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技術(shù)特征:

1.一種用于連接平盤真空管道的平盤真空泵群,包括平盤(3),其特征在于,所述平盤(3)的中部設(shè)置有管道組件(4),所述管道組件(4)的一端連接有第一真空管(2),且所述管道組件(4)的另一端設(shè)置有第二真空管(5),所述第一真空管(2)的一端設(shè)置有第一螺旋管(1),所述第二真空管(5)的一端設(shè)置有第二螺旋管(6),所述平盤(3)的中部設(shè)置有泵體(9),所述泵體(9)的頂端設(shè)置有端蓋(12),所述端蓋(12)的中部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)座(14),且所述旋轉(zhuǎn)座(14)的兩端分別連接進(jìn)氣管(11)和出氣管(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于連接平盤真空管道的平盤真空泵群,其特征在于,所述進(jìn)氣管(11)和所述出氣管(13)均連接輸氣管道(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于連接平盤真空管道的平盤真空泵群,其特征在于,所述輸氣管道(10)與所述管道組件(4)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于連接平盤真空管道的平盤真空泵群,其特征在于,所述平盤(3)的表面安裝有電控箱(7),所述電控箱(7)的表面設(shè)置有兩個(gè)電控按鈕(8)。

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