專(zhuān)利名稱(chēng)：用于清理單晶爐真空管道的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于清理單晶爐真空管道的裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，產(chǎn)生的揮發(fā)物主要是SiO蒸汽，遇冷大部分粘貼在熱場(chǎng)及上下?tīng)t壁、各段真空管道上，并最終有少部分進(jìn)入主真空泵內(nèi)沉積在真空泵油中。單晶爐經(jīng)過(guò)多次使用后，都需要清掃附著在各段真空排氣管道內(nèi)的氧化物粉塵和更換真空泵油，以保證正常拉晶所需的工藝條件。目前主流單晶爐生產(chǎn)廠家的爐臺(tái)由于結(jié)構(gòu)需要，爐體主室真空管道接口與主真空泵需要經(jīng)過(guò)4-6段管道轉(zhuǎn)接才能相連通，所以清理這些管道中的揮發(fā)物就較為困難，并且 SiO在清理過(guò)程中極易迅速氧化而發(fā)生爆炸，對(duì)人員和設(shè)備造成很大的危害。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于清理單晶爐真空管道的裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的單晶爐真空管道中沉積附著的揮發(fā)物難以清理的問(wèn)題。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種用于清理單晶爐真空管道的裝置，在爐體主室的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)真空管道出口，每個(gè)真空管道出口的連接法蘭與一個(gè)直角彎管的一端連接，每個(gè)直角彎管的另一端與一套過(guò)濾裝置連通，該兩個(gè)過(guò)濾裝置分別與各自的四通真空管道連通，之后每個(gè)四通真空管道分別與一個(gè)真空管道三連通，該兩個(gè)真空管道三交匯與真空管道一聯(lián)通，真空管道一依次與真空管道二、主泵球閥、節(jié)流閥及主真空泵連通。本實(shí)用新型的用于清理單晶爐真空管道的裝置，其特征還在于所述的過(guò)濾裝置的結(jié)構(gòu)是，在外殼兩端分別設(shè)置有連接法蘭，分別與直角彎管和四通真空管道連通；在外殼的內(nèi)腔中設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)固定骨架，過(guò)濾網(wǎng)固定骨架的一端同軸心固定在外殼出氣口一側(cè)的底端，過(guò)濾網(wǎng)固定骨架表面沿圓周包裹有一層過(guò)濾網(wǎng)；過(guò)濾網(wǎng)固定骨架的另一端同軸心安裝有旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸上固定安裝有至少兩組毛刷，所有毛刷沿過(guò)濾網(wǎng)外表面縱向均勻設(shè)置，毛刷的刷毛與過(guò)濾網(wǎng)保持接觸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸與減速器驅(qū)動(dòng)連接，減速器與電機(jī)傳動(dòng)連接。本實(shí)用新型的有益效果是1)拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的揮發(fā)物被提前阻隔在該過(guò)濾裝置中，而不會(huì)沉積附著在各個(gè)真空管道的死角處和進(jìn)入主真空泵中；2)在過(guò)濾網(wǎng)固定骨架頂端安裝了可以定時(shí)清理的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，同步清掃過(guò)濾網(wǎng)上的揮發(fā)物，從而防止過(guò)濾網(wǎng)上揮發(fā)物沉積過(guò)多導(dǎo)致的排氣孔堵死，不僅大大提高了拉晶過(guò)程中真空系統(tǒng)管道中揮發(fā)物的清理效率和效果，并且能更有效的保護(hù)主真空泵和提高泵油的使用時(shí)間。

[0011]圖I是單晶爐真空管道與本實(shí)用新型過(guò)濾裝置連接示意圖；圖2是單晶爐真空管道與本實(shí)用新型過(guò)濾裝置連接俯視圖；圖3是本實(shí)用新型中的過(guò)濾裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I.爐體主室，2.過(guò)濾裝置，3.四通真空管道，4.真空管道一，5.真空管道二，
6.主泵球閥，7.節(jié)流閥，8.主真空泵，9.直角彎管，10.真空管道三，211.連接法蘭，212.夕卜殼，213.過(guò)濾網(wǎng)固定骨架，214.過(guò)濾網(wǎng)，215.毛刷，216.旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)，217.磁流體，218.減速機(jī)，219.電機(jī)。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)DI、圖2，本實(shí)用新型是用于清理單晶爐真空管道的裝置，其結(jié)構(gòu)是，在爐體主室I的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)真空管道出口，每個(gè)真空管道出口的連接法蘭與一個(gè)直角彎管9的一端連接，每個(gè)直角彎管9的另一端與一套過(guò)濾裝置2連通，該兩個(gè)過(guò)濾裝置2分別與各自的四通真空管道3連通，之后每個(gè)四通真空管道3分別與一個(gè)真空管道三10連通，然后該兩個(gè)真空管道三10交匯連通于真空管道一 4，真空管道一 4依次與真空管道二 5、主泵球閥6、節(jié)流閥7及主真空泵8連通。參照?qǐng)D2，每個(gè)過(guò)濾裝置2的進(jìn)氣端通過(guò)連接法蘭211與直角彎管9連通，每個(gè)過(guò)濾裝置2的出氣端通過(guò)連接法蘭211與四通真空管道3連通。參照?qǐng)D3，外殼212的內(nèi)腔中設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)固定骨架213，過(guò)濾網(wǎng)固定骨架213的一端同軸心固定在外殼212出氣口一側(cè)的底端,過(guò)濾網(wǎng)固定骨架213表面沿圓周包裹有一層過(guò)濾網(wǎng)214，過(guò)濾網(wǎng)214通過(guò)抱箍固定在過(guò)濾網(wǎng)固定骨架213的外表面。過(guò)濾網(wǎng)固定骨架213的另一端同軸心安裝有旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的轉(zhuǎn)軸上固定安裝有至少兩組毛刷215，所有毛刷215沿過(guò)濾網(wǎng)214外表面縱向均勻設(shè)置，毛刷215的刷毛與過(guò)濾網(wǎng)214保持接觸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的轉(zhuǎn)軸與減速器218驅(qū)動(dòng)連接，減速器218與電機(jī)219傳動(dòng)連接，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的轉(zhuǎn)軸與減速器218的傳動(dòng)路線上安裝有磁流體217，磁流體217用于動(dòng)態(tài)密封，以保證過(guò)濾裝置內(nèi)部的密封性。在熔料、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾等一系列拉晶工序過(guò)程中，為使?fàn)t體主室I內(nèi)的壓力始終保持在系統(tǒng)設(shè)定值的范圍內(nèi)，控制系統(tǒng)將主真空泵8 —直保持在開(kāi)啟狀態(tài)，并通過(guò)調(diào)節(jié)節(jié)流閥7的開(kāi)度來(lái)控制出氣流量并且同時(shí)調(diào)節(jié)氬氣的進(jìn)氣流量，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)爐體主室I內(nèi)的衡壓狀態(tài)；在此過(guò)程中大部分SiO蒸汽遇冷會(huì)粘貼在過(guò)濾裝置2內(nèi)腔的過(guò)濾網(wǎng)中，而不會(huì)粘貼附著在各段真空管道上，并且避免最終進(jìn)入主真空泵8內(nèi)；當(dāng)揮發(fā)物在過(guò)濾裝置2中的過(guò)濾網(wǎng)214上附著了一定時(shí)間后，系統(tǒng)按設(shè)定啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的驅(qū)動(dòng)電機(jī)219，驅(qū)動(dòng)電機(jī)219通過(guò)減速機(jī)218減速帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的轉(zhuǎn)軸與減速機(jī)218的傳動(dòng)路線上安裝有磁流體217，磁流體217用于動(dòng)態(tài)密封，以保證過(guò)濾裝置內(nèi)部的密封性；旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)216的毛刷215上的刷毛在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不斷清掃掉過(guò)濾網(wǎng)214外表面上的揮發(fā)物，從而防止過(guò)濾網(wǎng)214上揮發(fā)物沉積過(guò)多沒(méi)有及時(shí)清理導(dǎo)致排氣孔堵死以致?tīng)t壓升高影響了正常拉晶。本實(shí)用新型的裝置，將過(guò)濾裝置通過(guò)直角彎管直接與爐體主室兩側(cè)的真空管道接口相連，這樣拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的揮發(fā)物就被提前阻隔在該過(guò)濾裝置中，而不會(huì)沉積附著在各個(gè)真空管道的死角處和進(jìn)入主真空泵中，只需定時(shí)清理該過(guò)濾裝置就可以了，不僅大大提高了拉晶過(guò)程中真空系統(tǒng)管道中揮發(fā)物的清理效率和效果，并且能更有效的保護(hù)主真空 栗和提1 栗油的使用壽命。
權(quán)利要求1.一種用于清理單晶爐真空管道的裝置，其特征在于 在爐體主室(I)的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)真空管道出口， 每個(gè)真空管道出口的連接法蘭與一個(gè)直角彎管(9)的一端連接， 每個(gè)直角彎管(9)的另一端與一套過(guò)濾裝置(2)連通， 該兩個(gè)過(guò)濾裝置(2 )分別與各自的四通真空管道(3 )連通， 每個(gè)四通真空管道(3)分別與一個(gè)真空管道三(10)連通，· 該兩個(gè)真空管道三(10)交匯與真空管道一(4)聯(lián)通，真空管道一(4)依次與真空管道二(5)、主泵球閥(6)、節(jié)流閥(7)及主真空泵(8)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于清理單晶爐真空管道的裝置，其特征在于所述的過(guò)濾裝置(2)的結(jié)構(gòu)是，在外殼(212)兩端分別設(shè)置有連接法蘭(211)，分別與直角彎管(9)和四通真空管道(3)連通； 在外殼(212)的內(nèi)腔中設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)固定骨架(213)，過(guò)濾網(wǎng)固定骨架(213)的一端同軸心固定在外殼(212)出氣口一側(cè)的底端，過(guò)濾網(wǎng)固定骨架(213)表面沿圓周包裹有一層過(guò)濾網(wǎng)(214)； 過(guò)濾網(wǎng)固定骨架(213)的另一端同軸心安裝有旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)(216)的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)(216)的轉(zhuǎn)軸上固定安裝有至少兩組毛刷(215)，所有毛刷(215)沿過(guò)濾網(wǎng)(214)外表面縱向均勻設(shè)置，毛刷(215)的刷毛與過(guò)濾網(wǎng)(214)保持接觸，旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)(216)的轉(zhuǎn)軸與減速器(218)驅(qū)動(dòng)連接，減速器(218)與電機(jī)(219)傳動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于清理單晶爐真空管道的裝置，其特征在于所述的過(guò)濾網(wǎng)(214)通過(guò)抱箍固定在過(guò)濾網(wǎng)固定骨架(213)的外表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于清理單晶爐真空管道的裝置，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)清掃機(jī)構(gòu)(216)的轉(zhuǎn)軸與減速器(218)的傳動(dòng)路線上安裝有磁流體(217)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于清理單晶爐真空管道的裝置，在爐體主室的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)真空管道出口，每個(gè)真空管道出口的連接法蘭與一個(gè)直角彎管的一端連接，每個(gè)直角彎管的另一端與一套過(guò)濾裝置連通，該兩個(gè)過(guò)濾裝置分別與各自的四通真空管道連通，每個(gè)四通真空管道分別與一個(gè)真空管道三連通，該兩個(gè)真空管道三交匯與真空管道一聯(lián)通，真空管道一依次與真空管道二、主泵球閥、節(jié)流閥及主真空泵連通。本實(shí)用新型的裝置，將過(guò)濾裝置通過(guò)直角彎管直接與爐體主室兩側(cè)的真空管道接口相連，揮發(fā)物就被提前阻隔在該過(guò)濾裝置中，只需定時(shí)清理該過(guò)濾裝置，大大提高了清理效率和效果，保護(hù)了主真空泵和泵油。
文檔編號(hào)F04B53/20GK202768347SQ20122037441
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月31日
發(fā)明者楊瑞, 梁永生, 李迎春 申請(qǐng)人:銀川隆基硅材料有限公司, 寧夏隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 無(wú)錫隆基硅材料有限公司