真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種真空泵，該真空泵具有轉(zhuǎn)子并具有待被供應(yīng)有工作介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)軸承，以用于轉(zhuǎn)子的可旋轉(zhuǎn)支撐，其中轉(zhuǎn)子具有輸送部分，特別是圓錐形輸送部分，以用于將工作介質(zhì)供應(yīng)到旋轉(zhuǎn)媒介，其中設(shè)置了用于輸送工作介質(zhì)的輸送泵，和/或設(shè)置了具有用于工作介質(zhì)的可吸收性存儲裝置的工作介質(zhì)存儲件；并且其中設(shè)置了至少一根油繩，其與輸送部分接觸，以便將從輸送泵和/或從可吸收性存儲裝置提供的工作介質(zhì)以期望的量輸送到輸送部分。
【專利說明】真空泵
[0001]本發(fā)明涉及一種真空泵，特別涉及渦輪分子泵，其具有轉(zhuǎn)子并具有用于轉(zhuǎn)子的可旋轉(zhuǎn)支撐的旋轉(zhuǎn)軸承。
[0002]這種真空泵通常包括用于把工作介質(zhì)供應(yīng)給旋轉(zhuǎn)軸承的設(shè)備，所述設(shè)備包括工作介質(zhì)傳送到其的轉(zhuǎn)子的圓錐形部分。工作介質(zhì)通過在真空泵的操作中作用的離心力和毛細(xì)管力而經(jīng)由圓錐形部分輸送至旋轉(zhuǎn)軸承。
[0003]已知包括用于工作介質(zhì)的工作介質(zhì)存儲件的真空泵，該工作介質(zhì)存儲件具有可吸收性存儲裝置，該可吸收性存儲裝置以工作介質(zhì)浸透并且具有與輸送部分接觸的一個或多個擦拭件(wiper)，并且工作介質(zhì)經(jīng)由該擦拭件傳送至輸送部分。此外，已知這樣的真空泵，在這樣的真空泵中，存儲箱中設(shè)置的工作介質(zhì)經(jīng)由油繩(wick)傳送至輸送部分。另外，已知包括用于工作介質(zhì)的輸送泵的真空泵，其中由輸送泵提供的工作介質(zhì)滴到輸送部分上。
[0004]使用所描述的設(shè)備可實現(xiàn)用工作介質(zhì)的精確定義的量不連續(xù)地供應(yīng)旋轉(zhuǎn)軸承。具有工作介質(zhì)存儲件的設(shè)備和具有由存儲箱供料的油繩的設(shè)備各自特別地導(dǎo)致輸送的工作介質(zhì)的量太小，而具有油泵的實施方式提供太高的工作介質(zhì)的量。
[0005]因此，本發(fā)明的目的是提供一種真空泵，其確保給真空泵的旋轉(zhuǎn)軸承連續(xù)供應(yīng)期望的量的工作介質(zhì)。
[0006]通過具有權(quán)利要求1所述的特征的真空泵來滿足該目的。
[0007]真空泵，特別是渦輪分子泵，包括轉(zhuǎn)子和待被供應(yīng)有工作介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)軸承，以用于轉(zhuǎn)子的可旋轉(zhuǎn)支撐，其中轉(zhuǎn)子具有用于將工作介質(zhì)供應(yīng)至旋轉(zhuǎn)媒介(rotary agent)的輸送部分，特別是圓錐形輸送部分。此外，設(shè)置有用于輸送工作介質(zhì)的輸送泵，和/或設(shè)置有工作介質(zhì)存儲件，其具有用于工作介質(zhì)的可吸收性存儲裝置。另外，設(shè)置有至少一根油繩，其與輸送部分接觸，以將從輸送泵和/或從可吸收性存儲裝置提供的工作介質(zhì)傳送至輸送部分。
[0008]在本發(fā)明的框架內(nèi)認(rèn)識到，通過利用將工作介質(zhì)傳送至轉(zhuǎn)子的輸送部分的油繩實現(xiàn)了利用由輸送泵或由工作介質(zhì)存儲件提供的確切的可預(yù)定義的量的工作介質(zhì)對旋轉(zhuǎn)軸承的連續(xù)供應(yīng)。油繩實現(xiàn)傳送至輸送部分并隨后到達旋轉(zhuǎn)軸承的工作介質(zhì)的量的調(diào)節(jié)。
[0009]在從屬權(quán)利要求、說明書和附圖中描述了本發(fā)明的有利的實施方式。
[0010]根據(jù)有利的實施方式，用于工作介質(zhì)的出口被提供并且可使用來自輸送泵的工作介質(zhì)來供應(yīng)，其中油繩布置成使得油繩封閉該出口。因此，可確保，出口處提供的工作介質(zhì)大體上僅經(jīng)由油繩向前輸送，使得實現(xiàn)了工作介質(zhì)的傳送的量的有效調(diào)節(jié)，并且獨立于由輸送泵輸送的工作介質(zhì)的量，大體上可靠地避免了太大的量的工作介質(zhì)的傳送。
[0011]另外的實施方式設(shè)置成，提供了用于工作介質(zhì)的出口，該出口可以用來自輸送泵的工作介質(zhì)供應(yīng)，其中油繩穿過該出口縱向延伸?？梢虼藢崿F(xiàn)出口處提供的工作介質(zhì)至油繩的好的傳送。油繩可封閉出口，使得經(jīng)由出口出來的工作介質(zhì)的大體總量通過油繩來輸送并隨后發(fā)生工作介質(zhì)的輸送的量的特別有效的調(diào)節(jié)。油繩可被夾緊在出口中并且因此可固定在其合適的位置上，特別地，使得油繩保持與輸送部分接觸。
[0012]出口優(yōu)選地由用于工作介質(zhì)的輸送通道的開口端部形成。油繩可穿過出口延伸至該通道中，使得油繩在通道中沿其長度的部分布置。油繩可至少沿布置于通道中的其長度的一部分大體上填滿全部的通道橫截面。從而實現(xiàn)了所提供的工作介質(zhì)至油繩的特別有效的傳送，其中可靠地確保了，工作介質(zhì)僅經(jīng)由油繩通過出口來輸送。同時，實現(xiàn)了油繩在通道中的有效固定。
[0013]根據(jù)有利的實施方式，輸送泵具有用于設(shè)定輸送泵的輸送性能的設(shè)定裝置。因此，可靈活設(shè)定連續(xù)地供應(yīng)至旋轉(zhuǎn)軸承的工作介質(zhì)的量的值。用于設(shè)定輸送性能的設(shè)定裝置可包括用于通過用戶輸入輸送性能的期望值的輸入裝置。用于設(shè)定輸送性能的設(shè)定裝置可包括電子裝置以檢測輸送性能的期望值，特別是由用戶設(shè)定的期望值。
[0014]進一步優(yōu)選的進展設(shè)置成，油繩與工作介質(zhì)存儲件的存儲裝置至少區(qū)域性地接觸。從而實現(xiàn)了設(shè)置在工作介質(zhì)存儲件中的工作介質(zhì)至油繩的直接傳送。與輸送部分被工作介質(zhì)存儲件直接接觸相比，油繩改進了工作介質(zhì)從工作介質(zhì)存儲件至輸送部分的傳送，并且確保了期望的工作介質(zhì)的量連續(xù)傳送到輸送部分。
[0015]有利的實施方式設(shè)置成，油繩纏繞在工作介質(zhì)存儲件周圍。油繩可以至少一次或多次地纏繞在工作介質(zhì)存儲件周圍。在這方面，油繩纏繞在工作介質(zhì)存儲件周圍的部分中的至少一部分可以與存儲裝置直接接觸。從而以布置的同時簡單制造能力實現(xiàn)了油繩與存儲裝置沿寬區(qū)域的緊密接觸。
[0016]根據(jù)進一步有利的實施方式，油繩優(yōu)選地通過緊固裝置緊固到工作存儲件，該緊固裝置至少部分地穿過油繩和存儲裝置延伸。從而油繩可被固定，使得其保持與轉(zhuǎn)子的輸送部分接觸。緊固裝置可以例如以針的形式配置，并且可以被推動到油繩和存儲裝置中。
[0017]工作介質(zhì)存儲件可具有轉(zhuǎn)子軸的輸送部分能伸入到其中的開口。油繩的一部分可至少部分地且特別地完全穿過該開口并且這樣做時可優(yōu)選地與輸送部分接觸。當(dāng)油繩在該開口的兩側(cè)處均緊固至工作介質(zhì)存儲件時，油繩可靠地保持在其與輸送部分接觸的位置上。工作介質(zhì)存儲件可例如以環(huán)形形式圍繞輸送部分延伸并且可以具有至少近似環(huán)形的基本形狀。
[0018]油繩可以至少一次并優(yōu)選地多次完全地橫穿開口延伸。例如，油繩可至少兩次完全地橫穿開口延伸，其中輸送部分布置在油繩的橫穿開口延伸的兩個部分之間。
[0019]存儲裝置優(yōu)選地由對于工作介質(zhì)而言可吸收的材料至少區(qū)域性地形成，例如，氈或類似的可吸收性材料，特別是紡織品和/或多孔的可吸收性材料。
[0020]存儲裝置可包括優(yōu)選地疊加在彼此之上的多個盤。例如，盤可以各自具有環(huán)形的基本形狀并且可以疊加在彼此之上，使得其基本表面大體上重疊。這種工作介質(zhì)存儲件可以以工作介質(zhì)存儲件的期望存儲能力和期望形狀來簡單地制造，例如能夠以小的努力實現(xiàn)的大體上環(huán)形的基本形狀。
[0021]油繩可在其縱向側(cè)部上與輸送部分接觸。可選擇地或另外，油繩可以具有開口端部并且可經(jīng)由該開口端部與輸送部分接觸。在兩種情況下，確保了工作介質(zhì)按計量傳送至輸送部分。
[0022]輸送部分優(yōu)選地具有朝著旋轉(zhuǎn)軸承變得更大的外直徑。在該實施方式中，傳送至輸送部分的工作介質(zhì)可以在沒有任何另外的努力的情況下通過在真空泵的操作中作用的離心力和毛細(xì)管作用輸送至旋轉(zhuǎn)軸承。
[0023]真空泵優(yōu)選地配置成，使得在真空泵的操作期間，工作介質(zhì)可在回路中輸送。在這方面，例如，工作介質(zhì)從輸送泵和/或從工作介質(zhì)存儲件傳送至油繩，從油繩傳送至輸送部分，經(jīng)由輸送部分輸送至旋轉(zhuǎn)軸承，在該處其達到對于旋轉(zhuǎn)軸承的操作所需要的其功能，并且最后從旋轉(zhuǎn)軸承經(jīng)由回路輸送回到輸送泵和/或工作介質(zhì)存儲件。布置在旋轉(zhuǎn)軸承和輸送泵之間的輸送裝置或布置在旋轉(zhuǎn)軸承和工作介質(zhì)存儲件之間的輸送裝置可設(shè)置成使工作介質(zhì)從旋轉(zhuǎn)軸承返回至輸送泵和/或工作介質(zhì)存儲件。輸送裝置可以是毛細(xì)管輸送裝置，例如，油繩或油繩的一部分。
[0024]工作介質(zhì)的輸送量可以通過油繩的材料和/或油繩的橫截面的相應(yīng)選擇而設(shè)定成期望值。為了能夠經(jīng)受在真空泵的操作中普遍存在的熱條件，油繩優(yōu)選地由耐溫材料形成。
[0025]旋轉(zhuǎn)軸承優(yōu)選地形成為滾子元件軸承，特別是球軸承。工作介質(zhì)可以是用于旋轉(zhuǎn)軸承或用于滾子元件軸承的潤滑劑，該潤滑劑特別地可以包括油。
[0026]將在下面通過示例參考有利的實施方式和附圖來描述本發(fā)明。示出了:
[0027]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的真空泵的示意性表示；以及
[0028]圖2至圖5分別是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的用于真空泵的具有油繩的工作介質(zhì)存儲件的平面圖。
[0029]參考數(shù)字列表
[0030]10 轉(zhuǎn)子
[0031]12 旋轉(zhuǎn)軸承
[0032]14輸送部分
[0033]16 輸送泵
[0034]18工作介質(zhì)存儲件
[0035]20 油繩
[0036]22 出口
[0037]24輸送通道
[0038]26緊固裝置
[0039]28 回路
[0040]30 轉(zhuǎn)子盤
[0041]32旋轉(zhuǎn)軸線
[0042]34 套箍
[0043]在圖1中示意性地示出的真空泵包括轉(zhuǎn)子10，轉(zhuǎn)子10通過滾子元件軸承12被圍繞旋轉(zhuǎn)軸線32可旋轉(zhuǎn)地支撐。轉(zhuǎn)子10包括在圖1中僅示意性地示出的轉(zhuǎn)子軸和布置在轉(zhuǎn)子軸處并且同樣在圖1中僅示意性地示出的多個渦輪分子轉(zhuǎn)子盤30。徑向于轉(zhuǎn)子軸延伸的轉(zhuǎn)子盤30各自與多個定子盤中的一個相對地布置，定子盤在圖1中未示出并且布置在轉(zhuǎn)子盤30之間，轉(zhuǎn)子盤與定子盤形成潤輪分子泵的潤輪分子泵級(turbomolecular pumpstage)。
[0044]圓錐形輸送部分14設(shè)置在轉(zhuǎn)子軸的遠離轉(zhuǎn)子盤30的端部處，該圓錐形輸送部分14旋轉(zhuǎn)地固定地連接至轉(zhuǎn)子軸，圓錐形輸送部分14與旋轉(zhuǎn)軸線32同軸并且具有在尺寸上朝著旋轉(zhuǎn)軸承12增加的外直徑。
[0045]輸送泵16被設(shè)置成用工作介質(zhì)供應(yīng)旋轉(zhuǎn)軸承12并且將在其入口處提供的工作介質(zhì)輸送到在輸送部分14的方向上延伸的輸送通道24中。通道24的面向輸送部分14的端部形成工作介質(zhì)的出口 22。該出口 22由油繩20封閉，油繩20穿過出口 22延伸到輸送通道24中并且沿其長度的大部分布置在輸送通道24內(nèi)。
[0046]油繩20的布置在輸送通道24外部的部分從出口 22延伸至輸送部分14并且接觸輸送部分14，使得在油繩20中輸送的工作介質(zhì)通過毛細(xì)管作用傳送至輸送部分14。
[0047]在真空泵的操作中，工作介質(zhì)通過輸送泵16引入到輸送通道24中并且在出口 22的方向上輸送，在出口 22處，工作介質(zhì)被傳送至油繩20。工作介質(zhì)由于油繩20和輸送部分14之間的滑動接觸而從那傳送至輸送部分14。
[0048]通過在輸送部分14旋轉(zhuǎn)時在尺寸增加且因此朝著旋轉(zhuǎn)軸承12的輸送部分14的外直徑方向上作用的離心力和毛細(xì)管作用來輸送工作介質(zhì)，其中其達到其功能，特別是對于旋轉(zhuǎn)軸承12的操作所需要的其潤滑功能。如圖1中的箭頭所示，真空泵包括用于將工作介質(zhì)從旋轉(zhuǎn)軸承12輸送回到輸送泵16的設(shè)備，使得工作介質(zhì)在封閉的回路28中輸送。
[0049]圖2以平面視圖，S卩，在真空泵的旋轉(zhuǎn)軸線的方向上示出了用于真空泵的工作介質(zhì)存儲件18和油繩20。
[0050]工作介質(zhì)存儲件18具有環(huán)形的基本形狀并且由在視圖的方向上疊加在彼此之上的多個盤形成，多個盤用工作介質(zhì)浸透并且包括可吸收性材料，例如氈。環(huán)形盤的內(nèi)部形成工作介質(zhì)存儲件18的開口，真空泵的由圖2中的虛線表示的輸送部分14延伸到該開口中。
[0051]工作介質(zhì)存儲件18被油繩20沿其外周邊多次纏繞，其中工作介質(zhì)存儲件18的外周邊和油繩20直接地接觸彼此，使得設(shè)置在工作介質(zhì)存儲件18中的工作介質(zhì)被傳送至油繩20。
[0052]油繩20包括橫穿工作介質(zhì)存儲件18的開口延伸的部分。油繩20在該部分的兩側(cè)處在每種情況下經(jīng)由針狀緊固裝置26固定至工作介質(zhì)存儲件18。在安裝在真空泵中的狀態(tài)下，油繩20的縱向側(cè)部正切地接觸輸送部分14，使得在油繩20中輸送的工作介質(zhì)通過毛細(xì)管作用傳送至輸送部分14。
[0053]圖3中示出的布置大體上對應(yīng)于圖2中示出的布置。在圖3中示出的布置中，油繩20橫穿工作介質(zhì)存儲件18的開口延伸兩次。在安裝在真空泵中的狀態(tài)下，輸送部分14布置在油繩20的橫穿工作介質(zhì)存儲件18的開口延伸的兩個部分之間，使得輸送部分14在兩側(cè)處被油繩20接觸，從而增加工作介質(zhì)傳送至輸送部分14的量。
[0054]圖4中示出的布置大體上對應(yīng)于圖2和圖3中示出的布置，其中圖4中示出的油繩20具有開口端部并且經(jīng)由該開口端部與輸送部分14接觸。油繩20的鄰近于開口端部的區(qū)域被引導(dǎo)通過套箍(cuff) 34，套箍34和油繩20 —起緊固至工作介質(zhì)存儲件18，從而油繩20保持在其與輸送部分14接觸的位置上。
[0055]圖5中示出的布置大體上對應(yīng)于圖4中示出的布置，其中圖5中示出的油繩20具有兩個開口端部，油繩20分別經(jīng)由該兩個開口端部與輸送部分14接觸，使得工作介質(zhì)傳送至輸送部分14的量相對于圖4中示出的布置增加。
【權(quán)利要求】
1.一種真空泵，特別是渦輪分子泵，其具有轉(zhuǎn)子(10)，并具有待被供應(yīng)有工作介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)軸承(12)，以用于所述轉(zhuǎn)子(10)的可旋轉(zhuǎn)支撐，其中所述轉(zhuǎn)子(10)具有輸送部分(14)，特別是圓錐形輸送部分，以用于將所述工作介質(zhì)輸送到所述旋轉(zhuǎn)軸承(12)， 其中設(shè)置了用于輸送所述工作介質(zhì)的輸送泵(16)，和/或設(shè)置了工作介質(zhì)存儲件(18)，所述工作介質(zhì)存儲件(18)具有用于所述工作介質(zhì)的可吸收性存儲裝置； 并且其中設(shè)置了至少一根油繩(20)，所述油繩(20)與所述輸送部分(14)接觸，以將從所述輸送泵(16)和/或從所述可吸收性存儲裝置提供的所述工作介質(zhì)傳送至所述輸送部分(14)ο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，設(shè)置了用于所述工作介質(zhì)的出口(22)，所述出口(22)能夠被供應(yīng)有來自所述輸送泵(16)的所述工作介質(zhì)，其中所述油繩(20)布置成使得所述油繩(20)封閉所述出口(22)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于，設(shè)置了用于所述工作介質(zhì)的出口(22)，所述出口(22)能夠被供應(yīng)有來自所述輸送泵(16)的所述工作介質(zhì)，其中所述油繩(20)穿過所述出口(22)縱向延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述出口(22)由用于所述工作介質(zhì)的輸送通道(24)的開口端部形成。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述輸送泵(16)具有用于設(shè)定所述輸送泵(16)的輸送性能的設(shè)定裝置。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述油繩(20)與所述工作介質(zhì)存儲件(18)的所述存儲裝置至少區(qū)域性地接觸。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述油繩(20)纏繞在所述工作介質(zhì)存儲件(18)周圍。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述油繩(20)優(yōu)選地由緊固裝置(26)緊固到所述工作介質(zhì)存儲件(18)，所述緊固裝置(26)至少部分地穿過所述油繩(20)和所述存儲裝置延伸。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述存儲裝置至少區(qū)域性地由氈形成。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述存儲裝置包括優(yōu)選地疊加在彼此之上的多個盤。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述油繩(20)在其縱向側(cè)部上與所述輸送部分(14)接觸；和/或所述油繩(20)具有開口端部并且經(jīng)由所述開口端部與所述輸送部分(14)接觸。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述輸送部分(14)具有朝著所述旋轉(zhuǎn)軸承(12)變得更大的外直徑。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵配置成使得所述工作介質(zhì)能夠在所述真空泵的工作期間在回路中進行輸送。
【文檔編號】F04D29/00GK104214112SQ201410232910
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月29日
【發(fā)明者】米爾科·梅科塔, 彼得·福韋爾克, 貝恩德·霍夫曼, 約翰尼斯·施納爾 申請人:普發(fā)真空有限公司