專利名稱:雙段羅茨真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
雙段羅茨真空泵,屬于真空獲得設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù):
雙段羅茨真空泵是一種新型干式真空泵,在我國產(chǎn)品制造基本還處于空白狀態(tài), 本公司研發(fā)的ZJ系列單級羅茨真空泵填補(bǔ)了此項空白,由于在真空度要求比較高的場合, 需要使用兩臺或多臺串并聯(lián)才能夠?qū)崿F(xiàn),但兩臺或多臺串并聯(lián)一是結(jié)構(gòu)大占地面積大,且 容易出現(xiàn)管路的連接泄漏點,真空泵的利用效率低,能耗大,成本高。
實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種結(jié)構(gòu)緊湊,占用 空間小、降低功耗、便于維修維護(hù),大大降低了使用成本的雙段羅茨真空泵。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該雙段羅茨真空泵,包括電機(jī)、 支架、聯(lián)軸器、前、后蓋、其特征在于設(shè)置一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸和從動轉(zhuǎn)子軸、長泵 體和短泵體,在主動轉(zhuǎn)子軸和從動轉(zhuǎn)子軸左端設(shè)置同步齒輪,兩對“8”字型的轉(zhuǎn)子相互垂直 的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸和從動轉(zhuǎn)子軸上,在長泵體和短泵體中間設(shè)置中間壁,前、后軸承、前 壁,電機(jī)通過聯(lián)軸器與主動轉(zhuǎn)子軸相連,主動轉(zhuǎn)子軸通過同步齒輪與從動轉(zhuǎn)子軸連接,主、 從動轉(zhuǎn)子軸通過前、后軸承安裝在長泵體和短泵體內(nèi)。主動轉(zhuǎn)子軸上有長短兩個轉(zhuǎn)子、從動轉(zhuǎn)子軸上有長短兩個轉(zhuǎn)子,中間壁作為高、低 真空腔的通道。
0006]在轉(zhuǎn)子與泵體內(nèi)壁之間,轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與端壁之間,保持有一定的間隙 一般為0. 2-0. 35mm。間隙的作用是為了補(bǔ)償金屬熱膨脹,防止各相對運動部件發(fā)生摩擦。工作原理本雙段羅茨真空泵由高、低真空腔組成,氣體先進(jìn)入高真空腔。開始轉(zhuǎn)子Rl垂直, 轉(zhuǎn)子R2水平,轉(zhuǎn)子R1、R2開始按相反方向旋轉(zhuǎn),氣體由吸入口 15進(jìn)入泵腔,吸入壓力為PA, 當(dāng)轉(zhuǎn)子Rl旋轉(zhuǎn)至水平,轉(zhuǎn)子R2旋轉(zhuǎn)至垂直時,一部分氣體Vl被轉(zhuǎn)子R2與泵體封閉,同時 另一抽氣過程開始,隨著兩個轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子R2底部轉(zhuǎn)過排氣口 16邊緣,被封閉氣 體Vl進(jìn)入排氣口,達(dá)到排氣壓力Pv后經(jīng)過中間壁上的排氣通道進(jìn)入低真空腔;在低真空腔 內(nèi)的氣體吸排氣過程與在高真空腔內(nèi)相同,最后氣體從泵排氣口 16排出。轉(zhuǎn)子R1、R2每旋 轉(zhuǎn)一周,將分別兩次排出氣體VI。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的雙段羅茨真空泵所具有的有益效果是雙段羅茨 真空泵將兩臺串聯(lián)的單級羅茨真空泵集成為一體,結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間??;高低真空腔之間 內(nèi)部連接,使內(nèi)部結(jié)構(gòu)得以優(yōu)化,減少了兩泵之間連接管路的泄漏量,提高了機(jī)組的性能指 標(biāo),提高了真空泵的工作效率。降低了功耗。減少了機(jī)組附助管件,更有利于機(jī)組的制作與 維護(hù)。另外,零部件少,便于維修維護(hù),大大降低了使用成本。
圖1是本實用新型的雙段羅茨真空泵外形結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是圖1的右視圖;圖3是圖1的左視圖;圖4是圖1的A-A剖視示意圖;圖5-8是本實用新型的雙段羅茨真空泵的工作原理示意圖。圖1-8是本實用新型的最佳實施例。其中1、電機(jī)2、支架3、聯(lián)軸器4、同步 齒輪 5、前蓋6、前壁 7、中間壁 8、后蓋9、主動轉(zhuǎn)子軸 10、后軸承 11、從動轉(zhuǎn)子 軸 12、短泵體 13、長泵體 14、前軸承 15、吸入口 16、排氣口 Pa、吸入壓力 Pv、排 氣壓力V1、被封閉氣體A、高真空腔B、低真空腔。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖1-8對本實用新型的雙段羅茨真空泵做進(jìn)一步說明參照圖1-4:本實用新型的雙段羅茨真空泵由電機(jī)1、支架2、聯(lián)軸器3、同步齒輪4、前蓋5、前 壁6、中間壁7、后蓋8、主動轉(zhuǎn)子軸9、后軸承10、從動轉(zhuǎn)子軸11、短泵體12、長泵體13、前軸 承14組成。設(shè)置一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸9和從動轉(zhuǎn)子軸11、長泵體13和短泵體12, 在主動轉(zhuǎn)子軸9和從動轉(zhuǎn)子軸11左端設(shè)置同步齒輪4,兩對“8”字型的轉(zhuǎn)子相互垂直的安 裝在主動轉(zhuǎn)子軸9和從動轉(zhuǎn)子軸11上,在長泵體13和短泵體12中間設(shè)置中間壁7,前、后 軸承14、10、前壁6,電機(jī)1通過聯(lián)軸器3與主動轉(zhuǎn)子軸9相連,主動轉(zhuǎn)子軸9通過同步齒輪 4與從動轉(zhuǎn)子軸11連接,主、從動轉(zhuǎn)子軸9、11通過前、后軸承14、10安裝在長泵體13和短 泵體12內(nèi)。主動轉(zhuǎn)子軸9上有長短兩個轉(zhuǎn)子、從動轉(zhuǎn)子軸11上有長短兩個轉(zhuǎn)子。中間壁7 作為高、低真空腔的通道。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間保持有一定 的間隙。一般為0. 2-0. 35mm。參照圖5-8:工作原理與工作過程是在高低真空泵腔內(nèi),各有一對“8”字型的轉(zhuǎn)子安裝在一 對平行的轉(zhuǎn)子軸上,軸的兩端由軸承支撐,由一對同步齒輪帶動作反向旋轉(zhuǎn)運動。轉(zhuǎn)子之 間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,轉(zhuǎn)子與端壁之間均保持一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從吸氣口先進(jìn)入高真空腔,再經(jīng)過中壁的氣道進(jìn) 入低真空腔。氣體先進(jìn)入高真空腔,開始轉(zhuǎn)子Rl垂直,轉(zhuǎn)子R2水平,轉(zhuǎn)子Rl、R2開始按相反方 向旋轉(zhuǎn),氣體由吸入口 15進(jìn)入泵腔,吸入壓力為PA,當(dāng)轉(zhuǎn)子Rl旋轉(zhuǎn)至水平,轉(zhuǎn)子R2旋轉(zhuǎn)至 垂直時,一部分氣體Vl被轉(zhuǎn)子R2與泵體封閉,同時另一抽氣過程開始,隨著兩個轉(zhuǎn)子進(jìn)一 步旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子R2底部轉(zhuǎn)過排氣口 16邊緣,被封閉氣體Vl進(jìn)入排氣口,達(dá)到排氣壓力Pv后 經(jīng)過中間壁上的排氣通道進(jìn)入低真空腔;在低真空腔內(nèi)的氣體吸排氣過程與在高真空腔內(nèi) 相同,最后氣體從泵排氣口 16排出。轉(zhuǎn)子R1、R2每旋轉(zhuǎn)一周,將分別兩次排出氣體VI。以上所述,僅是本實用新型的較佳實施例而已,并非是對本實用新型作其它形式 的限制,任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員可能利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容加以變更或改型為等同 變化的等效實施例。但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案內(nèi)容,依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)
4對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與改型,仍屬于本實用新型技術(shù)方案的保護(hù) 范圍。
權(quán)利要求雙段羅茨真空泵,包括電機(jī)(1)、支架(2)、聯(lián)軸器(3)、前、后蓋(5、8)、其特征在于設(shè)置一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)、長泵體(13)和短泵體(12),在主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)左端設(shè)置同步齒輪(4),兩對橫截面為“8”字型的轉(zhuǎn)子相互垂直的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)上,在長泵體(13)和短泵體(12)中間設(shè)置中間壁(7),前、后軸承(14、10)、前壁(6),電機(jī)(1)通過聯(lián)軸器(3)與主動轉(zhuǎn)子軸(9)相連,主動轉(zhuǎn)子軸(9)通過同步齒輪(4)與從動轉(zhuǎn)子軸(11)連接,主、從動轉(zhuǎn)子軸(9、11)通過前、后軸承(14、10)安裝在長泵體(13)和短泵體(12)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙段羅茨真空泵,其特征在于主動轉(zhuǎn)子軸(9)上有長短兩 個轉(zhuǎn)子,從動轉(zhuǎn)子軸(11)上有長短兩個轉(zhuǎn)子,中間壁(7)作為高、低真空腔的通道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙段羅茨真空泵,其特征在于在轉(zhuǎn)子與泵體內(nèi)壁之間, 轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與端壁之間設(shè)有間隙。
專利摘要雙段羅茨真空泵,屬于真空獲得設(shè)備領(lǐng)域。設(shè)置一對平行安裝的主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)、長泵體(13)和短泵體(12),在主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)左端設(shè)置同步齒輪(4),兩對橫截面為“8”字型的轉(zhuǎn)子相互垂直的安裝在主動轉(zhuǎn)子軸(9)和從動轉(zhuǎn)子軸(11)上,在長泵體(13)和短泵體(12)中間設(shè)置中間壁(7),前、后軸承(14、10)、前壁(6),電機(jī)(1)通過聯(lián)軸器(3)與主動轉(zhuǎn)子軸(9)相連,主動轉(zhuǎn)子軸(9)通過同步齒輪(4)與從動轉(zhuǎn)子軸(11)連接,主、從動轉(zhuǎn)子軸(9、11)通過前、后軸承(14、10)安裝在長泵體(13)和短泵體(12)內(nèi)。具有結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,提高了真空泵的工作效率。降低了功耗等優(yōu)點。
文檔編號F04C18/14GK201636006SQ201020145419
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月24日
發(fā)明者馮啟潤, 林樂忠, 王來彬 申請人:淄博干式真空泵有限公司