i驅(qū)動(dòng)軸上，戶;m第2臂固定安裝^m 2驅(qū)動(dòng)軸上，戸;m第3臂可旋轉(zhuǎn)地安
裝^^腐第1驅(qū)動(dòng)軸上，所述第4臂可旋轉(zhuǎn)地安^^f^第2驅(qū)動(dòng)軸上，其結(jié)
構(gòu)使得隨第1驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)，艦齒輪將臓第1平摘接部件的旋轉(zhuǎn)傳徵
戶服第3平fi^接部件， <蝶3平fi^接部件與第1平fi^接部件反向旋轉(zhuǎn)， 鵬腿第3平摘接部件的綱體的繊保持部在連接第1驅(qū)動(dòng)軸和第2 驅(qū)動(dòng)軸的直線過線移動(dòng)，線其結(jié)構(gòu)使得隨第2驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)，艦齒輪 將戶脫第2平摘接部件的旋轉(zhuǎn)傳微臓第4平摘接部件，麟4平機(jī)接部件與第2平^^接部件反向旋轉(zhuǎn)，使^^M第4平^^接部件的 ， 的繊鵬部錢接第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸的直線上直線移動(dòng)。
技術(shù)方案13的發(fā)明是技術(shù)方案12的,^i^置，其特征在于，為了使 i^卜部向殼體的內(nèi)部構(gòu)造物施力啲力不i妙腿驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件^^腿內(nèi)部構(gòu) 造物變形，而用剛性大的部件作為保護(hù)戶脫驅(qū)動(dòng)源的保護(hù)部件，其中所述殼體 的內(nèi)部構(gòu)造物相對(duì)于容納戶腿繊^^§的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不繊。
駄方案14的發(fā)明是技術(shù)方案12或13中樹可一個(gè)的S^i^g,其特 征在于，包掛妙;m第1連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng) 機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案15的發(fā)明是技術(shù)方案12 14中樹可一個(gè)的SWii^g，其待征 在于，分別^^M第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸上^a技術(shù)方案1 3中倒可一個(gè)的 旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)，iM^M第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸將體在大氣一側(cè)的驅(qū)動(dòng)源 的旋^t^動(dòng)傳，lj真空中。
權(quán)利要求16的發(fā)明是真空處理，，期寺征在于，包括具有權(quán)利要求4
15中樹可一個(gè)的swii^s的i^室；與戶;f^ig室連結(jié)，用戶;MSiw^ 體傳遞處sx^物的至少一個(gè)真空處魅。 發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，由于會(huì),封入更多的潤滑劑，所以潤滑材料的 填充周期變長，此外，由于凸出部與旋轉(zhuǎn)軸的接觸面積小所以滑動(dòng)阻力小，從 而產(chǎn)生的^t員粉末少，清潔，同時(shí)壽命長，倉辦取得可以期待在真空1股置 的結(jié)構(gòu)物的處理效率提高的效果。
根據(jù)本發(fā)明的SWii^置，在平fi^接機(jī)構(gòu)中第1平，m接部件和第2 平fi^接部件的安裝軸共用，省去了從動(dòng)軸，所以獸辦M^、構(gòu)成部件，倉,起 至何以斷氐SWig^S的總重量和制作費(fèi)用的'鄉(xiāng)。此外，由于共用安辯由，
所以與隔著間隔設(shè)置驅(qū)動(dòng)軸和從動(dòng)軸共四根軸的現(xiàn)有皿l^置相比，基于其間隔的回轉(zhuǎn)判5變小，所以旨嫩起到實(shí)現(xiàn)省空間化的效果。
根據(jù)本發(fā)明的真空處理裝置，由于{頓戶腿的 ^置，所以倉,在一
個(gè)工序中高效率地依次連續(xù)進(jìn)行將處Mm物裝入到真空處理室的規(guī)定位置或 取出的操作，由于還倉,縮短操作時(shí)間，所以倉辦縮短處sx^ja物的加工時(shí)間， 同時(shí)還倉嫩取得不會(huì)在處wm物上附著雜質(zhì)的^m。
下面參照


本發(fā)明的實(shí)施方式。
如圖i所示，根據(jù)本發(fā)明涉及的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)的一個(gè)實(shí)施方式，在用*
驅(qū)動(dòng)軸(旋轉(zhuǎn)軸)1將在大氣一側(cè)A設(shè)置的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源的旋^動(dòng)傳 送至贓真空一側(cè)B體的應(yīng)旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)物(未圖示)的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)中，作為 真空密封機(jī)構(gòu)掛共旋轉(zhuǎn)導(dǎo)A^幾構(gòu)S，其具有凸出部2、安裝在該凸出部2上將凸 出部的1分推壓至鵬轉(zhuǎn)軸上從而實(shí)現(xiàn)真空密封的彈簧等壓緊部件3、凸出部2 用的潤滑劑4、用刺，潤滑劑4的潤滑抓，部件5、和用來固定凸出部的固 定部件6。
該凸出部2的微沒有特別柳蹄U，例如形成為與旋轉(zhuǎn)軸1相撤蟲的部分的 剖面至少成為線接觸的形厭，從而使與旋轉(zhuǎn)軸1的接觸面積變小，由此育,由 凸出部2對(duì)旋轉(zhuǎn)軸1進(jìn)行真空密封就行。凸出部2的一個(gè)端部與潤滑劑4撤蟲 或者浸在其中，向凸出部Mi共潤滑劑，從而維持真空密封機(jī)構(gòu)的潤滑功能。潤 滑劑麟部件5被固定在旋轉(zhuǎn)軸1上，與其一起旋轉(zhuǎn)。為了防止?jié)櫥瑒?的泄 漏，t^ffi O形環(huán)8等進(jìn)行潤滑劑{親部件5與旋轉(zhuǎn)軸1的固定。固定部件6 被固定在外殼7上。
凸出部2例如用天然橡膠、合^ 和彈性塑料^#性體制作，此外，固定 部件6牢固地固定凸出部2，倉嫩《，與外殼7的氣密私就行，此外可以用金屬 等制作。在用，制作的情況下，為了提高氣密性，tiC^在固定部件6和外殼7之間涂布與潤滑劑4相同的潤滑劑進(jìn)行安裝。
作為現(xiàn)有技術(shù)中的在真空^^置中采用的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)中比較簡(jiǎn)便的方 式，有圖5中示出的威爾遜密封結(jié)構(gòu)，與其他固繊蟲式密封結(jié)構(gòu)相比具有滑 動(dòng)阻力小的優(yōu)點(diǎn)，但是存在產(chǎn)生灰塵、發(fā)熱、潤滑*短等問題。本發(fā)明的旋 轉(zhuǎn)導(dǎo)Xm構(gòu)S與威爾遜密封結(jié)構(gòu)相比，由于安裝了潤滑劑保持部件5，所以倉^ 封入更多的潤滑劑4，從而具有潤滑劑的±真充周期長的優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入 機(jī)構(gòu)S與威爾，封結(jié)構(gòu)相比，由于凸出部2和旋轉(zhuǎn)軸1的撤蟲面積小，所以 還具有滑動(dòng)阻力小、產(chǎn)生很少的^t員粉末所以清潔，同時(shí)驗(yàn)長的優(yōu)點(diǎn)。因此，
能夠期待在真空一側(cè)設(shè)置的如被加工基板那樣的處m象物的處理效率的提
高。再有，由于進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)等的驅(qū)動(dòng)器一般被縱置固定，所以潤滑劑麟部 件5的微沒有必要如圖5中示出的威爾遜密封那樣成為在兩個(gè)密封構(gòu)件之間 封入潤滑劑的結(jié)構(gòu)，可以是如盤子那樣的開口部大的，。
M:事先在，的潤滑劑保持部件5內(nèi)予!5fe填充iiS的潤滑劑4，而適宜地 向凸出部2供給潤滑劑，所以保持長時(shí)間的潤滑，其結(jié)果是f辦連續(xù)長時(shí)間進(jìn) 行真空密封。
參照?qǐng)D2和圖3說明本發(fā)明涉及的S^i^置的一個(gè)實(shí)施方式，其中圖2 示出連接機(jī)構(gòu)的動(dòng)作狀態(tài)，圖3示出連接機(jī)構(gòu)的立體圖。
如圖2和圖3所示，本發(fā)明的,^ii^置中的連接機(jī)構(gòu)由第1連接機(jī)構(gòu) 20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b構(gòu)成，第1連接機(jī)構(gòu)20a由第1平fi^接部件21和第 3平《鏈接部件23構(gòu)成,第2連接機(jī)構(gòu)20b由第2平《瑰接部件22和第4平行 連接部件24構(gòu)成。
第1平fi^i接部件21包括第1臂21a和第4臂21b，第2平fi^接部件22 包括第2臂22a和第3臂22b，第3平fi^接部件23包括第5臂23a和第6臂 23b，第4平fi^接部件24包括第7臂24a和第8臂24b。
第1臂21a固定安M第1驅(qū)動(dòng)軸25上，第2臂22a固定安M第2驅(qū)動(dòng)軸26上，第3臂22b可旋^fi也安驗(yàn)第1驅(qū)動(dòng)軸25上，第4臂21b可旋轉(zhuǎn)地 安M第2驅(qū)動(dòng)軸26上。從而j^m如第1臂21a和第4臂21b、第2臂22a 和第3臂22b的自臂可以同向旋轉(zhuǎn)。在該情況下，固定安M段和可旋轉(zhuǎn)地 安裝的手段沒有特別的限制，采用公知的鍵等和軸承等手既就可以。
在第1臂21a的一端固定有齒f^f 27中的齒輪27a，在該齒輪27a上還可 回轉(zhuǎn)i"K結(jié)第5臂23a的一端。在齒輪27b上固定第6臂23b的一端，還可回 轉(zhuǎn)自結(jié)第4臂21b的一端。在第3臂22b的一端固定有齒f^128中的齒輪28a， 在該齒輪28a上還可回轉(zhuǎn)itt結(jié)第7臂24a的一端，在齒輪28b上固定有第8 臂24b的一端，還可回轉(zhuǎn)i鵬結(jié)第2臂22a的一端。這些齒輪27a、 27b、 28a 和28b使連^^的平fi^接部件，即第1平4T^接部件和第3平fi^接部件 之間，以及第2平纟瑰接部件和第4平t雜接部件之間的旋轉(zhuǎn)相互反向。此外， ，如第5臂和第6臂、第7臂和第8臂的艦臂同向旋轉(zhuǎn)。
貫通軸，臺(tái)30 ，第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26，軸，臺(tái)30是， 了驅(qū)動(dòng)源的殼體29的凸緣部。
如下所艦行包含戰(zhàn)各個(gè)臂的於平纟瑰接部件的安裝。首先，在第1 驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26上安織1平ffii接部件21時(shí)，il3i鍵等固錢結(jié) 第1平fi^接部件的第1臂21a和第1驅(qū)動(dòng)軸25， M軸承等可進(jìn)行旋^動(dòng) 的部件可旋轉(zhuǎn)地安裝第1平fi^接部件21的第4臂21b和第2驅(qū)動(dòng)軸26。 ^ 1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26上安織2平^瑰接部件22時(shí)，i!31鍵等固定連 接第2平《瑰接部件22的第2臂22a和第2驅(qū)動(dòng)軸26， M軸承等可進(jìn)行旋轉(zhuǎn) 運(yùn)動(dòng)的部件可旋轉(zhuǎn)地安裝第2平fi^接部件22的第3臂22b和第1驅(qū)動(dòng)軸25。
如上所述，第1平纟瑰接部件21和第2平fi^接部件22的安 為兩根， 按照在一根安裝軸上安裝兩個(gè)臂的方式共用軸。從而倉辦M^構(gòu)成部件， 皿^i^g的總SM和制作費(fèi)用。此外，由于iXffi第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng) 軸26兩根軸來安裝兩個(gè)平纟瑰接部件，所以與如現(xiàn)有技術(shù)那樣的，隔著間隔設(shè)置兩根驅(qū)動(dòng)軸和兩tW人動(dòng)軸共四根軸，安裝兩個(gè)平fi^接部件的i^置的情
況相比，由于基于其間隔的回轉(zhuǎn)判5變小，所以倉^lf共節(jié)省空間的體。
在，的第3平fi^接部件23和第4平《瑰接部件24的員分別安裝第1保持部3 la和第2保持部32a，在這兩個(gè)3 la和32a每一個(gè)的|^瑞安糊*^行 等處 #物的傳遞的第1拾取器3 lb和第2拾取器32b。
為了實(shí)Jta行旋瓶動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器的小型化，有時(shí)不得不相對(duì)于中心軸非辦爾地設(shè)置其內(nèi)部的構(gòu)造物，但是在這樣盼瞎況下，進(jìn)行真空排氣時(shí)不能向各個(gè)內(nèi)部構(gòu)造物均等地施加力。因此，存在向驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部施加不均勻的外力的情況使內(nèi)部構(gòu)造物發(fā)生應(yīng)變的可能性。作為對(duì)這樣的應(yīng)^^f采取的對(duì)策，通常是提高構(gòu)造物本身的剛性，或者另外安裝保持部件，但是存在驅(qū)動(dòng)^l本身z變大了的問題。于是，本發(fā)明為了微驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部構(gòu)造物(殼體的內(nèi)部構(gòu)造物)，而使安裝在驅(qū)動(dòng)器外部的微部件具有剛性，具有與驅(qū)動(dòng)器一側(cè)連接的多個(gè)安驗(yàn)點(diǎn)，從而抑制由于真空排氣等施加給驅(qū)動(dòng)器的不均勻的力造成的驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)變等變形，而不使驅(qū)動(dòng)器本身變大。該i^部件例如,用如不銹鋼、鐵等那樣的楊氏，鐘大的材料，按照剖面的二次力矩變大的^^制作。
接下來，參照?qǐng)D4以及前述的圖2和圖3說明本發(fā)明的SW3g^置的動(dòng)作方式，其中圖4示出了安裝了，的第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26的 搬ii^g整體的結(jié)構(gòu)(未圖示^h第1連接機(jī)構(gòu)20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b)。在圖4中，如果事先沒有特別的限定，就給與圖2和圖3相同的構(gòu)成部件賦予相同的參考符號(hào)。
根據(jù)示出本發(fā)明的基板i^置的,結(jié)構(gòu)的剖面示意圖4，貫通殼體40(相當(dāng)于圖3中的29)的凸緣部41 (相當(dāng)于圖2和圖3中的軸M臺(tái)30) OT第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26，在該第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸的下端，在殼體40內(nèi)分別設(shè)置電動(dòng)機(jī)等第1驅(qū)動(dòng)源42a和第2驅(qū)動(dòng)源42b。
臓第1驅(qū)動(dòng)源42a和第2驅(qū)動(dòng)源42b分別麟1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26旋轉(zhuǎn)，荊蝶1平，m接部件21和第2平《瑰接部件22隨著其旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。戶，第1平fi^接部件21和第2平fi^接部件22的旋轉(zhuǎn)分別M齒絡(luò)合第3平4瑰接部件23和第4平《琉接部件24施加反向的旋轉(zhuǎn)。從而使第1 ,部3 la和第2保持部件32a倉的多在連接第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26的直線上前后直線運(yùn)動(dòng)。
其結(jié)果是，第1拾取器3 lb和第2拾取器32b在把3 板的狀態(tài)下直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)行 的皿。在該情況下，第1連接機(jī)構(gòu)20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b被設(shè)置為相對(duì)于水平面的高度相互不同，所以兩個(gè)連接機(jī)構(gòu)彼此即第1拾取器31b和第2拾取器32b彼此不會(huì)發(fā)生沖突地交錯(cuò)。
在圖2 4中，示出了設(shè)置為第l連接機(jī)構(gòu)20a位于上方，此外第2連接機(jī)構(gòu)20b位于下方的例子，但是也可以淑目反的設(shè)置位置，這是自不必言的。
錢1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26的周圍，對(duì)于^K驅(qū)動(dòng)軸設(shè)置至少一個(gè)圖1中示出的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)Ml構(gòu)S，使得相對(duì)于設(shè)置了驅(qū)動(dòng)源等的殼體40的內(nèi)部，保持含有第1連接機(jī)構(gòu)20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b的^Wit—側(cè)的真空狀態(tài)。
Mil使作為第1驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)42a運(yùn)行，而由第1驅(qū)動(dòng)軸25使第1平摘接部件21旋轉(zhuǎn)。鄉(xiāng)1平摘接部件21 ± 齒繊27安織3平行連接部件23,該第3平《話接部件與第1平《瑰接部件的旋轉(zhuǎn)反向地同角度動(dòng)作。從而l贓第3平4譜接部件23的M安裝的第1保持部3 la和第1拾取器31b在連接第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26的直線上前后直線運(yùn)動(dòng)。
同樣，3M使作為第2驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)42b運(yùn)行，而由第2驅(qū)動(dòng)軸26麟2平摘接部件22旋轉(zhuǎn)。錢2平摘接部件22 JlMil齒縱28安織4平fi^接部件24，織4平，fii接部件與第2平《瑰接部件的旋轉(zhuǎn)反向地同角度動(dòng)作。從而使在第4平fi^接部件24的M安裝的第2 ,部32a和第2拾取器32b在連接第2驅(qū)動(dòng)軸26和第1驅(qū)動(dòng)軸25的直線上前后直線運(yùn)動(dòng)。
在該情況下，用安皿第1保持部31a上的第1拾取器31b和安M第2i^部32a上的第2拾取器32b進(jìn)行^^等處SX^物的傳遞。相對(duì)于水平面相互上下隔著間隔地設(shè)置分別含有第1拾取器和第2拾取器的^i接機(jī)構(gòu)。
此外，含有第1驅(qū)動(dòng)軸25和第2驅(qū)動(dòng)軸26的，臺(tái)43 ^131第1皮帶輪44和第1皮帶51與第3驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)45連結(jié)。從而Mi^ 3驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)45運(yùn)行，而育,使第1保持部31a和第2保持部32a向任意方向回轉(zhuǎn)，其中的第1保持部3 la和第2 <斜寺部32a分別設(shè)置在艦齒輪分別與第1平《譜接部件21和第2平《鏈接部件22連接的第3平fi^接部件23和第4平《瑰接部件24的各個(gè) 部上。在支承臺(tái)43和，部件46之間設(shè)置旋轉(zhuǎn)導(dǎo)A^幾構(gòu)S，從而即使在進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)也能夠維持,i^一側(cè)的真空狀態(tài)。由此使裝載了本發(fā)明的 11^置的真空處理，可以自由地改變處理室的數(shù)目和設(shè)置等。在該情況下，第3驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)45也可以直接與，臺(tái)43直,結(jié)。
而且，在本發(fā)明的繊^i^g中，體有麟1連接機(jī)構(gòu)20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。例如，如圖4所示，絲部件46通過具有圓頭螺栓47等升降功能的部件與第4電動(dòng)機(jī)48以及第2皮帶輪49和第2皮帶52連結(jié)，所以M使第4電動(dòng)機(jī)48運(yùn)行，從而^^ C部件46升降，能夠{蝶1保持部31a和第2傲寺部32a升降，其中的第1保持部31a和第2保持部32a分別，，1連接機(jī)構(gòu)20a和第2連接機(jī)構(gòu)20b、即分別與第1平《瑰接部件21和第2平《瑰接部件22連接的第3平fi^接部件23和第4平《瑰接部件24的針前端部上。由此，裝載了本發(fā)明的鎌^gCT的真空處理體可以自由地改變其設(shè)置等。在該情況下，第4驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)48也可以直接與圓頭螺栓47連結(jié)。
在戶腐魏部件46和殼體40的凸緣部41之間，體即^S行升艇動(dòng)也能^f氣密的如波紋管那樣的伸縮性部件。
如圖4戶標(biāo)，為了f娥殼體40的內(nèi)部構(gòu)造物，在殼體的夕卜周上設(shè)置由不銹鋼、鐵等制作的楊氏t鐘大的j娥部件50。該保護(hù)部件具有與殼體連接的多個(gè)接點(diǎn)，倉,抑制由于真空排氣等施加給驅(qū)動(dòng)器的不均勻的力造成的殼體內(nèi)部構(gòu)
造物的應(yīng)變等娜，而不使殼體本身變大。
根據(jù)本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，由于潤滑齊啲i真充周期長，此外由于凸出部與旋轉(zhuǎn)軸的滑動(dòng)阻力小，所以產(chǎn)生的^t員粉末少從而清潔，同時(shí)壽命長，倉,期
待在真空Hi設(shè)置的處wm物的處理效率的提高。此外，根據(jù)本發(fā)明的
Mii^置，由于第1平《瑰接部件和第2平，f^接部件的安^A共用，所以能夠減少構(gòu)成部件，可以降低 ^^置的總重量和制作費(fèi)用，并且由于共用
安鄉(xiāng)而使回轉(zhuǎn)判5變小，能夠?qū)崿F(xiàn)省空間化，所以能夠iM:—個(gè)工序高效率地依次連續(xù)進(jìn)行將處sx^物m真空處理室的規(guī)定位置和取出的操作，作業(yè)
時(shí)間也縮短了，能夠縮短處wm物的處理時(shí)間，還不會(huì)在處wm物上附著雜質(zhì)。
并且，包括，的 ^^置的真空處理，會(huì)嫩在半導(dǎo)體，領(lǐng)域，在j^M等處理中有效地加以利用。

圖i是示出本發(fā)明涉及的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施方式的剖面示意圖。
圖2 ^出本發(fā)明的 ^^的一個(gè)實(shí)施方式的連接機(jī)構(gòu)動(dòng)作狀態(tài)的機(jī)構(gòu)說明圖。
圖3是本發(fā)明涉及的鎌^i^S的一個(gè)實(shí)施方式的連接機(jī)構(gòu)的立體圖。圖4是示出本發(fā)明涉及的 ^^§ 結(jié)構(gòu)從圖2的A—A線看的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是示出威爾遜密封的一個(gè)方式的剖面示意圖。符號(hào)說明
1驅(qū)動(dòng)軸(旋轉(zhuǎn)軸) 2凸出部3壓緊部件 4潤滑劑5潤滑劑,部l牛 6固定部件
7外殼 S旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)
20a第l連接機(jī)構(gòu) 20b第2連接機(jī)構(gòu)
21第l平fi^接部件21a第l臂
21b第4臂 22第2平fi^接部件
22a第2臂 22b第3臂
23第3平tT^接部件 23a第5臂
23b第6臂 24第4平，強(qiáng)接部件
24a第7臂 24b第8臂
25 第l驅(qū)動(dòng)軸26 第2驅(qū)動(dòng)軸
27， 28齒, 27a， 27b， 28a， 28b 齒輪
29殼體30軸絲臺(tái)
31a第1保持部31b第l拾取器
32a第2麟部32b第2拾取器
40殼體41凸緣部
42a第1驅(qū)動(dòng)源42b第2驅(qū)動(dòng)源
43頓臺(tái)44第l皮帶輪
45第3驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)46魏部件
47圓頭螺栓48第4驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)
49第2皮帶輪50傲戶部件
51第l皮帶52第2皮帶
權(quán)利要求
1.一種旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，將設(shè)置在大氣一側(cè)的驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳送到真空中，其特征在于，具有由凸出部、潤滑劑、和潤滑劑保持部件構(gòu)成的真空密封機(jī)構(gòu)，形成凸出部使得所述凸出部與旋轉(zhuǎn)軸的接觸面積變小。
2. 如權(quán)利要求1臓的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，欺爭(zhēng)征在于，舒腿真空密封機(jī)構(gòu) 中，形成凸出部使得BW凸出部與旋轉(zhuǎn)軸,的部分的剖面至少成為線接觸。
3. 如權(quán)利要求1或2戶腿的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，^ft征在于，戶脫真空密封機(jī) 構(gòu)還具有用來將阮述凸出部推壓到旋轉(zhuǎn)軸上的壓緊部件。
4. 一種SWig^g，其特征在于，包括第1連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)， 戶;M第1連接機(jī)構(gòu)包含第1臂和第4臂，戶腿第2連接機(jī)構(gòu)包含第2臂和第3 臂，戶欣第1臂固定安驗(yàn)第1驅(qū)動(dòng)軸上，戶脫第2臂固定安裝在第2驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第3臂可旋掛也安驗(yàn)戶;M第i驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第4臂可旋轉(zhuǎn)地安裝^B)f^第2驅(qū)動(dòng)軸上。
5. 如權(quán)利要求4戶脫的sMJg^g,期寺征在于，戶;f^第i連接機(jī)構(gòu)由第1平fi^接部件和第3平《瑰接部件構(gòu)成，戶;M第2連接機(jī)構(gòu)由第2平，瑰接部件和第4平fi^接部件構(gòu)成，戶;M第i平《瑰接部件包織i臂和第4臂，戶;M第2平fi^接部件包含第2臂和第3臂。
6. 如權(quán)利要求4或5所述的基板^^置，，征在于，為了使i^卜部向 殼體的內(nèi)部構(gòu)造物施加的力不使所述驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件或所述內(nèi)部構(gòu)造物變 形，而用剛性大的部{科乍為{跌所述驅(qū)動(dòng)源的{娥部件，其中戶脫殼體的內(nèi)部構(gòu)造物相對(duì)于容納戶;M^^i^g的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不x^爾。
7. 如權(quán)利要求4 6中倒可一項(xiàng)臓的^^i^g，辦征在于，包括^妙;m第i連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
8. —種^Miim賺征在于，包括第1連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)，戶;M第i連接機(jī)構(gòu)包含第i臂和第4臂，戶;f^第2連接機(jī)構(gòu)包含第2臂和第3臂，戶;M第i臂固定安驗(yàn)第i驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第2臂固定安^&m 2驅(qū)動(dòng)軸 上，戸;m第3臂可旋轉(zhuǎn)地安^戶;m第i驅(qū)動(dòng)軸上，0M第4臂可旋^安裝 在戶;M第2驅(qū)動(dòng)軸上，該swig^g體了如權(quán)利要求i 3中的倒可一項(xiàng)所 述的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，用* 戶，第i驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸將在大氣Hi^s 的驅(qū)動(dòng)源的旋^t動(dòng)傳送到真空中。
9. 如權(quán)利要求8戶腿的SWi^g，期寺征在于，0M第1連接機(jī)構(gòu)由 第1平fi^接部件和第3平fi^接部件構(gòu)成，戶;M第2連接機(jī)構(gòu)由第2平1瑰 接部件和第4平fi^接部件構(gòu)成，所述第1平《瑰接部件包含第1臂和第4臂， 戶;M第2平ffi^接部件包含第2臂和第3臂。
10. 如權(quán)利要求8或9戶艦的S^^i^g，其特征在于，為了彬M卜部 向殼體的內(nèi)部構(gòu)造物施加的力不i妙，驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件^0f述內(nèi)部構(gòu)造物變 形，而用岡勝大的部件作為《W戶腿驅(qū)動(dòng)源的《緣部件，其中戶脫殼體的內(nèi)部 構(gòu)造物相對(duì)于容納戶，SW^g的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不娥爾。
11. 如權(quán)利要求8 10中的倒可一項(xiàng)戶腿的^ ]^§， ^JT征在于，包 括寸妙;M第1連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
12. —種,i^S,其特征在于，包括由第l平fi^接部件和第3平行 連接部件構(gòu)成的第1連接機(jī)構(gòu)和由第2平4話接部件和第4平fi^接部件構(gòu)成 的第2連接機(jī)構(gòu)，所述第1平fi^接部件由第1臂和第4臂構(gòu)成，所述第2平 fi^接部件由第2臂和第3臂構(gòu)成，戶;M第1臂固定安^^ 1驅(qū)動(dòng)軸上，所述第2臂固定安驗(yàn)第2驅(qū)動(dòng)軸上，戶;M第3臂可旋轉(zhuǎn)地安驗(yàn)戶脫第1驅(qū)動(dòng) 軸上，戶;M第4臂可旋轉(zhuǎn)地安驗(yàn)戶服第2驅(qū)動(dòng)軸上，其結(jié)構(gòu)使得隨第1驅(qū)動(dòng) 軸的旋轉(zhuǎn)，fflil齒輪將戶腐第1平fi^接部件的旋轉(zhuǎn)傳澄合戶誠第3平fi^接 部件，麟3平摘接部件與第1平摘接部件反向旋轉(zhuǎn)，鵬腿第3平行 連接部件的前端，的 ,部在連接第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸的直線上直線移動(dòng)，此外，其結(jié)構(gòu)使得隨第2驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)，由齒輪將戶;M第2平fi^接部件的旋轉(zhuǎn)傳邀合臓第4平摘接部件，麟4平摘接部件與第2平摘接部件反向旋轉(zhuǎn)，^&戶;M第4平^^接部件的，設(shè)置的 保持，連接第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸的直線上直線移動(dòng)。
13. 如權(quán)利要求12所述的^ ^置，其特征在于，為了使從外部向殼 體的內(nèi)部構(gòu)造物施加的力不使戶，驅(qū)動(dòng)源的構(gòu)成部件^^f述內(nèi)部構(gòu)造物變形，而用剛性大的部件作為保護(hù)戶;M驅(qū)動(dòng)源的^^部件，其中所述殼體的內(nèi)部構(gòu)造物相對(duì)于容納戶;M皿^g^s的驅(qū)動(dòng)源的殼體的中心軸不)^爾。
14. 如權(quán)利要求12或13中^{可一個(gè)的 ^￡，辦征在于，包括f妙;fM第i連接機(jī)構(gòu)和第2連接機(jī)構(gòu)向垂直方向移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
15. 如權(quán)利要求12 14中的倒可一J砂脫的S^ig^S，期寺征在于， 分別在臓第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸上體如權(quán)利要求1 3中的倒可一項(xiàng)臓 的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，M310M第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸將體在大氣HIJ的驅(qū)動(dòng) 源的旋瓶動(dòng)傳送到真空中。
16. —種真空處理，，，征在于，包括具有如權(quán)利要求4 15中的 任何一項(xiàng)戶;M的SW^置的^i室；與所述^ig室連結(jié)，用戶，^WiS 驢傳遞處SX^物的至少一個(gè)真空處魅。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種將大氣一側(cè)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳送到真空中、并且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單滑動(dòng)阻力低的長壽命旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)構(gòu)、回轉(zhuǎn)半徑小并且產(chǎn)生的灰塵少的基板搬運(yùn)裝置、以及真空處理裝置。在真空密封機(jī)構(gòu)上安裝潤滑劑保持部件(5)?；灏徇\(yùn)裝置的結(jié)構(gòu)是，第1連接機(jī)構(gòu)(20a)包括第1臂(21a)和第4臂(21b)，第2連接機(jī)構(gòu)(20b)包括第2臂(22a)和第3臂(22b)，第1臂(21a)固定安裝在第1驅(qū)動(dòng)軸(25)上，第2臂(22a)固定安裝在第2驅(qū)動(dòng)軸(26)上，第3臂(22b)可旋轉(zhuǎn)地安裝在第1驅(qū)動(dòng)軸(25)上，第4臂(21b)可旋轉(zhuǎn)地安裝在第2驅(qū)動(dòng)軸(26)上。真空處理裝置包括該基板搬運(yùn)裝置。
文檔編號(hào)F16J15/32GK101542171SQ200780042208
公開日2009年9月23日 申請(qǐng)日期2007年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月14日
發(fā)明者南展史, 川口崇文, 武者和博 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科