本發(fā)明涉及液壓泵和液壓馬達(dá)等的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法，更具體地說，涉及一種與構(gòu)成液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的缸體中的缸孔(cylinderbore、缸膛)和活塞的滑動(dòng)部分有關(guān)的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法。

背景技術(shù)：
以液壓泵和液壓馬達(dá)為代表的液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)器由很多滑動(dòng)部件構(gòu)成。它們的滑動(dòng)面根據(jù)因高滑動(dòng)面壓力而造成的潤(rùn)滑油膜斷裂、因控制液壓的變動(dòng)而造成的滑動(dòng)接觸狀態(tài)的不穩(wěn)定化等的影響，而具有滑動(dòng)面彼此之間產(chǎn)生燒結(jié)和一部分異常磨損等的風(fēng)險(xiǎn)。因此，構(gòu)成滑動(dòng)部的滑動(dòng)部件幾乎都是由鋼鐵材料制造的。尤其是，作為液壓泵、液壓馬達(dá)等液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)器的代表性構(gòu)成部件的、缸體的缸孔的滑動(dòng)面，因基于與作為滑動(dòng)對(duì)象的活塞的不全面接觸而進(jìn)行的滑動(dòng)，所以特別容易發(fā)生磨損和燒結(jié)現(xiàn)象，強(qiáng)烈希望這種情況能夠得到改善。在專利文獻(xiàn)1中，為了防止在缸孔的滑動(dòng)面上因活塞的不全面接觸而在高表面壓力滑動(dòng)接觸部位上產(chǎn)生磨損，相對(duì)于通過切削加工而粗加工形成的作為缸體及其滑動(dòng)面的缸孔實(shí)施滲氮熱處理，以提高其滑動(dòng)面硬度，而且為了實(shí)現(xiàn)與活塞部件的μm級(jí)的嵌合精度，在精磨工序中將通過滲氮熱處理形成的氮化合物層除去而精加工。另外，已知有在缸孔的滑動(dòng)面上設(shè)置滑動(dòng)性燒結(jié)型銅合金套管，來避免因燒結(jié)而造成的兩滑動(dòng)面的粘合的方法(例如參照專利文獻(xiàn)2)、和通過切削加工和激光加工來形成槽或凹痕等的凹形狀并將其作為油槽而發(fā)揮作用，由此防止油膜斷裂的方法(例如參照專利文獻(xiàn)3)等。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-159230號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開平10-196552號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3：日本特開2010-196612號(hào)公報(bào)但是，在專利文獻(xiàn)1中具有如下問題：由于缸孔的滑動(dòng)面是平滑的面，所以在其與活塞的高表面壓力接觸點(diǎn)上，潤(rùn)滑油膜在缸孔與活塞之間會(huì)被截?cái)?，因此，?huì)產(chǎn)生基于缸孔與活塞固體接觸而發(fā)生的磨損和燒結(jié)現(xiàn)象。另外，在專利文獻(xiàn)2中具有如下問題：由于需要對(duì)用于燒結(jié)銅合金的銅合金成分和燒結(jié)工序中的冷卻溫度管理嚴(yán)格地進(jìn)行管理，所以，除了制造工序變得復(fù)雜外，由于銅合金材料價(jià)格高，所以會(huì)導(dǎo)致成本大幅度提高。另外，在專利文獻(xiàn)3中具有如下問題：為了相對(duì)于如缸體的缸孔那樣的形狀進(jìn)行凹形狀加工，工件的找位和加工工具的加工軌跡會(huì)變得復(fù)雜，因此，需要高價(jià)的多軸加工設(shè)備，且加工時(shí)間會(huì)變長(zhǎng)。而且，在凹形狀因滑動(dòng)而磨損了的情況下，與平滑磨削面的情況相同地，會(huì)發(fā)生由于油膜斷裂而造成的燒結(jié)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠使缸孔與活塞的滑動(dòng)面的耐磨性及潤(rùn)滑性進(jìn)一步提高的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法。為了達(dá)成上述目的，第一發(fā)明提供一種液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械，包括：筒狀的殼體；能夠旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在殼體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸；缸體，以與該旋轉(zhuǎn)軸一體旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且以在圓周方向上分離的方式穿設(shè)有沿軸方向延伸的多個(gè)缸孔；以能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式插嵌在缸體的各缸孔內(nèi)的多個(gè)活塞；和閥板，位于所述缸體與所述殼體之間而設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且形成有與所述各缸孔連通的供排口，所述液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的特征在于，在所述缸孔和所述活塞滑動(dòng)的滑動(dòng)面的任意一方的至少一部分表面上具有：氮擴(kuò)散層，所述氮擴(kuò)散層形成在所述缸孔和所述活塞的至少一方的母材側(cè)，且其表面?zhèn)鹊囊徊糠直怀ザ谒龌瑒?dòng)面?zhèn)嚷冻觯缓偷衔飳?，所述氮化合物層形成在該氮擴(kuò)散層上，且在表面?zhèn)染哂邪夹螤?。根?jù)該第一發(fā)明，與單純?cè)诘獢U(kuò)散層上形成微小凹形狀的情況相比，即使在高表面壓力滑動(dòng)環(huán)境下，通過殘留在凹形狀的凹部分內(nèi)的硬質(zhì)的氮化合物層的存在，也能夠使發(fā)揮油槽效果的凹形狀部不易磨損，能夠更長(zhǎng)時(shí)間地防止油膜斷裂。因此，與以往的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械相比，能夠抑制潤(rùn)滑油膜在缸孔與活塞的滑動(dòng)面上被截?cái)?，能夠謀求耐磨性及潤(rùn)滑性能的進(jìn)一步提高，并能實(shí)現(xiàn)液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的長(zhǎng)壽命化。另外，為了達(dá)成上述目的，第二發(fā)明提供一種液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法，所述液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械包括：筒狀的殼體；能夠旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在殼體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸；缸體，以與該旋轉(zhuǎn)軸一體旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且以在圓周方向上分離的方式穿設(shè)有沿軸方向延伸的多個(gè)缸孔；以能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式插嵌在缸體的各缸孔內(nèi)的多個(gè)活塞；和閥板，位于所述缸體與所述殼體之間而設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且形成有與所述各缸孔連通的供排口，所述制造方法的特征在于，具有：在所述缸孔和所述活塞的至少任意一方的母材的至少一部分表面上，通過壓縮塑性加工而形成凹形狀的工序；通過實(shí)施滲氮表面處理，在形成有所述凹形狀的表面上形成氮化合物層的工序；和通過切削或磨削加工而將所述氮化合物層的一部分除去的工序，使在所述壓縮塑性加工工序中形成的所述凹形狀的深度成為，與通過所述滲氮表面處理形成的氮化合物層的厚度相比更厚的深度，使所述氮化合物層的除去深度成為，不超過所述凹形狀深度的厚度。根據(jù)該第二發(fā)明，通過使發(fā)揮油槽效果的凹形狀具有氮化合物層，而能夠形成不易磨損且能更長(zhǎng)時(shí)間地防止油膜斷裂的滑動(dòng)面結(jié)構(gòu)，并能夠謀求耐磨性及潤(rùn)滑性能的提高。另外，由于能夠用于形成凹形狀的方法為壓縮塑性加工，所以與切削加工和激光加工的情況相比，在加工后的表面上減少毛刺和噴濺等異常突起，還能通過簡(jiǎn)單的加工裝置和工具以短時(shí)間形成凹形狀。進(jìn)一步地，由于在壓縮塑性加工工序中形成的凹形狀的深度超過通過后工序即滲氮表面處理而形成的氮化合物層的厚度，且通過切削或磨削形成的氮化合物層的除去深度超過氮化合物層的厚度，且不超過凹形狀深度，所以，能夠?qū)崿F(xiàn)缸孔內(nèi)徑與活塞外形的嵌合精度，并且能夠形成具有高耐磨性的油槽形狀，還能進(jìn)一步提高潤(rùn)滑性能。另外，第三發(fā)明是在第二發(fā)明中，作為所述壓縮塑性加工，使用使硬質(zhì)顆粒以高速向所述表面撞擊的噴丸處理或噴丸硬化。根據(jù)該第三發(fā)明，能夠使用比通過切削加工和激光加工進(jìn)行的凹形狀形成工序更簡(jiǎn)單的設(shè)備以短時(shí)間進(jìn)行加工。另外，第四發(fā)明是在第二發(fā)明中，作為所述壓縮塑性加工，使用將具有凸形狀的碾壓模具按壓至所述表面上的碾壓壓縮加工。根據(jù)該第四發(fā)明，如基于硬質(zhì)顆粒的高速撞擊而進(jìn)行的加工那樣地，不會(huì)發(fā)生硬質(zhì)顆粒在被加工面即缸孔的滑動(dòng)面上靜電附著殘留和嵌入殘留的情況，在實(shí)施后工序的滲氮表面處理時(shí)，也能使表面均勻地硬化。另外，第五發(fā)明是在第四發(fā)明中，所使用的所述碾壓模具具有，相對(duì)于所述活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)方向而具有各向異性的凸形狀。根據(jù)該第五發(fā)明，通過形成具有各向異性的凹形狀，能夠在凹形狀中以與活塞的運(yùn)動(dòng)方向配合地產(chǎn)生油的流動(dòng)，同時(shí)能夠進(jìn)行順暢的活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械，與以往相比，能夠使液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械中的缸孔與活塞的滑動(dòng)面的耐磨性及潤(rùn)滑性進(jìn)一步提高，因此，能夠謀求液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的長(zhǎng)壽命化。另外，根據(jù)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法，與以往相比，能夠使液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械中的缸孔與活塞的滑動(dòng)面的耐磨性及潤(rùn)滑性進(jìn)一步提高，因此，能夠制造謀求長(zhǎng)壽命化的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械。附圖說明圖1是本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的縱剖視圖。圖2表示構(gòu)成圖1所示的本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖2(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖2(b)是放大表示圖2(a)的A部的剖視圖。圖3表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖3(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖3(b)是放大表示圖3(a)的A部的剖視圖。圖4表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖4(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖4(b)是放大表示圖4(a)的A部的剖視圖。圖5表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖5(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖5(b)是放大表示圖5(a)的A部的剖視圖。圖6表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖6(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖6(b)是放大表示圖6(a)的A部的剖視圖。圖7表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖7(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖7(b)是放大表示圖7(a)的A部的剖視圖，圖7(c)是放大表示圖7(a)的B部的剖視圖。圖8表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖8(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖8(b)是放大表示圖8(a)的A部的剖視圖。圖9表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖9(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖9(b)是放大表示圖9(a)的A部的剖視圖。圖10表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖10(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖10(b)是放大表示圖10(a)的A部的剖視圖，圖10(c)是放大表示圖10(a)的B部的剖視圖。附圖標(biāo)記說明1液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械2殼體3旋轉(zhuǎn)軸4、44a、44b、44c、54a、54b缸體5、57活塞6滑瓦(slippershoe)7斜板8閥板9殼體主體10前殼體11后殼體12A、12B供排通路13、14軸承15、45a、45b、45c、55a、55b缸孔16液壓缸口17滑瓦按壓件18平滑板18A軸穿插孔18B滑動(dòng)面19斜板支承體20傾轉(zhuǎn)滑動(dòng)面21斜板主體22A、22B供排口23、24傾轉(zhuǎn)致動(dòng)器30、40、50氮擴(kuò)散層31、41、51氮化合物層32、42、52凹形狀的氮化合物層33、43a、43b1、43b2、43c微小凹形狀34、46、56a、56b母材60噴嘴61噴射口62硬質(zhì)顆粒63、64碾壓模具。具體實(shí)施方式以下，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。<第一實(shí)施方式>根據(jù)圖1～圖4，對(duì)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在圖1～圖4中，作為液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械列舉了適用于可變?nèi)萘啃托卑迨捷S向活塞泵的情況來進(jìn)行說明。圖1中，作為液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的可變?nèi)萘啃托卑迨捷S向活塞泵1大致由殼體2、旋轉(zhuǎn)軸3、缸體4、各活塞5、滑瓦6、斜板7、以及閥板8等構(gòu)成。如圖1所示，殼體2由筒狀的殼體主體9、將殼體主體9的兩端側(cè)分別封閉的前殼體10和后殼體11構(gòu)成。而且，在后殼體11上設(shè)有一對(duì)供排通路12A、12B。這些供排通路12A、12B與工作液壓油的吸入側(cè)和排出側(cè)的配管(均為圖示)等連接。旋轉(zhuǎn)軸3以能夠在殼體2內(nèi)旋轉(zhuǎn)的方式經(jīng)由軸承13、14支承在前殼體10和后殼體11上。而且，旋轉(zhuǎn)軸3的一方端3A(圖1的右側(cè))從前殼體10沿軸方向突出，并且例如與柴油發(fā)動(dòng)機(jī)等的原動(dòng)機(jī)(未圖示)連結(jié)。缸體4是以能夠經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸3在殼體2內(nèi)旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置的，花鍵結(jié)合在旋轉(zhuǎn)軸3的外周側(cè)上，并與旋轉(zhuǎn)軸3一體旋轉(zhuǎn)。而且，缸體4的一方的端面與后述的斜板7相對(duì)地配置，另一方的端面與后述的閥板8滑動(dòng)接觸。在缸體4上，以在缸體4的相同方向上隔開間隔的方式沿缸體4的軸線方向穿設(shè)有多個(gè)缸孔15。各缸孔15在另一端側(cè)形成有液壓缸口16。這些液壓缸口16經(jīng)由后述的閥板8而相對(duì)于后殼體11的供排通路12A、12B間歇性地連通、遮斷。活塞5以能夠滑動(dòng)的方式插嵌在缸體4的各缸孔15內(nèi)。各活塞5隨著缸體4的旋轉(zhuǎn)而在各自的缸孔15內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，隨之，各活塞5將油液(工作液壓油)從后述的閥板8吸入至各缸孔15內(nèi)，并將其作為高壓的液壓油而排出。在各活塞5上，在從缸孔15突出的突出端側(cè)以能夠分別擺動(dòng)的方式設(shè)有后述的滑瓦6?；?通過滑瓦按壓件17以與后述的斜板7(平滑板18)的滑動(dòng)面18B滑動(dòng)接觸的方式支承?；?以能夠擺動(dòng)的方式設(shè)在各活塞5的突出端側(cè)?；?相對(duì)于后述的斜板7的平滑板18而保持在通過來自活塞5的推壓力(壓力)經(jīng)由滑瓦按壓件17等被推壓的狀態(tài)下。各滑瓦6在該狀態(tài)下通過與旋轉(zhuǎn)軸3、缸體4及活塞5一起旋轉(zhuǎn)，而以描畫出環(huán)狀的圓軌道的方式在后述的平滑板18上滑動(dòng)位移。斜板支承體19設(shè)置在殼體2的前殼體10上，如圖1所示，斜板支承體19相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸3的周圍而配置在斜板7的背面?zhèn)?，并固定在殼體2的前殼體10上。而且，在斜板支承體19上，隔著旋轉(zhuǎn)軸3設(shè)置有左右(或上下)分離的一對(duì)傾轉(zhuǎn)滑動(dòng)面20。為了能夠傾轉(zhuǎn)地支承斜板7，傾轉(zhuǎn)滑動(dòng)面20作為凹彎曲狀的圓弧面而形成。斜板7以能夠傾轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在殼體2內(nèi)，斜板7由斜板主體21、和固定設(shè)置在斜板主體21的表面?zhèn)鹊钠交?8而構(gòu)成。另外，在斜板7(斜板主體21、平滑板18)的中央部，穿設(shè)有供旋轉(zhuǎn)軸3帶著間隔地穿插的軸穿插孔18A。而且，斜板主體21以使其里面(背面)側(cè)能夠經(jīng)由斜板支承體19的傾轉(zhuǎn)滑動(dòng)面20傾轉(zhuǎn)的方式安裝在前殼體10側(cè)。另外，斜板7的平滑板18具有使與缸體4相對(duì)的面斜著傾斜的環(huán)狀的滑動(dòng)面18B，各滑瓦6在該滑動(dòng)面18B上滑動(dòng)接觸。即，滑瓦6以在斜板7(平滑板18)的滑動(dòng)面18B上描畫出圓軌道的方式滑動(dòng)位移，由此，活塞5在缸孔15內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。閥板8位于殼體2內(nèi)，并設(shè)在后殼體11與缸體4之間。閥板8與缸體4的端面滑動(dòng)接觸，并以能夠與旋轉(zhuǎn)軸3一起旋轉(zhuǎn)的方式支承缸體4。另外，在閥板8上，形成有呈圓弧狀的一對(duì)供排口22A、22B。這些供排口22A、22B與后殼體11的供排通路12A、12B連通。而且，閥板8的供排口在缸體4的旋轉(zhuǎn)時(shí)與各缸孔15的液壓缸口16間歇地連通，具有例如使從一方的供排通路12A吸入到各缸孔15內(nèi)的油液(工作液壓油)通過活塞5加壓，并且使在各缸孔15內(nèi)成為高壓狀態(tài)的液壓油從另一方的供排通路12B排出的功能。傾轉(zhuǎn)致動(dòng)器23、24以對(duì)斜板7進(jìn)行傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的方式相對(duì)于殼體主體9設(shè)有一對(duì)。驅(qū)動(dòng)器23、24通過從外部供給或排出有傾轉(zhuǎn)控制壓，而根據(jù)該壓力可變地控制斜板7的傾轉(zhuǎn)角。而且，在缸孔15內(nèi)滑動(dòng)位移的活塞5的沖程長(zhǎng)度與該斜板7的傾轉(zhuǎn)角對(duì)應(yīng)地增減。接著，在圖2中，對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體4的缸孔15與活塞5的滑動(dòng)面的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2表示構(gòu)成圖1所示的本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖2(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖2(b)是放大表示圖2(a)的A部的剖視圖。如圖2(a)、(b)所示，首先在穿設(shè)于本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械1的缸體4上的缸孔15中的、成為與活塞5的滑動(dòng)面的表面?zhèn)壬闲纬傻獢U(kuò)散層30和氮化合物層31，該氮擴(kuò)散層30如圖2(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在缸體4的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材34側(cè)，該氮化合物層31如圖2(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在該氮擴(kuò)散層30上，然后，將氮擴(kuò)散層30及氮化合物層31的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物?1被除去而露出的氮擴(kuò)散層30、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層32。在此，本發(fā)明的氮化合物層31是指，在對(duì)作為母材的鋼鐵材料進(jìn)行滲氮表面處理時(shí)，形成在其最上層表面上的、由高硬度的氮化合物構(gòu)成的層。另外，本發(fā)明的氮擴(kuò)散層30是指，在對(duì)作為母材的鋼鐵材料進(jìn)行滲氮表面處理時(shí)，在形成于其最上層表面上的氮化合物層的正下方形成的、使氮通過擴(kuò)散而侵入到鋼鐵材料中而形成的層。接著，根據(jù)圖1～圖4，對(duì)如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的制造方法進(jìn)行說明。圖3表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖3(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖3(b)是放大表示圖3(a)的A部的剖視圖。圖4表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖4(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖4(b)是放大表示圖4(a)的A部的剖視圖。首先，通過切削加工對(duì)作為原材料的鋼鐵材料進(jìn)行切削，形成缸體的外形，繼而，對(duì)所形成的缸體的規(guī)定位置進(jìn)行穿鑿，而形成缸孔15。然后，對(duì)所形成的缸孔15的表面進(jìn)行噴丸硬化(shotpeening)，在表面上形成微小凹形狀33。具體地說，如圖3(a)所示，將自由旋轉(zhuǎn)的噴嘴60插入至缸孔15內(nèi)，一邊使該噴嘴60旋轉(zhuǎn)，并且從缸孔15的下止點(diǎn)側(cè)到上止點(diǎn)側(cè)反復(fù)上下移動(dòng)，一邊通過壓縮空氣流使硬質(zhì)顆粒62從噴射口61噴射出，而使其撞擊到缸孔15的表面上。由此，在缸孔15的表面上形成如圖3(b)所示的微小凹形狀33(壓縮塑性加工工序)。接著，在噴丸硬化之后，將缸體4置于含氮的環(huán)境(例如氨等)下并進(jìn)行加熱(滲氮熱處理)。由此，如圖4(a)、(b)所示，在形成有微小凹形狀33的缸孔15的表面上形成氮擴(kuò)散層30而使母材34的表層區(qū)域的硬度上升，同時(shí)在表面上形成硬質(zhì)的氮化合物層31(氮化合物層形成工序)。該滲氮熱處理的條件采用一般的條件即可。接著，通過磨削加工將氮化合物層31加工除去，以使形成有氮化合物層31的缸孔15的內(nèi)徑滿足與作為滑動(dòng)對(duì)象的活塞5的嵌合公差。這時(shí)，如圖2(a)、(b)所示，在磨削加工后的缸孔15中的成為與活塞5的滑動(dòng)面的表面上，在氮化合物層31正下方的氮擴(kuò)散層30露出，并且使凹形狀的氮化合物層32存在的條件下進(jìn)行磨削加工(氮化合物層除去工序)。由此，選擇壓縮塑性加工的條件，以使通過前述的壓縮塑性加工得到的微小凹形狀33的凹部的深度、與通過作為后工序的滲氮熱處理而形成的氮化合物層31的厚度相比較深。而且，選擇磨削條件，以使通過磨削加工得到的氮化合物層31的磨削除去深度超過氮化合物層31的厚度，且不超過凹形狀的氮化合物層32的凹部深度。對(duì)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，當(dāng)通過未圖示的發(fā)動(dòng)機(jī)等原動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸3時(shí)，缸體4在殼體2內(nèi)與旋轉(zhuǎn)軸3一體旋轉(zhuǎn)。由此，各自的活塞5沿著斜板7(平滑板18)的滑動(dòng)面18B在缸體4的各缸孔15內(nèi)反復(fù)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。由此，在缸體4旋轉(zhuǎn)一次的過程中，各活塞5在缸孔15內(nèi)反復(fù)進(jìn)行從上止點(diǎn)朝向下止點(diǎn)滑動(dòng)位移的吸入行程、和從下止點(diǎn)朝向上止點(diǎn)滑動(dòng)位移的排出行程。而且，在活塞5的吸入行程中，例如從供排通路12A將工作液壓油吸入至缸孔15內(nèi)，在活塞5的排出行程中，活塞5使缸孔15內(nèi)的油液作為高壓的液壓油從供排通路12B側(cè)排出。上述動(dòng)作中，除了與斜板7的連結(jié)結(jié)構(gòu)外，活塞5還在缸孔15的端部和里側(cè)這兩點(diǎn)上進(jìn)行不全面接觸并滑動(dòng)。但是，由于具有在缸孔15的表面上形成的氮化合物層31被除去而露出的氮擴(kuò)散層30、和凹形狀的氮化合物層32，所以通過由該凹形狀的氮化合物層32所保持的油而抑制油膜斷裂，并抑制磨損和燒結(jié)。另外，凹形狀的氮化合物層32為高硬度，因此，具有非常抗磨損，使滑動(dòng)面長(zhǎng)時(shí)間存在，且即使長(zhǎng)時(shí)間使用也十分耐用的優(yōu)點(diǎn)。進(jìn)一步地，在滑動(dòng)面的表面上存在高硬度的氮擴(kuò)散層30，能夠充分確保其耐磨性，其結(jié)果是，能夠謀求液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的長(zhǎng)壽命化。另外，能夠通過凹形狀形成工序、滲氮表面處理工序和氮化合物層除去工序來制造，無需使用高價(jià)的銅合金，也無需高價(jià)的多軸加工設(shè)備，能夠廉價(jià)且容易地制造。另外，對(duì)于用于形成微小凹形狀的加工，使用的是噴丸硬化，因此，與通過切削加工和激光加工來形成微小凹形狀的情況相比，能夠在加工后的表面上減少毛刺和噴濺等的異常突起，還能通過簡(jiǎn)單的加工裝置和工具，以短時(shí)間在缸孔15的滑動(dòng)面上形成微小凹形狀。此外，在上述本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第一實(shí)施方式中，凹形狀的氮化合物層32、和通過使氮化合物層31被除去而露出的氮擴(kuò)散層30也可以不形成在缸孔15的整個(gè)表面上，只要至少形成在成為與活塞5的滑動(dòng)面的一部分表面上即可。該一部分表面優(yōu)選為，隨著缸體4的旋轉(zhuǎn)、活塞5在缸孔15內(nèi)部受到偏載荷而進(jìn)行不全面接觸的缸孔15的端部和里側(cè)這兩點(diǎn)、和其周邊。另外，壓縮塑性加工工序也可以代替噴丸硬化而進(jìn)行噴丸處理(shotblast)，只要能夠在本加工工序后的缸孔15的表面上形成微小凹形狀即可。另外，用于形成氮化合物層31的氮化合物層形成工序中的處理并不限于上述那樣的的含氮環(huán)境下的熱處理，例如能夠使用鹽浴氮化和等離子氮化等公知的氮化處理(滲氮表面處理)。另外，氮化合物層除去工序除了磨削以外，還能使用切削。<第二實(shí)施方式>根據(jù)圖5及圖6，對(duì)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在圖5及圖6中，作為液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械列舉了適用于可變?nèi)萘啃托卑迨捷S向活塞泵的情況來進(jìn)行說明。第二實(shí)施方式中的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械中，除了缸孔45a中的與活塞的滑動(dòng)面結(jié)構(gòu)以外的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械大致相同，省略具體說明。圖5表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖5(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖5(b)是放大表示圖5(a)的A部的剖視圖。如圖5(a)、(b)所示，首先在穿設(shè)于本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的缸體44a上的缸孔45a中的、成為與活塞的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層40和氮化合物層41，該氮擴(kuò)散層40如圖5(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在缸體44a的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材46側(cè)，該氮化合物層41如圖5(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在該氮擴(kuò)散層40上，然后，將氮擴(kuò)散層40及氮化合物層41的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物?1被除去而露出的氮擴(kuò)散層40、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層42。缸體44a具有這種缸孔45a，參照?qǐng)D6，對(duì)具有該缸體44a的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法進(jìn)行以下說明。圖6表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖6(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖6(b)是放大表示圖6(a)的A部的剖視圖。本實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法的特征在于，將在缸孔45a與活塞的滑動(dòng)面上形成微小凹形狀的壓縮塑性加工工序作為滾花(knurling)加工(壓花(roulette)加工)。關(guān)于其他工序，由于與本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法的第一實(shí)施方式相同，所以省略具體說明。當(dāng)對(duì)形成在缸體44a中的缸孔45a的表面進(jìn)行滾花加工時(shí)，如圖6(a)所示，將碾壓模具63插入到缸孔45a內(nèi)，該碾壓模具63配置有與應(yīng)形成的微小凹形狀相同的錐形的凸形狀，在將該插入的碾壓模具63按壓在缸孔45a的表面上的狀態(tài)下，使缸體44a在加工對(duì)象缸孔45a的中心軸上旋轉(zhuǎn)。由此，如圖6(b)所示，在缸孔45a的表面上形成微小凹形狀43a。接著，通過滲氮熱處理形成氮化合物層41，然后，在磨削加工后的缸孔45a的與活塞的滑動(dòng)面上，以使氮化合物層41正下方的氮擴(kuò)散層40露出，并且使凹形狀的氮化合物層42存在的深度，對(duì)形成有氮化合物層41的缸孔45a的內(nèi)徑進(jìn)行氮化合物層的除去工序。在第二實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法中，獲得的效果也與第一實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的情況大致相同。進(jìn)一步地，在本實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法中，針對(duì)缸孔45a的與活塞的滑動(dòng)表面進(jìn)行的壓縮塑性加工方法是，對(duì)配置有與想要形成的微小凹形狀相同的凸形狀的碾壓模具63進(jìn)行按壓的滾花，因此，相對(duì)于基于第一實(shí)施方式那樣的噴丸硬化的情況，具有如下優(yōu)點(diǎn)，即，不會(huì)發(fā)生硬質(zhì)顆粒在被加工面即缸孔的滑動(dòng)面上靜電附著殘留和嵌入殘留等不良情況，并即使在實(shí)施后工序的滲氮表面處理時(shí)，也能獲得均質(zhì)的表面硬化的效果。另外，可以自由地選擇形成微小凹形狀43a的位置，根據(jù)僅在不全面接觸頻繁的位置上形成微小凹形狀43a等使用狀況，可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇，并可以與各種規(guī)格的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械對(duì)應(yīng)。另外，能夠通過選擇碾壓模具的形狀而自由地選擇壓痕形狀。此外，在本實(shí)施方式中，壓縮碾壓加工也可以不進(jìn)行滾花(壓花加工)而進(jìn)行拋光(burnishing)(碾壓加工)。另外，當(dāng)進(jìn)行缸體的缸孔的壓縮塑性加工工序的滾花加工時(shí)，也可以僅在缸體的與活塞不全面接觸的兩點(diǎn)的高表面壓力滑動(dòng)接觸部位的滑動(dòng)范圍內(nèi)，選擇性地形成微小凹形狀。以下，根據(jù)圖7對(duì)該方式進(jìn)行說明。圖7表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖7(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖7(b)是放大表示圖7(a)的A部的剖視圖，圖7(c)是放大表示圖7(a)的B部的剖視圖。在圖7(a)中，在穿設(shè)于缸體44b上的缸孔45b中的與活塞的滑動(dòng)面上，與各自的滑動(dòng)區(qū)域的滑動(dòng)速度、滑動(dòng)表面壓力、潤(rùn)滑狀態(tài)配合地，如圖7(b)所示，缸孔45b的上止點(diǎn)側(cè)的微小凹形狀43b1使凹形狀深度較深，如圖7(c)所示，使缸孔45b的下止點(diǎn)側(cè)的微小凹形狀43b2的深度與微小凹形狀43b1相比成為較淺的形狀。這種選擇性的微小凹形狀43b1、43b2例如是在滾花加工時(shí)，通過改變形成微小凹形狀43b1時(shí)的按壓力和形成微小凹形狀43b2時(shí)的按壓力，或者使用凸形狀不同的碾壓模具而形成的。這樣在兩處以上選擇性地形成微小凹形狀43b1、43b2，然后進(jìn)行通過滲氮表面處理而實(shí)現(xiàn)的氮化合物層形成工序及氮化合物層除去工序，首先在穿設(shè)于缸體44b上的缸孔45b中的成為與活塞的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層和氮化合物層，該氮擴(kuò)散層形成在缸體44b的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材46側(cè)，該氮化合物層形成在該氮擴(kuò)散層上，然后，將氮擴(kuò)散層及氮化合物層的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物層被除去而露出的氮擴(kuò)散層、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層，由此，可以制造具有如下的缸孔與活塞的滑動(dòng)面的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械，該滑動(dòng)面具有與使用狀態(tài)對(duì)應(yīng)的更高的潤(rùn)滑效果。進(jìn)一步地，如圖8所示，也能在碾壓模具64上使用具有各向異性的凸形狀，并使具有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層具有各向異性。以下，根據(jù)圖8對(duì)該方式進(jìn)行說明。圖8表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第二實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖8(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖8(b)是放大表示圖8(a)的A部的剖視圖。如圖8(a)所示，當(dāng)對(duì)所形成的缸孔45c的表面進(jìn)行滾花加工時(shí)，使其高度從缸孔45c的上止點(diǎn)側(cè)到下止點(diǎn)側(cè)的范圍內(nèi)變高，將碾壓模具64插入到缸孔45c內(nèi)，該碾壓模具64配置有與應(yīng)形成的微小凹形狀相同的三角錐形的凸形狀，在將該插入的碾壓模具64按壓在缸孔45c的表面上的狀態(tài)下，使缸體44c在加工對(duì)象缸孔45c的中心軸上旋轉(zhuǎn)。由此，如圖8(b)所示，在缸孔45c的表面上形成微小凹形狀43c。使用上述碾壓模具64形成微小凹形狀43c，然后進(jìn)行通過滲氮表面處理實(shí)現(xiàn)的氮化合物層形成工序及氮化合物層除去工序，首先在穿設(shè)于缸體44c上的缸孔45c中的成為與活塞的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層和氮化合物層，該氮擴(kuò)散層形成在缸體44c的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材46側(cè)，該氮化合物層形成在該氮擴(kuò)散層上，然后，將氮擴(kuò)散層及氮化合物層的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖ィ纬傻衔飳颖怀ザ冻龅牡獢U(kuò)散層、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層，由此，能夠在微小凹形狀中，以與活塞的運(yùn)動(dòng)方向配合的方式產(chǎn)生油的流動(dòng)。例如，如圖8(b)所示，如果是朝向缸孔45c的上止點(diǎn)側(cè)使寬度變窄且使深度變淺的形狀的話，則能夠產(chǎn)生從缸孔45c的下止點(diǎn)側(cè)朝向上止點(diǎn)側(cè)的油的流動(dòng)。因此，在產(chǎn)生負(fù)壓且潤(rùn)滑膜易于斷裂的時(shí)刻、即將油引入時(shí)，能夠通過所產(chǎn)生的油的流動(dòng)來抑制潤(rùn)滑膜的斷裂，還能支持向活塞的上止點(diǎn)側(cè)的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)活塞順暢的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。尤其適于在斜板式活塞泵中形成具有這種各向異性的凹形狀的氮化合物層。<第三實(shí)施方式>根據(jù)圖9及圖10，對(duì)本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在圖9及圖10中，作為液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械列舉了適用于可變?nèi)萘啃托卑迨捷S向活塞泵的情況來進(jìn)行說明。本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的第一實(shí)施方式及第二實(shí)施方式的方案是，在缸孔上的成為與活塞的滑動(dòng)面的表面?zhèn)刃纬傻獢U(kuò)散層和氮化合物層，該氮擴(kuò)散層形成在缸孔的母材側(cè)，該氮化合物層形成在該氮擴(kuò)散層上，然后，將氮擴(kuò)散層及氮化合物層的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物層被除去而露出的氮擴(kuò)散層、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層。相對(duì)于此，本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的第三實(shí)施方式的方案是，在活塞57中的與缸孔55a的滑動(dòng)面、活塞57中的與缸孔55b的滑動(dòng)面以及缸孔55b中的與活塞57的滑動(dòng)面的兩滑動(dòng)面上形成氮擴(kuò)散層和氮化合物層，該氮擴(kuò)散層形成在缸孔的母材側(cè)，該氮化合物層形成在該氮擴(kuò)散層上，然后，將氮擴(kuò)散層及氮化合物層的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物層被除去而露出的氮擴(kuò)散層、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層。本實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的除了活塞和缸孔以外的結(jié)構(gòu)與第一及第二實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械大致相同，省略具體說明。圖9表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖9(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖9(b)是放大表示圖9(a)的A部的剖視圖。圖9(a)、(b)中，首先在構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的活塞57中的、成為與缸孔55a的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層50和氮化合物層51，該氮擴(kuò)散層50如圖9(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在活塞57的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材56a側(cè)，該氮化合物層51如圖9(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在該氮擴(kuò)散層50上，然后，將氮擴(kuò)散層50及氮化合物層51的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖ィ纬傻衔飳?1被除去而露出的氮擴(kuò)散層50、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層52。接著，根據(jù)圖9對(duì)如上所述構(gòu)成的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法進(jìn)行說明。首先，通過切削加工對(duì)作為原材料的鋼鐵材料進(jìn)行切削，形成活塞57的外形。包括該切削及穿鑿加工工序在內(nèi)的自此之前的工序與第一實(shí)施方式中的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械1的制造方法大致相同。因此，省略具體說明。然后，針對(duì)所形成的活塞57的表面，通過噴丸硬化、噴丸處理、滾花加工等方法，在表面上形成微小凹形狀。接著，對(duì)形成微小凹形狀后的活塞57進(jìn)行公知的滲氮表面處理，形成氮化合物層51。接著，以使形成有氮化合物層51的活塞57的表面滿足與缸體54a上的滑動(dòng)對(duì)象即缸孔55a的嵌合公差的方式，在磨削加工后的活塞57的與缸孔55a的滑動(dòng)面上，以使氮化合物層51正下方的氮擴(kuò)散層50露出，并且使凹形狀的氮化合物層52存在的深度，通過磨削加工而將氮化合物層51加工除去。之后的工序與第一實(shí)施方式中的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制造方法相同，因此省略具體說明。在第三實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法中，獲得的效果也與第一實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械及其制造方法的情況大致相同。但是，本實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械中，由于在活塞57中的成為與缸孔55a的滑動(dòng)面的表面上，形成有氮化合物層51被除去而露出的氮擴(kuò)散層50、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層52，所以與形成在缸孔側(cè)的情況相比，能夠更容易地實(shí)施，還能進(jìn)一步降低液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的生產(chǎn)成本。另外，本實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械并不限于圖9所示的僅在活塞57的表面?zhèn)刃纬捎邪夹螤畹牡衔飳?，如圖10所示，也能在活塞57的表面?zhèn)扰c缸孔55b的表面?zhèn)韧瑫r(shí)形成有凹形狀的氮化合物層。以下，根據(jù)圖10對(duì)該方式進(jìn)行說明。圖10表示構(gòu)成本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的缸體的制造工序，圖10(a)是用截面表示缸體的一部分的縱剖視圖，圖10(b)是放大表示圖10(a)的A部的剖視圖，圖10(c)是放大表示圖10(a)的B部的剖視圖。圖10(a)中，首先在本發(fā)明的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的第三實(shí)施方式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械的活塞57中的、成為與缸孔55a的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層50和氮化合物層51，該氮擴(kuò)散層50如圖10(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在活塞57的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材56a側(cè)，該氮化合物層51如圖10(b)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在該氮擴(kuò)散層50上，然后，將氮擴(kuò)散層50及氮化合物層51的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖?，形成氮化合物?1被除去而露出的氮擴(kuò)散層50、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層52。在此基礎(chǔ)上，如圖10(c)所示，首先在缸孔55a中的成為與活塞57的滑動(dòng)面的表面上形成氮擴(kuò)散層50和氮化合物層51，該氮擴(kuò)散層50如圖10(c)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在缸孔55a的由鋼鐵材料構(gòu)成的母材56b側(cè)，該氮化合物層51如圖10(c)的雙點(diǎn)劃線所示地形成在該氮擴(kuò)散層50上，然后，將氮擴(kuò)散層50及氮化合物層51的表面?zhèn)鹊囊徊糠殖ィ纬傻衔飳?1被除去而露出的氮擴(kuò)散層50、和在凹面內(nèi)部殘留有氮化合物層的凹形狀的氮化合物層52。<其他>此外，在上述各實(shí)施方式中，作為液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械列舉了可變?nèi)萘啃托卑迨揭簤罕脕磉M(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限于此，例如能夠適用于可變?nèi)萘啃托卑迨降囊簤厚R達(dá)，以及固定容量型的斜板式液壓泵、液壓馬達(dá)等斜板式液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械，進(jìn)一步地還可以適用于斜軸式的液壓旋轉(zhuǎn)機(jī)械。