專利名稱：混合型微/宏板閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及控制閥和半導(dǎo)體機(jī)電裝置，尤其是涉及一種用于變?nèi)菔綒怏w壓縮機(jī)的微機(jī)械加工的控制閥。
背景技術(shù)：
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是一種物理上很小，具有微米級(jí)尺寸特征的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)既有電子部件，又有機(jī)械部件。術(shù)語(yǔ)“微機(jī)械加工”一般理解為表示MEMS裝置三維結(jié)構(gòu)和可動(dòng)部件的制造。最初MEMS采用改進(jìn)的集成電路(計(jì)算機(jī)芯片)制造工藝(例如化學(xué)蝕刻)和材料(例如硅半導(dǎo)體材料)來(lái)微機(jī)械加工這些非常小的機(jī)械裝置?，F(xiàn)在可以采用很多種微機(jī)械加工工藝和材料。該申請(qǐng)中使用的術(shù)語(yǔ)“微閥”表示具有微米級(jí)尺寸特征的閥，從而定義為至少部分地通過(guò)微機(jī)械加工形成。該申請(qǐng)中使用的術(shù)語(yǔ)“微閥裝置”表示包括微閥的裝置，并可以包括其它部件。應(yīng)該注意如果微閥裝置包括除了微閥以外的部件，這些其它部件可以是微機(jī)械加工部件或標(biāo)準(zhǔn)尺寸(較大)的部件。
已經(jīng)提出了多種用于在流體回路中控制流體流動(dòng)的微閥裝置。典型的微閥裝置包括由本體可動(dòng)地支撐并可操作地連接至致動(dòng)器，以在關(guān)閉位置和全開位置之間運(yùn)動(dòng)的可動(dòng)部件或閥。在置于關(guān)閉位置時(shí)，該閥阻擋或關(guān)閉處于與第二流體端口流體相通的第一流體端口，從而防止流體在流體端口之間流動(dòng)。當(dāng)該閥從關(guān)閉位置向全開位置運(yùn)動(dòng)時(shí)，允許流體在流體端口之間逐漸增加地流動(dòng)。題為“先導(dǎo)操作微閥裝置”的美國(guó)專利No.6,540,203說(shuō)明了一種微閥裝置，包括電操作先導(dǎo)微閥和位置由先導(dǎo)微閥控制的先導(dǎo)操作微閥，該專利公開的內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。題為“用于電控傳動(dòng)裝置的微閥”的美國(guó)專利No.6,494,804說(shuō)明了一種用于在流體回路中控制流體流動(dòng)的微閥裝置，并包括使用通過(guò)一個(gè)孔的流體排放通道形成分壓回路，該專利公開的內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。
除了產(chǎn)生足以使可動(dòng)部件移動(dòng)的力以外，致動(dòng)器必須產(chǎn)生一個(gè)力，其能夠克服作用在可動(dòng)部件上并抵抗可動(dòng)部件預(yù)期位移的流體流動(dòng)力。這些流體流動(dòng)力通常隨著通過(guò)流體端口的流量增大而增大。
氣體壓縮機(jī)將使氣體的狀態(tài)從低壓狀態(tài)變?yōu)楦邏籂顟B(tài)。這樣的壓縮機(jī)通常用在采用制冷劑氣體的空調(diào)(A/C)系統(tǒng)中。
制冷劑氣體由壓縮機(jī)在高壓(排放壓力)下排放。氣體運(yùn)動(dòng)到冷凝器，在此處高壓高溫氣體冷凝成高壓低溫液體，狀態(tài)改變過(guò)程中從氣體釋放的能量(冷凝潛熱)以廢熱的形式傳遞給經(jīng)過(guò)冷凝器散熱片的空氣(或其它冷卻介質(zhì))。液體從冷凝器流過(guò)膨脹裝置(該膨脹裝置控制液體制冷劑的流量)，并流到制冷劑蒸發(fā)和膨脹的蒸發(fā)器。流過(guò)蒸發(fā)器盤管的空氣向制冷劑釋放其熱量，從而提供制冷劑狀態(tài)變化所需的能量(蒸發(fā)潛熱)。被冷卻的空氣流入要冷卻的腔室中?？諝獗焕鋮s的程度與制冷劑氣體的膨脹率成比例，而氣體的膨脹率與制冷劑氣體在壓縮機(jī)中的壓縮率有關(guān)。氣體的壓力在壓縮機(jī)中由活塞在壓縮室中的運(yùn)動(dòng)量控制。
設(shè)計(jì)利用制冷劑氣體的冷卻系統(tǒng)的關(guān)鍵是確保來(lái)自冷凝器的液體的流量和溫度不會(huì)使蒸發(fā)器低于水的冰點(diǎn)。如果在蒸發(fā)器中有過(guò)多的熱量被氣體吸收，則從在蒸發(fā)器上經(jīng)過(guò)的空氣中冷凝出的水會(huì)在散熱片和管道上結(jié)冰，從而阻止空氣在蒸發(fā)器上的流動(dòng)，從而切斷冷卻空氣流至例如車輛的乘員艙或者其它要冷卻的區(qū)域。由于這個(gè)原因，大多數(shù)傳統(tǒng)控制閥標(biāo)定成基于回到壓縮機(jī)中的氣體壓力以氣體的設(shè)定壓力而改變壓縮機(jī)的行程(排量)。氣體返回壓縮機(jī)的吸入?yún)^(qū)域。壓縮機(jī)該區(qū)域中的壓力稱為吸入壓力。壓縮機(jī)行程根據(jù)期望吸入壓力變化，該期望吸入壓力在現(xiàn)有技術(shù)中稱為設(shè)定點(diǎn)吸入壓力。
在1984年，提出了一種變?nèi)菔街评鋭嚎s機(jī)，其通過(guò)以上面說(shuō)明的方式改變?cè)趬嚎s機(jī)泵送機(jī)構(gòu)中活塞的行程，而調(diào)節(jié)制冷劑氣體通過(guò)該系統(tǒng)的流動(dòng)。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)成在汽車中使用，采用與車輛發(fā)動(dòng)機(jī)相連的傳動(dòng)帶獲得動(dòng)力以驅(qū)動(dòng)壓縮機(jī)。在操作中，當(dāng)A/C系統(tǒng)負(fù)載較低時(shí)，縮短壓縮機(jī)活塞的行程，使得發(fā)動(dòng)機(jī)傳動(dòng)帶每旋轉(zhuǎn)一圈，壓縮機(jī)泵送較少的制冷劑。這樣僅允許足夠的制冷劑以滿足車輛乘員的制冷需要。當(dāng)A/C系統(tǒng)負(fù)載較高時(shí)，延長(zhǎng)活塞的行程，發(fā)動(dòng)機(jī)傳動(dòng)帶每旋轉(zhuǎn)一圈泵送更多的制冷劑。
這種現(xiàn)有技術(shù)中的變?nèi)菔綁嚎s機(jī)和傳統(tǒng)氣動(dòng)控制閥(CV)的說(shuō)明見Skinner的美國(guó)專利4,428,718(下文中稱為Skinner’718)，該專利被轉(zhuǎn)讓給密歇根州底特律市的通用汽車公司(General MotorsCorporation of Detroit，Mich.)。Skinner’718的公開內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。
一種用于車輛空調(diào)系統(tǒng)的變?nèi)菔綁嚎s機(jī)的替代CV設(shè)計(jì)采用電磁致動(dòng)閥控制制冷劑氣體流入變?nèi)輭嚎s機(jī)的曲軸箱。授予Suitou等的美國(guó)專利5,964,578(下文中稱為Suitou’578)公開了一種具有作用在閥部件上的電磁致動(dòng)桿的CV，該閥部件控制排出和吸入壓力氣體向曲軸箱的流動(dòng)，該專利的公開內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。該閥部件位置部分地通過(guò)彈簧偏置波紋管以與傳統(tǒng)氣動(dòng)CV相似的方式確定。逐漸增大的吸入壓力作用在波紋管上以減少?gòu)呐欧艆^(qū)域流向曲軸箱的氣體流量。通電時(shí)，電磁致動(dòng)桿施加一個(gè)力，該力同樣推動(dòng)閥部件，從而減小流到曲軸箱的排放壓力流。這允許活塞行程和壓縮機(jī)輸出容量的額外控制，其可以通過(guò)發(fā)至電磁線圈的電信號(hào)調(diào)節(jié)。
一種使用電磁致動(dòng)器控制排放閥操作的替代CV設(shè)計(jì)已經(jīng)在授予Hirota的美國(guó)專利5,702,235(下文中稱為Hirota’235)中公開，其公開內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。在該設(shè)計(jì)中，用螺線管來(lái)開啟和關(guān)閉先導(dǎo)閥，該先導(dǎo)閥容許排出壓力氣體流向CV中加壓室。加壓室始終與壓縮機(jī)的吸入壓力區(qū)域氣體相通。閥部件控制排出和吸入壓力氣體向曲軸箱的流動(dòng)。該閥部件的位置通過(guò)彈簧偏置力、作用在閥部件一端上的排放壓力和作用在閥部件另一端上的加壓室中的壓力的平衡而確定。通電時(shí)，電磁致動(dòng)先導(dǎo)閥允許壓力在加壓室中快速增大，從而開啟閥部件以增加流向曲軸箱的排出壓力氣體。
Hirota’235CV設(shè)計(jì)的閥部件不響應(yīng)吸入?yún)^(qū)域壓力，且不像Suitou’578的電磁輔助CV或Skinner’718的氣動(dòng)CV那樣根據(jù)吸入壓力設(shè)定點(diǎn)控制壓縮機(jī)排量。Hirota’235CV設(shè)計(jì)的目的是利用排出壓力氣體的力將排放通向曲軸箱閥，從而允許使用緊湊、重量輕和不昂貴的螺線管。

發(fā)明內(nèi)容
現(xiàn)有技術(shù)中的電磁輔助CV具有幾種缺點(diǎn)。其中一個(gè)缺點(diǎn)是所使用的電磁閥尺寸，其限制了冷卻系統(tǒng)的封裝選擇，其中電磁閥安裝在該冷卻系統(tǒng)中。一種已經(jīng)提出的解決方案如Chancey等提交的共同待審美國(guó)專利申請(qǐng)No.60/525,225中所說(shuō)明的，其全部公開內(nèi)容結(jié)合于此作為參考。另一種解決方案是下面的公開內(nèi)容所建議的。
本發(fā)明涉及一種包括微閥先導(dǎo)閥和先導(dǎo)操作閥的微閥裝置。微閥先導(dǎo)閥包括第一層、形成有多個(gè)貫穿開口的第三層及位于第一層和第三層之間的第二層。第二層包括與這些開口流體相通的腔室，并包括用于選擇性地控制流體流過(guò)該腔室和這些開口之間的可動(dòng)部件。先導(dǎo)操作閥包括第一板、第三板及位于第一板和第三板之間的第二板。第一板包括多個(gè)與微閥開口、壓力供應(yīng)通道和壓力釋放通道流體相通的端口。第二板包括所述壓力供應(yīng)通道和所述壓力釋放通道，這兩個(gè)通道都與先導(dǎo)操作閥的閥芯部分流體相通。閥芯部分可選擇性地移動(dòng)，以允許從第二流體源到負(fù)載的流動(dòng)。第三板包括與第一流體源，所述壓力供應(yīng)通道，第一板端口中的一個(gè)，和微閥開口中的一個(gè)流體相通的第一源端口。第三板的第一儲(chǔ)存器端口與第一儲(chǔ)存器，所述壓力釋放通道，第一板端口中的一個(gè)，和微閥開口中的一個(gè)流體相通。第三板的第二源端口與第二流體源流體相通。第三板的負(fù)載端口與負(fù)載流體相通。
作為選擇地，公開了用于控制另一個(gè)閥操作的微閥。該微閥包括多個(gè)限定出本體的層，其中該本體具有腔室和多個(gè)與該腔室流體相通的端口?？蓜?dòng)部分位于該腔室中，該可動(dòng)部分選擇性地移動(dòng)，以允許流體從流體源通過(guò)該腔室流過(guò)以控制另一個(gè)閥，或允許流體從該另一個(gè)閥流至流體儲(chǔ)存器。當(dāng)流體從流體源流過(guò)該腔室時(shí)，該另一個(gè)閥運(yùn)動(dòng)至第一位置，而當(dāng)流體從該另一個(gè)閥流過(guò)該腔室時(shí)，該另一個(gè)閥運(yùn)動(dòng)至第二位置。
作為選擇地，公開了一種板閥。該板閥包括第一板，第一板限定了多個(gè)與第二板相連的端口。第二板限定了腔室，該腔室具有位于其中的閥芯。該閥芯可在第一位置和第二位置之間運(yùn)動(dòng)。多個(gè)流體通道與多個(gè)端口流體相通。第三板包括與第一流體源相連的第一端口，和與儲(chǔ)存器相連的第二端口。第三端口與第二流體源相連，而第四端口與負(fù)載相連。流體通道之一使第一流體源與第一板多個(gè)開口之一及閥芯連接。流體通道中的另一個(gè)使儲(chǔ)存器與第一板多個(gè)開口之一及閥芯連接。閥芯的運(yùn)動(dòng)由流體從第一流體源流到閥芯，和從閥芯流到儲(chǔ)存器的至少一種所造成。閥芯的運(yùn)動(dòng)在第二流體源和負(fù)載之間產(chǎn)生流道。
當(dāng)根據(jù)附圖閱讀時(shí)，根據(jù)下面的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的不同目的和優(yōu)點(diǎn)對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員將變得顯而易見。
附圖簡(jiǎn)述

圖1是根據(jù)本發(fā)明的閥組件的分解透視圖。
圖2是一種用于根據(jù)本發(fā)明的閥組件的處于第一位置中的微閥的一層的俯視圖。
圖3是圖2中所示先導(dǎo)微閥的層處于第二位置中的俯視圖。
圖4是圖2和3中所示先導(dǎo)微閥的層處于第三位置中的俯視圖。
圖5是圖1中所示閥組件中間層前側(cè)的放大透視圖。
圖6是圖1和5中所示閥組件中間層后側(cè)(與圖5中的前側(cè)相反)的放大透視圖。
圖7是圖1中所示閥組件中間層第一側(cè)的俯視圖，其中該閥的閥芯位于第一位置。
圖8是圖7中所示閥組件中間層的俯視圖，其中閥芯位于第二位置。
圖9是采用根據(jù)本發(fā)明的微閥的閥組件替代實(shí)施例的俯視圖。
圖10是圖9中所示閥組件中間板的俯視圖。
圖11是可以被圖9中所示閥組件使用的閥組件中間板替代實(shí)施例的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖，圖1中表示了一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的閥組件，總的用10表示。該閥組件包括第一層(蓋板)12，第二層(中間板)14，和第三層(端口板)16。如下面將更詳細(xì)的說(shuō)明，第一層12具有大致為矩形的形狀，為其中形成有多個(gè)貫穿開口的蓋板，且其上附有微閥24。第二層14具有大致為矩形的形狀，并具有與第一層12相應(yīng)的尺寸，且也包括多個(gè)形成在其中的貫穿開口，和多個(gè)形成在第二層14前表面18和后表面20上的通道，如下面更詳細(xì)的說(shuō)明。第三層16具有大致為矩形的形狀，并具有與第一層12及第二層14相應(yīng)的尺寸，也包括多個(gè)形成在其中的貫穿開口，開口的位置與第二層14中形成的一些貫穿開口的位置一致，如下面更詳細(xì)的說(shuō)明。
在圖示實(shí)施例中，層12，14和16中的每一個(gè)均包括四個(gè)穿過(guò)其形成的相對(duì)較大的孔22。這些孔22中的每一個(gè)優(yōu)選地基本上布置在大致成矩形的層12，14和16的四個(gè)角附近，但可以位于任何合適的位置?？?2用作用于將層12，14和16中的每一個(gè)固定在一起的緊固件的鉆孔，還用于將閥組件10附連到另一個(gè)裝置上，容納或連接流體系統(tǒng)的剩余部分(balance)，其中閥組件10是該流體系統(tǒng)的一部分。形成在中間板14和端口板16中的開口(包括孔22)可以通過(guò)任何合適的方法形成，例如蝕刻，傳統(tǒng)或激光鉆孔，銑削，或其它合適的機(jī)加工方法。類似地，形成在中間板14中的通道可以通過(guò)任何合適的方法形成，例如銑削方法或通過(guò)蝕刻。優(yōu)選地，形成在蓋板上的開口(包括孔22)通過(guò)蝕刻形成。但是，可以理解，任何開口和通道可以使用任何合適的方法形成。層12，14和16可以通過(guò)任何合適的方法形成。例如，這些層可以通過(guò)自金屬薄板坯切割而成或由單獨(dú)的坯料機(jī)加工而成。各種孔和通道特征可以隨后在其上通過(guò)機(jī)加工或蝕刻形成，或者用其它方式將這些特征形成到層12，14和16中。作為選擇地，各個(gè)孔和通道特征，或其它期望的特征，可以在層12，14和16中與層12，14和16的初始制造在鑄造或模制過(guò)程中同時(shí)形成。這樣的特征也可以使用任何類似的方法形成，或使用模制、鑄造、機(jī)加工、蝕刻方法的任何合適的組合而形成。層12，14和16可以由任何合適的材料制成，例如陶瓷材料，晶體材料，復(fù)合材料，金屬材料，塑料材料，或玻璃材料。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，層12，14和16為金屬的，其中鋼適于一些預(yù)期的應(yīng)用場(chǎng)合。
形成在蓋板12中的開口優(yōu)選地位于蓋板12上，使得開口大致與形成在微閥24中的通道對(duì)準(zhǔn)。更具體地，第一組端口，26A，27A和28A，優(yōu)選地沿著蓋板12的上部成一直線，使得每一端口26A，27A和28A沿著公共直線L1布置。類似地，第二組端口26B，27B和28B沿著蓋板12的下部成一直線，使得每一端口26B，27B和28B沿著公共直線L2布置。第一組端口26A，27A，28A和第二組端口26B，27B，28B之間的有效距離設(shè)置成使得端口之間的距離與微閥24中形成的開口位置一致。如有關(guān)微閥24操作所說(shuō)明的，端口26A和26B優(yōu)選地確定為儲(chǔ)存箱端口，并如下面將詳細(xì)說(shuō)明的互相連接。類似地，端口27A和27B優(yōu)選地確定為閥芯端口，并如下面將詳細(xì)說(shuō)明的互相連接。同樣，端口28A，28B優(yōu)選地為供應(yīng)端口，并如下面將詳細(xì)說(shuō)明的互相連接。蓋板12上的端口和微閥24中形成的通道具有圖示相對(duì)位置的原因?qū)⒏鶕?jù)圖2更詳細(xì)地說(shuō)明。但是，可以理解，形成在蓋板12上的端口可以以任何合適的方式排列，以使特定實(shí)施例微閥24和閥組件10剩余部分的合適部分連接，以實(shí)現(xiàn)閥組件10的期望功能。
現(xiàn)在參考中間板14(也如圖5-8所示)，中間板14具有與蓋板12相鄰的前表面18，和與端口板16相鄰的后表面20。中間板14可以比蓋板12和端口板16較厚。但是，這種尺寸差異不是必需的。第一通道30、一對(duì)對(duì)角相對(duì)的孔32A和32B以及一對(duì)相對(duì)的管34A和34B形成在中間板14的前表面18上。第二通道36和延伸穿過(guò)中間板14并延伸入第一通道30的孔38形成在中間板14的后表面上。優(yōu)選地，通道30和36形成為具有小于中間板14一半厚度的深度，使得通道30和36的部分可以布置在中間板14的完全相對(duì)側(cè)上(如果想這樣的話)，而不彼此流體相通。管34A和34B也可以形成為具有任何合適的深度，盡管優(yōu)選地是管34A和34B均具有小于中間板14厚度的深度。由于下面將說(shuō)明的目的，第二通道36與孔32A和32B流體相通。管34A和34B均與中間板14的切口部分40流體相通。應(yīng)該理解，通道30，36，管34A，34B，和孔32A，32B是與微閥相通的第一流體回路的一部分。第一流體回路的操作將在下面說(shuō)明。
切口40大致位于中間板14中央且尺寸適于容納閥芯42。閥芯42的形狀大致為矩形，并具有一個(gè)穿過(guò)其形成的淚滴形開口44，這樣，開口44具有一個(gè)窄端和一個(gè)寬端。優(yōu)選地，閥芯42的厚度略小于中間板14的厚度，使得閥芯42可以在中間板14的切口40中軸向運(yùn)動(dòng)?？?6也穿過(guò)閥芯形成，其與用作壓力平衡裝置的淚滴形開口44的窄端間隔開。閥芯42在作用于閥芯42側(cè)面47上的彈簧51作用下向中間板14的管34A和34B偏置。該彈簧通過(guò)塞子53被保持在中間板中。通過(guò)管34A和34B進(jìn)入切口40的第一流體回路的流體優(yōu)選地作用在閥芯42的相對(duì)側(cè)面49上。從而，如下面所解釋的，流體壓力將迫使閥芯42克服彈簧51的偏置，以產(chǎn)生第二流體源和負(fù)載之間的第二流體回路。
現(xiàn)在參考端口板16，穿過(guò)端口板16形成有供應(yīng)孔48，儲(chǔ)存箱孔50，負(fù)載孔52和排放孔54。供應(yīng)孔48優(yōu)選地與第一流體源(圖中未表示)相連。儲(chǔ)存箱孔50優(yōu)選地與第一儲(chǔ)存器或儲(chǔ)存箱(圖中未表示)相連。供應(yīng)孔48和儲(chǔ)存箱孔50優(yōu)選地實(shí)現(xiàn)為由微閥24控制的第一流體回路的一部分。負(fù)載孔52和排放孔54為由滑閥43控制的第二流體回路的一部分。排放孔54優(yōu)選地與壓力流體源(圖中未表示)的排放端相連。負(fù)載孔52優(yōu)選地與液壓操作負(fù)載相連。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，負(fù)載孔52與變?nèi)菔綁嚎s機(jī)的曲軸箱相連?？梢赃m于與本發(fā)明一起工作的壓縮機(jī)例子在授予Booth等人的美國(guó)專利6,390,782中公開，其公開內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考?！?82專利的壓縮機(jī)和控制閥與和該控制閥一起使用的微閥的結(jié)合如美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)No.60/525,224中所示，其公開內(nèi)容也全部結(jié)合于此作為參考。應(yīng)該可以理解，任何液壓操作裝置可以可操作地與根據(jù)本發(fā)明的閥組件10相連，用于與其一起操作。
下面，將說(shuō)明關(guān)于第一流體回路的閥組件10的結(jié)構(gòu)和操作。用于在流體回路中控制流體流動(dòng)的微閥裝置總的如圖1中的24所示。該微閥裝置24包括第一，第二和第三板56，58和60。微閥24的第二板58，和通過(guò)第二板58的開口可見的第三板60的一部分，在圖2-4中更清楚地表示。第二板58位于并附連在第一和第三板56，60之間。優(yōu)選地，每塊板56，58，60由半導(dǎo)體材料制成，例如硅。作為選擇地，板56，58，60可以由任何其它適合的材料制成，例如玻璃，陶瓷，鋁等。
在該公開中，有時(shí)會(huì)提到“關(guān)閉”的閥或被“覆蓋”或“阻擋”的端口。應(yīng)該理解，這些術(shù)語(yǔ)表示通過(guò)該閥或該端口的流量被充分地降低，使得任何殘余的泄漏流量在采用本文所述的微閥裝置的應(yīng)用場(chǎng)合中將相對(duì)微不足道。
微閥24的第一板56包括一對(duì)開口62A和62B，它們通向位于第二板58上的一對(duì)相應(yīng)的電觸點(diǎn)64A和64B。電觸點(diǎn)64A，64B接觸第二板58，并適于連接至用于提供在觸點(diǎn)64A和64B之間電流的合適電源(圖中未表示)。當(dāng)電觸點(diǎn)64A，64B通電時(shí)，電流在電觸點(diǎn)64A，64B之間流過(guò)致動(dòng)器68的肋66。接著，肋66熱膨脹。隨著肋66膨脹，肋66延長(zhǎng)，這接著導(dǎo)致脊70被移動(dòng)。通過(guò)調(diào)節(jié)通過(guò)肋66的電流量，可以控制肋66的膨脹量，從而控制脊70的移動(dòng)量。該微閥的致動(dòng)大致類似于授予Hunnicutt的美國(guó)專利6637722和PCT專利公開WO 01/71226中說(shuō)明的致動(dòng)機(jī)構(gòu)，其公開內(nèi)容全部結(jié)合于此作為參考。類似地，連接至脊的細(xì)長(zhǎng)梁的運(yùn)動(dòng)也大致類似于’722專利中所說(shuō)明的。多個(gè)與在閥組件10蓋板12上形成的端口26A，26B，27A，27B，28A和28B相應(yīng)的開口形成在微閥24的第三板60中。如下面所說(shuō)明，這些形成在微閥24第三板60上的開口根據(jù)梁的滑塊部分的位置被選擇性地覆蓋和露出。
脊70的運(yùn)動(dòng)接著造成細(xì)長(zhǎng)梁72的彎曲。這導(dǎo)致連接在細(xì)長(zhǎng)梁72相對(duì)端上的一對(duì)相對(duì)的擋塊端74A和74B運(yùn)動(dòng)。在圖示實(shí)施例中，梁72大致為I-形。但是，可以理解，梁72可以具有任何合適和期望的形狀。梁72圍繞鉸鏈75轉(zhuǎn)動(dòng)，以移動(dòng)擋塊74A和74B。擋塊74A和74B的運(yùn)動(dòng)選擇性地允許流過(guò)微閥24的端口，從而用作滑閥43的導(dǎo)引。在優(yōu)選實(shí)施例中，擋塊74A和74B可滑動(dòng)地在圖2，3和4中分別表示的第一位置，第二位置，和第三位置之間運(yùn)動(dòng)。每一擋塊74A和74B為大致成矩形的部件，并具有形成在其中的第一相對(duì)小開口76A，76B，形成在其中的第二相對(duì)小開口78A，78B，和形成在相對(duì)小開口之間的相對(duì)大的開口77A，77B。還優(yōu)選的是，每一擋塊上的小開口形成在各擋塊74A，74B的相對(duì)端。
梁70和每一擋塊74A，74B以與’722專利中所說(shuō)明的大致相似的方式用作梁和阻擋部分(圖5A，附圖標(biāo)記136)。如圖2中所示，該閥處于斷電位置。在該位置中，微閥24開啟，儲(chǔ)存箱端口26A和26B分別與閥芯端口27A和27B流體相通。由于流體通過(guò)微閥24從滑閥43的面49排放至第一流體回路的儲(chǔ)存箱，因此這可以被認(rèn)為是壓力釋放位置。如有關(guān)上部擋塊74A所示，最左側(cè)的開口76A與蓋板12的上部?jī)?chǔ)存箱端口26A相通，而中間開口77A通向閥芯端口27A。至于下部擋塊74B，中間開口77B通向蓋板14上的閥芯端27B，而最右側(cè)的開口76B與蓋板14上的另一個(gè)儲(chǔ)存箱端口26B相通。在圖2中所示的微閥位置中，與蓋板12上的供應(yīng)端口28A和28B相連的開口78A和78B與中間開口77A和77B隔離，從而與閥芯端口27A和27B隔離。
圖3中所示是表示處于第一通電位置的微閥24。當(dāng)微閥24通電時(shí)，每一擋塊74A和74B在相反的橫向方向上運(yùn)動(dòng)。隨著擋塊74A，74B運(yùn)動(dòng)至覆蓋儲(chǔ)存箱端口和供應(yīng)端口，每一擋塊74A，74B位置的改變將使供應(yīng)端口28A，28B和儲(chǔ)存箱端口26A，26B均與閥芯端口27A，27B隔離。這被認(rèn)為是壓力保持位置，此時(shí)沒有流體通過(guò)微閥24提供至管34A，34B并從而提供至滑閥43。類似地，在該壓力保持位置中，沒有流體從管34A和34B并從而從滑閥43通過(guò)微閥24供應(yīng)，也沒有流體從閥芯排出。從而，滑閥將保持在大致固定的位置。
圖4中所示是表示處于第二通電位置的微閥24。提供給微閥的能量將大于處于第一通電位置時(shí)提供給微閥的能量，從而向微閥24進(jìn)一步通電將造成擋塊74A，74B進(jìn)一步橫向運(yùn)動(dòng)。在該位置中，微閥24處于壓力增大位置。微閥的該壓力增大位置使形成在微閥24上的開口77A，77B(與形成在蓋板12上的閥芯端口27A，27B相通)與開口78A，78B(其與形成在蓋板12上的供應(yīng)端口28A，28B相連)流體相通。從供應(yīng)端口28A，28B進(jìn)入微閥24的流體優(yōu)選地為加壓流體，且將從微閥24流至形成在中間板14上的管34A，34B。從而，在該壓力增大位置，流體將作用在閥芯42的側(cè)面49上，以克服彈簧的偏置使閥芯42移動(dòng)。
下面將說(shuō)明作為第一流體回路一部分的流過(guò)中間板的流道?，F(xiàn)在參考圖5，示出大致如上所述的中間板14。當(dāng)微閥24位于壓力增大位置(圖4)時(shí)，供應(yīng)端口28A，28B與閥芯端口27A，27B流體相通，而微閥24位于上面所述的位置。這樣，通過(guò)供應(yīng)孔48連接至端口板16的高壓流體源將通過(guò)孔38向通道30供應(yīng)流體。然后，通道30導(dǎo)引流體流動(dòng)通過(guò)微閥24(流體通過(guò)擋塊74A，74B的開口77A，77B流入)，并流至滑閥43(流體通過(guò)微閥的開口28A，28B流出微閥24)。如上所述，微閥24的開口28A，28B分別與流體管34A和34B流體相通，流體管34A和34B接著導(dǎo)引流體流動(dòng)到閥芯42的側(cè)面49，以操作滑閥43，如下面關(guān)于第二流體回路的說(shuō)明。當(dāng)滑閥位于壓力增大位置時(shí)，閥芯42相對(duì)于閥組件10其它部分的位置如圖8中所示。當(dāng)微閥24位于壓力增大位置時(shí)，排放孔54與滑閥43的負(fù)載孔52隔離。
微閥24在圖2中所示處于壓力釋放位置。當(dāng)閥組件10在該情況下操作時(shí)，擋塊74A，74B運(yùn)動(dòng)至允許儲(chǔ)存箱端口26A，26B上方的開口76A，76B與閥芯端口27A，27B上方的開口77A，77B之間流體相通。在該壓力釋放位置，連接至源孔48的流體源與通道30隔離并與滑閥43隔離。從而，排放孔54與負(fù)載孔52流體相通(如圖7中所示)，且壓力增大至負(fù)載。但是，為了從滑閥43的面49釋放壓力，通過(guò)微閥24通向儲(chǔ)存器或儲(chǔ)存箱的通道開啟。從而，作用在閥芯42上的流體壓力釋放，使得閥芯42返回其彈簧偏置位置(圖7)。微閥24的位置使得通過(guò)開口77A，77B進(jìn)入微閥24的流體將通過(guò)開口76A，76B流出。流體從開口76A，76B將優(yōu)選地流過(guò)端口26A和26B，端口26A和26B接著分別連接至孔32A和32B。如圖6和7中最清楚地看出，孔32A和32B與通道36流體相通。通道36與和儲(chǔ)存箱相連的儲(chǔ)存箱孔50相連。從而，當(dāng)微閥24運(yùn)動(dòng)至壓力釋放位置時(shí)，流動(dòng)受控制以從滑閥43釋放壓力。在該位置中，壓力流體的第二流體回路源與第二流體回路負(fù)載流體相通(通過(guò)閥芯42中心)。
如圖3中所示，微閥布置在壓力保持位置。在這樣的位置，儲(chǔ)存箱和供應(yīng)源都與負(fù)載隔離。從而，基本上沒有流體流過(guò)微閥24。因此，沒有凈流體流至閥芯42的面49，從而無(wú)論在第二流體回路中產(chǎn)生什么水平的流體相通，均使該流體相通水平維持大致恒定。
下面將說(shuō)明第二流體回路的操作。第二流體回路允許流體從壓力流體源流至負(fù)載。如圖7中所示，滑閥43處于工作位置。在該位置中，彈簧將閥芯42向左側(cè)偏置(如圖中所示)，而排放孔54與開口44內(nèi)側(cè)的負(fù)載孔52流體相通。從而，可以如上述’782專利和’224申請(qǐng)中所說(shuō)明的那樣利用液壓負(fù)載。如圖8中所示，滑閥處于非工作位置。在該位置中，來(lái)自第一流體回路的流體將作用在閥芯43的側(cè)面49上，導(dǎo)致閥芯42克服彈簧的偏置而運(yùn)動(dòng)。閥芯42克服彈簧偏置的運(yùn)動(dòng)將導(dǎo)致閥芯42阻擋排放孔54。從而，排放孔54將與負(fù)載孔52隔離，防止壓力流體流至負(fù)載。在如圖8中所示的滑閥43位置中，壓力平衡孔46將作用在閥芯42的下表面上(可選地，可以是上表面)，以防止流體壓力迫使閥芯靠在蓋板12和端口板16上，這會(huì)造成閥芯結(jié)合到這些板上。從而，閥芯42將可以在滑閥43的操作過(guò)程中，基本平滑地在切口40中來(lái)回滑動(dòng)。
應(yīng)該可以理解，在替代實(shí)施例中，閥組件10能夠以與上述閥組件10的設(shè)置方式相反的方式設(shè)置，從而微閥24通常布置成允許流體從壓力流體源流至滑閥43。作為選擇地，閥組件10可以按照任何合適的方式修改，以實(shí)現(xiàn)任何期望的根據(jù)本發(fā)明的流動(dòng)模式。
在圖9中所示的替代實(shí)施例中，閥組件(總的由100表示)表示為具有圓形閥芯。在該實(shí)施例中，微閥(圖中未表示)大致與本發(fā)明第一實(shí)施例所說(shuō)明的一樣，其與蓋板102相連。結(jié)合墊104優(yōu)選地形成在蓋板102上，使得微閥可以更容易地附著在蓋板102上。微閥的操作將優(yōu)選地也基本上與上面所述的一樣。蓋板中也形成有多個(gè)端口，總的用106表示，其與上述有關(guān)第一層12描述的端口(26A，26B，27A，27B，28A，28B)的設(shè)計(jì)和操作基本類似。
如圖10中所示，更詳細(xì)地表示了閥組件100的中間板108。在中間板108中形成有腔109，其中容納閥芯110。如圖10中所示，微閥致動(dòng)器將通電，從而向閥芯100左端施加排放壓力。該排放壓力還通過(guò)形成在反作用銷112端部的孔114作用在反作用銷112上，以及作用在閥芯110的中心。在排放壓力作用在反作用銷112上的情況下，通過(guò)吸入管122形成的吸入壓力產(chǎn)生在彈簧腔116中的彈簧121上。彈簧121可以通過(guò)塞子118與滑閥組件100固定在一起，與上面所述的彈簧51和塞子53基本相同?；y100的操作包括通過(guò)使用微閥成比例地減小閥芯110左端(如圖10中所示)上的壓力，以控制離開閥芯110的流動(dòng)。然后可以克服彈簧121和反作用銷112的力來(lái)調(diào)節(jié)閥芯110的位置，以將排放壓力通向負(fù)載，例如通過(guò)排放管120a到曲軸箱120，并選擇性地使壓縮機(jī)(圖中未顯示)不工作(de-stroke)，該壓縮機(jī)為由閥100提供的負(fù)載。在“沒電”(no power)的故障模式中，其中沒有電供應(yīng)給微閥致動(dòng)器，微閥將向閥芯110左端施加吸入壓力。從而彈簧121和反作用銷112將使閥芯110向左移動(dòng)。這會(huì)使排放完全通向通往曲軸箱120的通道，并使壓縮機(jī)不工作。即使當(dāng)由于作用在反作用銷112上的力相對(duì)于作用在閥芯110左端上的力較低，從而有較低的壓力差(例如，排放對(duì)吸入大約為10psi)時(shí)，閥芯110也可以移動(dòng)到如圖10中所示的位置。從而，以與上述實(shí)施例相似的方式，與微閥相通的端口也與向閥芯110提供流體以克服彈簧121和反作用銷112的偏置移動(dòng)閥芯110的通道相通。通過(guò)控制閥芯110的位置，孔114向儲(chǔ)存器提供流體，或從負(fù)載向儲(chǔ)存器提供流體。流體源可以是任何合適的流體源，例如上面所述的那些。
在圖11中，表示了一個(gè)大致與圖9和10中所示閥組件類似的閥組件150。相似的部件將用相似的附圖標(biāo)記表示。應(yīng)該可以理解，閥組件150的操作將與上面所述的那些閥基本類似。圖11中特別表示了閥組件150的中間板152。在該實(shí)施例中，閥組件150對(duì)閥組件100的改進(jìn)是包括了隔膜154。隔膜154的基本目的是防止泄漏通過(guò)閥芯110。另外，在該實(shí)施例中，用于驅(qū)動(dòng)閥組件150操作的流體是加壓空氣。換句話說(shuō)，閥組件150可以是氣動(dòng)操作的。但是，應(yīng)該可以理解，這里圖示和說(shuō)明的任何閥組件可以使用任何合適的流體。在該實(shí)施例中，通過(guò)控制閥(圖中未表示)施加控制壓力，該控制閥可以是諸如上面所述的微閥?？刂茐毫?yōu)選地通過(guò)入口156施加。當(dāng)施加高壓時(shí)，隔膜154向右側(cè)推動(dòng)閥芯110(如圖中所示)。閥芯110的這種動(dòng)作關(guān)閉排放端口158和負(fù)載端口160之間的流道。從而，流向曲軸箱的流動(dòng)(例如上面所述的)基本停止。同時(shí)，端口162和端口164(吸入管)之間的流道開啟。這在曲軸箱和吸入管之間產(chǎn)生流動(dòng)，造成壓縮機(jī)的上升行程。在通過(guò)入口156施加低壓時(shí)，通過(guò)反作用銷112的小孔114的反作用向左側(cè)推動(dòng)閥芯。這種運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生端口158和端口160之間流道開啟的效果，同時(shí)端口162和端口164之間流道關(guān)閉的效果?？梢酝ㄟ^(guò)改變經(jīng)過(guò)孔114作用在反作用銷112上的排放，而提供可變反饋。閥組件150的該實(shí)施例中還增加了一個(gè)附加端口166，以將隔膜154的背側(cè)通向吸入。還可以在反作用銷112附近包括通向吸入的第二端口168，以從閥組件150的該端排出流體。雖然上述各個(gè)端口的方向以特定的方式表示，應(yīng)該可以理解端口可以以任何合適的方式定向，以根據(jù)期望用途方便閥組件150的位置和操作。
應(yīng)該可以理解，上述任何實(shí)施例可以構(gòu)造成用液壓流體源或氣動(dòng)流體源操作，具有本領(lǐng)域普通技術(shù)人員公知的很小改進(jìn)。
本發(fā)明的操作原理和模式已經(jīng)在其優(yōu)選實(shí)施例中進(jìn)行了說(shuō)明。但是，應(yīng)該注意本發(fā)明可以不同于特定表示和說(shuō)明的方式實(shí)施，而沒有偏離本發(fā)明的范圍。
權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)1、一種微閥裝置，包括宏尺寸的第一閥，其包括多個(gè)限定本體的層，該本體具有腔室和多個(gè)與該腔室流體相通的端口，該多個(gè)端口中的至少兩個(gè)形成第一流體回路的一部分，而該多個(gè)端口中的至少兩個(gè)形成第二流體回路的一部分；和通過(guò)作用于其上的控制壓力而被置于所述腔室中的可動(dòng)部分，該可動(dòng)部分可選擇性地移動(dòng)以控制第二流體回路中的流體流動(dòng)，所述可動(dòng)部分為扁平閥芯或圓形閥芯之一；和多端口微閥，用于控制第一流體回路中的流體流動(dòng)，以影響作用在所述可動(dòng)部分上的控制壓力，該控制壓力由多端口微閥的位置決定；其中，第一閥的可動(dòng)部分可選擇性地在第一位置和第二位置之間控制，在第一位置中第二流體回路的端口之間流體相通，而在第二位置中防止第二流體回路的端口之間流體相通。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微閥裝置，其中，所述第一流體回路包括第一流體源和第一流體儲(chǔ)存器；其中，所述多端口微閥可選擇地移動(dòng)至第一位置，以允許流體從第一流體源流至該腔室，以關(guān)閉第一閥；和第二位置，以允許流體從該腔室流至所述儲(chǔ)存器，以開啟第一閥。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微閥裝置，其中，在微閥的第一位置中，流體從該腔室流至儲(chǔ)存器，以減小所述控制壓力并開啟第一閥，而在微閥的第二位置中，流體從流體源流至該腔室，以增加所述控制壓力并關(guān)閉第一閥。
4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的微閥裝置，其中，第二流體回路的第一端口與負(fù)載相連，而第二流體回路的第二端口與流體源相連。
5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的微閥裝置，其中，通過(guò)微閥使第一閥的開啟允許流體從所述流體源通過(guò)第一閥流至所述負(fù)載。
6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的微閥裝置，其中，通過(guò)微閥使第一閥的關(guān)閉防止流體從所述流體源通過(guò)第一閥流至所述負(fù)載。
7、一種微閥裝置，包括微閥先導(dǎo)閥，其包括第一層、形成有多個(gè)貫穿開口的第三層及位于第一層和第三層之間的第二層，第二層包括與所述開口流體相通的腔室和用于選擇性地控制流體流過(guò)該腔室和流經(jīng)所述開口之間的可動(dòng)部件；和先導(dǎo)操作閥，包括第一板、第三板及位于第一板和第三板之間的第二板；其中，第一板包括多個(gè)與所述微閥開口、壓力供應(yīng)通道和壓力釋放通道流體相通的端口；第二板包括所述壓力供應(yīng)通道和所述壓力釋放通道，這兩個(gè)通道都與先導(dǎo)操作閥的閥芯部分流體相通，該閥芯部分可選擇性地移動(dòng)，以允許從第二流體源到負(fù)載的流動(dòng)；第三板包括與第一流體源、所述壓力供應(yīng)通道、第一板端口中的一個(gè)和微閥開口中的一個(gè)流體相通的第一源端口；與第一儲(chǔ)存器、所述壓力釋放通道、第一板端口中的一個(gè)和微閥開口中的一個(gè)流體相通的第一儲(chǔ)存器端口；與所述第二流體源流體相通的第二源端口；和與所述負(fù)載流體相通的負(fù)載端口。
8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為宏尺寸閥。
9、根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為板閥。
10、根據(jù)權(quán)利要求8所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為板閥。
11、根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為滑閥。
12、根據(jù)權(quán)利要求8所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為滑閥。
13、根據(jù)權(quán)利要求12所述的微閥裝置，其中，滑閥包括布置在第二板的切口部分中并構(gòu)造成在切口部分中軸向移動(dòng)的閥芯。
14、根據(jù)權(quán)利要求13所述的微閥裝置，其中，閥芯包括穿過(guò)閥芯形成的第一開口和第二開口，使得當(dāng)?shù)谝婚_口位于所述負(fù)載端口和源端口上方且第二開口被阻擋時(shí)滑閥致動(dòng)，而當(dāng)?shù)谝婚_口位于所述負(fù)載端口上方且第二開口位于第二儲(chǔ)存器端口上方且閥芯阻擋所述供應(yīng)端口時(shí)使滑閥不致動(dòng)。
15、一種板閥，包括第一板，其限定了多個(gè)與第二板相連的端口；第二板，其限定了腔室，該腔室具有位于其中的閥芯，該閥芯可在第一位置和第二位置之間移動(dòng)；并且第二板限定了多個(gè)流體通道，所述流體通道與所述多個(gè)端口流體相通；和第三板，其包括與第一流體源相連的第一端口，與儲(chǔ)存器相連的第二端口，與第二流體源相連的第三端口，和與負(fù)載相連的第四端口；其中，所述流體通道之一使第一流體源與第一板的多個(gè)開口之一及閥芯連接，流體通道中的另一個(gè)使儲(chǔ)存器與第一板多個(gè)開口之一及閥芯連接；其中，閥芯的移動(dòng)由流體從第一流體源流到閥芯，和從閥芯流到儲(chǔ)存器的至少一種所造成；且閥芯的移動(dòng)在第二流體源和負(fù)載之間產(chǎn)生流道。
16、根據(jù)權(quán)利要求15所述的板閥，其中，該閥為宏尺寸。
17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的板閥，其中，第一板的多個(gè)開口與微閥流體相通，該板閥用作用于該板閥的先導(dǎo)閥。
18、根據(jù)權(quán)利要求15所述的板閥，其中，閥芯為圓形閥芯。
19、根據(jù)權(quán)利要求18所述的板閥，還包括隔膜，該隔膜位于閥芯的一端。
20、根據(jù)權(quán)利要求19所述的板閥，其中，流體是液壓流體和空氣之一。
權(quán)利要求
1.一種用于控制第一閥操作的微閥，包括多個(gè)限定本體的層，該本體具有腔室和多個(gè)與該腔室流體相通的端口；位于所述腔室中的可動(dòng)部分，該可動(dòng)部分選擇性地移動(dòng)以控制在第一流體回路中的流體流動(dòng)；其中，當(dāng)流體從第一流體源流過(guò)該腔室時(shí)，所述第一閥移動(dòng)至第一位置，而當(dāng)流體從第一閥通過(guò)該腔室流至第一流體儲(chǔ)存器時(shí)，第一閥移動(dòng)至第二位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微閥，其中，所述第一流體回路包括所述第一流體源和所述第一流體儲(chǔ)存器；其中，所述可動(dòng)部分選擇性地可移動(dòng)到下列情況之一允許流體從所述第一流體源流過(guò)該腔室以致動(dòng)所述第一閥；和允許所述第一流體從所述第一閥流至所述第一流體儲(chǔ)存器以使第一閥不致動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微閥，其中，從該腔室流至第一閥的流體致動(dòng)第一閥，而從第一閥流至該腔室的流體使第一閥不致動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微閥，還包括具有負(fù)載和第二流體儲(chǔ)存器的第二流體回路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微閥，其中，第一閥通過(guò)微閥的致動(dòng)允許流體從第二源通過(guò)第一閥流至負(fù)載。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微閥，其中，通過(guò)微閥使第一閥的不致動(dòng)允許流體從負(fù)載通過(guò)第一閥流至第二流體儲(chǔ)存器。
7.一種微閥裝置，包括微閥先導(dǎo)閥，其包括第一層、形成有多個(gè)貫穿開口的第三層及位于第一層和第三層之間的第二層，第二層包括與所述開口流體相通的腔室和用于選擇性地控制流體流過(guò)該腔室和流經(jīng)所述開口之間的可動(dòng)部件；和先導(dǎo)操作閥，包括第一板、第三板及位于第一板和第三板之間的第二板；其中，第一板包括多個(gè)與所述微閥開口、壓力供應(yīng)通道和壓力釋放通道流體相通的端口；第二板包括所述壓力供應(yīng)通道和所述壓力釋放通道，這兩個(gè)通道都與先導(dǎo)操作閥的閥芯部分流體相通，該閥芯部分可選擇性地移動(dòng)，以允許從第二流體源到負(fù)載的流動(dòng)；第三板包括與第一流體源、所述壓力供應(yīng)通道、第一板端口中的一個(gè)和微閥開口中的一個(gè)流體相通的第一源端口；與第一儲(chǔ)存器、所述壓力釋放通道、第一板端口中的一個(gè)和微閥開口中的一個(gè)流體相通的第一儲(chǔ)存器端口；與所述第二流體源流體相通的第二源端口；和與所述負(fù)載流體相通的負(fù)載端口。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為宏尺寸閥。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為板閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為板閥。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為滑閥。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微閥裝置，其中，先導(dǎo)操作閥為滑閥。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微閥裝置，其中，滑閥包括布置在第二板的切口部分中并構(gòu)造成在切口部分中軸向移動(dòng)的閥芯。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的微閥裝置，其中，閥芯包括穿過(guò)閥芯形成的第一開口和第二開口，使得當(dāng)?shù)谝婚_口位于所述負(fù)載端口和源端口上方且第二開口被阻擋時(shí)滑閥致動(dòng)，而當(dāng)?shù)谝婚_口位于所述負(fù)載端口上方且第二開口位于第二儲(chǔ)存器端口上方且閥芯阻擋所述供應(yīng)端口時(shí)使滑閥不致動(dòng)。
15.一種板閥，包括第一板，其限定了多個(gè)與第二板相連的端口；第二板，其限定了腔室，該腔室具有位于其中的閥芯，該閥芯可在第一位置和第二位置之間移動(dòng)；并且第二板限定了多個(gè)流體通道，所述流體通道與所述多個(gè)端口流體相通；和第三板，其包括與第一流體源相連的第一端口，與儲(chǔ)存器相連的第二端口，與第二流體源相連的第三端口，和與負(fù)載相連的第四端口；其中，所述流體通道之一使第一流體源與第一板的多個(gè)開口之一及閥芯連接，流體通道中的另一個(gè)使儲(chǔ)存器與第一板多個(gè)開口之一及閥芯連接；其中，閥芯的移動(dòng)由流體從第一流體源流到閥芯，和從閥芯流到儲(chǔ)存器的至少一種所造成；且閥芯的移動(dòng)在第二流體源和負(fù)載之間產(chǎn)生流道。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的板閥，其中，該閥為宏尺寸。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的板閥，其中，第一板的多個(gè)開口與微閥流體相通，該板閥用作用于該板閥的先導(dǎo)閥。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的板閥，其中，閥芯為圓形閥芯。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的板閥，還包括隔膜，該隔膜位于閥芯的一端。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的板閥，其中，流體是液壓流體和空氣之一。
全文摘要
一種微閥裝置包括先導(dǎo)閥和先導(dǎo)操作閥。先導(dǎo)閥包括具有開口的第一層，和具有與這些開口流體相通的腔室的第二層，和用于控制流體流動(dòng)的可動(dòng)部件。先導(dǎo)操作閥包括三個(gè)板。兩個(gè)開口，壓力供應(yīng)和壓力釋放通道與先導(dǎo)操作閥的閥芯部分流體相通。閥芯可動(dòng)以允許從第二流體源到負(fù)載的流動(dòng)。第三板包括與第一流體，所述壓力供應(yīng)和壓力釋放通道，第一板端口中的一個(gè)，所述開口中的一個(gè)流體相通的第一源端口，與第一儲(chǔ)存器流體相通的第一端口，與第二流體源流體相通的第二端口，和與負(fù)載流體相通的負(fù)載端口。
文檔編號(hào)F16K31/00GK1922423SQ200580006045
公開日2007年2月28日 申請(qǐng)日期2005年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月27日
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