技術特征：

技術總結
本發(fā)明主要針對抽速要求高且真空室空間有限的一種新型設計，通過合理布置本發(fā)明設計了一種具有三級吸附結構的直板式內(nèi)置低溫泵結構，有效的解決了熱負荷與氣體流導之間的矛盾，在有限的空間實現(xiàn)了高抽速，且控制了運行成本。三級吸附結構包括三級輻射屏蔽板和三級冷凝吸附板，吸附單元豎直裝配，相互獨立，多個吸附單元構成吸附陣列，被液氮溫度的輻射屏蔽殼體包圍。吸附單元之間的間隙大大提高了氣體流導，與人字形結構相比，氣體流導增加了30～40％，滿足了有限空間的抽速需求，而不同位置的表面采取不同表面處理工藝，降低冷凝吸附板上的熱輻射，使得整體的液氦消耗量下降。

技術研發(fā)人員：楊憲福;劉偉成;曹建勇
受保護的技術使用者：核工業(yè)西南物理研究院;蘭州華宇航天技術應用有限責任公司
技術研發(fā)日：2015.12.30
技術公布日：2017.07.07