1.一種伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的槽凸輪式微流量柱塞泵，包括泵體(6)，泵體(6)與上端蓋(2)和下端蓋(14)固定連接并密封，其特征在于：上端蓋(2)上固定的伺服電機(jī)(1)的電機(jī)軸與諧波減速器組件(4)連接，諧波減速器組件(4)包括相互配合的輸入剛輪(25)和輸出剛輪(24)，輸入剛輪(25)與上端蓋(2)固定連接，輸出剛輪(24)與套筒(23)固定連接，套筒(23)、輸出剛輪(24)通過(guò)第一軸承(3)連接在泵體(6)內(nèi)壁，套筒(23)與軸(16)的上端連接，軸(16)中部開有槽凸輪(18)，槽凸輪(18)是由軸(16)中部的兩平行曲面與圓柱面圍成的環(huán)形槽道，平行曲面與以軸(16)中軸為軸線的任意圓柱面的交線為幅值沿軸(16)軸向起伏的兩周期封閉曲線；
泵體(6)中部沿圓周均布4個(gè)柱塞孔(17)，柱塞(21)下部與柱塞孔(17)通過(guò)密封圈形成滑動(dòng)密封配合，柱塞(21)上部與直線軸承(22)形成滑動(dòng)配合，直線軸承(22)安裝在內(nèi)板(5)上，內(nèi)板(5)安裝在泵體(6)的臺(tái)肩上，連桿(20)與柱塞(21)作為整體加工成一體，連桿(20)的臺(tái)肩上裝有塑料軸承(19)，塑料軸承(19)安裝在槽凸輪(18)內(nèi)，與槽凸輪(18)形成滾動(dòng)配合；
軸(16)的下端通過(guò)第二軸承(15)安裝在下端蓋(14)內(nèi)，軸(16)下部連接配油盤(7)，配油盤(7)與泵體(6)通過(guò)多個(gè)密封圈在配油盤(7)的徑向和端面形成動(dòng)密封配合，配油盤(7)和柱塞孔(17)配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的槽凸輪式微流量柱塞泵，其特征在于：所述的配油盤(7)上設(shè)有2個(gè)吸液槽(8)和2個(gè)排液槽(13)，在吸液槽(8)的底部開有環(huán)形吸液流道(12)，在排液槽(13)的底部開有環(huán)形排液流道(10)，吸液槽(8)的底部通過(guò)配油盤(7)上的吸液孔(9)與環(huán)形吸液流道(12)連通，排液槽(13)的底部通過(guò)配油盤(7)上的排液孔(11)與環(huán)形排液流道(10)連通，泵體(6)上設(shè)有與環(huán)形吸液流道(12)連通的吸液口(P)，以及與環(huán)形排液流道(10)連通的排油口(A)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的槽凸輪式微流量柱塞泵，其特征在于：所述的伺服電機(jī)(1)結(jié)合槽凸輪(18)的曲線進(jìn)行調(diào)速，改變轉(zhuǎn)速大小和波動(dòng)，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)泵的輸出流量，并維持輸出流量穩(wěn)定。