干泵安全停止裝置及其使用方法以及干泵系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種干泵安全停止裝置及其使用方法以及干泵系統(tǒng)，所述干泵安全停止裝置包括：通過手搖接口與干泵連接的聯(lián)軸器；設(shè)置于所述聯(lián)軸器上的馬達(dá)以及離合器，所述離合器位于所述馬達(dá)與手搖接口之間；以及與所述馬達(dá)以及離合器連接的控制器。采用本發(fā)明的干泵安全停止裝置，所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)，從而避免干泵由于異常停止卡死。
【專利說(shuō)明】干泵安全停止裝置及其使用方法以及干泵系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001〕 本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種干泵安全停止裝置及其使用方法以及干栗系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]平板顯示器(1^0)行業(yè)中，干泵通常使用在化學(xué)氣相沉積((^0)、干法刻蝕(00 等工藝制程中，由于工藝制程環(huán)境惡劣例如具有較多粉塵，干泵不允許異常停止，一旦干泵異常停止，粉塵等污染物會(huì)附著在干泵的轉(zhuǎn)子上，很容易導(dǎo)致干泵卡死異常。
[0003]目前，為解決干泵異常停止的問題，業(yè)界通常的做法是在干泵異常停止后使用口?3電源保持干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)或安全停止，但干泵本身運(yùn)行功率較大，即3電源較貴，成本較高。另一種做法是工作人員手動(dòng)搖動(dòng)干泵，以保持干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)，然而干泵數(shù)量較多，若手動(dòng)搖動(dòng)干泵，往往不能保證干泵及時(shí)和充分的搖動(dòng)，仍然容易造成干泵卡死異常。
[0004]因此，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)干泵自動(dòng)、安全停止的裝置是十分必要的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種干泵安全停止裝置，以解決干泵卡死異常的問題。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種干泵安全停止裝置，所述干泵包括一手搖接口，所述干泵安全停止裝置包括:
[0007]通過所述手搖接口與所述干泵連接的聯(lián)軸器；
[0008]設(shè)置于所述聯(lián)軸器上的馬達(dá)以及離合器，所述離合器位于所述馬達(dá)與手搖接口之間；以及
[0009]與所述馬達(dá)以及離合器連接的控制器；
[0010]其中，所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0011〕 可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述干泵安全停止裝置還包括一減速機(jī)，所述減速機(jī)設(shè)置于所述聯(lián)軸器上并與所述馬達(dá)連接。
[0012]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述干泵安全停止裝置還包括一支架，所述支架用以支撐所述減速機(jī)。
[0013]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述馬達(dá)是減速馬達(dá)。
[0014]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述馬達(dá)是直流馬達(dá)。
[0015]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述干泵安全停止裝置還包括一電池，所述電池用于為所述馬達(dá)以及控制器供電。
[0016]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述控制器還連接一主設(shè)備的控制柜，所述控制器根據(jù)所述控制柜發(fā)送的信號(hào)控制所述離合器和馬達(dá)。
[0017]可選的，在所述的干泵安全停止裝置中，所述主設(shè)備是化學(xué)氣相沉積設(shè)備或干法刻蝕設(shè)備。
[0018]本發(fā)明還提供一種干泵系統(tǒng)，包括一干泵，還包括如上所述的干泵安全停止裝置。
[0019]本發(fā)明又提供一種干泵安全停止裝置的使用方法，包括:
[0020]所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；以及
[0021]所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0022]采用本發(fā)明的干泵安全停止裝置，所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵運(yùn)轉(zhuǎn)，從而避免干泵由于異常停止而卡死。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為本發(fā)明干泵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0025]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0026]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0027]如圖1所示，本發(fā)明提供一種干泵安全停止裝置，所述干泵10包括一手搖接口 11，所述干泵10安全停止裝置包括:通過所述手搖接口 11與所述干泵10連接的聯(lián)軸器21 ；設(shè)置于所述聯(lián)軸器21上的馬達(dá)22以及離合器23，所述離合器23位于所述馬達(dá)22與手搖接口 11之間；以及與所述馬達(dá)22以及離合器23連接的控制器24 ；其中，所述干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器24控制所述離合器23處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)22不運(yùn)轉(zhuǎn)；所述干泵10發(fā)生異常時(shí)，所述控制器24控制所述離合器23處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)22運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)，從而避免干泵10由于異常停止而卡死。
[0028]優(yōu)選實(shí)施例中，所述干泵10安全停止裝置還包括一減速機(jī)25，所述減速機(jī)25設(shè)置于所述聯(lián)軸器21上并與所述馬達(dá)22連接，利用減速機(jī)25的低轉(zhuǎn)速高扭矩的原理，即便采用小功率的馬達(dá)，也可以通過減速機(jī)25實(shí)現(xiàn)小功率驅(qū)動(dòng)干泵10低速旋轉(zhuǎn)的目的。例如，所述馬達(dá)22的轉(zhuǎn)速為幾千轉(zhuǎn)(如)，所述減速機(jī)25可減速至幾十轉(zhuǎn)，以此帶動(dòng)干泵10低速運(yùn)轉(zhuǎn)一預(yù)定時(shí)間段，實(shí)現(xiàn)干泵10的安全停止。所述干泵10安全停止裝置還可包括一支架27，所述減速機(jī)25設(shè)置于所述支架24上，通過所述支架27支撐所述減速機(jī)25。當(dāng)然，本發(fā)明并不局限于上述方案，也可直接選用減速馬達(dá)，如此則不必安裝減速機(jī)，同樣可實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)干泵安全低速運(yùn)轉(zhuǎn)的目的。
[0029]繼續(xù)參考圖1，所述干泵10安全停止裝置還包括一電池26，所述電池26用于為所述馬達(dá)22以及控制器24供電，如此，即便出現(xiàn)斷電情況，干泵10異常停止時(shí)，所述馬達(dá)22、控制器24仍然可以依靠電池26正常運(yùn)行，以驅(qū)動(dòng)干泵10低速旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間，實(shí)現(xiàn)干泵10安全停止。所述馬達(dá)22例如是2價(jià)或487的直流馬達(dá)22，相應(yīng)的采用2價(jià)或487的電池，所述控制器24還可以連接一交流電源，一方面所述交流電源可以為所述電池26充電，另一方面若并非是斷電情況下導(dǎo)致干泵異常，那么交流電源也可同時(shí)為控制器24供電。
[0030]其中，所述離合器23為電磁離合器，可以由所述電池26為所述電磁離合器供電。當(dāng)然，本發(fā)明不局限于電磁離合器，亦可采用其他類型的離合器，只要實(shí)現(xiàn)接合或斷離動(dòng)力傳遞作用的目的即可。
[0031〕 本實(shí)施例中，所述干泵10用于一主設(shè)備，所述控制器24連接于所述主設(shè)備的控制柜30，正常情況下，控制器24接收主設(shè)備的控制柜30發(fā)送的正常信號(hào)，電磁離合器23處于分離狀態(tài)，干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，安全停止裝置不運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)干泵10異常停止時(shí)，控制器24接收到主設(shè)備的控制柜30發(fā)送的異常信號(hào)，控制器24控制離合器23若干秒后閉合(通常，干泵異常停止后不會(huì)立即停止，在慣性的作用下會(huì)運(yùn)行若干秒)，同時(shí)馬達(dá)22運(yùn)轉(zhuǎn)，這時(shí)安全啟動(dòng)裝置帶動(dòng)干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)，一段時(shí)間后停止。
[0032]其中，所述干泵10可以是干式螺桿真空泵、無(wú)油往復(fù)真空泵、爪式真空泵或無(wú)油渦旋真空泵。所述主設(shè)備可以是平板顯示器(1^0)行業(yè)或者半導(dǎo)體工藝所使用的化學(xué)氣相沉積(￠:%)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備，也可以是其他行業(yè)所使用的其他設(shè)備，只要涉及到干泵需要安全停止的情況下均可適用于本發(fā)明的干泵安全停止裝置。
[0033]本發(fā)明的干泵安全停止裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可選用價(jià)格低廉的馬達(dá)22、減速機(jī)、電磁離合器以及控制器24實(shí)現(xiàn)干泵10的安全停止，一旦出現(xiàn)異常情況如干泵10突然斷電時(shí)，通過干泵安全停止裝置的電池為馬達(dá)22、電磁離合器以及控制器24供電，從而帶動(dòng)干泵10低速旋轉(zhuǎn)一預(yù)定時(shí)間段，然后再停止下來(lái)，如此可避免由于突然地異常停止而導(dǎo)致干泵卡死現(xiàn)象發(fā)生。即，只需要較低的成本就可以實(shí)現(xiàn)干泵的自動(dòng)安全停止。此外，對(duì)于其他情況引起的干泵異常，同樣可采用本發(fā)明的干泵安全停止裝置實(shí)現(xiàn)干泵的自動(dòng)安全停止。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的另一面，還提供一種干泵系統(tǒng)，包括至少一個(gè)干泵10以及至少一個(gè)如上所述的干泵安全停止裝置。其中，每個(gè)干泵10均對(duì)應(yīng)一個(gè)如上所述的干泵安全停止裝置，也可以僅部分干泵10安裝了干泵安全停止裝置。
[0035]相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種干泵安全停止裝置的使用方法，所述干泵10用于一主設(shè)備，所述干泵安全停止裝置使用方法包括:
[0036]所述干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器24控制所述離合器23處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)22不運(yùn)轉(zhuǎn)；以及
[0037]所述干泵10發(fā)生異常時(shí)，所述控制器24控制所述離合器23處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)22運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0038]其中，所述主設(shè)備包括一控制柜30，正常情況下，控制器24接收主設(shè)備的控制柜30發(fā)送的正常信號(hào)，電磁離合器23處于分離狀態(tài)，干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，安全停止裝置不運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)干泵異常停止時(shí)，控制器24接收到主設(shè)備的控制柜30發(fā)送的異常信號(hào)，控制器24控制離合器23若干秒后閉合(通常，干泵異常停止后不會(huì)立即停止，在慣性的作用下會(huì)運(yùn)行若干秒)，同時(shí)馬達(dá)22運(yùn)轉(zhuǎn)，這時(shí)安全啟動(dòng)裝置帶動(dòng)干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)，一段時(shí)間后停止?；蛘?，當(dāng)干泵異常停止時(shí)，也可以是干泵本身發(fā)出異常信號(hào)給控制器，即，干泵異常停止后可以是主設(shè)備發(fā)出異常信號(hào)，也可以是干泵本身發(fā)出異常信號(hào)，控制器24根據(jù)干泵或者主設(shè)備的控制柜30發(fā)出的異常信號(hào)控制所述離合器23處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)22運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵10正常運(yùn)轉(zhuǎn)。如此，即可實(shí)現(xiàn)干泵的自動(dòng)、安全停止。
[0039]需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的方法而言，由于與實(shí)施例公開的裝置相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見裝置部分說(shuō)明即可。
[0040]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種干泵安全停止裝置，所述干泵包括一手搖接口，其特征在于，所述干泵安全停止裝置包括: 通過所述手搖接口與所述干泵連接的聯(lián)軸器； 設(shè)置于所述聯(lián)軸器上的馬達(dá)以及離合器，所述離合器位于所述馬達(dá)與手搖接口之間；以及 與所述馬達(dá)以及離合器連接的控制器； 其中，所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵運(yùn)轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述干泵安全停止裝置還包括一減速機(jī)和一支架，所述減速機(jī)設(shè)置于所述聯(lián)軸器上并與所述馬達(dá)連接，所述支架用以支撐所述減速機(jī)。
3.如權(quán)利要求1所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述馬達(dá)是減速馬達(dá)。
4.如權(quán)利要求1所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述馬達(dá)是直流馬達(dá)。
5.如權(quán)利要求1所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述干泵安全停止裝置還包括一電池，所述電池用于為所述馬達(dá)以及控制器供電。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述控制器還連接一主設(shè)備的控制柜，所述控制器根據(jù)所述控制柜發(fā)送的信號(hào)控制所述離合器和馬達(dá)。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述控制器還連接所述干泵，所述控制器根據(jù)所述干泵發(fā)送的信號(hào)控制所述離合器和馬達(dá)。
8.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的干泵安全停止裝置，其特征在于，所述主設(shè)備是化學(xué)氣相沉積設(shè)備或干法刻蝕設(shè)備。
9.一種干泵系統(tǒng)，包括至少一個(gè)干泵，其特征在于，還包括至少一個(gè)如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的干泵安全停止裝置。
10.一種如權(quán)利要求1所述的干泵安全停止裝置的使用方法，其特征在于，包括: 所述干泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于分離狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)不運(yùn)轉(zhuǎn)；以及 所述干泵發(fā)生異常時(shí)，所述控制器控制所述離合器處于連接狀態(tài)，并控制所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所述干泵運(yùn)轉(zhuǎn)。
【文檔編號(hào)】F04C28/06GK104295497SQ201410542981
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月14日
【發(fā)明者】張?zhí)锍? 汪建平, 王冰 申請(qǐng)人:昆山國(guó)顯光電有限公司