一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板，它包括筒體和封頭，封頭固定在筒體上，筒體的外壁上分別成型有若干環(huán)形凹槽和縱向凹槽，筒體的環(huán)形凹槽內(nèi)焊接有環(huán)狀銅管，筒體的縱向凹槽內(nèi)焊接有縱向銅管，所述的環(huán)狀銅管和縱向銅管相連通并焊接在一起。本發(fā)明在筒體上成型凹槽作為其加強(qiáng)筋，同時(shí)又在凹槽上焊接銅管加固，從而增強(qiáng)了二級(jí)冷板的強(qiáng)度，增加了泵體的使用壽命。另外，其所焊接的銅管可以連通氦壓縮機(jī)組，從而使二級(jí)冷板能夠加快冷卻速度，從而有效的凝結(jié)氣體。
【專利說明】一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板
【技術(shù)領(lǐng)域】:
[0001]本發(fā)明涉及真空低溫泵的【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說涉及一種真空低溫泵中的結(jié)構(gòu)改進(jìn)的二級(jí)冷板。
【背景技術(shù)】:
[0002]低溫泵，又稱冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。其可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。而作為其冷凝氣體所用的冷板則是其關(guān)鍵的部件。現(xiàn)有的低溫泵的二級(jí)冷板結(jié)構(gòu)如圖1所示，其由筒體10和封頭20組成，現(xiàn)有的冷板一般均由無氧的紫銅制成，其在體積較小時(shí)，筒體10的強(qiáng)度尚可，但制成較大的冷板時(shí)，則其筒體10的強(qiáng)度往往不夠，易致使低溫泵喪失功能。

【發(fā)明內(nèi)容】
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[0003]本發(fā)明的目的就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)之不足，而提供一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的真空低溫泵中的二級(jí)冷板，其在筒體上增加凹槽成為其加強(qiáng)筋，同時(shí)在凹槽上設(shè)置銅管增加強(qiáng)度，從而保證了冷板的強(qiáng)度。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的真空低溫泵中的二級(jí)冷板包括筒體和封頭，封頭固定在筒體上，筒體的外壁上分別成型有若干環(huán)形凹槽和縱向凹槽，筒體的環(huán)形凹槽內(nèi)焊接有環(huán)狀銅管，筒體的縱向凹槽內(nèi)焊接有縱向銅管，所述的環(huán)狀銅管和縱向銅管相連通并焊接
在一起。
[0005]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述的筒體上的縱向凹槽的最低端位于筒體最下端的環(huán)形凹槽上。
[0006]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述的環(huán)狀銅管和縱向銅管通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
[0007]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述環(huán)形凹槽和縱向凹槽所在處的筒體壁厚等于筒體其他圓柱面處的壁厚。
[0008]本發(fā)明的有益效果在于:其在筒體上成型凹槽作為其加強(qiáng)筋，同時(shí)又在凹槽上焊接銅管加固，從而增強(qiáng)了二級(jí)冷板的強(qiáng)度，增加了泵體的使用壽命。另外，其所焊接的銅管可以連通氦壓縮機(jī)組，從而使二級(jí)冷板能夠加快冷卻速度，從而有效的凝結(jié)氣體。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說明:
[0010]圖1為現(xiàn)有的二級(jí)冷板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為本發(fā)明的半剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中符號(hào)說明:[0014]10 —筒體；11 —環(huán)形凹槽；12 —縱向凹槽；20 —封頭；31 —環(huán)狀銅管；32 —縱向銅管。
【具體實(shí)施方式】:
[0015]以下所述僅為體現(xiàn)本發(fā)明原理的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0016]見圖2至圖3所示:本發(fā)明的真空低溫泵中的二級(jí)冷板包括筒體10和封頭20，封頭20固定在筒體10上，筒體10的外壁上分別成型有若干環(huán)形凹槽11和縱向凹槽12，環(huán)形凹槽11和縱向凹槽12所在處的筒體10壁厚等于筒體10其他圓柱面處的壁厚?？v向凹槽12的最低端位于筒體10最下端的環(huán)形凹槽11上。筒體10的環(huán)形凹槽11內(nèi)焊接有環(huán)狀銅管31，筒體10的縱向凹槽12內(nèi)焊接有縱向銅管32，所述的環(huán)狀銅管31和縱向銅管32相連通并通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
[0017]本發(fā)明的工作原理如下:二級(jí)冷板的筒體10卷制之前先通過沖壓成型方式成型環(huán)形凹槽11和縱向凹槽12，再進(jìn)行卷制焊接，并焊接上封頭20。然后再在凹槽內(nèi)焊接銅管，成型的環(huán)形凹槽11和縱向凹槽12可作為加強(qiáng)筋，增加了筒體10的抗彎變形強(qiáng)度，同時(shí)子在其凹槽內(nèi)焊接銅管，銅管又能增加了筒體10的抗彎變形強(qiáng)度并可以將銅管連接氦壓縮機(jī)組，加快二級(jí)冷板的冷卻速度。
【權(quán)利要求】
1.一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板，它包括筒體(10)和封頭(20)，封頭(20)固定在筒體(10)上，其特征在于:筒體(10)的外壁上分別成型有若干環(huán)形凹槽(11)和縱向凹槽(12)，筒體(10)的環(huán)形凹槽(11)內(nèi)焊接有環(huán)狀銅管(31)，筒體(10)的縱向凹槽(12)內(nèi)焊接有縱向銅管(32)，所述的環(huán)狀銅管(31)和縱向銅管(32)相連通并焊接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板，其特征在于:所述的筒體(10)上的縱向凹槽(12)的最低端位于筒體(10)最下端的環(huán)形凹槽(11)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板，其特征在于:所述的環(huán)狀銅管(31)和縱向銅管(32 )通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級(jí)冷板，其特征在于:所述環(huán)形凹槽(11)和縱向凹槽(12)所在處的筒體(10)壁厚等于筒體(10)其他圓柱面處的壁厚。
【文檔編號(hào)】F04B37/08GK103603788SQ201310495458
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年10月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月18日
【發(fā)明者】黃文成 申請(qǐng)人:昆山珍實(shí)復(fù)合材料有限公司