本技術(shù)涉及鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的成膜，尤其是涉及一種制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池，是利用鈣鈦礦型的有機(jī)金屬鹵化物半導(dǎo)體作為吸光材料的太陽(yáng)能電池，屬于第三代太陽(yáng)能電池。常見(jiàn)的鈣鈦礦太陽(yáng)能電池主要由導(dǎo)電玻璃層、底電極、電子傳輸層、鈣鈦礦層、空穴傳輸層、頂電極幾個(gè)部分組成。其中高質(zhì)量鈣鈦礦薄膜的制備是實(shí)現(xiàn)高效穩(wěn)定鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的重要基礎(chǔ)，制備鈣鈦礦薄膜主要步驟包括：1)使用涂布法制備鈣鈦礦液膜；2)使用風(fēng)刀干燥法或者真空干燥法對(duì)鈣鈦礦液膜進(jìn)行干燥結(jié)晶后形成鈣鈦礦干膜；3)對(duì)鈣鈦礦干膜進(jìn)行高溫退火處理制得鈣鈦礦薄膜；經(jīng)過(guò)國(guó)內(nèi)外設(shè)備廠商的研發(fā)，涂布機(jī)設(shè)備以及高溫退火設(shè)備已經(jīng)很成熟了，是可以滿足目前鈣鈦礦行業(yè)的技術(shù)要求，目前限制鈣鈦礦太陽(yáng)能發(fā)展的主要難點(diǎn)在于干燥結(jié)晶設(shè)備，鈣鈦礦液膜干燥結(jié)晶時(shí)若出現(xiàn)結(jié)晶晶粒小，均勻性差等問(wèn)題會(huì)直接影響鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的性能和壽命。

2、目前鈣鈦礦薄膜干燥結(jié)晶的主要方法包括真空抽氣法，真空抽氣法是通過(guò)在玻璃下方快速抽真空達(dá)到負(fù)壓來(lái)引導(dǎo)鈣鈦礦膜干燥及結(jié)晶，真空抽氣法節(jié)拍較短，可以滿足目前大面積鈣鈦礦電池量產(chǎn)產(chǎn)量的需求，但是常規(guī)的真空抽氣裝置結(jié)構(gòu)容易導(dǎo)致結(jié)晶均勻性不好，影響鈣鈦礦太陽(yáng)能電池效率和穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，所述鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備有利于提高鈣鈦礦成膜的均勻性。

2、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備包括：殼體，所述殼體內(nèi)具有密閉的容納空間；基臺(tái)，所述基臺(tái)安裝在所述容納空間內(nèi)，用于承載玻璃基板；以及抽真空組件，所述抽真空組件包括真空泵和抽真空管，所述真空泵和所述抽真空管均設(shè)置有多個(gè)，每個(gè)所述抽真空管的一端與一個(gè)所述真空泵連通，另一端均與所述容納空間連通，其中，多個(gè)所述抽真空管的長(zhǎng)度相等。

3、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，通過(guò)使得多個(gè)抽真空管的長(zhǎng)度相等，可以使得多個(gè)真空泵啟動(dòng)后對(duì)容納空間的抽吸動(dòng)作的時(shí)間較為一致，從而使得容納空間內(nèi)的氣流較為穩(wěn)定，不易對(duì)未結(jié)晶的鈣鈦礦造成影響，有利于提高鈣鈦礦成膜的均勻性。

4、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述殼體包括上殼板和連接在所述上殼板外周沿的壁板，所述上殼板上設(shè)置有第一抽氣孔，所述壁板上設(shè)置有第二抽氣孔，所述第一抽氣孔位于所述玻璃基板中心位置的正上方，所述第二抽氣孔設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述第二抽氣孔分別兩兩相對(duì)地設(shè)置在所述玻璃基板的兩側(cè)。

5、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述抽真空組件還包括抽氣管，所述抽氣管包括主管路、第一支管路和第二支管路，所述第一支管路和所述第二支管路并聯(lián)在所述主管路和所述容納空間之間，每個(gè)所述抽真空管朝向所述容納空間的一端均與所述主管路相連，并通過(guò)所述抽真空管于所述容納空間連通。

6、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述主管路上設(shè)置有：第一控制閥，所述第一控制閥的開(kāi)度可調(diào)；第二控制閥，所述第二控制閥位于所述第一控制閥朝向所述真空泵的一側(cè)。

7、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，抽真空設(shè)備還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述殼體包括上殼體和下殼體，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述上殼體和/或所述下殼體活動(dòng)，以打開(kāi)或者關(guān)閉所述容納空間。

8、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述上殼體包括上殼板和環(huán)繞在所述上殼板外周側(cè)的壁板，所述上殼板和所述壁板構(gòu)造出開(kāi)口向下的容納空間，所述下殼體適于從所述開(kāi)口進(jìn)入所述容納空間，并與所述壁板密封連接，以密封所述容納空間。

9、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述基臺(tái)包括多個(gè)安裝在所述下殼體上的升降桿，所述升降桿升降動(dòng)作，以使得所述玻璃基板上下活動(dòng)。

10、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述下殼體內(nèi)安裝有控溫裝置，所述控溫裝置用于通過(guò)所述基臺(tái)將熱量傳遞給所述玻璃基板，以控制所述玻璃基板的溫度。

11、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，抽真空設(shè)備還包括破真空組件，所述破真空組件包括氣泵和供氣管，所述供氣管的一端與所述氣泵連通，另一端與所述容納空間連通。

12、在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述殼體包括底壁，所述底壁上設(shè)置有與所述容納空間連通的進(jìn)氣孔，所述供氣管與所述進(jìn)氣孔連通，其中，所述進(jìn)氣孔設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)氣孔沿所述底壁的中心位置對(duì)稱設(shè)置。

13、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述殼體包括上殼板和連接在所述上殼板外周沿的壁板，所述上殼板上設(shè)置有第一抽氣孔，所述壁板上設(shè)置有第二抽氣孔，所述第一抽氣孔位于所述玻璃基板中心位置的正上方，所述第二抽氣孔設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述第二抽氣孔分別兩兩相對(duì)地設(shè)置在所述玻璃基板的兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述抽真空組件還包括抽氣管，所述抽氣管包括主管路、第一支管路和第二支管路，所述第一支管路和所述第二支管路并聯(lián)在所述主管路和所述容納空間之間，每個(gè)所述抽真空管朝向所述容納空間的一端均與所述主管路相連，并通過(guò)所述抽氣管與所述容納空間連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述主管路上設(shè)置有：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述殼體包括上殼體和下殼體，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述上殼體和/或所述下殼體活動(dòng)，以打開(kāi)或者關(guān)閉所述容納空間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述上殼體包括上殼板和環(huán)繞在所述上殼板外周側(cè)的壁板，所述上殼板和所述壁板構(gòu)造出開(kāi)口向下的容納空間，所述下殼體適于從所述開(kāi)口進(jìn)入所述容納空間，并與所述壁板密封連接，以密封所述容納空間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述基臺(tái)包括多個(gè)安裝在所述下殼體上的升降桿，所述升降桿升降動(dòng)作，以使得所述玻璃基板上下活動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述下殼體內(nèi)安裝有控溫裝置，所述控溫裝置用于通過(guò)所述基臺(tái)將熱量傳遞給所述玻璃基板，以控制所述玻璃基板的溫度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，還包括破真空組件，所述破真空組件包括氣泵和供氣管，所述供氣管的一端與所述氣泵連通，另一端與所述容納空間連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述殼體包括底壁，所述底壁上設(shè)置有與所述容納空間連通的進(jìn)氣孔，所述供氣管與所述進(jìn)氣孔連通，其中，所述進(jìn)氣孔設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)氣孔沿所述底壁的中心位置對(duì)稱設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，抽真空設(shè)備包括殼體、基臺(tái)和抽真空組件，殼體內(nèi)具有密閉的容納空間；基臺(tái)安裝在容納空間內(nèi)，用于承載玻璃基板；抽真空組件包括真空泵和抽真空管，真空泵和抽真空管均設(shè)置有多個(gè)，每個(gè)抽真空管的一端與一個(gè)真空泵連通，另一端均與容納空間連通，其中，多個(gè)抽真空管的長(zhǎng)度相等。根據(jù)本技術(shù)實(shí)施例的制備鈣鈦礦薄膜的抽真空設(shè)備，通過(guò)使得多個(gè)抽真空管的長(zhǎng)度相等，可以使得多個(gè)真空泵啟動(dòng)后對(duì)容納空間的抽吸動(dòng)作的時(shí)間較為一致，從而使得容納空間內(nèi)的氣流較為穩(wěn)定，不易對(duì)未結(jié)晶的鈣鈦礦造成影響，有利于提高鈣鈦礦成膜的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山協(xié)鑫光電材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240327
技術(shù)公布日：2024/12/26