專利名稱：一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空抽取裝置，尤其是對(duì)單晶硅生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行真 空抽取得真空裝置。
背景技術(shù)：
目前，在單晶硅生產(chǎn)過程中， 一般涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備(單晶硅拉制 爐)及對(duì)生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行真空抽取的真空裝置兩部分，其中，生產(chǎn)設(shè)備置于 上層車間，真空抽取裝置置于下層車間，真空抽取裝置一般包括大罐、與 大罐連通的真空管及真空泵組成，真空管與單晶硅生產(chǎn)設(shè)備通過球閥進(jìn)行 連接。在對(duì)大罐進(jìn)行清理時(shí)，要在上層車間打開球閥進(jìn)行放氣，使大罐內(nèi) 部壓力由真空狀態(tài)達(dá)到常壓，因?yàn)榍蜷y的直徑較大，打開后大罐里的揮發(fā) 物會(huì)隨氣流從球閥飄出，污染熱系統(tǒng)，影響車間的環(huán)境衛(wèi)生，給正常生產(chǎn) 帶來不利影響，其次，打開大罐后還要從車間的下層到上層關(guān)閉球閥，耽 誤時(shí)間，降低了生產(chǎn)效率，使用極為不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供了一種能夠減少揮發(fā) 物對(duì)環(huán)境的影響、有效地提高工作效率且結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的單晶硅生 產(chǎn)設(shè)備的真空裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置，主要用 于對(duì)單晶硅拉制爐進(jìn)行真空抽取，包括大罐、與大罐連通的真空管及與大 罐相連的真空泵，真空管通過球閥與單晶硅拉制爐真空抽取管路相連，在 真空管上密封固連有放氣閥。真空管上設(shè)有定位孔，所述的放氣閩固定插裝于定位孔內(nèi)。 作為上述方式的改進(jìn)，所述的放氣閥與真空管垂直連接。 采用上述技術(shù)方案，在對(duì)大罐進(jìn)行清理時(shí)，由于在真空管上加設(shè)放氣 閥，只需打開放氣閥，由于放氣閥與真空管成角度密封設(shè)置，使得在向大
罐沖壓過程中，減少了大罐內(nèi)的揮發(fā)物揮發(fā)，減少了環(huán)境污染；該放氣閥
可置于下層車間，只需在下層車間打開放氣閥即可完成對(duì)大罐的清理，避 免了人工上下層之間的跑動(dòng)，在提高工作效率的同時(shí)，避免人為忘記關(guān)閥 給生產(chǎn)帶來的影響。
以下結(jié)合附圖
及具體的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做更進(jìn)一步詳細(xì)說明
圖i是本實(shí)用新型的整體連接結(jié)構(gòu)示意圖；具體實(shí)施方式
由圖l所示可知，該單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置，包括大罐2、與大罐 2連通的真空管3及與大罐2相連的真空泵7,真空管3通過球閥4與置于 上層車間的單晶硅拉制爐1真空抽取管路5相連，真空管3上設(shè)有定位孔， 放氣閥6固定插裝于定位孔內(nèi)。放氣閥6與真空管3垂直連接。
權(quán)利要求1、一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置，主要用于對(duì)單晶硅拉制爐(1)進(jìn)行真空抽取，包括大罐(2)、與大罐(2)連通的真空管(3)及與大罐(2)相連的真空泵(7)，真空管(3)通過球閥(4)與單晶硅拉制爐(1)真空抽取管路(5)相連，其特征在于在真空管(3)上密封固連有放氣閥(6)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置，其特征在于 真空管(3)上設(shè)有定位孔，所述的放氣閥(6)固定插裝于定位孔內(nèi)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備的真空裝置，其特征在 于所述的放氣閥(6)與真空管(3)垂直連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空抽取裝置，尤其是對(duì)單晶硅生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行真空抽取得真空裝置。該裝置包括大罐(2)、與大罐(2)連通的真空管(3)及與大罐(2)相連的真空泵(7)，真空管(3)通過球閥(4)與單晶硅拉制爐(1)真空抽取管路(5)相連，在真空管(3)上密封固連有放氣閥(6)。采用本技術(shù)方案，減少了大罐內(nèi)的揮發(fā)物揮發(fā)，減少了環(huán)境污染，避免了人工上下層之間的跑動(dòng)，在提高工作效率的同時(shí)，避免人為忘記關(guān)閥給生產(chǎn)帶來的影響。
文檔編號(hào)F04B37/14GK201363251SQ20092010182
公開日2009年12月16日 申請(qǐng)日期2009年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月10日
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