1.一種機液伺服缸，包括缸體(11)、中空活塞桿(9)、缸底(12)、缸頭(10)、電機(1)、以及各個流道和進回油口，其特征是，還包括中空螺旋桿(2)、閥芯(3)、閥套(5)、導向滑塊(4)、回油口(15)、進油口(16)、通后腔油路(6)和通待分配區(qū)油路(7)；閥套(5)與中空活塞桿(9)固定為一個整體，中空活塞桿(9)在缸體(11)中只作直線運動，導向滑塊(4)固定在閥芯(3)上，其探出端在閥套(5)的滑槽內(nèi)延中空活塞桿運動方向直線滑動；空心螺旋桿(2)與閥芯(3)組成螺旋副，空心活塞桿(9)的頭部穿過缸底(12)與電機(1)相連接；閥芯(3)中間為油路的密封和切換作用的凸臺，高壓油經(jīng)進油口(16)進入油缸前腔(14)，后經(jīng)通待分區(qū)油路(7)進入高壓油待分區(qū)(8)，待分配；電機(1)轉(zhuǎn)動中空螺旋桿(2)，帶動閥芯(3)在導向滑塊(4)的作用下運動，切換油路；回油通過桿內(nèi)腔(17)，流經(jīng)中空螺旋桿(2)的空心，穿過缸底(12)回油管路，從回油口(15)回油；空心螺旋桿(2)、閥芯(3)組成螺旋副，與導向滑塊(4)配合，將空心螺旋桿(2)的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換成閥芯(3)的直線運動。
2.根據(jù)權利要求1所述的機液伺服缸，其特征在于，中空螺旋桿(2)、閥芯(3)的螺紋為螺紋或絲杠。
3.根據(jù)權利要求1所述的機液伺服缸，其特征在于，電機(1)為步進電機或伺服電機。
4.根據(jù)權利要求1所述的機液伺服缸，其特征在于，流體介質(zhì)為各種液體或氣體介質(zhì)。
5.根據(jù)權利要求1所述的機液伺服缸，其特征在于，閥套(5)為獨立的閥套或在中空活塞桿(9)上加工而成。
6.根據(jù)權利要求1所述的機液伺服缸，其特征在于，導向滑塊(4)固定在閥芯3上，其探出端在閥套(5)的滑槽內(nèi)滑動，或固定在閥套(5)上，其探出端在閥芯(3)的滑槽內(nèi)滑動。