專利名稱:旋片式無油真空泵的制作方法
本實(shí)用新型屬于一種排除氣體以獲得粗真空的裝置，具體說來是一種不以油為工作介質(zhì)的四旋片式真空泵，其產(chǎn)品適用于電子、醫(yī)療、印刷及超凈半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域的吸附、提升、固定等工藝。
過去用于上述諸領(lǐng)域的真空泵一般都是老式的以油為工作介質(zhì)的機(jī)械泵，其最大缺點(diǎn)就是存在油的污染、振動(dòng)噪聲大、需要頻繁更換工作介質(zhì)油、以及因油封件老化而常常出現(xiàn)的漏油現(xiàn)象等。近年來，國外如美國、日本等一些國家研制出的無油真空泵雖使上述現(xiàn)象得到極大改觀，但國外市場(chǎng)上現(xiàn)有的此類產(chǎn)品相對(duì)仍然存在著噪聲大(一般都在75～80分貝)、溫升值高(40～50℃)和使用壽命短的問題。經(jīng)分析研究發(fā)現(xiàn)有兩個(gè)癥結(jié)所在其一是上述無油真空泵大都采用石墨做為旋片的制作材料，由于石墨材料屬層狀結(jié)晶構(gòu)成，當(dāng)真空泵中轉(zhuǎn)子高速運(yùn)轉(zhuǎn)(一般轉(zhuǎn)速都在1400轉(zhuǎn)／分左右)時(shí)，沿定子內(nèi)壁滑動(dòng)的石墨旋片頂端各點(diǎn)上所受的應(yīng)力不一致，長(zhǎng)此以往就會(huì)產(chǎn)生塑性變形而出現(xiàn)了氣隙噪聲。其二是現(xiàn)有真空泵產(chǎn)品的配氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)上所存在的不合理處，主要是進(jìn)氣孔開得較小，由于吸氣不充分致使孔內(nèi)外氣體壓差增大，故而產(chǎn)生了較強(qiáng)的振動(dòng)噪聲。
本實(shí)用新型的目的是提供一種在旋片材料和配氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)上都加以改進(jìn)的新型四旋片式無油真空泵，用以克服現(xiàn)有產(chǎn)品中所存在的不足，尤其是噪聲高的不足。
以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案加以說明。
圖1是旋片式無油真空泵整機(jī)系統(tǒng)示意圖。
圖2是旋片式無油真空泵泵體沿A－A線的剖視圖。
圖3是做為定子端蓋的右法蘭盤示意圖(B－B剖面)。
參照附圖，該旋片式無油真空泵整機(jī)系統(tǒng)包括內(nèi)部開有圓柱形空腔的定子(1)、偏心安裝在定子內(nèi)并對(duì)稱地開有四道旋片槽(2)的轉(zhuǎn)子(3)、裝放在轉(zhuǎn)子旋片槽(2)內(nèi)的旋片(4)、做為定子端蓋的左、右法蘭盤(5、6)以及散熱器(7)和電動(dòng)機(jī)(8)等，進(jìn)氣管道(9)和出氣閥門(10)可以開設(shè)在定子(1)壁上，也可以開在右法蘭盤(6)上。本文附圖中所引的配氣系統(tǒng)是開在右法蘭盤上的。箭頭方向表示轉(zhuǎn)子的旋向。
本實(shí)用新型中發(fā)明人所做的主要改進(jìn)在于1.旋片用環(huán)氧酚醛層壓玻璃布板材料制成，該材料除了具有氣密性好、化學(xué)性能穩(wěn)定和熱膨脹系數(shù)小等優(yōu)點(diǎn)外，抗應(yīng)力性能較石墨材料為優(yōu)異，即便經(jīng)過較長(zhǎng)時(shí)間，其塑性變形現(xiàn)象仍不顯著，因而也不會(huì)產(chǎn)生氣隙噪聲。
2.對(duì)配氣系統(tǒng)中的進(jìn)氣管道(9)和出氣閥門(10)的徑口尺寸做了改進(jìn)。改進(jìn)后的進(jìn)氣管道的徑口相對(duì)定子的中心軸線呈90°角設(shè)置，出氣閥門的徑口相對(duì)定子的中心軸線呈25°～35°角設(shè)置，自進(jìn)氣管道(9)徑口的起端逆轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)向至出氣閥門(10)徑口的終端的角間距為180°(參見附圖3)。從理論上看，由于吸氣孔徑增大，可以減小孔內(nèi)外的氣體壓差。就四旋片式無油真空泵說來，上述進(jìn)氣管道(9)的孔徑間距恰等于旋片一個(gè)工作周期的間距，這樣可以使真空泵最大限度地吸進(jìn)氣體，同樣原因，如果出氣閥門(10)孔徑愈小的話，泵內(nèi)氣體的壓力起伏愈小，噪聲量級(jí)也愈小，但縮小出氣閥門(10)的設(shè)計(jì)又必須以不增加排氣壓力為限。經(jīng)發(fā)明人反復(fù)測(cè)試結(jié)果，確定出氣閥門的徑口以25°～35°角設(shè)置最為理想。
另外，做為解決溫升值高的措施，發(fā)明人將四個(gè)旋片直接置于旋片槽中，這樣可不用彈簧而靠轉(zhuǎn)子(3)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力實(shí)現(xiàn)旋片與定子內(nèi)壁間的密封，經(jīng)適當(dāng)選擇旋片材料的重量，可以減小摩擦系數(shù)，使泵的溫升值降低。
經(jīng)對(duì)樣機(jī)的測(cè)試，在1400轉(zhuǎn)／分的轉(zhuǎn)速下，本實(shí)用新型所述的旋片式無油真空泵的噪聲值小于60分貝，溫升值僅為15°～25°，試用壽命可達(dá)15000小時(shí)以上，各項(xiàng)性能皆優(yōu)于現(xiàn)有產(chǎn)品。
權(quán)利要求
1.一種旋片式無油真空泵，特別是一種用于獲得粗真空的四旋片式無油真空泵，整機(jī)系統(tǒng)包括內(nèi)部開有圓柱形空腔的定子(1)、偏心安裝在定子內(nèi)并對(duì)稱地開有四道旋片槽(2)的轉(zhuǎn)子(3)、裝放在轉(zhuǎn)子旋片槽(2)內(nèi)的旋片(4)、做為定子端蓋的左、右法蘭盤(5、6)、以及散熱器(7)和電動(dòng)機(jī)(8)等，進(jìn)氣管道(9)和出氣閥門(10)開設(shè)在定子壁上或右法蘭盤(6)上，其特征在于(a)所述的旋片(4)用環(huán)氧酚醛層壓玻璃布板材料制成；(b)進(jìn)氣管道(9)的徑口相對(duì)定子的中心軸線呈90°角設(shè)置，出氣閥門(10)的徑口相對(duì)定子的中心軸線呈25°～35°角設(shè)置，自進(jìn)氣管道(9)徑口的起端逆轉(zhuǎn)子向至出氣閥門(10)徑口的終端的角間距為180°。
專利摘要
用于獲得粗真空的四旋片無油真空泵，包括定子、轉(zhuǎn)子及旋片等。旋片用環(huán)氧酚醛層壓玻璃布板材料制成，開設(shè)在定子上的出氣管道徑口相對(duì)定子的中心軸線呈90°角設(shè)置，出氣閥門徑口相對(duì)定子中心軸線呈25°～35°角設(shè)置。如此設(shè)計(jì)使旋片磨損最小，并使泵腔內(nèi)的壓力起伏小，從而減少了氣隙噪聲和震動(dòng)噪聲，致使溫升值降低和使用壽命提高。
文檔編號(hào)F04C18/34GK87208227SQ87208227
公開日1988年1月6日 申請(qǐng)日期1987年5月18日
發(fā)明者徐懋瑞 申請(qǐng)人:徐懋瑞導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan